CN202607455U - 晶片磨边机 - Google Patents
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Abstract
晶片磨边机,在机座的中部安装有机箱,上部安装有转臂,转臂的前端安装有固定套,固定套内安装升降轴,升降轴内安装转轴,转轴的下端安装有磨头,固定套的上端安装变速箱,变速箱一端安装电机,变速箱上端安装升降轴的升降手柄,转轴连接在变速箱的另一端下方,在变速箱内,转轴与电机用皮带连接,在机箱上安装工作台,机箱的侧面安装有工作台横移手轮和纵移手轮,在工作台上安装固定座,固定座上固定有真空座,在真空座侧面安装有抽气管,顶端安装晶片吸座,晶片吸座外套有晶片定位套,晶片放置在晶片吸座上,在晶片吸座外套装有防溅箱,防溅箱上端安装冲水管,下端安装排水管,采用本技术方案后,可实现晶片磨边的机械化生产。
Description
技术领域
本实用新型属于晶片加工设备技术领域,涉及一种晶片磨边机。
背景技术
在晶片加工时,先要将晶棒切割成晶片,并对晶片的边缘进行打磨。由于缺乏专用的晶片磨边机,磨边工作主要依靠手工完成,磨边过程中,操作人员手拿晶片在电动沙轮上将晶片的边缘磨圆,这种操作方式不仅工作效率低,用工量大,而且打磨出的晶片质量差,容易损坏晶片。
发明内容
本实用新型针对现有技术中缺乏专用的晶片磨边设备,晶片磨边工作由人工完成的问题,提供一种晶片磨边机,其技术方案是:一种晶片磨边机,在机座的中部安装有机箱,上部安装有转臂,转臂的前端安装有固定套,固定套内安装升降轴,升降轴内安装转轴,转轴的下端安装有磨头,固定套的上端安装变速箱,变速箱一端安装电机,变速箱上端安装升降轴的升降手柄,转轴连接在变速箱的另一端下方,在变速箱内,转轴与电机用皮带连接,在机箱上安装工作台,机箱的侧面安装有工作台横移手轮和纵移手轮,在工作台上安装固定座,固定座上固定有真空座,在真空座侧面安装有抽气管,顶端安装晶片吸座,晶片吸座外套有晶片定位套,晶片放置在晶片吸座上,在晶片吸座外套装有防溅箱,防溅箱上端安装冲水管,下端安装排水管。
采用上述技术方案,将晶片放置在晶片吸座上,用晶片定位套校准其位置,对真空座内部进行抽真空,晶片即被吸牢在晶片吸座顶端,此时可用该机的磨头对晶片的边缘进行打磨。采用本技术方案后,可实现晶片磨边的机械化生产。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图。
具体实施方式
实施例:一种晶片磨边机,在机座1的中部安装有机箱4,上部安装有转臂18,转臂18的前端安装有固定套13,固定套13内安装升降轴12,升降轴12内安装转轴11,转轴11的下端安装有磨头20,固定套13的上端安装变速箱14,变速箱14一端安装电机16,变速箱14上端安装升降轴12的升降手柄15,转轴11连接在变速箱11的另一端下方,在变速箱内,转轴11与电机16用皮带17连接,在机箱4上安装工作台5,机箱4的侧面安装有工作台横移手轮3和纵移手轮2,在工作台5上安装固定座23,固定座23上固定有真空座6,在真空座6侧面安装有抽气管22,顶端安装晶片吸座21,晶片吸座21外套有晶片定位套9,晶片10放置在晶片吸座21上,在晶片吸座21外套装有防溅箱8,防溅箱8上端安装冲水管19,下端安装排水管7。
Claims (1)
1.晶片磨边机,在机座(1)的中部安装有机箱(4),上部安装有转臂(18),转臂(18)的前端安装有固定套(13),固定套(13)内安装升降轴(12),升降轴(12)内安装转轴(11),转轴(11)的下端安装有磨头(20),固定套(13)的上端安装变速箱(14),变速箱(14)一端安装电机(16),变速箱(14)上端安装升降轴(12)的升降手柄(15),转轴(11)连接在变速箱(11)的另一端下方,在变速箱内,转轴(11)与电机(16)用皮带(17)连接,在机箱(4)上安装工作台(5),机箱(4)的侧面安装有工作台横移手轮(3)和纵移手轮(2),其特征在于:在工作台(5)上安装固定座(23),固定座(23)上固定有真空座(6),在真空座(6)侧面安装有抽气管(22),顶端安装晶片吸座(21),晶片吸座(21)外套有晶片定位套(9),晶片(10)放置在晶片吸座(21)上,在晶片吸座(21)外套装有防溅箱(8),防溅箱(8)上端安装冲水管(19),下端安装排水管(7)。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN 201220214766 CN202607455U (zh) | 2012-05-14 | 2012-05-14 | 晶片磨边机 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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CN 201220214766 CN202607455U (zh) | 2012-05-14 | 2012-05-14 | 晶片磨边机 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN202607455U true CN202607455U (zh) | 2012-12-19 |
Family
ID=47341187
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN 201220214766 Expired - Lifetime CN202607455U (zh) | 2012-05-14 | 2012-05-14 | 晶片磨边机 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN202607455U (zh) |
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Legal Events
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C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
C56 | Change in the name or address of the patentee | ||
CP01 | Change in the name or title of a patent holder |
Address after: Beicheng town Yuxi City, Yunnan province Hongta District 653101 Patentee after: Yunnan langene Technology Co. Ltd. Address before: Beicheng town Yuxi City, Yunnan province Hongta District 653101 Patentee before: Crystaland Co., Ltd. |
|
CX01 | Expiry of patent term |
Granted publication date: 20121219 |
|
CX01 | Expiry of patent term |