CN204195531U - 一种冷却装置抛光液 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种冷却装置抛光液，冷却桶，所述冷却桶为双层结构，所述双层之间留有空隙，所述冷却桶内部设有冷却金属软管，所述冷却桶侧面安装有磁力泵，T型三通球阀与所述磁力泵连通，所述T型三通球阀上接口与过滤器连接，所述T型三通球阀侧面安装有抛光液回管，所述抛光液回管前端位于所述冷却桶上方。本实用新型的有益效果为：结构简单，操作方便，布局紧凑，易于实施，对抛光液的冷却效果显著等诸多优点。

Description

一种冷却装置抛光液

技术领域

本实用新型涉及一种冷却装置抛光液。

背景技术

目前在抛光过程中采用的抛光液是分别加入了纳米级磨料的酸性或碱性的化学液体。在化学反应过程中具有热了的释放，从而造成温度的上升，而温度又是影响反应速度的关键因素。在机械作用后将反应物及时的去除，达到反应速度和机械去除的合理，不能出现去除不彻底或是过量的机械作用造成晶圆划伤现象的发生。所以抛光过程中的温度控制是非常重要的。

现有的抛光液冷却桶，结构复杂，操作不方便，冷却效果不明显，导致抛光液的温差较大，容易造成晶圆的划伤现象出现。因此需要一种操作简单，温控性能可靠的抛光液冷却装置抛光液。

实用新型内容

针对上述问题中存在的不足之处，本实用新型提供一种冷却装置抛光液。

为实现上述目的，本实用新型提供一种冷却装置抛光液，冷却桶，所述冷却桶为双层结构，所述双层之间留有空隙，所述冷却桶内部设有冷却金属软管，所述冷却桶侧面安装有磁力泵，T型三通球阀与所述磁力泵连通，所述T型三通球阀上接口与过滤器连接，所述T型三通球阀侧面安装有抛光液回管，所述抛光液回管前端位于所述冷却桶上方。

作为本实用新型进一步改进，所述冷却金属软管后端安装有进水管，所述进水管前端与所述冷却桶外层下部连通，所述金属软管前端安装有出水管，所述出水管前端与所述冷却桶外层上部连通。

作为本实用新型优选的，所述冷却金属软管与所述进水管、以及所述出水管为刚性连接或螺纹连接。

本实用新型的有益效果为：结构简单，操作方便，布局紧凑，易于实施，对抛光液的冷却效果显著等诸多优点。

附图说明

图1为本实用新型一种冷却装置抛光液的结构示意图。

图中：1、冷却桶；2、冷却金属软管；3、磁力泵；4、T型三通球阀；5、过滤器；6、抛光液回管；7、进水管；8、出水管。

具体实施方式

如图1所示，本实用新型实施例所述的一种冷却装置抛光液，冷却桶1，所述冷却桶1为双层结构，所述双层之间留有空隙，所述冷却桶1内部设有冷却金属软管2，所述冷却桶1侧面安装有磁力泵3，T型三通球阀4与所述磁力泵3连通，所述T型三通球阀4上接口与过滤器5连接，所述T型三通球阀4侧面安装有抛光液回管6，所述抛光液回管6前端位于所述冷却桶1上方。所述冷却金属软管2后端安装有进水管7，所述进水管7前端与所述冷却桶1外层下部连通，所述金属软管2前端安装有出水管8，所述出水管8前端与所述冷却桶1外层上部连通，所述冷却金属软管2与所述进水管7、以及所述出水管8为刚性连接或螺纹连接。

具体使用时：冷却水通过管路通过冷却桶和冷却金属软管形成一个循环的冷却回路，抛光液置于冷却桶中，由冷却桶和冷却金属软管对其进行热交换，磁力泵抛光液对抛光液提供压力，使其通过T型三通球阀，然后分成两路，一路经过过滤器输入至抛光机中使用，另外一路流回冷却桶，此回路是可以对T型三通球阀进行调节来控制机器所需要的抛光液流量。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (3)

1.一种冷却装置抛光液，其特征在于，包括：

冷却桶(1)，所述冷却桶(1)为双层结构，所述双层之间留有空隙，所述冷却桶(1)内部设有冷却金属软管(2)，所述冷却桶(1)侧面安装有磁力泵(3)，T型三通球阀(4)与所述磁力泵(3)连通，所述T型三通球阀(4)上接口与过滤器(5)连接，所述T型三通球阀(4)侧面安装有抛光液回管(6)，所述抛光液回管(6)前端位于所述冷却桶(1)上方。

2.根据权利要求1所述的冷却装置抛光液，其特征在于：所述冷却金属软管(2)后端安装有进水管(7)，所述进水管(7)前端与所述冷却桶(1)外层下部连通，所述金属软管(2)前端安装有出水管(8)，所述出水管(8)前端与所述冷却桶(1)外层上部连通。

3.根据权利要求2所述的冷却装置抛光液，其特征在于：所述冷却金属软管(2)与所述进水管(7)、以及所述出水管(8)为刚性连接或螺纹连接。