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CN202428315U - 超声波清洗装置 - Google Patents

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CN202428315U
CN202428315U CN2012200126218U CN201220012621U CN202428315U CN 202428315 U CN202428315 U CN 202428315U CN 2012200126218 U CN2012200126218 U CN 2012200126218U CN 201220012621 U CN201220012621 U CN 201220012621U CN 202428315 U CN202428315 U CN 202428315U
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CN
China
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cleaning
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CN2012200126218U
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Inventor
唐晓辉
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QINGDAO ISTARWAFER TECHNOLOGY Co Ltd
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QINGDAO ISTARWAFER TECHNOLOGY Co Ltd
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Abstract

本实用新型属于清洗设备领域,特别涉及一种用于蓝宝石晶片在单面研磨、抛光过程中的超声波清洗装置。其包括超声波发生器5,清洗槽2、换能器7和斜插式清洗笼。超声波发生器5设置于清洗槽2上方,换能器7位于清洗槽2的底部,超声波发生器5与换能器7通过导线电连接,斜插式清洗笼置于所述清洗槽2内,与清洗槽2固定连接。斜插式清洗笼包括笼体4、支架3和挡脚6,支架3与笼体4底面成斜角,挡脚6垂直设置于支架3底部。其有益效果在于:提高一次清洗晶片的数量,减少设备投资成本;提高产能,提高效率,降低晶片加工成本;防止对蓝宝石晶片造成划伤、嗑边,减少晶片的耗损率。

Description

超声波清洗装置
技术领域
本实用新型属于清洗设备领域,特别涉及一种用于蓝宝石晶片在单面研磨、抛光过程中的超声波清洗装置。
背景技术
超声波清洗机原理是由超声波发生器发出的高频振荡信号,通过换能器转换成高频机械振荡而传播到介质——清洗溶剂中,超声波在清洗液中疏密相间的向前辐射,使液体流动而产生数以万计的直径为50-500μm的微小气泡,存在于液体中的微小气泡在声场的作用下振动。这些气泡在超声波纵向传播的负压区形成、生长,而在正压区,当声压达到一定值时,气泡迅速增大,然后突然闭合。并在气泡闭合时产生冲击波,在其周围产生上千个大气压,破坏不溶性污物而使他们分散于清洗液中,当团体粒子被油污裹着而黏附在清洗件表面时,油被乳化,固体粒子及脱离,从而达到清洗件净化的目的。在这种被称之为“空化”效应的过程中,气泡闭合可形成几百度的高温和超过1000个气压的瞬间高压,连续不断地产生瞬间高压就象一连串小“爆炸”不断地冲击物件表面,使物件的表面及缝隙中的污垢迅速剥落,从而达到物件表面清洗净化的目的。
目前市场上使用的超声波清洗机不管是单槽的还是多槽的,在蓝宝石晶片单面研磨和抛光过程中的清洗效率都非常低。
实用新型内容
为解决上述技术中存在的蓝宝石晶片清洗过程中效率低的问题,本实用新型提出了一种清洗效率高、晶片损耗率小的超声波清洗装置。
本实用新型的技术方案是:一种超声波清洗装置,包括超声波发生器5,清洗槽2、换能器7和斜插式清洗笼。超声波发生器5设置于清洗槽2上方,换能器7位于清洗槽2的底部,超声波发生器5与换能器7通过导线电连接,斜插式清洗笼置于所述清洗槽2内,与清洗槽2固定连接。
所述斜插式清洗笼包括笼体4、支架3和挡脚6,支架3与笼体4底面成斜角,挡脚6垂直设置于支架3底部。
放置晶片的陶瓷盘8置于斜插式清洗笼内的支架3上,蓝宝石晶片用蜡粘接在陶瓷盘8上。
所述清洗槽2内装有清洗液。
所述换能器7为磁力换能器或压电换能器。
磁力换能器,由镍或镍合金等会在变化的磁场中发生变形的材料制成。压电换能器,由锆钛酸铅或其他陶瓷制成,其原理是,将压电材料放入电压变化的电场中时,它会发生变形,这就是所谓的“压电效应”。
本实用新型的工作原理如下:超声波发生器5产生高频振荡信号,换能器7将高频振荡电能信号转换成声能信号。声能达到一定强度时,清洗液在波的膨胀阶段被推开,产生气泡;而在波的压缩阶段,这些气泡就在清洗液中瞬间爆裂或内爆,因此产生冲击力,用于清洗晶片,这个过程被称作“空化作用”。
本实用新型的有益效果在于:
1、斜插式清洗笼的倾斜支架可以放置多个陶瓷盘,提高了一次清洗晶片的数量,减少设备投资成本;
2、提高产能,提高效率,降低晶片加工成本;
3、防止对蓝宝石晶片造成划伤、嗑边,减少晶片的耗损率。
附图说明
图1是本实用新型的整体结构示意图;
图2是本实用新型中斜插式清洗笼的立体结构示意图。
其中,1、排水阀,2、清洗槽,3、支架,4、笼体,5、超声波发生器,6、挡脚,7、换能器,8、陶瓷盘。
具体实施方式
下面结合附图和实施例具体说明本实用新型。
实施例1:
参见图1和图2,本实用新型包括超声波发生器5,清洗槽2、换能器7和斜插式清洗笼。超声波发生器5设置于清洗槽2上方,换能器7位于清洗槽2的底部,超声波发生器5与换能器7通过导线电连接,斜插式清洗笼焊接于清洗槽2内。
斜插式清洗笼包括笼体4、支架3和挡脚6,支架3与笼体4底面成斜角,挡脚6垂直设置于支架3底部。
放置晶片的陶瓷盘8置于斜插式清洗笼内的支架3上,蓝宝石晶片用蜡粘接在陶瓷盘8上。
清洗槽2内装有清洗液,
换能器7为磁力换能器。
本实用新型工作时,超声波发生器5产生高频振荡信号,换能器7将高频振荡电能信号转换成声能信号。声能达到一定强度时,清洗槽2内的清洗液在波的膨胀阶段被推开,产生气泡;而在波的压缩阶段,这些气泡就在清洗液中瞬间爆裂或内爆,因此产生冲击力,进而清洗陶瓷盘8上的晶片。
实施例2:
除以下区别外,其他同实施例1。
斜插式清洗笼通过螺钉固接于清洗槽2内。
换能器7为压电换能器。

Claims (1)

1.一种超声波清洗装置,包括超声波发生器(5),清洗槽(2)和换能器(7),所述超声波发生器(5)设置于清洗槽(2)上方,换能器(7)位于清洗槽(2)的底部,超声波发生器(5)与换能器(7)通过导线电连接;其特征在于,还包括斜插式清洗笼,其包括笼体(4)、支架(3)和挡脚(6),支架(3)与笼体(4)底面成斜角,挡脚(6)垂直设置于支架(3)底部,所述斜插式清洗笼置于所述清洗槽(2)内,与清洗槽(2)固定连接。 
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Cited By (4)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103212551A (zh) * 2013-04-02 2013-07-24 苏州海铂晶体有限公司 一种用于晶片的超声波清洗装置
CN106540910A (zh) * 2016-12-09 2017-03-29 苏州爱彼光电材料有限公司 游星轮片清洗架
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103212551A (zh) * 2013-04-02 2013-07-24 苏州海铂晶体有限公司 一种用于晶片的超声波清洗装置
CN106540910A (zh) * 2016-12-09 2017-03-29 苏州爱彼光电材料有限公司 游星轮片清洗架
CN107195537A (zh) * 2017-06-30 2017-09-22 天津中环领先材料技术有限公司 一种单晶硅抛光片的清洗方法
CN107195537B (zh) * 2017-06-30 2019-12-17 天津中环领先材料技术有限公司 一种单晶硅抛光片的清洗方法
CN116269841A (zh) * 2023-05-26 2023-06-23 吉林大学第一医院 一种斜插式穿刺针清洗支架装置
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