CN201645323U - 化学机械研磨用金刚石修整器 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开以了一种化学机械研磨用金刚石修整器，包括磨轮，所述磨轮上设有金刚石研磨面，金刚石研磨面包括外环面、中环面和内环面，外环面和内环面的径向截面为圆弧形，中环面为平面，外环面、中环面和内环面依次相接形成金刚石研磨面，金刚石研磨面上沿磨轮径向还设有多个凹槽，多个凹槽均匀分布在金刚石研磨面上。弧面和平面的结合，既能提高金刚石的利用率，提高修正质量，也延长了金刚石修整器的使用寿命。凹槽能够容纳磨削时所产生的碎屑或者粉末，并方便碎屑或者粉末的及时排除。本实用新型在改善使用寿命的同时，还有效地保持了圆弧型结构的“缓冲进给”的效果，确保了研磨垫的正常使用，避免了研磨垫的非正常损坏。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种化学机械研磨器，尤其涉及一种化学机械研磨用金刚石修整器。
背景技术
随着各种电子器件体积小型化的发展，IC行业的集成度也在不断提升，这就需要在晶圆基板上做多层处理，如光学显影、蚀刻、气相沉积、高温制程、离子植入等，而且蚀刻和沉积是多次进行的，每次之间都必须要经过化学机械研磨(CMP)的工序，所以随着高集成度要求的不断提高，晶圆表面所做的“层数”就越多，CMP的工序也越发频繁和重要。化学机械研磨工具一般包括研磨垫。为了保持研磨垫的高切削能力、高排污能力，就必须要使研磨垫能够始终保持一种多孔、微观上凹凸不平的结构，也就是要对研磨垫做在线修正，修正的工具一般采用金刚石修正器。目前国内外的同类产品中，主要是在磨轮上设置金刚石工作层，而金刚石工作层只有三种结构：外低内高的斜面结构、圆弧结构和平面结构。斜面结构和圆弧结构都存在高点磨损严重的缺点，使真正参与工作的金刚石不到5％，使产品的寿命大大降低，造成浪费。平面结构虽然有较长的寿命，但是在磨削修正过程中对研磨垫的挤压缺少缓冲，如果加压不当，极易对研磨垫造成破损或微观移位，使研磨垫出现局部“鼓泡”现象，使研磨垫平面不再平整，严重时甚至会造成晶圆的报废。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是针对上述现有技术的不足，提供一种质量好，使用寿命长，对研磨垫的修正效果好的化学机械研磨用金刚石修整器。
为解决结局上述技术问题，本实用新型采用的技术方案为：一种化学机械研磨用金刚石修整器，包括磨轮，所述磨轮上设有金刚石研磨面，所述金刚石研磨面包括外环面、中环面和内环面，外环面和内环面的径向截面为圆弧形，中环面为平面，外环面、中环面和内环面依次相接形成金刚石研磨面。弧面和平面的结合，既能提高金刚石的利用率，提高修正质量，也延长了化学机械研磨用金刚石修整器的使用寿命。
作为本实用新型进一步改进的技术方案，所述金刚石研磨面上沿磨轮径向还设有多个凹槽，多个凹槽均匀分布在金刚石研磨面上。凹槽能够容纳磨削时所产生的碎屑或者粉末，也 方便碎屑或者粉末的及时排除。
作为本实用新型进一步改进的技术方案，所述凹槽问为八个。
作为本实用新型进一步改进的技术方案，所述磨轮为中间设有通孔的圆环状磨轮。通孔用于安装化学机械研磨用金刚石修整器。
作为本实用新型进一步改进的技术方案，所述磨轮上靠近内环面内侧设有至少两个定位孔。定位孔用于化学机械研磨用金刚石修整器的安装和定位。
本实用新型在磨轮上设置金刚石复层，即研磨工作区，研磨工作区采用圆弧和平面相结合的方式，集合了圆弧状工作区和平面式工作区的优点，因此在改善化学机械研磨用金刚石修整器的使用寿命的同时，还有效地保持了圆弧型结构的“缓冲进给”的效果，确保了研磨垫的正常使用，避免了研磨垫的非正常损坏。
附图说明
图1为本实用新型实施例1的结构示意图。
图2为本实用新型实施例1的结构示意图。
图3为本实用新型实施例1的结构示意图。
图4为本实用新型实施例1的结构示意图。
图5为图4的A-A向剖视示意图。
图6为图5中B处的放大示意图。
图7为4中的凹槽示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步说明。
参见图1、图2、图3和图4，本化学机械研磨用金刚石修整器包括磨轮1所述磨轮1设有金刚石研磨面，金刚石研磨面包括外环面2、中环面3和内外环面4，参见图5和图6，外环面2和内环面4的径向截面为圆弧形，中环面3为平面，外环面2、中环面3和内环面4依次平缓相接，形成沿磨轮1周向突起的环状金刚石研磨面。金刚石研磨面上沿磨轮1径向还设有多个凹槽5，见图7，多个凹槽5均匀分布在金刚石研磨面上。凹槽5能够容纳磨削时所产生的碎屑或者粉末，也方便碎屑或者粉末的及时排除。凹槽5的数量可以跟实际需要而定，本实施例中，凹槽5为八个。磨轮1为中间设有通孔6的圆环状磨轮，即磨轮1中间沿其轴向设有用于安装本化学机械研磨用金刚石修整器的通孔6。磨轮1上靠近内环面4内侧 设有至少两个定位孔7，定位孔7可用于本化学机械研磨用金刚石修整器安装时的定位，定位孔7的数量也可根据格局实际需要而定，本实施例中为两个定位孔7。
Claims (5)
1.一种化学机械研磨用金刚石修整器，包括磨轮(1)，所述磨轮(1)上设有金刚石研磨面，其特征在于：所述金刚石研磨面包括外环面(2)、中环面(3)和内环面(4)，外环面(2)和内环面(4)的径向截面为圆弧形，中环面(3)为平面，外环面(2)、中环面(3)和内环面(4)依次相接形成金刚石研磨面。
2.根据权利要求1所述的化学机械研磨用金刚石修整器，其特征在于：所述金刚石研磨面上沿磨轮(1)径向还设有多个凹槽(5)，多个凹槽(5)均匀分布在金刚石研磨面上。
3.根据权利要求1所述的化学机械研磨用金刚石修整器金刚石修整器，其特征在于：所述凹槽(5)为八个。
4.根据权利要求1所述的化学机械研磨用金刚石修整器金刚石修整器，其特征在于：所述磨轮(1)为中间设有通孔(6)的圆环状磨轮。
5.根据权利要求1所述的化学机械研磨用金刚石修整器金刚石修整器，其特征在于：所述磨轮(1)上靠近内环面(4)内侧设有至少两个定位孔(7)。
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