CN202008989U

CN202008989U - 基底支撑组件和基底传送装置

Info

Publication number: CN202008989U
Application number: CN2011200789870U
Authority: CN
Inventors: 陈万海; 樊海洋; 刘远宏
Original assignee: Beijing BOE Optoelectronics Technology Co Ltd
Current assignee: BOE Technology Group Co Ltd
Priority date: 2011-03-23
Filing date: 2011-03-23
Publication date: 2011-10-12
Anticipated expiration: 2021-03-23

Abstract

本实用新型提供一种基底支撑组件和基底传送装置，属于基底处理技术领域，其可解决现有的基底支撑组件成本较高或不能为基底提供稳定、可靠的支撑的问题。本实用新型的基底支撑组件包括：固定部；与所述固定部连接的支撑部，所述支撑部具有用于与基底接触的支撑面，且所述支撑面与基底的接触面积能随基底压力的作用而增大。本实用新型的基底传送装置包括上述基底支撑组件，以及用于驱动上述基底支撑组件的驱动单元。本实用新型可用于在真空环境下传送基底。

Description

基底支撑组件和基底传送装置

技术领域

本实用新型涉及基底处理技术领域，尤其涉及一种基底支撑组件和基底传送装置。

背景技术

在液晶显示器制造、半导体处理等工艺中，经常需要将待处理的基底(如玻璃基板、半导体晶片等)在不同处理腔室或不同处理设备间传送。而基底传送装置中包括用于支撑基底的基底支撑组件，以及驱动基底支撑组件运动的驱动单元。其中，在大气环境下，基底传送装置中通常使用真空吸附装置来支撑基底；但当要在真空环境下传送基底时(例如在真空沉积设备的不同腔室间传送基底时)，由于无法利用吸附作用，故通常使用摩擦式基底支撑组件来支撑基底。

摩擦式基底支撑组件如图1所示，包括多根机械臂(即支撑臂)21，各支撑臂21可与基底传送装置中的驱动单元相连并受其驱动；在每根支撑臂21上通过螺纹固定连接有多个螺钉柱(即支撑柱)22，每个支撑柱22的顶端固定连接有用于支撑基底9的支撑垫11，支撑垫11的上表面(即远离支撑柱22的一面)为用于与基底9接触的支撑面19；其中支撑垫11通常由硬质橡胶制成，并通过位于其中心部的连接件111与支撑柱22固定连接(使用连接件111是因为支撑柱22通常为金属，难以直接与橡胶支撑垫11相连，当然，不使用连接件111也并不影响其功能的实现)，而支撑面19可为波纹面，以增大其与基底9间的摩擦力，保证支撑臂21横向移动时可产生足够的摩擦力而带动基底9一同运动。

发明人发现现有技术中至少存在如下问题：由于基底9往往很薄且尺寸很大(例如用于大尺寸液晶显示器中的玻璃基板)，故其会因重力而如图1所示产生变形，从而导致支撑面19实际只有一部分与基底9接触，基底9与支撑面19间的接触面积过小；这样，基底9与支撑面19相接触的位置压强就会过大，且不同支撑垫11施加给基底9的力也不均匀，因此其在传送过程中易发生基底9损伤、滑动等问题，无法给基底9提供稳定、可靠地支撑；而要若保证支撑的稳定、可靠，就要增加支撑垫11的数量，但这又会导致成本的增加。

实用新型内容

本实用新型的实施例提供一种基底支撑组件，其可在保证成本较低的情况下为基底提供稳定、可靠地支撑。

为达到上述目的，本实用新型的实施例采用如下技术方案：

一种基底支撑组件，包括：

固定部；

与所述固定部连接的支撑部，所述支撑部具有用于与基底接触的支撑面，且所述支撑面与基底的接触面积能随基底压力的作用而增大。

由于本实用新型的实施例的基底支撑组件中，支撑面与基底间的接触面积能随基底压力的作用而增大，故当基底因重力的作用产生变形时，支撑面与基底间的接触面积会增加，从而保证基底受力均匀且与支撑面接触的位置压强较小。因此，本实施例的基底支撑组件可在保证成本较低(即不增加支撑部数量)的情况下为基底提供稳定、可靠地支撑。

作为本实用新型的实施例的一种优选方案，所述支撑面与水平面间的夹角能随基底压力的作用而改变。

作为本实用新型的实施例的一种优选方案，所述支撑部与所述固定部活动连接。

作为本实用新型的实施例的一种优选方案，所述支撑部通过弹簧与所述固定部活动连接。

作为本实用新型的实施例的一种优选方案，所述支撑部通过软质衬垫与所述固定部活动连接。

作为本实用新型的实施例的一种优选方案，所述支撑部通过滚珠与所述固定部活动连接。

作为本实用新型的实施例的一种优选方案，所述支撑部通过转轴与所述固定部活动连接。

作为本实用新型的实施例的一种优选方案，所述支撑部由软质材料构成。

作为本实用新型的实施例的一种优选方案，所述固定部包括支撑臂和固定连接在所述支撑臂上的支撑柱；所述支撑部包括连接在所述支撑柱上的支撑垫，所述支撑垫远离所述支撑柱的一面为所述支撑面。

作为本实用新型的实施例的一种优选方案，所述固定部包括支撑臂；所述支撑部包括固定连接的支撑柱和支撑垫，所述支撑柱连接在所述支撑臂上，所述支撑垫远离所述支撑柱的一面为所述支撑面。

本实用新型的实施例还提供一种基底传送装置，其可在保证成本较低的情况下稳定、可靠地传送基底。

为达到上述目的，本实用新型的实施例采用如下技术方案：

一种基底传送装置，包括：

上述的基底支撑组件；

用于驱动所述基底支撑组件运动的驱动单元。

由于本实用新型的实施例的基底传送装置中具有上述的基底支撑组件，因此其可在保证成本较低的情况下稳定、可靠地传送基底。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。

图1为现有的基底支撑组件的结构示意图；

图2为本实用新型实施例一的基底支撑组件的结构示意图；

图3为本实用新型实施例一的基底支撑组件在承载基底时的结构示意图；

图4为本实用新型另一实施例的基底支撑组件的结构示意图；

图5为本实用新型另一实施例的基底支撑组件的结构示意图；

图6为本实用新型另一实施例的基底支撑组件的结构示意图；

图7为本实用新型实施例二的基底支撑组件的结构示意图；

图8为本实用新型实施例三的基底支撑组件的结构示意图；

图9为本实用新型实施例三的基底支撑组件在承载基底时的结构示意图；

其中附图标记为：1、支撑部；11、支撑垫；111、连接件；12、支撑柱；19、支撑面；2、固定部；21、支撑臂；22、支撑柱；81、弹簧；82、软质衬垫；83、滚珠；9、基底。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

本实用新型实施例提供一种基底支撑组件，包括：

固定部；

实施例一

本实用新型实施例提供一种基底支撑组件，如图2至图6所示，其包括固定部2以及与固定部2活动连接的支撑部1。其中，支撑部1与固定部2间活动连接，且具有用于与基底9接触的支撑面19；由于支撑部1与固定部2间的连接是活动的，故支撑面19与水平面间的夹角能随基底9压力的作用而改变。

如图3所示，当基底9被放在基底支撑组件上并因重力产生变形时，支撑部1会因基底9的压力而相对于固定部2活动，因此支撑面19与水平面间的夹角也能随基底9压力的作用而改变，从而支撑面19能始终全部与基底9接触(即接触面积增大)，以使基底9受力均匀且与支撑面19接触的位置压强较小；这样基底支撑组件中支撑部1的数量就可较少，从而在保证成本较低的情况下为基底9提供稳定、可靠地支撑。

同时，由于支撑面19是活动的，故其对于支撑部1位置精度的要求较低；因为即使其中部分支撑部1的位置稍有偏差(例如稍微偏高或偏低)，该支撑部1的支撑面19在受到基底9压力后也可全部与基底9接触，并为基底9提供有效支撑，而不会像现有的基底支撑组件那样，支撑部1(如支撑垫)稍低则无法接触基底9，稍高则会对基底9产生很大的力而导致其损坏。

优选地，如图2至图6所示，固定部2包括支撑臂(即机械臂)21和固定连接在支撑臂21上的支撑柱22，该支撑柱22可为螺钉柱，并螺纹连接在支撑臂21上的螺孔中；在一个基底支撑组件中可包括多根支撑臂21(例如两根分别位于基底9两侧的支撑臂)，而每根支撑臂21上可均匀设有多个支撑柱22；而支撑部1则为类似盘状的支撑垫11，并活动连接在支撑柱22上端，支撑垫11的上表面(即远离支撑柱22的一面)即为支撑面19。

具体地，支撑部1和固定部2间的活动连接可采用许多不同的方式进行。

例如，如图2至图4所示，支撑部1和固定部2间可通过弹簧81活动连接；在受到来自基底9的压力时，弹簧81可产生变形，从而使支撑部1活动，并使支撑面19与水平面间的夹角变化。当然，弹簧81可为一根(如图2、图3)，也可为多根(如图4)，例如为分别位于支撑垫11四角的4根弹簧81。使用弹簧81进行连接时，可通过调整弹簧的数量、位置、弹性系数等容易地控制支撑部1的活动程度。

再如，如图5所示，支撑部1和固定部2间可通过软质衬垫82活动连接，该软质衬垫82由软质橡胶、泡沫塑料等质地较软且可在压力作用下产生明显变形的材料构成。该软质衬垫82可产生与弹簧81类似的作用。采用软质衬垫82的连接方式结构简单，成本较低。

又如，如图6所示，支撑部1和固定部2间可通过滚珠83或转轴(未在图中示出)活动连接，当受到来自基底9的压力时，滚珠83或转轴可允许支撑部1相对于固定部2转动，从而使支撑面19与水平面间的夹角变化。具体地，滚珠83可固定连接在支撑柱22上端，而支撑垫11下侧的容置部可包裹在滚珠83外侧。使用滚珠83或转轴进行连接可保证连接的可靠性，降低连接处发生损坏的可能性。

显然，支撑部1和固定部2间的活动连接还可采用许多其它的公知方式进行，只要其能保证支撑面19与水平面间的夹角能随基底9的压力而变化即可；由于该活动连接的具体形式众多，故在此不再逐一详细描述。

显然，本实施例的基底支撑组件还可进行许多公知的变化，例如，支撑面19可为波纹面，以增大其与基底9间的摩擦力；或者，支撑垫11中也可具有连接件，支撑柱22通过连接件与支撑垫11相连。

实施例二

本实用新型实施例提供一种基底支撑组件，其具有与实施例一的基底支撑组件类似的结构，区别在于：

如图7所示，本实施例的基底支撑组件中固定部2即为支撑臂21，而支撑部1则包括固定连接在一起的支撑柱12和支撑垫11，支撑柱12通过上述的各种活动连接方式连在支撑臂21上，而支撑垫11的上表面(即远离支撑柱12的一面)即为支撑面19。也就是说，本实施例的基底支撑组件中活动连接位于支撑柱12和支撑臂21(即固定部2)之间，当受到来自基底9的压力时，支撑柱12和支撑垫11一同运动，并使支撑面19与水平面间的夹角随基底9的压力而变化。

实施例三

第一、如图8所示，本实施例的基底支撑组件的固定部2和支撑部1间是固定连接的(当然也可采用如实施例一所示的活动连接方式)；

第二、本实施例的支撑部1是由软质材料构成的；其中软质材料是指软质橡胶、泡沫塑料、海绵等质地较软且可在压力作用下产生明显变形的材料。因此，如图9所示，当基底9被放在基底支撑组件上并因重力产生变形时，支撑部1会随着基底9的变形产生相应的变形，从而使支撑面19与水平面间的夹角随基底9的压力而变化，并保证支撑面19始终能与基底9全部接触。

这种由软质材料构成的支撑部1可最大限度地保证支撑面1与基底9间的良好接触，从而在保证成本较低的情况下为基底9提供稳定、可靠地支撑。

显然，本实用新型的基底支撑组件也可为其它的形式，例如其支撑部1可由类似“橡皮泥”的具有任意可塑性的材料构成，从而当基底9压到支撑部1上时，支撑部1会被“压扁”，从而使支撑面19与基底9的接触面积增大。

本实用新型实施例提供一种基底传送装置，包括：

上述的基底支撑组件；

用于驱动所述基底支撑组件运动的驱动单元。

其中，基底支撑组件优选为包括多根支撑臂的支撑组件，而驱动单元连接支撑臂，并能驱动支撑臂按预定路线运动。在上述的基底传送装置中还可包括许多其它的公知结构，例如用于控制驱动单元的控制单元，用于为驱动单元提供能量的能量源等。而由于驱动单元、支撑臂、控制单元、能量源等均可采用现有基底传送装置中的公知结构，故在此不再对它们进行详细描述。

本实用新型的基底支撑组件和基底传送装置可用于在真空环境下传送基底，例如在真空沉积设备的不同腔室中传送液晶显示器用的大尺寸玻璃基板。但显然，本实用新型的基底支撑组件和基底传送装置的用途并不限于此，它们也可在大气环境下使用，并且也可用于支撑半导体晶片等其它类型的基底。

以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims

1.一种基底支撑组件，其特征在于，包括：

固定部；

2.根据权利要求1所述的基底支撑组件，其特征在于，

所述支撑面与水平面间的夹角能随基底压力的作用而改变。

3.根据权利要求2所述的基底支撑组件，其特征在于，

所述支撑部与所述固定部活动连接。

4.根据权利要求3所述的基底支撑组件，其特征在于，

所述支撑部通过弹簧与所述固定部活动连接。

5.根据权利要求3所述的基底支撑组件，其特征在于，

所述支撑部通过软质衬垫与所述固定部活动连接。

6.根据权利要求3所述的基底支撑组件，其特征在于，

所述支撑部通过滚珠与所述固定部活动连接。

7.根据权利要求3所述的基底支撑组件，其特征在于，

所述支撑部通过转轴与所述固定部活动连接。

8.根据权利要求2所述的基底支撑组件，其特征在于，

所述支撑部由软质材料构成。

9.根据权利要求1至8中任意一项所述的基底支撑组件，其特征在于，

所述固定部包括支撑臂和固定连接在所述支撑臂上的支撑柱；

所述支撑部包括连接在所述支撑柱上的支撑垫，所述支撑垫远离所述支撑柱的一面为所述支撑面。

10.根据权利要求1至8中任意一项所述的基底支撑组件，其特征在于，

所述固定部包括支撑臂；

所述支撑部包括固定连接的支撑柱和支撑垫，所述支撑柱连接在所述支撑臂上，所述支撑垫的远离所述支撑柱的一面为所述支撑面。

11.一种基底传送装置，其特征在于，包括：

权利要求1至10中任意一项所述的基底支撑组件；

用于驱动所述基底支撑组件运动的驱动单元。