CN201340405Y - 具有超支化结构的高分子电阻型湿敏元件 - Google Patents
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- 229920002521 macromolecule Polymers 0.000 title 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims abstract description 22
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 22
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims abstract description 22
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims abstract description 22
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims description 7
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims description 3
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 2
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims 4
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 abstract description 23
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 16
- 150000003242 quaternary ammonium salts Chemical class 0.000 abstract description 14
- 230000004044 response Effects 0.000 abstract description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 6
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 5
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 abstract description 4
- 230000008569 process Effects 0.000 abstract description 3
- 238000012271 agricultural production Methods 0.000 abstract description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract description 2
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 abstract description 2
- 238000009776 industrial production Methods 0.000 abstract description 2
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 abstract description 2
- 238000011084 recovery Methods 0.000 abstract description 2
- 238000003860 storage Methods 0.000 abstract description 2
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 40
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 20
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 description 11
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N Diethyl ether Chemical compound CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 8
- 239000010408 film Substances 0.000 description 8
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 8
- JOXIMZWYDAKGHI-UHFFFAOYSA-N toluene-4-sulfonic acid Chemical compound CC1=CC=C(S(O)(=O)=O)C=C1 JOXIMZWYDAKGHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 230000018044 dehydration Effects 0.000 description 7
- 238000006297 dehydration reaction Methods 0.000 description 7
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 6
- 238000006392 deoxygenation reaction Methods 0.000 description 6
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 6
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 6
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 6
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 5
- RYHBNJHYFVUHQT-UHFFFAOYSA-N 1,4-Dioxane Chemical compound C1COCCO1 RYHBNJHYFVUHQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- FALRKNHUBBKYCC-UHFFFAOYSA-N 2-(chloromethyl)pyridine-3-carbonitrile Chemical compound ClCC1=NC=CC=C1C#N FALRKNHUBBKYCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- PYSGFFTXMUWEOT-UHFFFAOYSA-N 3-(dimethylamino)propan-1-ol Chemical compound CN(C)CCCO PYSGFFTXMUWEOT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 4
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 4
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 4
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 4
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 4
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 4
- 229940014800 succinic anhydride Drugs 0.000 description 4
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 3
- 229920000587 hyperbranched polymer Polymers 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 2
- 238000007791 dehumidification Methods 0.000 description 2
- 125000003010 ionic group Chemical group 0.000 description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 2
- MPPPKRYCTPRNTB-UHFFFAOYSA-N 1-bromobutane Chemical compound CCCCBr MPPPKRYCTPRNTB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 238000003795 desorption Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000003618 dip coating Methods 0.000 description 1
- 125000000524 functional group Chemical group 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000013508 migration Methods 0.000 description 1
- 230000005012 migration Effects 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 239000002121 nanofiber Substances 0.000 description 1
- 229920000620 organic polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000001259 photo etching Methods 0.000 description 1
- 239000005518 polymer electrolyte Substances 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 238000012827 research and development Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 230000002194 synthesizing effect Effects 0.000 description 1
- 238000001291 vacuum drying Methods 0.000 description 1
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Abstract
本实用新型公开了一种具有超支化结构的高分子电阻型湿敏元件,它是以陶瓷为基片,其上有多对叉指金电极,在陶瓷基片和叉指金电极表面涂敷有高分子季铵盐湿敏薄膜。该湿敏元件在宽的湿度范围,特别是在较低湿度环境下均具有阻抗值适中,灵敏度高,线性度好,响应快,回复性佳,稳定性强,在室温下检测等特点,可广泛应用于工农业生产过程、仓储、大气环境监测对于环境湿度精确测量与控制。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种具有超支化结构的高分子电阻型湿敏元件。
背景技术
湿度在人类生产和生活中起到十分重要的作用,而湿度传感器则是检测湿度的最常用而有效的方法。目前商品化的湿度传感器主要有无机陶瓷半导体型和有机高分子型。而高分子型湿度传感器以其响应特性好,测量范围宽,稳定性好,可室温检测,易于集成化,小型化批量生产,价格低廉等优点,已成为湿度传感器的主流。其中高分子电阻型湿度传感器制备非常简便,性能良好,且易于集成于系统中实现湿度的测量和控制,是湿度传感器研究和发展的重点之一。然而,这类传感器多采用传统的线型高分子电解质作为敏感材料,它们在低湿环境下由于离子迁移困难,电导率低,导致其电阻过高难以测定,给其测量低湿环境带来较大困难,也在一定程度上阻碍了其进一步推广应用。为此,需要对于高分子湿度敏感材料进行修饰改性,以其提高其在低湿环境下的导电性,适应测定低湿环境的要求。
发明内容
本实用新型的目的是提供一种在整个湿度范围内,特别是在低湿环境下具有阻抗值适中,灵敏度高,线性度好,响应快,回复性佳,稳定性强,可室温检测的具有超支化结构的高分子电阻型湿敏元件。
本实用新型的超支化结构的高分子电阻型湿敏元件具有陶瓷基体,在陶瓷基体表面光刻和蒸发有多对叉指金电极,在叉指金电极上连接有引线,在陶瓷基体和叉指金电极表面涂覆有高分子季铵盐湿湿敏薄膜。
具有超支化结构的高分子电阻型湿敏元件的制作方法,包括以下步骤:
1)清洗表面光刻和蒸发有叉指金电极的陶瓷基片,烘干备用;
2)在除水除氧处理后的100毫升三口烧瓶中,依次加入10~20克具有结构(I)的超支化化合物H20,10~20克丁二酸酐,0.1~0.4克SnCl2,30~60毫升二氧六环,通氩气30分钟,然后升温至100℃~150℃,在氩气保护下搅拌反应24~48小时,得到透明粘稠液体,命名为H20-COOH;
3)在除水除氧处理后的250毫升三口烧瓶中,依次加入20~30克3-二甲氨基-1-丙醇,30~40克溴代正丁烷,60~100毫升丙酮,搅拌均匀,通氩气30分钟,然后升温至30~60℃,在氩气保护下搅拌反应24~48小时,得到白色沉淀,真空抽滤,以丙酮洗涤数次,室温下真空干燥过夜,命名为OH-N+;
4)在除水除氧处理后的50毫升三口烧瓶中,依次加入10~20克H20-COOH,10~20克OH-N+,0.1~0.2克对甲苯磺酸,升温至120~160℃,通氩气反应3~6小时,然后抽真空,在120~160℃下继续反应3~6小时,反应结束后,体系降至室温下,并用乙醇稀释,在乙醚中沉淀,真空抽滤,室温下真空干燥过夜,命名为H20-N+;
5)将H20-N+溶解在乙醇溶剂中,配制成浓度为5~80毫克/毫升的溶液,在室温下静置6~12小时,得到前驱体溶液,采用浸涂机将步骤1)的陶瓷叉指金电极浸渍于前驱体溶液中0.5~2分钟,提拉取出后,70~90℃温度下干燥烘干。
上述的陶瓷片基体表面的叉指金电极的叉指宽度为20~200μm,叉指间隙为20~200μm。
本实用新型的有益效果在于:
1)超支化结构分子末端带有大量的官能团,易于实现端基改性,赋予其各种各样的功能。并且其还具有良好的溶解性和优异的成膜性能等优点,将其引入高分子中,制备具有超支化结构的的高分子季胺盐湿敏薄膜,其具有良好的溶解性和成膜性,而且其末端具有大量的季胺化单元,可明显提高其离子电导率,有利于降低电阻,尤其是在低湿环境下的电阻,解决低湿环境阻抗过高难以测定的问题。
2)由于超支化高分子湿敏薄膜具有独特的聚集态结构,有利于离子运动及电荷传输,从而可改善其在低湿环境下的导电能力,使湿敏元件具有较低的阻抗,可用于测定低湿环境下湿度;
3)超支化高分子季胺盐湿敏薄膜,大量离子基团位于超支化分子的末端,利于环境中水分子的吸附和脱附,从而使其具有较快的吸湿和脱湿响应速度,响应时间较短;
4)超支化结构的高分子电阻型季胺盐湿敏薄膜与典型的线型化高分子季胺盐具有相同的离子基团,这种感湿基团可导致湿敏薄膜在较宽的湿度范围内具有很高的感湿灵敏度,而且在半对数坐标下响应线性度好;
5)湿敏薄膜的合成制备过程简单,原料价格便宜,适合于批量生产;
6)采用浸涂的方法制备元件,简便易行,元件一致性好,成品率高,适于批量生产;
7)本实用新型的湿敏元件具有体积小,低成本,使用方便等优点。叉指宽度为20~200μm,叉指间隙为20~200μm的叉指金电极结构,以及陶瓷基体可以改善湿敏薄膜与电极基体的接触性,提高元件的稳定性。该湿敏元件可广泛应用于工农业生产过程,仓储,大气环境监测时对于环境湿度精确测量与控制。
附图说明
图1是本实用新型的湿敏元件的结构示意图;
图2是具有超支化结构的高分子湿敏薄膜的合成过程示意图;
图3是H20,H20-COOH和具有超支化结构的高分子季胺盐电阻型湿敏元件的湿敏响应特性曲线;
图4是具有超支化结构的高分子电阻型湿敏元件的响应时间曲线;
图5是具有超支化结构的高分子电阻型湿敏元件的湿滞曲线。
具体实施方式
以下结合附图和实施例进一步说明本实用新型。
参照图1,具有超支化结构的高分子电阻型湿敏元件具有陶瓷基体1在陶瓷基体表面光刻和蒸发有多对叉指金电极2,在叉指金电极上连接有引线4,在陶瓷基体和叉指金电极表面涂覆有湿敏薄膜3,湿敏薄膜3为具有超支化结构的高分子季铵盐湿敏材料。
所说的陶瓷片基体表面的叉指的叉指宽度为20~200μm,叉指间隙为20~200μm。
实施例1:
1)清洗表面光刻和蒸发有叉指金电极的陶瓷基片,烘干备用;
2)在除水除氧处理后的100毫升三口烧瓶中,依次加入10克具有结构(I)的超支化化合物H20,10克丁二酸酐,0.2克SnCl2,30毫升二氧六环,通氩气30分钟,然后升温至120℃,在氩气保护下搅拌反应36小时,得到透明粘稠液体,命名为H20-COOH。
3)在除水除氧处理后的250毫升三口烧瓶中,依次加入20克3-二甲氨基-1-丙醇,30克溴代正丁烷,80毫升丙酮,搅拌均匀,通氩气30分钟,然后升温至40℃,在氩气保护下搅拌反应36小时,得到大量的白色沉淀,真空抽滤,以丙酮洗涤数次,室温下真空干燥过夜,命名为OH-N+。
4)在除水除氧处理后的50毫升三口烧瓶中,依次加入10克H20-COOH,10克OH-N+,0.1克对甲苯磺酸,升温至120℃,通氩气反应3小时,然后抽真空,在120℃下继续反应3小时,反应结束后,体系降至室温下,并用乙醇稀释,在乙醚中沉淀,真空抽滤,室温下真空干燥过夜,命名为H20-N+。
5)将H20-N+溶解在乙醇溶剂中,配制成浓度为5毫克/毫升的溶液,在室温下静置6小时,得到前驱体溶液,采用浸涂机将步骤1)的陶瓷叉指金电极浸渍于前驱体溶液中1分钟,提拉取出后,70℃温度下干燥烘干1小时,得到具有超支化结构的高分子季铵盐电阻型湿敏元件。
实施例2:
1)清洗表面光刻和蒸发有叉指金电极的陶瓷基片,烘干备用;
2)在除水除氧处理后的100毫升三口烧瓶中,依次加入12克具有结构(I)的超支化化合物H20,12克丁二酸酐,0.24克SnCl2,30毫升二氧六环,通氩气30分钟,然后升温至120℃,在氩气保护下搅拌反应36小时,得到透明粘稠液体,命名为H20-COOH。
3)在除水除氧处理后的250毫升三口烧瓶中,依次加入26克3-二甲氨基-1-丙醇,34克溴代正丁烷,80毫升丙酮,搅拌均匀,通氩气30分钟,然后升温至40℃,在氩气保护下搅拌反应36小时,得到大量的白色沉淀,真空抽滤,以丙酮洗涤数次,室温下真空干燥过夜,命名为OH-N+。
4)在除水除氧处理后的50毫升三口烧瓶中,依次加入10克H20-COOH,10克OH-N+,0.2克对甲苯磺酸,升温至140℃,通氩气反应4小时,然后抽真空,在140℃下继续反应4小时,反应结束后,体系降至室温下,并用乙醇稀释,在乙醚中沉淀,真空抽滤,室温下真空干燥过夜,命名为H20-N+。
5)将H20-N+溶解在乙醇溶剂中,配制成浓度为40毫克/毫升的溶液,在室温下静置6小时,得到前驱体溶液,采用浸涂机将步骤1)的陶瓷叉指金电极浸渍于前驱体溶液中1分钟,提拉取出后,70℃温度下干燥烘干1小时,得到具有超支化结构的高分子季铵盐电阻型湿敏元件。
实施例3:
1)清洗表面光刻和蒸发有叉指金电极的陶瓷基片,烘干备用;
2)在除水除氧处理后的100毫升三口烧瓶中,依次加入20克具有结构(I)的超支化化合物H20,20克丁二酸酐,0.4克SnCl2,60毫升二氧六环,通氩气30分钟,然后升温至120℃,在氩气保护下搅拌反应48小时,得到透明粘稠液体,命名为H20-COOH。
3)在除水除氧处理后的250毫升三口烧瓶中,依次加入30克3-二甲氨基-1-丙醇,40克溴代正丁烷,100毫升丙酮,搅拌均匀,通氩气30分钟,然后升温至60℃,在氩气保护下搅拌反应36小时,得到大量的白色沉淀,真空抽滤,以丙酮洗涤数次,室温下真空干燥过夜,命名为OH-N+。
4)在除水除氧处理后的50毫升三口烧瓶中,依次加入20克H20-COOH,20克OH-N+,0.2克对甲苯磺酸,升温至160℃,通氩气反应3小时,然后抽真空,在160℃下继续反应3小时,反应结束后,体系降至室温下,并用乙醇稀释,在乙醚中沉淀,真空抽滤,室温下真空干燥过夜,命名为H20-N+。
5)将H20-N+溶解在乙醇溶剂中,配制成浓度为80毫克/毫升的溶液,在室温下静置6小时,得到前驱体溶液,采用浸涂机将步骤1)的陶瓷叉指金电极浸渍于前驱体溶液中1分钟,提拉取出后,80℃温度下干燥烘干1小时,得到具有超支化结构的高分子季铵盐电阻型湿敏元件。
由图3可见,超支化结构化合物H20与修饰后带有羧基的超支化化合物H20-COOH在较高湿度环境下阻抗都很高,低于60%RH时,阻抗太高而难以测定,湿敏响应特性很差,而本实用新型制备的具有超支化结构的高分子季胺盐电阻型湿敏元件在较宽的湿度范围内具有很高灵敏度,特别在低于20%RH的低湿环境下阻抗也较低,易于测定,而且在半对数坐标下具有很好的响应线性度,体现出很好的湿敏响应特性;
由图4可见,本实用新型制备的具有超支化结构的高分子季胺盐电阻型湿敏元件具有比较快的响应速度,吸湿和脱湿时间都比较短,分别为9.2s和9.8s;
图5所示为具有超支化结构的高分子季胺盐电阻型湿敏元件的湿滞曲线,由图所见,纳米纤维复合湿敏元件湿滞较小,仅为1.4%RH。
Claims (2)
1.具有超支化结构的高分子电阻型湿敏元件,其特征在于:它具有陶瓷基体(1),在陶瓷基体表面光刻和蒸发有多对叉指金电极(2),在叉指金电极上连接有引线(4),在陶瓷基体和叉指金电极表面涂覆有高分子季铵盐湿敏薄膜(3)。
2.根据权利要求1所述的具有超支化结构的高分子电阻型湿敏元件,其特征在于陶瓷片基体表面的叉指金电极的叉指宽度为20~200μm,叉指间隙为20~200μm。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CNU2008201677584U CN201340405Y (zh) | 2008-11-24 | 2008-11-24 | 具有超支化结构的高分子电阻型湿敏元件 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CNU2008201677584U CN201340405Y (zh) | 2008-11-24 | 2008-11-24 | 具有超支化结构的高分子电阻型湿敏元件 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN201340405Y true CN201340405Y (zh) | 2009-11-04 |
Family
ID=41235948
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CNU2008201677584U Expired - Fee Related CN201340405Y (zh) | 2008-11-24 | 2008-11-24 | 具有超支化结构的高分子电阻型湿敏元件 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN201340405Y (zh) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101408522B (zh) * | 2008-11-24 | 2011-12-21 | 浙江大学 | 具有超支化结构的高分子电阻型湿敏元件的制作方法 |
CN104502420A (zh) * | 2014-10-01 | 2015-04-08 | 浙江大学 | 一种湿敏复合膜、其制备方法以及湿度传感器 |
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2008
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C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
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Granted publication date: 20091104 Termination date: 20111124 |