CN204405031U

CN204405031U - 消杂光双光路光学定中仪

Info

Publication number: CN204405031U
Application number: CN201520034272.3U
Authority: CN
Inventors: 刘为森; 徐敏; 王军华
Original assignee: Fudan University
Current assignee: Fudan University
Priority date: 2015-01-19
Filing date: 2015-01-19
Publication date: 2015-06-17
Anticipated expiration: 2025-01-19

Abstract

本实用新型属于光学装配技术领域，具体涉及一种消杂光双光路光学定中仪。本实用新型由光电探测器、自准直仪、起偏器、偏振分束器、检偏器、变焦望远镜和计算机平台等组成；偏振分束器将自准直仪提供的平行光分为反射S光和透射P光；S光经过检偏器并由变焦望远镜聚焦在待测光学部件所测镜片上表面的曲率中心；P光由平面反射镜反射经过检偏器并由变焦望远镜聚焦在所测镜片下表面曲率中心；光电探测器摄取两光路中反射光的十字像，计算机平台计算所测镜片的中心偏差，根据镜片中心偏差调整镜片进行校正定中。本实用新型成本低廉，测量精度高，能对光学部件两测量面中心偏差同时测量，高效快速实现中心偏差的校正。

Description

消杂光双光路光学定中仪

技术领域

本实用新型属于光学装配技术领域，具体涉及一种能对光学系统中的同轴光学部件的中心偏差进行测量并定中校正的仪器。

背景技术

近年来精密光学系统(如光刻机物镜、航测镜头、标准望远镜等)对镜头成像质量的要求越来越高。系统装配时镜片的光轴与参考轴之间会有偏差，即中心偏差。中心偏差的存在从根本上破坏了光学设计的理论基础—共轴理论，导致成像的像散性和畸变的不对称性，从而降低了成像质量。光学定中仪是测量精密光学系统中心偏差不可缺少的测量仪器，光学定中精度是机械定中方法的100倍左右，它在光学镜片胶合、光学系统装校和检测中都起着重要作用。

目前常用的定心设备普遍采用单光路反射式测量法，这种方法需要依次测量镜片前后两个测量面，后测量面中心偏差测量值是镜片两个测量面中心偏差的合成值，需要通过求解获得后测量面的中心偏差，因此后测量面的准确度总是受前测量面测量准确度的影响，造成误差的累积效应。双光路光学定中仪可以直接测量镜片两测量面的中心偏差，从而消除了前测量面准确度对后测量面准确度的影响，解决误差累积问题。

双光路光学定中仪一个光路的光束透射待测光学部件，就会在另一个光路中形成强杂光，对这个光路的信息光产生干扰，甚至会淹没信息光。利用偏振分束器产生两个偏振方向相互垂直的线偏振光光路，并在双光路中采用检偏器正交设计可以消除杂光对信息光的干扰。两个测量光路均使用空气轴承转台的旋转轴作为参考轴，并且两个光路测量的中心偏差均在同一光电探测器中显示，相同的参考标准有利于减小中心偏测量误差。只用一个自准直仪产生双光路并用一个光电探测器实现双光路同时测量，成本低廉，并提高了定中效率。

光学系统镜片装配时，圆度仪检测待测光学部件的复位情况，操作复杂，复位效率低下。光学系统第一片镜片定中后，用双光路定中仪定中装配后续镜片时可以通过下光路实现待测光学部件的快速检测并迅速复位，提高了整体定中效率。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种制作成本低，测量精度高，并能对光学部件两测量面中心偏差同时进行测量，从而快速地实现中心偏差校正的光学定中仪。

本实用新型提供的光学定中仪，其结构如图1所示，由光电探测器1、自准直仪2、起偏器3、偏振分束器4、三个平面反射镜5、13、14，三个检偏器6、7、8，两个近距离变焦望远镜9、10，空气轴承转台12、圆度仪15、计算机平台16组成；所述自准直仪用于提供携带十字像信号的平行光，至起偏器3产生线偏振光，并由偏振分束器4产生偏振方向相互垂直的S光和P光；S光经过第一检偏器6、第二检偏器7并由第二近距离变焦望远镜10聚焦在固定在空气轴承转台12上的待测光学部件11所测镜片上表面的曲率中心；P光由第一平面反射镜5反射经过第三检偏器8并由第一近距离变焦望远镜9聚焦在所测镜片下表面曲率中心；S光和P光由所测镜片上下表面反射，并由光电探测器1摄取反射光的十字像信号，计算机平台16计算分析所测镜片的中心偏差，根据镜片中心偏差调整镜片进行校正定中；圆度仪15用于检测待测光学部件11的镜筒与空气轴承转台12的同轴性。

本实用新型中，所述光电探测器1可以为CCD、CMOS或其它光电探测器。所述光电探测器可以同时摄取反射S光和透射P光的十字像信号，在同一坐标系中同时测量所测镜片上下表面的中心偏差，提高中心偏差测量精度。

本实用新型中，旋转起偏器3可以为偏振片、尼科耳棱镜等。所述起偏器可以将自然光变为线偏振光，通过旋转该起偏器可以改变反射S光和透射P光的光强比。

本实用新型中，偏振分束器4将一束线偏振光分为偏振方向相互垂直的反射S光和透射P光。偏振分束器4的原理图如图2所示，光束A从偏振分束器M1端面垂直入射，经过偏振分束面M2分束后，P光从端面M3垂直出射，S光从端面M4垂直出射，P光和S光为偏振方向相互垂直的线偏振光。

本实用新型中，所述检偏器为偏振片。反射S光和透射P光光路的检偏器正交，且上述检偏器透振方向分别与S光和P光偏振方向相同。通过待测光学部件的反射S光不能通过透射P光光路中的检偏器，同理通过待测光学部件的反射P光也不能通过透射S光光路中的检偏器，从而消除了杂光对信息光的干扰。具体而言，第一检偏器6透振方向与偏振分束器4的M4端面出射的S光偏振方向相同，第二检偏器7可以改变S光的光强，第二检偏器7和第一检偏器6透振方向平行时S光光强最大，正交时S光光强最小；通过第二旋转检偏器7分辨光电探测器1中两十字像信号与镜片两测量面曲率中心的对应情况。第一检偏器6和第三检偏器8正交，因此通过待测部件11的S光不能通过第三检偏器8；同理通过待测部件11的P光也不能通过第一检偏器6，从而消除了杂光对信息光的干扰。

本实用新型中，旋转所述近距离变焦望远镜可以改变其焦距，从而将反射S光和透射P光聚焦在待测光学部件的测量表面的曲率中心。所述两个近距离变焦望远镜结构如图3所示，结构a中正透镜，L1、L2共光轴，F1、F2分别为L1、L2的焦点位置，H1为透镜L1、L2沿光轴的距离，当焦点位置F1、F2相互重合时，平行光入射近距离变焦望远镜3出射光也为平行光。改变距离H1可改变出射光束的汇聚点，即可以改变近距离变焦望远镜的焦距。同理结构b中，L7为负透镜，改变距离H2也可以改变近距离变焦望远镜的焦距。旋转所述近距离变焦望远镜可以改变其焦距，从而将反射S光和透射P光聚焦在测量面的曲率中心。

本实用新型中，待测光学部件11由镜筒和镜片组成，圆度仪15检测待测光学部件11镜筒与空气轴承转台12的同轴性，并在计算机平台16显示。

本实用新型中，所述空气轴承转台12有通光孔，并有调平调心载物台，载物台用于固定待测光学部件11。

本实用新型中，所述计算机平台用于分析光电探测器十字像信号，计算待测光学部件所测表面的中心偏差和处理圆度仪检测结果。

本实用新型中，反射S光和透射P光均使用空气轴承转台12旋转轴作为参考轴，减少了中心偏测量误差。

本实用新型中，只需一个自准直仪2即可提供两个光路的光束，降低了成本。

本实用新型中，只需一个光电探测器1可以同时显示S光和P光的信息，信息处理不需要坐标转换减少了测量误差，降低了成本。

本实用新型中，空气轴承转台12的旋转轴作为S光和P光共同参考轴，共参考轴减少了数据处理时的传递误差，可以消除强杂光的干扰。

本实用新型提供的消杂光双光路光学定中仪，能对光学部件两测量面中心偏差同时检测，提高了检测定中效率。

本实用新型提供的消杂光双光路光学定中仪，能对光学部件两测量面中心偏差同时检测，解决了单光路定中仪测量时误差累积问题，提高了中心偏差测量精度。

本实用新型装配含多个镜片的光学部件时，可以用P光检测并实现待测光学部件11的快速复位，代替圆度仪15检测待测光学部件11的复位情况，降低了操作难度，提高了检测效率。

附图说明

图1为消杂光双光路光学定中仪的结构图。

图2为偏振分束器4的原理图。

图3为近距离变焦望远镜9、10的结构图。

图4为待测光学部件11的一种结构图。

图中标号：1为光电探测器；2为自准直仪；3为起偏器；4为偏振分束器；5、13、14为平面反射镜；6、7、8为检偏器；9、10为近距离变焦望远镜；11为待测光学部件；12为空气轴承转台；15为圆度仪；16计算机平台；M1、M3、M4为偏振分束器4的三个端面；M2为偏振分束器4的偏振分束面；L1、L2、L3为正透镜；L4为负透镜；F1、F2、F3、F4分别为L1、L2、L3、L4的焦点位置；H1为镜片L1、L2沿光轴的距离；H2为镜片L3、L4沿光轴的距离；K1、K2为镜片；E为镜筒；O1、O2为镜片K1上下表面的曲率中心；O4、O3为镜片K2上下表面的曲率中心；D1为O1、O2的连线；D2为O3、O4的连线；D3为镜筒E的旋转对称轴。

具体实施方式

为使本领域的技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式进行详细描述。

图4为待测光学部件11的一种结构，由镜筒E和镜片K1、K2组成，其中O1、O2为镜片K1上下表面的曲率中心，O3、O4为镜片K2上下表面的曲率中心，D1为O1、O2的连线即镜片K1的光轴，D2为O3、O4的连线即镜片K2的光轴，D3为镜筒E的旋转对称轴。具体步骤如下：

1）将待测光学部件11固定在空气轴承转台12上，旋转空气轴承转台12并用圆度仪15检测待测光学部件11的镜筒与空气轴承转台12的同轴性；

2）微调待测光学部件11的位置，使待测光学部件11的镜筒与空气轴承转台12的同轴性逐渐收敛至所允许的容差；

3）调节近距离变焦望远镜10使S光聚焦在镜片K2上表面的曲率中心O4, 调节近距离变焦望远镜9使P光聚焦在镜片K2下表面的曲率中心O3；

4）由计算机平台16观察由光电探测器1摄取的十字像，旋转起偏器3调节两个十字像的亮度至合适的亮度，旋转检偏器7调节S光形成的十字像亮度，确定两十字像与曲率中心O3、O4的对应关系；

5）通过计算机平台16计算出镜片K2的倾斜量与偏移量，根据倾斜量与偏移量微调镜片K2；

6）通过重复步骤1-5循环测量直至旋转空气轴承时两十字像不动为止；

7）定中镜片K1时，检测待测光学部件11的镜筒与空气轴承转台12的同轴性不需要用圆度仪15检测，直接用定中仪S光检测镜片K2的同心性，快速复位待测光学部件11；

8）调节近距离变焦望远镜10使S光聚焦在镜片K1上表面的曲率中心O4, 调节近距离变焦望远镜9使P光聚焦在镜片K1下表面的曲率中心O3；

9）由计算机平台16观察由光电探测器1摄取的十字像，旋转起偏器3调节两个十字像的亮度至合适的亮度，旋转检偏器7调节S光所形成的十字像亮度，确定两十字像与曲率中心O1、O2的对应关系；

10）通过计算机平台16计算出镜片K1像的倾斜量与偏移量，根据倾斜量与偏移量微调镜片K1；

11）通过重复步骤7-10循环测量直至旋转空气轴承时两十字像不动为止。

Claims

1.一种消杂光双光路光学定中仪，其特征在于由光电探测器（1）、自准直仪（2）、起偏器（3）、偏振分束器（4）、三个平面反射镜（5、13、14）、三个检偏器（6、7、8）、两个近距离变焦望远镜（9、10）、空气轴承转台（12）、圆度仪（15）、计算机平台（16）组成；所述自准直仪用于提供携带十字像信号的平行光，至起偏器（3）产生线偏振光，并由偏振分束器（4）产生偏振方向相互垂直的S光和P光；S光经过第一检偏器（6）、第二检偏器（7）并由第二近距离变焦望远镜（10）聚焦在固定在空气轴承转台（12）上的待测光学部件（11）所测镜片上表面的曲率中心；P光由第一平面反射镜（5）反射经过第三检偏器（8）并由第一近距离变焦望远镜（9）聚焦在所测镜片下表面曲率中心；S光和P光由所测镜片上下表面反射，并由光电探测器（1）摄取反射光的十字像信号，计算机平台（16）计算分析所测镜片的中心偏差，根据镜片中心偏差调整镜片进行校正定中；圆度仪（15）用于检测待测光学部件（11）的镜筒与空气轴承转台（12）的同轴性。

2.根据权利要求1所述的消杂光双光路光学定中仪，其特征在于所述光电探测器为CCD、CMOS或其它光电探测器。

3.根据权利要求1所述的消杂光双光路光学定中仪，其特征在于所述起偏器为偏振片或尼科耳棱镜；所述起偏器将自然光变为线偏振光，通过旋转该起偏器改变反射S光和透射P光的光强比。

4.根据权利要求1所述的消杂光双光路光学定中仪，其特征在于所述检偏器为偏振片；反射S光和透射P光光路的检偏器正交，且上述检偏器透振方向分别与S光和P光偏振方向相同；通过待测光学部件的反射S光不能通过透射P光光路中的检偏器，同理通过待测光学部件的反射P光也不能通过透射S光光路中的检偏器。

5.根据权利要求1所述的消杂光双光路光学定中仪，其特征在于所述空气轴承转台有通光孔，并有调平调心载物台，载物台用于固定待测光学部件。

6.根据权利要求1所述的消杂光双光路光学定中仪，其特征在于所述计算机平台用于分析光电探测器十字像信号，计算待测光学部件所测表面的中心偏差和处理圆度仪检测结果。

7.根据权利要求1所述的消杂光双光路光学定中仪，其特征在于反射S光和透射P光均使用空气轴承转台旋转轴作为参考轴。