CN207158332U - 伸缩式花篮取片上片装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种伸缩式花篮取片上片装置，推片机构包括水平驱动气缸、水平推杆和推块；出片机构包括花篮固定座，固定座上设有定位夹具；缓存机构包括缓存盒和升降系统缓存盒中部设有与花篮数量和槽间距相同的插片槽；伸缩输送带机构包括输送带、输送带侧板、水平伸缩板、水平驱动移动气缸和滑座；输送带运输起始端位于缓存盒的插片部下方，其安装于输送带侧板上；输送带运输末端安装于水平伸缩板上；水平伸缩板设置于两侧输送带侧板之间，水平驱动移动气缸与水平伸缩板连接，并驱动其在滑座上沿X轴进行伸缩动作。本实用新型可实现不同花篮之间硅片的高效取片和上片，转片速度快，碎片率低，可大幅提高工作效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及机涉及导片装置，具体涉及一种伸缩式花篮取片上片装置，属于硅片生产自动化设备技术领域。
背景技术
硅片花篮(硅片盒)是一种在硅片生产加工过程中用于承载硅片的载体，根据承载硅片的数量分为多种规格(如25片花篮、50片花篮、75片花篮、100片花篮等)。在实际生产过程中，常常需要将硅片从一个花篮取出后再转移到另一种规格的花篮里，现有手段是采用手工下片和上片的方式，但是硅片材质薄、脆、极易损坏，导致碎片率高，费时费力，工作效率低。因此，需要设计一款自动化程度高的取片上片机构来实现不同规格花篮间的硅片的高效转移。
实用新型内容
针对上述现有技术存在的上述缺陷，申请人进行研究及改进，提供一种伸缩式花篮取片上片装置，该装置可实现不同花篮之间硅片的高效取片和上片，转片速度快，碎片率低，可大幅提高工作效率。
为实现上述目的，本实用新型采用如下方案：
伸缩式花篮取片上片装置，按照硅片转移方向包括沿X轴依次设置的推片机构、出片机构、缓存机构、伸缩输送带机构；
所述推片机构包括水平驱动气缸、水平推杆和推块；
所述出片机构包括花篮固定座，所述固定座上设有定位夹具；
所述缓存机构包括缓存盒和升降系统，所述缓存盒中部设有与花篮数量和槽间距相同的插片槽，所述升降系统用于控制和驱动所述缓存盒进行Y轴方向的升降动作；
所述伸缩输送带机构包括输送带、输送带侧板、水平伸缩板、水平驱动移动气缸和滑座；所述输送带运输起始端位于所述缓存盒的插片部下方，其通过输送带轮安装于所述输送带侧板上；所述输送带运输末端通过输送带轮安装于所述水平伸缩板上；所述水平伸缩板设置于两侧所述输送带侧板之间，所述水平驱动移动气缸与所述水平伸缩板连接，并驱动其在所述滑座上沿X轴进行伸缩动作。
作为优选，所述推块沿Y轴方向上的高度大于花篮中插片部的总高度。
作为优选，所述定位夹具包括定位底座以及位于所述定位底座上的左右限位块。
作为优选，所述输送带运输起始端贯穿所述缓存盒。
作为优选，所述升降系统包括伺服电机和丝杠模组。
作为优选，所述花篮固定座下方设有到位传感器和防反传感器。
作为优选，所述输送带侧板设置于所述滑座上方，所述水平驱动移动气缸设置于所述滑座下方，所述滑座固定于安装底座上。更优选地，所述安装底座上设有所述水平驱动移动气缸的限位件。
作为优选，所述输送带旁侧设有到位传感器，用于检测硅片运输位置并指示所述水平伸缩板进行伸缩动作。
作为优选，所述装置还包括PLC控制器，用以控制装置运行状态和运行参数。
具体地，两侧所述输送带共用一台伺服电机。
本实用新型的技术效果在于：
本实用新型采用水平驱动气缸驱动推块进行一次性推片，在待取片和待上片花篮之间设置可升降缓存盒作为硅片的中转和过渡；采用伸缩式输送带，其输送起始端可配合缓存盒的升降动作将硅片一层一层取出，同时通过水平伸缩板的伸长作用，可直接到达或伸入待上片花篮的插片部进行高效插片，插片完毕后再缩回归位，从而实现了不同花篮之间硅片的自动化转移，可根据实际情况定制缓冲盒，花篮兼容性好，转片速度快，碎片率低，大幅提高了工作效率，可实现无人值守。
附图说明
图1为本实施例伸缩式花篮取片上片装置的立体结构示意图一(示出输送带伸出部分)。
图2为本实施例伸缩式花篮取片上片装置的立体结构示意图二(示出输送带伸出部分)。
图3为本实施例伸缩式花篮取片上片装置的正视结构示意图。
图中：1、水平驱动气缸；2、水平推杆；3、推块；4、保护罩；5、定位底座；6、左右限位块；7、到位传感器；8、防反传感器；9、缓存盒；10、升降支架；11、伺服电机；12、丝杠模组；13、输送带；14、输送带侧板；15、水平伸缩板；16、水平驱动移动气缸；17、滑座；18、安装底座；19、到位传感器；20、限位件。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步说明。
如图1、图2、图3所示，本实施例伸缩式花篮取片上片装置用于从花篮一(25片硅片花篮，槽间距4.76mm)向花篮二(50片硅片花篮，槽间距4.76mm)内导片，按照硅片转移方向包括沿X轴依次设置的推片机构、出片机构、缓存机构和伸缩输送带机构；推片机构包括水平驱动气缸1、三个相互平行的水平推杆2和推块3，推块3在Y轴方向上的高度大于花篮一插片部的总高度，推片机构周围设有保护罩4；出片机构包括花篮一固定座，固定座上设有定位夹具，定位夹具包括定位底座5和左右限位块6，用以直接固定花篮一，固定座下方设有到位传感器7和防反传感器8；缓存机构包括缓存盒9和升降系统，缓存盒9中部设有与花篮一数量(25个)和槽间距(4.76mm)相同的插片槽，并构成插片部，升降系统用于控制和驱动缓存盒9进行Y轴方向的升降动作，包括升降支架10、伺服电机11和丝杠模组12，缓存盒9固定(或可拆卸)设置于升降支架10上，伺服电机11驱动丝杠模组12并带动升降支架10升降，以实现缓存盒9的上下升降；伸缩输送带机构包括输送带13、输送带侧板14、水平伸缩板15、水平驱动移动气缸16和滑座17；输送带侧板14设置于滑座17上方，水平驱动移动气缸16设置于滑座17下方，滑座17固定于安装底座18上；输送带13运输起始端位于缓存盒9的插片部下方，并贯穿缓存盒9，其通过输送带轮安装于输送带侧板14上，输送带13运输末端通过输送带轮安装于水平伸缩板15；水平伸缩板15设置于两侧输送带侧板14之间，水平驱动移动气缸16与水平伸缩板15连接，并驱动其在滑座17上沿X轴进行伸缩动作。输送带13旁侧设有到位传感器19，用于检测硅片运输位置并指示水平伸缩板15进行伸缩动作；安装底座18上设有水平驱动移动气缸16的限位件20。
本实施例伸缩式花篮取片上片装置的水平驱动气缸1，伺服电机11，水平驱动移动气缸16，到位传感器7、19，防反传感器8联锁，以实现自动化控制。
本实施例具体工作过程原理如下：
人工将载满硅片的花篮一放置于定位底座5上由左右限位块6限位，此时花篮一的插片槽和缓存盒9的插片槽一一对应，传感器检测花篮到位并指示水平驱动气缸1驱动推块3将花篮一内硅片一次性推入缓存盒9的插片部，伺服电机11驱动丝杠模组12带动缓存盒9下降，每下降4.76mm，硅片接触输送带13运输起始端后继续运输，到位传感器19检测硅片运输到位后，指示水平驱动移动气缸16的推杆伸出，进而带动水平伸缩板15在滑座17上沿X轴向花篮二靠近，并到达或伸入花篮二的插片部，可高效将硅片送入花篮二内。硅片转移完毕，在水平驱动移动气缸16驱动下，水平伸缩板15复位。
本实用新型采用水平驱动气缸驱动推块进行一次性推片，在待取片和待装片花篮之间设置可升降缓存盒作为硅片的中转和过渡；采用伸缩式输送带，其输送起始端可配合缓存盒的升降动作将硅片一层一层取出，同时通过水平伸缩板的伸长作用，可直接到达或伸入待上片花篮的插片部进行高效插片，插片完毕后再缩回归位，从而实现了不同花篮之间硅片的自动化转移，可根据实际情况定制缓冲盒，花篮兼容性好，转片速度快，碎片率低，大幅提高了工作效率，可实现无人值守。
以上所举实施例为本实用新型的较佳实施方式，仅用来方便说明本实用新型，并非对本实用新型作任何形式上的限制，任何所属技术领域中具有通常知识者，若在不脱离本实用新型所提技术特征的范围内，利用本实用新型所揭示技术内容所作出局部改动或修饰的等效实施例，并且未脱离本实用新型的技术特征内容，均仍属于本实用新型技术特征的范围内。
Claims (10)
1.伸缩式花篮取片上片装置，其特征在于：按照硅片转移方向包括沿X轴依次设置的推片机构、出片机构、缓存机构、伸缩输送带机构；
所述推片机构包括水平驱动气缸、水平推杆和推块；
所述出片机构包括花篮固定座，所述固定座上设有定位夹具；
所述缓存机构包括缓存盒和升降系统，所述缓存盒中部设有与花篮数量和槽间距相同的插片槽，所述升降系统用于控制和驱动所述缓存盒进行Y轴方向的升降动作；
所述伸缩输送带机构包括输送带、输送带侧板、水平伸缩板、水平驱动移动气缸和滑座；所述输送带运输起始端位于所述缓存盒的插片部下方，其通过输送带轮安装于所述输送带侧板上；所述输送带运输末端通过输送带轮安装于所述水平伸缩板上；所述水平伸缩板设置于两侧所述输送带侧板之间，所述水平驱动移动气缸与所述水平伸缩板连接，并驱动其在所述滑座上沿X轴进行伸缩动作。
2.如权利要求1所述的伸缩式花篮取片上片装置，其特征在于：所述推块沿Y轴方向上的高度大于花篮中插片部的总高度。
3.如权利要求1所述的伸缩式花篮取片上片装置，其特征在于：所述定位夹具包括定位底座以及位于所述定位底座上的左右限位块。
4.如权利要求1所述的伸缩式花篮取片上片装置，其特征在于：所述输送带运输起始端贯穿所述缓存盒。
5.如权利要求1所述的伸缩式花篮取片上片装置，其特征在于：所述升降系统包括伺服电机和丝杠模组。
6.如权利要求1所述的伸缩式花篮取片上片装置，其特征在于：所述花篮固定座下方设有到位传感器和防反传感器。
7.如权利要求1所述的伸缩式花篮取片上片装置，其特征在于：所述输送带侧板设置于所述滑座上方，所述水平驱动移动气缸设置于所述滑座下方，所述滑座固定于安装底座上。
8.如权利要求7所述的伸缩式花篮取片上片装置，其特征在于：所述安装底座上设有所述水平驱动移动气缸的限位件。
9.如权利要求1所述的伸缩式花篮取片上片装置，其特征在于：所述输送带旁侧设有到位传感器，用于检测硅片运输位置并指示所述水平伸缩板进行伸缩动作。
10.如权利要求1所述的伸缩式花篮取片上片装置，其特征在于：所述装置还包括PLC控制器，用以控制装置运行状态和运行参数。
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| CN201721142055.1U CN207158332U (zh) | 2017-09-06 | 2017-09-06 | 伸缩式花篮取片上片装置 |
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| CN (1) | CN207158332U (zh) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110534468A (zh) * | 2019-08-26 | 2019-12-03 | 常州时创能源科技有限公司 | 硅片花篮的导片装置和导片方法 |
| CN111204570A (zh) * | 2020-02-26 | 2020-05-29 | 江苏森标科技有限公司 | 用于丝印生产线的硅片自动取送机构 |
| CN111300023A (zh) * | 2020-03-11 | 2020-06-19 | 苏州迈为科技股份有限公司 | 一种花篮压杆自动安装系统 |
| CN115116911A (zh) * | 2021-03-17 | 2022-09-27 | 江苏润阳光伏科技有限公司 | 一种自动化传送机构 |
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2017
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