CN207787348U - 一种靶材平坦度矫正设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及靶材平坦度矫正设备，包括基台、安装在所述基台上检测靶材平坦度的检测装置以及设置在所述基台上对经检测装置检测后的靶材进行平坦度矫正的矫正装置。该靶材平坦度矫正设备能够检测靶材平坦度并对检测后的靶材进行平坦度矫正，从而废弃靶材得到重新利用，避免了资源的浪费，减低了生产成本，也提高了靶材表面通过溅射所镀的膜的均匀性。

Description

一种靶材平坦度矫正设备

技术领域

本实用新型涉及矫正设备，更具体地说，涉及一种靶材平坦度矫正设备。

背景技术

现有技术中，一般采用溅射的方法在靶材表面镀上一层薄膜，而靶材表面的平整度将会影响所镀薄膜的均匀性，而靶材如果表面不平坦直接被列为废品不再使用，从而造成了资源的浪费，还有增加了生产成本。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题在于，提供一种能够解决靶材表面不平坦，容易造成靶材资源浪费的靶材矫正设备。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：构造一种靶材平坦度矫正设备，包括基台、安装在所述基台上检测靶材平坦度的检测装置以及设置在所述基台上对经检测装置检测后的靶材进行平坦度矫正的矫正装置。

优选地，所述矫正装置包括安装在所述基台上的至少一个矫正压头、安装在所述基台上供所述矫正压头沿Y轴方向和X轴方向做往复运动的导向组件、安装在所述基台上带动所述矫正压头在所述导向组件上沿Y轴方向做往复运动的传动装置、与所述传动装置连接驱动所述传动装置传动的驱动机构以及安装在所述基台上且与所述矫正压头连接带动所述矫正压头在所述导向组件上沿X轴方向做反复运动的动力元件。

优选地，所述导向组件括设置在所述基台上供所述矫正压头沿X轴方向做往复运动的第一导向组件以及设置在所述基台上供所述矫正压头沿Y轴方向做往复运动的第二导向组件。

优选地，所述第一导向组件上方设有由所述动力元件带动在所述第一导向组件上做往复运动的所述第一安装板；所述第二导向组件上设有安装所述矫正压头的第二安装板。

优选地，所述第一导向组件包括设置在所述基台上的第一导轨以及套设在所述第一导轨上与所述第一安装板连接带动所述第一安装板在所述第一导轨上往复运动的第一滑块；所述第一滑块设置在所述第一安装板底部且与所述第一安装板固定连接。

优选地，所述第二导向组件设置在所述第一安装板上；所述第二导向组件包括设置在所述第一安装板上的第二导轨以及套设在所述第二导轨上且与所述第二安装板固定连接的第二滑块。

优选地，所述矫正装置还包括设置在所述第二安装板上带动所述矫正压头升降的升降气缸、以及与所述升降气缸和所述矫正压头连接且可调节的连接杆；所述连接杆的一端通过设置旋转机构与所述矫正压头活动连接。

优选地，所述动力元件为伸缩气缸；所述伸缩气缸与所述第一导轨平行设置且与所述第一安装板连接带动所述第一安装板在所述第一导轨上做往复运动；

所述传动装置包括设置在所述第一安装板上与所述驱动机构连接由所述驱动机构驱动的丝杆；所述丝杆与所述检测装置连接带动所述检测装置在所述第二导轨上做往复运动。

优选地，所述驱动机构为电机，所述电机安装在所述第一安装板上。

优选地，所述检测装置包括红外检测探头、以及超声波检测探头。

实施本实用新型的靶材平坦度矫正设备，具有以下有益效果：该靶材平坦度矫正设备通过在基台上安装检测装置以及设置矫正装置，使其能够检测靶材平坦度并对检测后的靶材进行平坦度矫正，从而废弃靶材得到重新利用，避免了资源的浪费，减低了生成成本，也提高了靶材表面通过溅射所镀的膜的均匀性。

附图说明

下面将结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明，附图中：

图1是本实用新型靶材平坦度矫正设备的正视图；

图2是本实用新型靶材平坦度矫正设备的检测装置的局部结构示意图。

具体实施方式

为了对本实用新型的技术特征、目的和效果有更加清楚的理解，现对照附图详细说明本实用新型的具体实施方式。

图1及图2示出了本实用新型靶材平坦度矫正设备的一个优选实施例。

该靶材平坦度矫正设备能够对那些因表面不平坦而被废弃的靶材进行平坦度矫正，使这些靶材能够被重新利用，避免造成资源浪费，还有降低了生产成本。

如图1所示，该靶材平坦度矫正设备，包括基台11、安装在该基台11上检测靶材平坦度的检测装置12以及设置在该基台11上对经检测装置12检测后的靶材进行平坦度矫正的矫正装置13。该基台11可以固定该检测装置12和该矫正装置13，也可以作为该检测装置12和该矫正装置13的工作台；该检测装置12可对靶材的平坦度进行检测并将检测结果反馈给矫正装置13；该矫正装置13能够根据该检测装置12反馈的结果对该靶材表面的平坦度进行矫正。

该检测装置12可设置在该矫正装置13上，且该检测装置12的数量可以是一个、两个、三个或者多个，在本实施例中，优选地，该检测装置12的数量可以为一个。该检测装置12包括红外检测探头、超声波检测探头，在本实施例中，优选地，该检测装置12包括超声波检测探头。

该矫正装置13包括安装在该基台11上的至少一个矫正压头131、安装在该基台11上供该矫正压头131沿Y轴方向和X轴方向做往复运动的导向组件132、安装在该基台11上带动该矫正压头131在该导向组件132上沿Y轴方向做往复运动的传动装置133、与该传动装置133连接驱动该传动装置133传动的驱动机构134以及安装在该基台11上且与该矫正压头131连接带动该矫正压头131在该导向组件132上沿X轴方向做反复运动的动力元件135。该矫正压头131可对靶材表面凸起部进行压平矫正，该导向组件132能够对该矫正压头131进行导向，使其在预设的方向上移动，该传动装置133能够对该矫正压头131进行传动，该驱动机构134能够驱动该动装置133进行传动带动该矫正压头在该导向组件132上沿Y轴方向做往复运动；该动力元件135能够带动该矫正压头131在导向组件132上沿X轴方向运动。

该导向组件132包括设置在该基台11上供该矫正压头131沿X轴方向做往复运动的第一导向组件以及设置在该基台11上供该矫正压头131沿Y轴方向做往复运动的第二导向组件。该第一导向组件沿该基台11的X轴方向设置，该第二导向组件沿该基台11的Y轴方向设置；该第一导向组件上方设有由该动力元件135带动在该第一导向组件上做往复运动的第一安装板136；则该第一安装板136能够在X轴方向做反复运动；该第二导向组件上设有安装该矫正压头131的第二安装板137，则该第二安装板137能够在该的第二导向组件上做反复运动。

该第一导向组件包括设置在该基台11上的第一导轨131以及套设在该第一导轨1321上与该第一安装板136连接带动该第一安装板136连接带动该第一安装板136在该第一导轨1321上往复运动的第一滑块1322；该第一导轨1321的数量可以是一个、两个、三个、或多个。在本实施例中，该第一导轨1321包括分开且并排设置的两个第一导轨；该第一滑块1322设置在该第一安装板136的底部且与该第一安装板136固定连接，该第一滑块1322的数量可以是一个、两个或者多个，在本实施例中，该第一滑块包括分别套设在两个第一导轨上的两个第一滑块。

该第二导向组件设置在该第一安装板136上；该第二导向组件包括设置在该第一安装板136上的第二导轨1323以及套设在该第二导轨1323上且与该第二安装板137固定连接的第二滑块1324。该第二导轨1323的数量可以是一个、两个、三个或多个。在本实施例中，该第二导轨1323包括分开且并排设置的两个第二导轨；该第二滑块1324的数量可以是一个、两个或者多个，在本实施例中，该第二滑块1324包括分别套设在两个第二导轨1323上的两个第二滑块。

该传动装置133包括设置在该第一安装板136上与该驱动机构134连接由该驱动机构134驱动的丝杆；该丝杆与该检测装置12连接带动该检测装置12在该第二导轨1323上做往复运动。该丝杆固定在该第二安装板137上，由该丝杆的转动带动该第二安装板137在该第二导轨上做往复运动。

该驱动机构134可以为电机，且其可以安装在该第一安装板136上，具体地，其可安装在该第一安装板136与该第二导向组件相背的一面，该电机与该丝杆连接；通过电机的转动带动该丝杆传动。

该动力元件135可以为伸缩气缸；该伸缩气缸与该第一导轨1321平行设置，且与该第一安装板136连接；该伸缩气缸通过伸缩，带动该第一安装板136在该第一导轨1321上做往复运动，从而使该第一安装板136在X轴方向运动。

该矫正装置13还包括设置在该第二安装板137上带动该矫正压头131升降的升降气缸138、以及与该升降气缸138和该矫正压头131连接且可调节的连接杆139；该升降气缸138可以可通过升降使得该矫正压头132能够上下运动进行对靶材表面进行矫正，该连接杆139的长度可调节，可根据靶材的尺寸还有矫正的位置进行调节，该连接杆139的一端通过设置旋转机构140与该矫正压头131活动连接，使得该矫正压头131可根据需要调整角度。该旋转机构140可以是轴承。

该靶材平坦度矫正设备的工作原理：该第一安装板136伸缩气缸的伸缩带动下在该第一导轨1321上做反复运动从而带动该第二安装板137在X轴方向做往复运动，进而带动该矫正压头131在X轴方向做往复运动，而该丝杆在电机的驱动下，带动第二安装板在第二导轨1323上沿Y轴方向运动，进而带动该矫正压头131在Y轴方向运动，从而使得矫正压头131能够通过在Y轴和在X轴运动对靶材上的各个区域进行矫正，从而使本该废弃的靶材再次被重新利用，避免了资源浪费。

可以理解的，以上实施例仅表达了本实用新型的优选实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制；应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，可以对上述技术特点进行自由组合，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围；因此，凡跟本实用新型权利要求范围所做的等同变换与修饰，均应属于本实用新型权利要求的涵盖范围。

Claims (10)

1.一种靶材平坦度矫正设备，其特征在于，包括基台(11)、安装在所述基台(11)上检测靶材平坦度的检测装置(12)以及设置在所述基台(11)上对经检测装置(12)检测后的靶材进行平坦度矫正的矫正装置(13)。

2.根据权利要求1所述的靶材平坦度矫正设备，其特征在于，所述矫正装置(13)包括安装在所述基台(11)上的至少一个矫正压头(131)、安装在所述基台(11)上供所述矫正压头(131)沿Y轴方向和X轴方向做往复运动的导向组件(132)、安装在所述基台(11)上带动所述矫正压头(131)在所述导向组件(132)上沿Y轴方向做往复运动的传动装置(133)、与所述传动装置(133)连接驱动所述传动装置(133)传动的驱动机构(134)以及安装在所述基台(11)上且与所述矫正压头(131)连接带动所述矫正压头(131)在所述导向组件(132)上沿X轴方向做反复运动的动力元件(135)。

3.根据权利要求2所述的靶材平坦度矫正设备，其特征在于，所述导向组件(132)包括设置在所述基台(11)上供所述矫正压头(131)沿X轴方向做往复运动的第一导向组件以及设置在所述基台(11)上供所述矫正压头(131)沿Y轴方向做往复运动的第二导向组件。

4.根据权利要求3所述的靶材平坦度矫正设备，其特征在于，所述第一导向组件上方设有由所述动力元件(135)带动在所述第一导向组件上做往复运动的第一安装板(136)；所述第二导向组件上设有安装所述矫正压头(131)的第二安装板(137)。

5.根据权利要求4所述的靶材平坦度矫正设备，其特征在于，所述第一导向组件包括设置在所述基台(11)上的第一导轨(1321)以及套设在所述第一导轨(1321)上与所述第一安装板(136)连接带动所述第一安装板(136)在所述第一导轨(1321)上往复运动的第一滑块(1322)；所述第一滑块(1322)设置在所述第一安装板(136)底部且与所述第一安装板(136)固定连接。

6.根据权利要求5所述的靶材平坦度矫正设备，其特征在于，所述第二导向组件设置在所述第一安装板(136)上；所述第二导向组件包括设置在所述第一安装板(136)上的第二导轨(1323)以及套设在所述第二导轨(1323)上且与所述第二安装板(137)固定连接的第二滑块(1324)。

7.根据权利要求6所述的靶材平坦度矫正设备，其特征在于，所述矫正装置(13)还包括设置在所述第二安装板(137)上带动所述矫正压头(131)升降的升降气缸(138)、以及与所述升降气缸(138)和所述矫正压头(131)连接且可调节的连接杆(139)；所述连接杆(139)的一端通过设置旋转机构(140)与所述矫正压头(131)活动连接。

8.根据权利要求7所述的靶材平坦度矫正设备，其特征在于，所述动力元件(135)为伸缩气缸；所述伸缩气缸与所述第一导轨(1321)平行设置且与所述第一安装板(136)连接带动所述第一安装板(136)在所述第一导轨(1321)上做往复运动；

所述传动装置(133)包括设置在所述第一安装板(136)上与所述驱动机构(134)连接由所述驱动机构(134)驱动的丝杆；所述丝杆与所述检测装置(12)连接带动所述检测装置(12)在所述第二导轨(1323)上做往复运动。

9.根据权利要求4所述的靶材平坦度矫正设备，其特征在于，所述驱动机构(134)为电机，所述电机安装在所述第一安装板(136)上。

10.根据权利要求1所述的靶材平坦度矫正设备，其特征在于，所述检测装置(12)包括红外检测探头、以及超声波检测探头。