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CN204339798U - 机械手臂 - Google Patents

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Publication number
CN204339798U
CN204339798U CN201420733713.4U CN201420733713U CN204339798U CN 204339798 U CN204339798 U CN 204339798U CN 201420733713 U CN201420733713 U CN 201420733713U CN 204339798 U CN204339798 U CN 204339798U
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CN
China
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mechanical arm
plate
arm
arm body
suction
Prior art date
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Expired - Fee Related
Application number
CN201420733713.4U
Other languages
English (en)
Inventor
张添登
许睿谋
陈鹏飞
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Chroma ATE Suzhou Co Ltd
Original Assignee
Chroma ATE Suzhou Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Chroma ATE Suzhou Co Ltd filed Critical Chroma ATE Suzhou Co Ltd
Priority to CN201420733713.4U priority Critical patent/CN204339798U/zh
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Abstract

本实用新型公开一种机械手臂,包含一臂体和一吸取头,臂体的内部具有一抽气流道,抽气流道贯穿臂体而于臂体的相对两端部分别形成一第一开孔和一第二开孔,吸取头设置于臂体,并且具有连通第一开孔的一吸取孔。本新型的机械手臂无需于机械手臂外部额外装设抽气管,有助于避免因抽气管干扰机械手臂而不利于顺畅地拿取工作件。

Description

机械手臂
技术领域
本实用新型涉及一种机械手臂,更具体地说,是一种具有抽气流道的机械手臂。
背景技术
为了减少污染及提高产量,半导体产业常利用一个或多个机械手臂搬运工作件,例如硅晶圆或其它电子芯片,藉此以便进行后续的加工或是电性测试。
目前机械手臂通常搭配抽气装置以及设置于机械手臂的橡胶吸盘,以利用真空吸附来拿取工作件。然而,抽气装置必须藉由装设一抽气管于机械手臂上而连接于橡胶吸盘,使得机械手臂在移动过程中易被抽气管干扰而不利于顺畅地拿取工作件。
实用新型内容
鉴于以上的问题,本新型公开一种具有抽气流道的机械手臂,其目的在于有助于改善抽气管干扰机械手臂移动的问题。
本新型公开一种机械手臂,包含一臂体和一吸取头,臂体的内部具有一抽气流道。抽气流道贯穿臂体而于臂体的相对两端部分别形成一第一开孔和一第二开孔,吸取头设置于臂体,并且具有连通第一开孔的一吸取孔。
本新型公开的机械手臂中,抽气流道位于臂体的内部。抽气流道贯穿臂体而于臂体的相对两端部分别形成一第一开孔和一第二开孔。藉此,可无需于机械手臂外部额外装设抽气管,有助于避免因抽气管干扰机械手臂而不利于顺畅地拿取工作件。
以上的关于本新型内容的说明及以下的实施方式的说明是用以示范与解释本新型的原理,并且提供对本新型的权利要求书更进一步的解释。
附图说明
图1为根据本新型一实施例的机械手臂的立体示意图。
图2为根据本新型一实施例的机械手臂的上视示意图。
图3为根据本新型一实施例的机械手臂沿图2中线段3-3的剖切示意图。
图4为根据本新型一实施例的机械手臂拿取一工作件的立体示意图。
图5为根据本新型一实施例的机械手臂拿取一工作件的剖切示意图。
符号说明
1 机械手臂
10 臂体
110 板件
111 第一端部
112 第二端部
113 顶面
114 底面
120 凸肋
121 抽气流道
121a 第一开孔
121b 第二开孔
20 吸取头
210 吸取孔
2 工作件
D 长边方向
具体实施方式
以下在实施方式中详细叙述本新型的详细特征以及优点,其内容足以使任何熟习相关技艺者了解本新型的技术内容并据以实施,且根据本说明书所公开的内容、权利要求书及说明书附图,任何熟习相关技艺者可轻易地理解本新型相关的目的及优点。以下的实施例进一步详细说明本新型的观点,但非以任何观点限制本新型的范畴。
请同时参照图1、图2和图3。图1为根据本新型一实施例的机械手臂的立体示意图。图2为根据本新型一实施例的机械手臂的上视示意图。图3为根据本新型一实施例的机械手臂沿图2中线段3-3的剖切示意图。
在本实施例中,一机械手臂1包含一臂体10和一吸取头20。
臂体10的材质例如为铝合金,其包含相固定的一板件110和一凸肋120。板件110具有相对的一第一端部111和一第二端部112。凸肋120竖立于板件110,并自板件110的第一端部111延伸至第二端部112。更进一步而言,板件110具有相对的一顶面113和一底面114,且凸肋120位于顶面113。凸肋120内部具有一抽气流道121。抽气流道121沿着凸肋120的长边方向D(即为凸肋120的延伸方向(如图2所示)贯穿凸肋120而于板件110的第一端部111形成一第一开孔121a,以及于凸肋120邻近于板件110的第二端部112的一端形成一第二开孔121b(如图3所示)。
在本实施例中,第一开孔121a形成于板件110,且第二开孔121b形成于凸肋120,但本新型并不以此为限。在其它实施例中,第一开孔121a也可以是形成于凸肋120,且第二开孔121b也可以是形成于板件110。换句话说,第一开孔121a和第二开孔121b位于臂体10的位置并非用以限制本实用新型。
吸取头20设置于臂体10。详细来说,吸取头20设置于臂体10的板件110的第一端部111,吸取头20具有连通第一开孔121a的一吸取孔210,且吸取孔210与板件110的底面114朝向同一方向。
此外,臂体10的板件110可为一三角形金属板。如图2所示,板件110的宽度自第二端部112朝向第一端部111的方向逐渐缩小。也就是说,板件110较靠近第一端部111处的宽度小于板件110较靠近第二端部112处的宽度。藉此,有助于使机械手臂1的重心偏向板件110的第二端部112,以减低机械手臂1于的旋转惯性距,以提升机械手臂1旋转移动时的稳定性。
另外,板件110可具有贯穿顶面113及底面114的多个第一穿孔115和多个第二穿孔116。第一穿孔115和第二穿孔116分别位于凸肋120的相对二侧,而令凸肋120介于第一穿孔115和第二穿孔116之间。藉此,有助于减轻机械手臂1的重量,使机械手臂1更适用于搬运硅晶圆或电子芯片等较精密的工作件。
更进一步地,第一穿孔和第二穿孔的尺寸和排列方式可以进一步设计以调整机械手臂的重量分布。如图1至图3所示,在本实施例中,第一穿孔115和第二穿孔116分别沿凸肋120的长边方向D排列。这些第一穿孔115的至少其二的孔径相异,且这些第二穿孔116的至少其二的孔径相异。更进一步而言,这些第一穿孔115和这些第二穿孔116的孔径皆自板件110的第二端部112朝向第一端部111的方向逐渐缩小。藉此,机械手臂1的重量分布较为适当,有助于提升机械手臂1在移动中的稳定度。
在本实施例中,第一穿孔115和第二穿孔116的数量为多个,但本实用新型并不以此为限。在其它实施例中,第一穿孔115和第二穿孔116的数量可各为一。又或者,在其它实施例中,板件110可仅具有一穿孔。
以下说明机械手臂的使用方式。请参照图4和图5。图4为根据本新型一实施例的机械手臂拿取一工作件的立体示意图。图5为根据本新型一实施例的机械手臂拿取一工作件的剖切示意图。
在本实施例中,位于凸肋120的第二开孔121b可连通一抽气装置(例如为一真空帮补,未绘示)。吸取头20和板件110的底面114皆面向一工作件2(例如为一电子芯片),而臂体10的凸肋120和板件110的顶面113则皆背对工作件2。将吸取头20抵靠工作件2并且驱动抽气装置,使空气自吸取头20的吸取孔210依序通过第一开孔121a、抽气流道121和第二开孔121b而至抽气装置,进而令抽气流道121内部成为真空状态而能透过吸取头20吸取工作件2。
综上所述,本实用新型公开的机械手臂中,抽气流道位于臂体的凸肋内部,且凸肋自板件的第一端部延伸至第二端部。抽气流道沿着凸肋的长边方向(凸肋的延伸方向)贯穿凸肋,而于板件和凸肋分别形成第一开孔和第二开孔。藉此,可无需于机械手臂外部额外装设抽气管,有助于避免因抽气管干扰机械手臂而不利于顺畅地拿取工作件。
此外,臂体的板件具有多个第一穿孔和多个第二穿孔。藉此,有助于减轻机械手臂的重量,使机械手臂更适用于搬运硅晶圆或电子芯片等较精密的工作件。
另外,由于凸肋设置于臂体的板件的顶面,而吸取头的吸取孔则与板件的底面朝同一方向。如此,当使用机械手臂拿取工作件时,吸取头的吸取孔是面向工作件,而凸肋则背对工作件。藉此,有助于防止机械手臂在旋转移动的过程中,因凸肋扰动空气所产生的风压而令工作件产生晃动或是偏移。
虽然本实用新型以前述的较佳实施例公开如上,然其并非用以限定本实用新型,任何熟习相像技艺者,在不脱离本实用新型的精神和范围内,当可作些许的更动与润饰,因此本实用新型的专利保护范围须视本说明书所附的权利要求书所界定的为准。

Claims (10)

1.一种机械手臂,其特征在于,包含:
一臂体,内部具有一抽气流道,该抽气流道贯穿该臂体而于该臂体的相对两端部分别形成一第一开孔和一第二开孔;以及
一吸取头,设置于该臂体,并且具有连通该第一开孔的一吸取孔。
2.如权利要求1所述的机械手臂,其特征在于,其中该臂体包含相固定的一板件和一凸肋,该板件具有相对的一第一端部和一第二端部,该吸取头位于该第一端部,该凸肋竖立于该板件上,并自该板件的该第一端部延伸至该第二端部,且该抽气流道沿着该凸肋的长边方向贯穿该凸肋。
3.如权利要求2所述的机械手臂,其特征在于,其中该板件具有相对的一顶面和一底面,该吸取头的该吸取孔与该底面朝同一方向,且该凸肋位于该顶面。
4.如权利要求2所述的机械手臂,其特征在于,其中该板件具有相对的一顶面和一底面,该板件具有贯穿该顶面及该底面的至少一穿孔。
5.如权利要求2所述的机械手臂,其特征在于,其中该板件具有相对的一顶面和一底面,该板件具有贯穿该顶面及该底面的的多个第一穿孔和多个第二穿孔,该多个第一穿孔和该多个第二穿孔分别位于该凸肋的相对二侧。
6.如权利要求5所述的机械手臂,其特征在于,其中该多个第一穿孔的其二的孔径相异,且该多个第二穿孔的其二的孔径相异。
7.如权利要求6所述的机械手臂,其特征在于,其中该多个第一穿孔和该多个第二穿孔的孔径是由该板件的该第二端部朝向该第一端部的方向逐渐缩小。
8.如权利要求5所述的机械手臂,其特征在于,其中该多个第一穿孔和该多个第二穿孔是分别沿该凸肋的长边方向排列。
9.如权利要求2所述的机械手臂,其特征在于,其中该板件的宽度是由该第二端部朝向该第一端部的方向逐渐缩小。
10.如权利要求1所述的机械手臂,其特征在于,其中该臂体的材质包含铝。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106313098A (zh) * 2015-06-23 2017-01-11 致茂电子(苏州)有限公司 铰炼模块及具有此铰炼模块的机械手臂

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