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CN202070460U - 真空吸附旋转装置 - Google Patents

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CN202070460U
CN202070460U CN2010206904420U CN201020690442U CN202070460U CN 202070460 U CN202070460 U CN 202070460U CN 2010206904420 U CN2010206904420 U CN 2010206904420U CN 201020690442 U CN201020690442 U CN 201020690442U CN 202070460 U CN202070460 U CN 202070460U
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CN
China
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vacuum
rotating shaft
bearing
adsorption
adsorption head
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CN2010206904420U
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English (en)
Inventor
杨明生
范继良
刘惠森
谢威武
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Dongguan Anwell Digital Machinery Co Ltd
Original Assignee
Dongguan Anwell Digital Machinery Co Ltd
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Abstract

本实用新型提供一种真空吸附旋转装置,包括轴承座、轴承及旋转轴,轴承座开设有呈直线的圆形轴孔,轴孔设置有轴承安装槽,轴承安装于轴承安装槽内,轴承安装槽之间的轴孔处呈光滑面,光滑面形成密封孔,旋转轴的上端凸伸形成吸附头,吸附头的顶面呈水平结构,旋转轴的下端呈转动地穿过轴承及密封孔,旋转轴具有与密封孔呈密封接触的光滑部,自旋转轴的下端沿旋转轴的轴线开设有贯穿吸附头的顶面的真空通道,真空通道于吸附头的顶面形成吸附口,旋转轴的下端环绕旋转轴的外侧开设有与真空通道连通的真空槽,轴承座开设有与真空槽相对应的主抽真空通道,本实用新型是一种稳定性及可靠性高且能够降低摩擦、减少发热量的真空吸附旋转装置。

Description

真空吸附旋转装置
技术领域
本实用新型涉及真空喷涂技术领域,更具体地涉及一种真空吸附旋转装置。
背景技术
CD、DVD、DVD-R等光盘都是具有存储密度高、体积小、存储期限长、成本低廉以及读取数据错误率低等优点的光学信息存储介质,已经广泛的进入人们的日常工作和生活中,在光盘生产线中,经常利用旋涂装置使光盘基板按照已的旋转模式进行选择,并通过离心力使记录材料的溶液在光盘的基板整个面上展开而使剩余的溶液被甩掉,从而形成均匀厚度的记录层。
如图1所示,现有技术的真空吸附旋转装置100`,包括:光盘10`、真空通道20`、套筒30`、旋转轴40`、轴承50`、轴承座60`及密封圈70`,其密封结构采用的是密封圈70`紧抱旋转轴40`,形成密封真空管路,确保真空通道20`能够很好的对光盘10`进行抽真空,从而通过真空通道20`吸附光盘10`在工作时做旋转运动,并甩掉剩余的记录材料的溶液,从而形成均匀厚度的记录层。此方案中,由于密封圈70`采用的是塑胶密封圈,而光盘的生产线中,光盘基板的旋转速度超过6500转每分钟时,由于塑胶密封圈和旋转轴之间的摩擦产生的巨大的热量,不能及时的从真空吸附旋转装置100`中散发出外界以降低密封圈70`的温度,因此出现密封圈70`冒烟的现象,此时,密封圈70`容易被过高的温度烧坏,因此会出现漏真空现象,真空通道20`不能够很好的吸附住光盘10`,因此装置不能够再正常工作。此外,这个温度传递给光盘10`,影响其生产制作的工艺稳定性,严重的将影响光盘10`的生产工艺。
因此亟需一种稳定性及可靠性高且能够降低摩擦、减少发热量的真空吸附旋转装置。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种真空吸附旋转装置,所述真空吸附旋转装置稳定性及可靠性高且能够降低摩擦、减少发热量。
为了实现上述目的,本实用新型提供了一种真空吸附旋转装置,用于在旋转电机及抽真空设备的作用下吸附并带动光盘旋转,其包括轴承座、轴承及旋转轴,所述轴承座开设有呈直线的圆形轴孔,所述轴孔上凹陷形成至少两个间隔开的轴承安装槽,所述轴承对应安装于所述轴承安装槽内,相邻的所述轴承安装槽之间的轴孔处呈光滑面,所述光滑面形成密封孔,所述旋转轴的上端凸伸形成吸附头,所述吸附头的顶面呈水平结构,所述旋转轴的下端呈转动地穿过所述轴承及密封孔,所述旋转轴具有与所述密封孔呈密封接触的光滑部,自所述旋转轴的下端沿所述旋转轴的轴线开设有贯穿所述吸附头的顶面的真空通道,所述真空通道于所述吸附头的顶面形成吸附口,所述旋转轴的下端环绕所述旋转轴的外侧开设有与所述真空通道连通的真空槽,所述轴承座开设有与所述真空槽相对应的主抽真空通道,所述主抽真空通道与外界抽真空设备连通,所述旋转轴的下端与外界旋转电机连接。
较佳地,所述真空槽开设于距离所述吸附头最远的所述光滑部的中部处。设置在所述光滑部的中部能够使得所述真空槽的密封程度达到较佳状态。
较佳地,对应距离所述吸附头最远的所述光滑部的上、下端处的轴承座分别开设有与外界抽真空设备连通的分抽真空通道。其目的在于所述主抽真空通道若出现不能很好的抽真空的现象,所述分抽真空通道能够起到辅助所述主抽真空通道对真空通道进行抽真空。
较佳地,位于所述吸附头的顶面的吸附口相互连通形成吸附槽。形成所述吸附槽能够对光盘的吸附力更加的均匀,吸附更稳定。
较佳地,所述吸附头呈中空结构。所述吸附头呈中空结构使得减轻所述吸附头的重量,使得所述旋转轴转起来更加轻盈、稳定。
与现有技术相比,在本实用新型真空吸附旋转装置中,所述旋转轴的下端呈转动地穿过所述轴承及密封孔,所述旋转轴具有与所述密封孔呈密封接触的光滑部,自所述旋转轴的下端沿所述旋转轴的轴线开设有贯穿所述吸附头的顶面的真空通道,所述真空通道于所述吸附头的顶面形成吸附口,所述旋转轴的下端环绕所述旋转轴的外侧开设有与所述真空通道连通的真空槽,所述轴承座开设有与所述真空槽相对应的主抽真空通道,所述主抽真空通道与外界抽真空设备连通,所述旋转轴的下端与外界旋转电机连接。因此,当所述吸附头的顶面放置有光盘时,,外界抽真空设备通过所述主抽真空通道对与所述真空槽连通的真空通道抽真空时,所述光滑部与所述密封孔直接密封配合,因此即使在所述旋转轴高速的过程中也不会出现漏真空现象,且由于所述光滑部与所述密封孔处处于光滑接触,摩擦极其的小,因此发热量很小。本实用新型真空吸附旋转装置改变了传统的橡胶密封腔密封的技术,避免了由于所述旋转轴高速旋转时大摩擦和大热量烧坏橡胶密封圈现象的产生,提高了装置的可靠性及稳定性,并消除了由此巨热量因素造成的对光盘制作工艺的影响。
通过以下的描述并结合附图,本实用新型将变得更加清晰,这些附图用于解释本实用新型的实施例。
附图说明
图1为现有技术的真空吸附旋转装置的结构示意图。
图2为本实用新型真空吸附旋转装置的一个实施例的结构示意图。
图3为本实用新型真空吸附旋转装置的旋转轴与轴承座的分解视图。
具体实施方式
现在参考附图描述本实用新型的实施例,附图中类似的元件标号代表类似的元件。如上所述,如图2及图3所示,本实施例提供的真空吸附旋转装置100包括轴承座60、轴承50及旋转轴40。所述轴承座60呈水平放置,具有上表面60a及下表面60b,且所述轴承座60开设有呈直线的贯穿所述上表面60a及下表面60b的圆形轴孔61,所述轴孔61上凹陷形成两个间隔开的轴承安装槽62,所述轴承50对应安装于所述轴承安装槽62内,所述轴承安装槽62之间的轴孔61处呈光滑面61a,所述光滑面61a形成密封孔61b,所述旋转轴40的上端凸伸形成吸附头41,所述吸附头41的顶面41a呈水平结构并用于吸附光盘10,所述旋转轴40的下端40a呈转动地穿过所述轴承50及密封孔61b,所述旋转轴40具有与所述密封孔61b呈密封接触的光滑部43,所述旋转轴40上开设有真空通道42,所述真空通道42自所述旋转轴40的下端40a沿所述旋转轴40的轴线开设有贯穿所述吸附头41的顶面41a的真空通道42,所述真空通道42于所述吸附头41的顶面41a形成吸附口42a,所述旋转轴40的下端40a环绕所述旋转轴40的外侧开设有与所述真空通道42连通的真空槽42b,所述轴承座60开设有与所述真空槽42b相对应的主抽真空通道64,所述主抽真空通道64与外界抽真空设备(图上未示)连通,所述旋转轴40的下端40a与外界旋转电机(图上未示)连接。
较佳者,如图1及图2所示,所述真空槽42b开设于距离所述吸附头41最远的所述光滑部43的中部处。设置在所述光滑部43的中部能够使得所述真空槽42b的密封程度达到较佳状态。
较佳者,如图1及图2所示,对应距离所述吸附头41最远的所述光滑部43的上、下端处的轴承座60分别开设有与外界抽真空设备连通的分抽真空通道65。其目的在于所述主抽真空通道64若出现不能很好的抽真空的现象,所述分抽真空通65道能够起到辅助所述主抽真空通道64对真空通道42进行抽真空。
较佳者,如图1及图2所示,位于所述吸附头41的顶面41a的吸附口42a相互连通形成吸附槽。形成所述吸附槽能够对光盘10的吸附力更加的均匀,吸附更稳定。
较佳者,如图1及图2所示,所述吸附头41呈中空结构。所述吸附头41呈中空结构使得减轻所述吸附头41的重量,使得所述旋转轴40转起来更加轻盈、稳定。
结合图1及图2,对本实用新型真空吸附旋转装置100的工作过程做详细的描述:将光盘10放置于所述吸附头41的顶面41a上,外界抽真空设备对所述主抽真空通道64进行抽真空,由于所述光滑部43与所述密封孔61b密封配合,而所述光滑部43与所述密封孔61b的接触处不会出现漏真空现象,因此所述主抽真空通道64通过所述真空槽42b对所述真空通道42进行抽真空,由于所述真空通道42被抽真空,因此所述吸附头41的顶面41a的吸附口42a能够通过大气压力紧贴于所述顶面41a上,此时所述旋转轴40的下端40a通过与外界旋转电机连接并由外界电机带动旋转,对光盘10进行加工,而光盘10的加工完成之后,停止外界电机的旋转,让所述主抽真空通道64直接与外界大气压连通,则可以直接取走光盘10。
结合图1及图2,所述旋转轴40的下端40a呈转动地穿过所述轴承50及密封孔61b,所述旋转轴40具有与所述密封孔61b呈密封接触的光滑部43,所述旋转轴40上开设有真空通道42,所述真空通道42自所述旋转轴40的下端40a沿所述旋转轴40的轴线开设有贯穿所述吸附头41的顶面41a的真空通道42,所述真空通道42于所述吸附头41的顶面41a形成吸附口42a,所述旋转轴40的下端40a环绕所述旋转轴40的外侧开设有与所述真空通道42连通的真空槽42b,所述轴承座60开设有与所述真空槽42b相对应的主抽真空通道64,所述主抽真空通道64与外界抽真空设备连通,所述旋转轴40的下端40a与外界旋转电机连接。因此,当所述吸附头41的顶面41a放置有光盘10时,外界抽真空设备通过所述主抽真空通道64对与所述真空槽42b连通的真空通道42抽真空时,所述光滑部43与所述密封孔61b直接密封配合,因此即使在所述旋转轴40高速的过程中也不会出现漏真空现象,且由于所述光滑部43与所述密封孔61b处处于光滑接触,摩擦极其的小,因此发热量很小。本实用新型真空吸附旋转装置100改变了传统的橡胶密封腔密封的技术,避免了由于所述旋转轴40高速旋转时大摩擦和大热量烧坏橡胶密封圈现象的产生,提高了装置的可靠性及稳定性,并消除了由此巨热量因素造成的对光盘10制作工艺的影响。以上结合最佳实施例对本实用新型进行了描述,但本实用新型并不局限于以上揭示的实施例,而应当涵盖各种根据本实用新型的本质进行的修改、等效组合。

Claims (5)

1.一种真空吸附旋转装置,用于在旋转电机及抽真空设备的作用下吸附并带动光盘旋转,其特征在于:包括轴承座、轴承及旋转轴,所述轴承座开设有呈直线的圆形轴孔,所述轴孔上凹陷形成至少两个间隔开的轴承安装槽,所述轴承对应安装于所述轴承安装槽内,相邻的所述轴承安装槽之间的轴孔处呈光滑面,所述光滑面形成密封孔,所述旋转轴的上端凸伸形成吸附头,所述吸附头的顶面呈水平结构,所述旋转轴的下端呈转动地穿过所述轴承及密封孔,所述旋转轴具有与所述密封孔呈密封接触的光滑部,自所述旋转轴的下端沿所述旋转轴的轴线开设有贯穿所述吸附头的顶面的真空通道,所述真空通道于所述吸附头的顶面形成吸附口,所述旋转轴的下端环绕所述旋转轴的外侧开设有与所述真空通道连通的真空槽,所述轴承座开设有与所述真空槽相对应的主抽真空通道,所述主抽真空通道与外界抽真空设备连通,所述旋转轴的下端与外界旋转电机连接。
2.如权利要求1所述的真空吸附旋转装置,其特征在于:所述真空槽开设于距离所述吸附头最远的所述光滑部的中部处。
3.如权利要求2所述的真空吸附旋转装置,其特征在于:对应距离所述吸附头最远的所述光滑部的上、下端处的轴承座分别开设有与外界抽真空设备连通的分抽真空通道。
4.如权利要求1-3任一项所述的真空吸附旋转装置,其特征在于:位于所述吸附头的顶面的吸附口相互连通形成吸附槽。
5.如权利要求1-3任一项所述的真空吸附旋转装置,其特征在于:所述吸附头呈中空结构。 
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Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102110452A (zh) * 2010-12-30 2011-06-29 东莞宏威数码机械有限公司 真空吸附旋转轴
CN104882402A (zh) * 2014-02-28 2015-09-02 上海微电子装备有限公司 一种基片承载装置
CN105291006A (zh) * 2014-07-29 2016-02-03 盛美半导体设备(上海)有限公司 真空卡盘
CN105428296A (zh) * 2015-11-30 2016-03-23 北京中电科电子装备有限公司 一种吸附装置
CN106238266A (zh) * 2016-08-29 2016-12-21 沈阳科晶自动化设备有限公司 一种高效超声旋转涂膜装置
CN107837983A (zh) * 2017-11-02 2018-03-27 南通大学 一种具有定量滴胶的磁悬浮式涂胶机
CN109707723A (zh) * 2019-01-22 2019-05-03 上海提牛机电设备有限公司 一种旋转真空轴组
CN111482865A (zh) * 2020-05-25 2020-08-04 广东长信精密设备有限公司 晶圆打磨设备
CN114589073A (zh) * 2022-03-28 2022-06-07 河南通用智能装备有限公司 晶圆激光low-k设备旋转涂胶真空转接装置
CN117457562A (zh) * 2023-12-22 2024-01-26 苏州赛腾精密电子股份有限公司 晶圆自动定位设备

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102110452A (zh) * 2010-12-30 2011-06-29 东莞宏威数码机械有限公司 真空吸附旋转轴
CN104882402A (zh) * 2014-02-28 2015-09-02 上海微电子装备有限公司 一种基片承载装置
CN104882402B (zh) * 2014-02-28 2018-03-13 上海微电子装备(集团)股份有限公司 一种基片承载装置
CN105291006A (zh) * 2014-07-29 2016-02-03 盛美半导体设备(上海)有限公司 真空卡盘
CN105428296B (zh) * 2015-11-30 2018-06-01 北京中电科电子装备有限公司 一种吸附装置
CN105428296A (zh) * 2015-11-30 2016-03-23 北京中电科电子装备有限公司 一种吸附装置
CN106238266A (zh) * 2016-08-29 2016-12-21 沈阳科晶自动化设备有限公司 一种高效超声旋转涂膜装置
CN107837983A (zh) * 2017-11-02 2018-03-27 南通大学 一种具有定量滴胶的磁悬浮式涂胶机
CN109707723A (zh) * 2019-01-22 2019-05-03 上海提牛机电设备有限公司 一种旋转真空轴组
CN111482865A (zh) * 2020-05-25 2020-08-04 广东长信精密设备有限公司 晶圆打磨设备
CN114589073A (zh) * 2022-03-28 2022-06-07 河南通用智能装备有限公司 晶圆激光low-k设备旋转涂胶真空转接装置
CN117457562A (zh) * 2023-12-22 2024-01-26 苏州赛腾精密电子股份有限公司 晶圆自动定位设备
CN117457562B (zh) * 2023-12-22 2024-02-23 苏州赛腾精密电子股份有限公司 晶圆自动定位设备

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Date Code Title Description
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
EE01 Entry into force of recordation of patent licensing contract

Assignee: Henan Kerry Digital Co., Ltd.

Assignor: Dongguan Hongwei Digital Machinery Co., Ltd.

Contract record no.: 2012410000093

Denomination of utility model: Vacuum adsorption rotating device

Granted publication date: 20111214

License type: Exclusive License

Record date: 20121227

LICC Enforcement, change and cancellation of record of contracts on the licence for exploitation of a patent or utility model
AV01 Patent right actively abandoned

Granted publication date: 20111214

Effective date of abandoning: 20130227

AV01 Patent right actively abandoned

Granted publication date: 20111214

Effective date of abandoning: 20130227

RGAV Abandon patent right to avoid regrant