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CN202607455U - 晶片磨边机 - Google Patents

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Publication number
CN202607455U
CN202607455U CN 201220214766 CN201220214766U CN202607455U CN 202607455 U CN202607455 U CN 202607455U CN 201220214766 CN201220214766 CN 201220214766 CN 201220214766 U CN201220214766 U CN 201220214766U CN 202607455 U CN202607455 U CN 202607455U
Authority
CN
China
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wafer
gearbox
seat
workbench
wafer suction
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
CN 201220214766
Other languages
English (en)
Inventor
吴康
殷国祥
胡文宏
黄国洪
王鸿伟
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Yunnan Langene Technology Co Ltd
Original Assignee
CRYSTALAND Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by CRYSTALAND Co Ltd filed Critical CRYSTALAND Co Ltd
Priority to CN 201220214766 priority Critical patent/CN202607455U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN202607455U publication Critical patent/CN202607455U/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

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Landscapes

  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
  • Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
  • Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)

Abstract

晶片磨边机,在机座的中部安装有机箱,上部安装有转臂,转臂的前端安装有固定套,固定套内安装升降轴,升降轴内安装转轴,转轴的下端安装有磨头,固定套的上端安装变速箱,变速箱一端安装电机,变速箱上端安装升降轴的升降手柄,转轴连接在变速箱的另一端下方,在变速箱内,转轴与电机用皮带连接,在机箱上安装工作台,机箱的侧面安装有工作台横移手轮和纵移手轮,在工作台上安装固定座,固定座上固定有真空座,在真空座侧面安装有抽气管,顶端安装晶片吸座,晶片吸座外套有晶片定位套,晶片放置在晶片吸座上,在晶片吸座外套装有防溅箱,防溅箱上端安装冲水管,下端安装排水管,采用本技术方案后,可实现晶片磨边的机械化生产。

Description

晶片磨边机
技术领域
本实用新型属于晶片加工设备技术领域,涉及一种晶片磨边机。
背景技术
在晶片加工时,先要将晶棒切割成晶片,并对晶片的边缘进行打磨。由于缺乏专用的晶片磨边机,磨边工作主要依靠手工完成,磨边过程中,操作人员手拿晶片在电动沙轮上将晶片的边缘磨圆,这种操作方式不仅工作效率低,用工量大,而且打磨出的晶片质量差,容易损坏晶片。
发明内容
本实用新型针对现有技术中缺乏专用的晶片磨边设备,晶片磨边工作由人工完成的问题,提供一种晶片磨边机,其技术方案是:一种晶片磨边机,在机座的中部安装有机箱,上部安装有转臂,转臂的前端安装有固定套,固定套内安装升降轴,升降轴内安装转轴,转轴的下端安装有磨头,固定套的上端安装变速箱,变速箱一端安装电机,变速箱上端安装升降轴的升降手柄,转轴连接在变速箱的另一端下方,在变速箱内,转轴与电机用皮带连接,在机箱上安装工作台,机箱的侧面安装有工作台横移手轮和纵移手轮,在工作台上安装固定座,固定座上固定有真空座,在真空座侧面安装有抽气管,顶端安装晶片吸座,晶片吸座外套有晶片定位套,晶片放置在晶片吸座上,在晶片吸座外套装有防溅箱,防溅箱上端安装冲水管,下端安装排水管。
采用上述技术方案,将晶片放置在晶片吸座上,用晶片定位套校准其位置,对真空座内部进行抽真空,晶片即被吸牢在晶片吸座顶端,此时可用该机的磨头对晶片的边缘进行打磨。采用本技术方案后,可实现晶片磨边的机械化生产。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图。
具体实施方式
实施例:一种晶片磨边机,在机座1的中部安装有机箱4,上部安装有转臂18,转臂18的前端安装有固定套13,固定套13内安装升降轴12,升降轴12内安装转轴11,转轴11的下端安装有磨头20,固定套13的上端安装变速箱14,变速箱14一端安装电机16,变速箱14上端安装升降轴12的升降手柄15,转轴11连接在变速箱11的另一端下方,在变速箱内,转轴11与电机16用皮带17连接,在机箱4上安装工作台5,机箱4的侧面安装有工作台横移手轮3和纵移手轮2,在工作台5上安装固定座23,固定座23上固定有真空座6,在真空座6侧面安装有抽气管22,顶端安装晶片吸座21,晶片吸座21外套有晶片定位套9,晶片10放置在晶片吸座21上,在晶片吸座21外套装有防溅箱8,防溅箱8上端安装冲水管19,下端安装排水管7。

Claims (1)

1.晶片磨边机,在机座(1)的中部安装有机箱(4),上部安装有转臂(18),转臂(18)的前端安装有固定套(13),固定套(13)内安装升降轴(12),升降轴(12)内安装转轴(11),转轴(11)的下端安装有磨头(20),固定套(13)的上端安装变速箱(14),变速箱(14)一端安装电机(16),变速箱(14)上端安装升降轴(12)的升降手柄(15),转轴(11)连接在变速箱(11)的另一端下方,在变速箱内,转轴(11)与电机(16)用皮带(17)连接,在机箱(4)上安装工作台(5),机箱(4)的侧面安装有工作台横移手轮(3)和纵移手轮(2),其特征在于:在工作台(5)上安装固定座(23),固定座(23)上固定有真空座(6),在真空座(6)侧面安装有抽气管(22),顶端安装晶片吸座(21),晶片吸座(21)外套有晶片定位套(9),晶片(10)放置在晶片吸座(21)上,在晶片吸座(21)外套装有防溅箱(8),防溅箱(8)上端安装冲水管(19),下端安装排水管(7)。
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C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
C56 Change in the name or address of the patentee
CP01 Change in the name or title of a patent holder

Address after: Beicheng town Yuxi City, Yunnan province Hongta District 653101

Patentee after: Yunnan langene Technology Co. Ltd.

Address before: Beicheng town Yuxi City, Yunnan province Hongta District 653101

Patentee before: Crystaland Co., Ltd.

CX01 Expiry of patent term

Granted publication date: 20121219

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