CN207923721U - 一种libs检测系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开一种LIBS检测系统，包括：光路系统，LED灯，样品台，控制器；摄像头位于显微物镜的正上方；显微物镜与摄像头之间从下往上依次设置第二聚焦透镜、二向色镜、第一聚焦透镜、成像透镜组；二向色镜与水平面的夹角为45°；脉冲激光器产生的脉冲激光位于二向色镜的入射光路上；整形小孔位于脉冲激光器与二向色镜之间的光路上；样品置于样品台上，且位于显微物镜的正下方；光纤探头位于样品的一侧上方；LED灯位于样品的另一侧上方；光纤的一端连接光纤探头，其另一端连接光谱仪；光谱仪、脉冲激光器、摄像头、LED灯均与控制器电性连接。本实用新型提供的技术方案，结构简单，能够满足快速检测的需求。
Description
技术领域
本实用新型属于激光光谱分析技术领域，尤其涉及一种LIBS检测系统。
背景技术
激光诱导击穿光谱(Laser-induced breakdown spectroscopy，LIBS)技术是一种原子发射光谱分析技术，它利用高能量的脉冲激光激发待测样品产生等离子体，通过分析等离子体光谱信号实现样品的元素分析。该技术测量速度快，测量范围广，能够多元素同时分析，能够完成复杂物质所含元素的定性与定量分析。由于具有上述优点，该技术广泛应用在冶金分析、环境监测、地质勘探等诸多领域。
现有的LIBS检测系统，结构较复杂，不能满足快速检测的需求。
实用新型内容
本实用新型旨在提供一种LIBS检测系统，结构简单，能够满足快速检测的需求。
为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案如下：
本实用新型公开的一种LIBS检测系统，包括：光路系统，LED灯，样品台，控制器；所述光路系统包括：摄像头，成像透镜组，脉冲激光器，整形小孔，二向色镜，第一聚焦透镜，第二聚焦透镜，显微物镜，光纤探头，光纤，光谱仪；所述摄像头位于所述显微物镜的正上方；所述显微物镜与所述摄像头之间从下往上依次设置所述第二聚焦透镜、二向色镜、第一聚焦透镜、成像透镜组；所述显微物镜、第二聚焦透镜、二向色镜、第一聚焦透镜、成像透镜组均同轴；所述二向色镜与水平面的夹角为45°；所述脉冲激光器产生的脉冲激光位于所述二向色镜的入射光路上；所述整形小孔位于所述脉冲激光器与所述二向色镜之间的光路上；样品置于所述样品台上，且样品位于所述显微物镜的正下方；所述光纤探头位于所述样品的一侧上方；所述LED灯位于所述样品的另一侧上方；所述光纤的一端连接所述光纤探头，光纤的另一端连接所述光谱仪；所述光谱仪、脉冲激光器、摄像头、LED灯均与所述控制器电性连接。
优选地，所述样品台为三维位移样品台；所述三维位移样品台与所述控制器电性连接。
优选地，所述脉冲激光器为调Q式Nd:YAG激光器。
优选地，所述光谱仪配备有ICCD检测器。
优选地，所述控制器包括单片机。
本实用新型提供的LIBS检测系统，结构简单，能够满足快速检测的需求。
附图说明
图1为本实用新型实施例的结构示意图；
图中：1为LED灯，2为样品台，3为摄像头，4为成像透镜组，5为脉冲激光器，6为整形小孔，7为二向色镜，8为第一聚焦透镜，9为第二聚焦透镜，10为显微物镜，11为光纤探头，12为光纤，13为光谱仪，14为样品。
具体实施方式
为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图，对本实用新型进行进一步详细说明。
图1为本实用新型实施例的结构示意图，包括：光路系统，LED灯1，样品台2，控制器；所述光路系统包括：摄像头3，成像透镜组4，脉冲激光器5，整形小孔6，二向色镜7，第一聚焦透镜8，第二聚焦透镜9，显微物镜10，光纤探头11，光纤12，光谱仪13；所述摄像头3位于所述显微物镜10的正上方；所述显微物镜10与所述摄像头3之间从下往上依次设置所述第二聚焦透镜9、二向色镜7、第一聚焦透镜8、成像透镜组4；所述显微物镜10、第二聚焦透镜9、二向色镜7、第一聚焦透镜8、成像透镜组4均同轴；所述二向色镜7与水平面的夹角为45°；所述脉冲激光器5产生的脉冲激光位于所述二向色镜7的入射光路上；所述整形小孔6位于所述脉冲激光器5与所述二向色镜7之间的光路上；样品14置于所述样品台2上，且样品14位于所述显微物镜10的正下方；所述光纤探头11位于所述样品14的一侧上方；所述LED灯1位于所述样品14的另一侧上方；所述光纤12的一端连接所述光纤探头11，光纤12的另一端连接所述光谱仪13；所述光谱仪13、脉冲激光器5、摄像头3、LED灯1均与所述控制器电性连接。
优选地，所述样品台2为三维位移样品台；所述三维位移样品台与所述控制器电性连接。所述脉冲激光器5为调Q式Nd:YAG激光器。所述光谱仪13配备有ICCD检测器。所述控制器包括单片机。
本实用新型提供的LIBS检测系统，结构简单，能够满足快速检测的需求。
当然，本实用新型还可有其它多种实施例，在不背离本实用新型精神及其实质的情况下，熟悉本领域的技术人员可根据本实用新型作出各种相应的改变和变形，但这些相应的改变和变形都应属于本实用新型所附的权利要求的保护范围。
Claims (5)
1.一种LIBS检测系统，包括：光路系统，LED灯(1)，样品台(2)，控制器；所述光路系统包括：摄像头(3)，成像透镜组(4)，脉冲激光器(5)，整形小孔(6)，二向色镜(7)，第一聚焦透镜(8)，第二聚焦透镜(9)，显微物镜(10)，光纤探头(11)，光纤(12)，光谱仪(13)；所述摄像头(3)位于所述显微物镜(10)的正上方；所述显微物镜(10)与所述摄像头(3)之间从下往上依次设置所述第二聚焦透镜(9)、二向色镜(7)、第一聚焦透镜(8)、成像透镜组(4)；所述显微物镜(10)、第二聚焦透镜(9)、二向色镜(7)、第一聚焦透镜(8)、成像透镜组(4)均同轴；所述二向色镜(7)与水平面的夹角为45°；所述脉冲激光器(5)产生的脉冲激光位于所述二向色镜(7)的入射光路上；所述整形小孔(6)位于所述脉冲激光器(5)与所述二向色镜(7)之间的光路上；样品(14)置于所述样品台(2)上，且样品(14)位于所述显微物镜(10)的正下方；所述光纤探头(11)位于所述样品(14)的一侧上方；所述LED灯(1)位于所述样品(14)的另一侧上方；所述光纤(12)的一端连接所述光纤探头(11)，光纤(12)的另一端连接所述光谱仪(13)；所述光谱仪(13)、脉冲激光器(5)、摄像头(3)、LED灯(1)均与所述控制器电性连接。
2.根据权利要求1所述的LIBS检测系统，其特征在于，所述样品台(2)为三维位移样品台；所述三维位移样品台与所述控制器电性连接。
3.根据权利要求1所述的LIBS检测系统，其特征在于，所述脉冲激光器(5)为调Q式Nd:YAG激光器。
4.根据权利要求1所述的LIBS检测系统，其特征在于，所述光谱仪(13)配备有ICCD检测器。
5.根据权利要求1所述的LIBS检测系统，其特征在于，所述控制器包括单片机。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN201820275709.6U CN207923721U (zh) | 2018-02-26 | 2018-02-26 | 一种libs检测系统 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201820275709.6U CN207923721U (zh) | 2018-02-26 | 2018-02-26 | 一种libs检测系统 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN207923721U true CN207923721U (zh) | 2018-09-28 |
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ID=63600543
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| CN201820275709.6U Active CN207923721U (zh) | 2018-02-26 | 2018-02-26 | 一种libs检测系统 |
Country Status (1)
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109884032A (zh) * | 2019-02-19 | 2019-06-14 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | 烧蚀点精确定位的激光诱导击穿光谱检测系统及方法 |
| CN116518857A (zh) * | 2023-05-10 | 2023-08-01 | 西北师范大学 | 一种基于libs的薄膜厚度表征方法 |
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2018
- 2018-02-26 CN CN201820275709.6U patent/CN207923721U/zh active Active
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109884032A (zh) * | 2019-02-19 | 2019-06-14 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | 烧蚀点精确定位的激光诱导击穿光谱检测系统及方法 |
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