[go: up one dir, main page]

CN201195744Y - 真空镀膜机的工件三维转动支架 - Google Patents

真空镀膜机的工件三维转动支架 Download PDF

Info

Publication number
CN201195744Y
CN201195744Y CNU2008200286386U CN200820028638U CN201195744Y CN 201195744 Y CN201195744 Y CN 201195744Y CN U2008200286386 U CNU2008200286386 U CN U2008200286386U CN 200820028638 U CN200820028638 U CN 200820028638U CN 201195744 Y CN201195744 Y CN 201195744Y
Authority
CN
China
Prior art keywords
rotation
workpiece
shaft
disc
gear
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
CNU2008200286386U
Other languages
English (en)
Inventor
范多旺
范多进
杨树本
牛晓山
武福
孔令刚
王成龙
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Lanzhou Dacheng Technology Co Ltd
Original Assignee
DACHENG AUTOMATION ENGINEERING Co Ltd LANZHOU
Lanzhou Jiaotong University
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by DACHENG AUTOMATION ENGINEERING Co Ltd LANZHOU, Lanzhou Jiaotong University filed Critical DACHENG AUTOMATION ENGINEERING Co Ltd LANZHOU
Priority to CNU2008200286386U priority Critical patent/CN201195744Y/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN201195744Y publication Critical patent/CN201195744Y/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

本实用新型主要涉及一种真空镀膜机的工件三维转动支架，包括有动力输入轴(1－1)、公转盘支撑座(1－2)、公转转动轴承(1－3)、公转盘转动连接盘(1－4)、公转盘(1－5)，在公转盘(1－5)上设有工件转盘支撑杆(13)，工件转盘支撑杆(13)上方设有上支架(14)，工件杆(4)通过转动支撑座(15)与上支架(14)连接，工件杆(4)上设置有工件旋转轴(11)，其特点是在公转盘(1－5)上设有工件自转和工件旋转机构，公转盘转动连接盘(1－4)与自转齿轮盘(2－2)固连。本实用新型可实现工件在真空环境中公转、公转+旋转、公转+自转、公转+自转+旋转四种不同状态的运动效果，具备灵活性、多样性，提高镀膜质量和生产效率。

Description

真空镀膜机的工件三维转动支架
技术领域：
本实用新型主要涉及真空镀膜设备，尤其涉及镀膜工件转动架的结构。
背景技术：
采用真空镀膜技术是目前制备各种性能薄膜的途径之一，常规真空镀膜设备的工件转架仅有公转，公转+自转的功能，为此存在外围镀膜不均匀，局部外露面镀不到或镀层不均匀，环绕型外面体不能一次装夹完成真空镀膜。
实用新型内容：
本实用新型的目的在于避免现有技术的不足之处而提供一种真空镀膜机的工件三维转动支架，可实现工件在真空环境中.公转、公转+旋转、公转+自转、公转+自转+旋转四种不同状态的运动效果，具备灵活性、多样性，提高镀膜质量和生产效率。
本实用新型的目的可以通过采用以下技术方案来实现：一种真空镀膜机的工件三维转动支架，包括有动力输入轴(1-1)、公转盘支撑座(1-2)、公转转动轴承(1-3)、公转盘转动连接盘(1-4)、公转盘(1-5)，在公转盘(1-5)上设有工件转盘支撑杆(13)，工件转盘支撑杆(13)上方设有上支架(14)，工件杆(4)通过工件杆自转上定位转动支撑座(15)与上支架(14)连接，工件杆(4)上设置有工件旋转轴(11)，工件旋转轴(11)通过旋转传递链链条(12)相连接，其主要特点在于：在公转盘(1-5)上设有工件自转和工件旋转机构，公转盘转动连接盘(1-4)与自转齿轮盘(2-2)固连，在自转齿轮盘(2-2)上设有自转盘固定支撑座(2-1)。
所述的工件自转机构是所述的自转齿轮盘(2-2)与自转齿轮(2-3)相啮合，自转齿轮(2-3)与中心轮(2-5)相啮合，中心轮(2-5)与自转空心轴(2-4)固连，并与工件自转旋转连接器(8)和工件杆(4)固连。
所述的工件旋转机构是所述的自转齿轮盘(2-2)与旋转齿轮(3-1)相啮合，旋转齿轮(3-1)与旋转中心轴(3-2)之间设有旋转连接盘(3-3)，旋转连接盘(3-3)与旋转齿轮(3-1)、旋转中心轴(3-2)固连；在旋转中心轴(3-2)上设有伞齿轮(5-1)，与其啮合的伞齿轮(5-2)与工件旋转轴(11)相固接，工件旋转轴(11)设在工件自转旋转连接器(8)上。
所述的真空镀膜机的工件三维转动支架，还包括有在所述的公转盘(1-5)上设有锁定轴头(6-1)，锁定轴头(6-1)通过旋转产生板(6-2)与旋转中心轴(3-2)固连。当旋转中心轴(3-2)不旋转而工件自转旋转连接器(8)处于自转状态时，安装在自转旋转连接器(8)上的工件旋转轴(11)随自转旋转连接器(8)进行自转运动，此时与旋转中心轴(3-2)固连的伞齿轮(5-1)不转动，而与之啮合的伞齿轮(5-2)进行自转运动，这样使工件旋转轴(11)产生了旋转运动。
所述的公转盘(1-5)与轴承座(7)固连，轴承座(7)与自转空心轴(2-4)之间设有轴承(17)；自转空心轴(2-4)与旋转中心轴(3-2)之间设有轴承(16)。
所述的真空镀膜机的工件三维转动支架还包括有所述的工件自转旋转连接器(8)与自转约束限位杆(9)相固连，自转约束限位杆(9)固连于公转盘(1-5)上。此状态由自转约束限位杆(9)将自转旋转连接器(8)约束在一个固定位置，以实现工件不自转。
所述的真空镀膜机的工件三维转动支架，在所述工件杆(4)和工件自转旋转连接器(8)之间设有自转连接头(10)。
本实用新型的有益效果是：
1.该运行机构可以灵活应用，做到：(1).公转；(2).公转+旋转；(3)公转+自转；(4)公转+自转+旋转，四种不同状态的运动效果，具备灵活性、多功能性。
2.在真空镀膜生产中，实现了不同工件的真空镀膜在不同要求的情况下满足不同安装方式的多样性要求，具有广阔的适应性。
3.实现了工件一次性装夹完成所有外露表面的真空镀膜。
4.多功能真空镀膜机的工件三维转动支架在真空镀膜时安装使用，解决了原来真空镀膜设备在镀制复杂工件表面时需要多次变换方向造成表面膜层不均匀问题，提高了镀膜质量和生产效率。
5.多功能真空镀膜机的工件三维转动支架在真空镀膜设备中使用。
附图说明：
图1为本实用新型的总体结构示意图；
图2为本实用新型的实施例1的安装结构示意图；
图3为本实用新型的实施例2的安装结构示意图；
图4为本实用新型的实施例3的安装结构示意图；
图5为本实用新型的实施例4的安装结构示意图。
具体实施方式：
以下结合附图所示之最佳实施例作进一步详述：
实施例1，见图1，图2，一种真空镀膜机的工件三维转动支架，包括有动力输入轴1-1、公转盘支撑座1-2、公转转动轴承1-3、公转盘转动连接盘1-4、公转盘1-5，在公转盘1-5上设有工件转盘支撑杆13，工件转盘支撑杆13上方设有上支架14，工件杆4通过工件杆自转上定位转动支撑座15与上支架14连接，工件杆4上设置有工件旋转轴11，工件旋转轴11设在工件自转旋转连接器8上，工件杆4和工件自转旋转连接器8之间设有自转连接头10，工件旋转轴11通过旋转传递链链条12相连接，在公转盘1-5上设有工件自转和工件旋转机构。公转盘1-5与轴承座7固连，轴承座7与自转空心轴2-4之间设有轴承17；自转空心轴2-4与旋转中心轴3-2之间设有轴承16。此状态自转空心轴2-4、旋转轴3-2、工件自转旋转连接器8和工件旋转轴11均不做转动，所有与自转盘连接的零件均处于脱开状态，外部电机动力输入，带动动力输入轴1-1转动，使公转盘1-5做围绕输入轴的圆周运动，安装固定在公转盘1-5上的工件杆同步做圆周公转运动。
实施例2，见图1，图3，一种真空镀膜机的工件三维转动支架，包括有动力输入轴1-1、公转盘支撑座1-2、公转转动轴承1-3、公转盘转动连接盘1-4、公转盘1-5，在公转盘1-5上设有工件转盘支撑杆13，工件转盘支撑杆13上方设有上支架14，工件杆4通过工件杆自转上定位转动支撑座15与上支架14连接，工件杆4上设置有工件旋转轴11，工件旋转轴11设在工件自转旋转连接器8上，工件杆4和工件自转旋转连接器8之间设有自转连接头10，工件旋转轴11通过旋转传递链链条12相连接，在公转盘1-5上设有工件自转和工件旋转机构。公转盘1-5与轴承座7固连，自转齿轮盘2-2上设有自转盘固定支撑座2-1，工件自转机构的自转齿轮盘2-2与自转齿轮2-3相啮合，自转齿轮2-3与中心轮2-5相啮合，中心轮2-5与自转空心轴2-4固连，并与工件自转旋转连接器8和工件杆4固连。此时外部电机动力输入，带动动力输入轴1-1转动，使公转盘1-5做围绕输入轴的圆周运动，安装固定在公转盘1-5上的工件杆4同步做圆周公转运动；同时自转齿轮2-3与自转盘2-2啮合，自转齿轮2-3与中心轮2-5啮合，从而使自转空心轴2-4围绕旋转中心轴3-2产生自转运动，从而通过工件自动旋转连接器8使工件杆4自转，实现了公转+自转的运动。
实施例3，见图1，图4，一种真空镀膜机的工件三维转动支架，包括有动力输入轴1-1、公转盘支撑座1-2、公转转动轴承1-3、公转盘转动连接盘1-4、公转盘1-5，在公转盘1-5上设有工件转盘支撑杆13，工件转盘支撑杆13上方设有上支架14，工件杆4通过工件杆自转上定位转动支撑座15与上支架14连接，工件杆4上设置有工件旋转轴11，工件旋转轴11设在工件自转旋转连接器8上，工件杆4和工件自转旋转连接器8之间设有自转连接头10，工件自转旋转连接器8与自转约束限位杆9相固连，自转约束限位杆9固连于公转盘1-5上。此状态由自转约束限位杆9将自转旋转连接器8约束在一个固定位置，以实现工件不自转。工件旋转轴11通过旋转传递链链条12相连接，在公转盘1-5上设有工件自转和工件旋转机构。公转盘1-5与轴承座7固连，轴承座7与自转空心轴2-4之间设有轴承17；自转空心轴2-4与旋转中心轴3-2之间设有轴承16。自转齿轮盘2-2上设有自转盘固定支撑座2-1，自转齿轮盘2-2与旋转齿轮3-1相啮合，旋转齿轮3-1与旋转中心轴3-2之间设有旋转连接盘3-3，旋转连接盘3-3与旋转齿轮3-1、旋转中心轴3-2固连；在旋转中心轴3-2上设有伞齿轮5-1，与其啮合的伞齿轮5-2与工件旋转轴11相固接。此时，外部电机动力输入，带动动力输入轴1-1转动，使公转盘1-5做围绕输入轴的圆周运动，安装固定在公转盘1-5上的工件杆同步做圆周公转运动；旋转齿轮3-1与自转盘2-2啮合使旋转轴3-2产生转动，旋转轴3-2经过伞齿轮5-1驱动传动伞齿轮5-2，从而使工件旋转轴11产生旋转。通过链条12使工件旋转轴11均旋转起来，实现公转+旋转的运动。
实施例4，见图1，图5，一种真空镀膜机的工件三维转动支架，包括有动力输入轴1-1、公转盘支撑座1-2、公转转动轴承1-3、公转盘转动连接盘1-4、公转盘1-5，在公转盘1-5上设有工件转盘支撑杆13，工件转盘支撑杆13上方设有上支架14，工件杆4通过工件杆自转上定位转动支撑座15与上支架14连接，工件杆4上设置有工件旋转轴11，工件旋转轴11设在工件自转旋转连接器8上，工件杆4和工件自转旋转连接器8之间设有自转连接头10，工件旋转轴11通过旋转传递链链条12相连接，在公转盘1-5上设有工件自转和工件旋转机构。公转盘1-5与轴承座7固连，自转齿轮盘2-2上设有自转盘固定支撑座2-1，工件自转机构的自转齿轮盘2-2与自转齿轮2-3相啮合，公转盘1-5上设有锁定轴头6-1，锁定轴头6-1通过旋转产生板6-2与旋转中心轴3-2固连。当旋转中心轴3-2不旋转而工件自转旋转连接器8处于自转状态时，安装在自转旋转连接器8上的工件旋转轴11随自转旋转连接器8进行自转运动，此时与旋转中心轴3-2固连的伞齿轮5-1不转动，而与之啮合的伞齿轮5-2进行自转运动，这样使工件旋转轴11产生了旋转运动。与此同时外部电机动力输入，带动动力输入轴1-1转动，使公转盘1-5做围绕输入轴的圆周运动，安装固定在公转盘1-5上的工件杆4同步做圆周公转运动；自转齿轮2-3与自转盘2-2啮合，自转齿轮2-3与中心轮2-5啮合，从而使自转空心轴2-4围绕旋转中心轴3-2产生自转运动，工件旋转轴11通过链条12的传动及伞齿轮5-1与伞齿轮5-2的啮合传动而旋转起来，实现了公转+自转+旋转的运动。

Claims (7)

1.一种真空镀膜机的工件三维转动支架，包括有动力输入轴(1-1)、公转盘支撑座(1-2)、公转转动轴承(1-3)、公转盘转动连接盘(1-4)、公转盘(1-5)，在公转盘(1-5)上设有工件转盘支撑杆(13)，工件转盘支撑杆(13)上方设有上支架(14)，工件杆(4)通过工件杆自转上定位转动支撑座(15)与上支架(14)连接，工件杆(4)上设置有工件旋转轴(11)，工件旋转轴(11)通过旋转传递链链条(12)相连接，其特征在于：在公转盘(1-5)上设有工件自转和工件旋转机构，公转盘转动连接盘(1-4)与自转齿轮盘(2-2)固连，在自转齿轮盘(2-2)上设有自转盘固定支撑座(2-1)。
2.如权利要求1所述的真空镀膜机的工件三维转动支架，其特征在于：所述的工件自转机构是所述的自转齿轮盘(2-2)与自转齿轮(2-3)相啮合，自转齿轮(2-3)与中心轮(2-5)相啮合，中心轮(2-5)与自转空心轴(2-4)固连，并与工件自转旋转连接器(8)和工件杆(4)固连。
3.如权利要求1所述的真空镀膜机的工件三维转动支架，其特征在于：所述的工件旋转机构是所述的自转齿轮盘(2-2)与旋转齿轮(3-1)相啮合，旋转齿轮(3-1)与旋转中心轴(3-2)之间设有旋转连接盘(3-3)，旋转连接盘(3-3)与旋转齿轮(3-1)、旋转中心轴(3-2)固连；在旋转中心轴(3-2)上设有伞齿轮(5-1)，与其啮合的伞齿轮(5-2)与工件旋转轴(11)相固接，工件旋转轴(11)设在工件自转旋转连接器(8)上。
4.如权利要求2所述的真空镀膜机的工件三维转动支架，其特征在于：还包括有在所述的公转盘(1-5)上设有锁定轴头(6-1)，锁定轴头(6-1)通过旋转产生板(6-2)与旋转中心轴(3-2)固连。
5.如权利要求1或2或3或4所述的真空镀膜机的工件三维转动支架，其特征在于：所述的公转盘(1-5)与轴承座(7)固连，轴承座(7)与自转空心轴(2-4)之间设有轴承(17)；自转空心轴(2-4)与旋转中心轴(3-2)之间设有轴承(16)。
6.如权利要求3所述的真空镀膜机的工件三维转动支架，其特征在于：还包括有所述的工件自转旋转连接器(8)与自转约束限位杆(9)相固连，自转约束限位杆(9)固连于公转盘(1-5)上。
7.如权利要求1所述的真空镀膜机的工件三维转动支架，其特征在于：在所述工件杆(4)和工件自转旋转连接器(8)之间设有自转连接头(10)。
CNU2008200286386U 2008-03-12 2008-03-12 真空镀膜机的工件三维转动支架 Expired - Lifetime CN201195744Y (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CNU2008200286386U CN201195744Y (zh) 2008-03-12 2008-03-12 真空镀膜机的工件三维转动支架

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CNU2008200286386U CN201195744Y (zh) 2008-03-12 2008-03-12 真空镀膜机的工件三维转动支架

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN201195744Y true CN201195744Y (zh) 2009-02-18

Family

ID=40415381

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CNU2008200286386U Expired - Lifetime CN201195744Y (zh) 2008-03-12 2008-03-12 真空镀膜机的工件三维转动支架

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN201195744Y (zh)

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102199757A (zh) * 2010-03-24 2011-09-28 华东师范大学 一种用于气相沉积设备的样品旋转支撑装置
CN101736309B (zh) * 2009-12-18 2011-11-16 广州市光机电技术研究院 用于真空镀膜的水平方向公自转机构
CN103590005A (zh) * 2013-11-15 2014-02-19 浙江星星瑞金科技股份有限公司 一种真空镀膜机
CN104630707A (zh) * 2015-01-23 2015-05-20 中国航天时代电子公司 一种抑制二次电子发射的微波器件镀膜处理装置及方法
CN105112880A (zh) * 2015-10-08 2015-12-02 厦门美澜光电科技有限公司 镜片镀膜方法
CN107740063A (zh) * 2017-11-16 2018-02-27 温州卡耐夫电器有限公司 真空镀铝设备用工件承载结构
CN109737142A (zh) * 2018-12-20 2019-05-10 兰州空间技术物理研究所 一种固体润滑轴承内圈保护装置
CN110760810A (zh) * 2019-11-27 2020-02-07 中山凯旋真空科技股份有限公司 转架及具有其的镀膜设备

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101736309B (zh) * 2009-12-18 2011-11-16 广州市光机电技术研究院 用于真空镀膜的水平方向公自转机构
CN102199757A (zh) * 2010-03-24 2011-09-28 华东师范大学 一种用于气相沉积设备的样品旋转支撑装置
CN103590005A (zh) * 2013-11-15 2014-02-19 浙江星星瑞金科技股份有限公司 一种真空镀膜机
CN103590005B (zh) * 2013-11-15 2016-03-02 浙江星星瑞金科技股份有限公司 一种真空镀膜机
CN104630707A (zh) * 2015-01-23 2015-05-20 中国航天时代电子公司 一种抑制二次电子发射的微波器件镀膜处理装置及方法
CN105112880A (zh) * 2015-10-08 2015-12-02 厦门美澜光电科技有限公司 镜片镀膜方法
CN107740063A (zh) * 2017-11-16 2018-02-27 温州卡耐夫电器有限公司 真空镀铝设备用工件承载结构
CN109737142A (zh) * 2018-12-20 2019-05-10 兰州空间技术物理研究所 一种固体润滑轴承内圈保护装置
CN109737142B (zh) * 2018-12-20 2020-06-23 兰州空间技术物理研究所 一种固体润滑轴承内圈保护装置
CN110760810A (zh) * 2019-11-27 2020-02-07 中山凯旋真空科技股份有限公司 转架及具有其的镀膜设备

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN201195744Y (zh) 真空镀膜机的工件三维转动支架
CN101311297A (zh) 真空镀膜设备工件三维转动机构
CN201587977U (zh) 一种镀膜机用镀膜夹具
CN110331375B (zh) 一种镀膜室用基板装载装置
CN106737134B (zh) 一种能够实现上抛光盘无理数转动的机构
CN101633438B (zh) 一种散装物料布料装置
CN207229692U (zh) 球形槽轮传动装置
CN104004994A (zh) 回转零件的镀膜装置和镀膜方法
CN207309326U (zh) 一种双回转自由度变速器装配线托盘
CN106737191A (zh) 一种能够实现下抛光盘无理数转动的机构
CN206607311U (zh) 一种真空镀膜机中的圆柱柄刀具涂层夹具装置
CN213113490U (zh) 一种真空镀膜的自转式工架机构
CN109082699A (zh) 一种电子元件用可旋转全方位电镀装置
CN219380358U (zh) 一种防飞盘游星轮载料装置及抛光设备
CN208034427U (zh) 用于连续式曲面抛光机的高精密传动系统
CN209830885U (zh) 一种用于切割机伺服谐波转盘装置
CN219239752U (zh) 一种用于真空镀膜设备的刀盘转架
CN202595264U (zh) 真空镀膜机上的工件架
CN206614403U (zh) 一种能够实现上抛光盘无理数转动的机构
CN216107173U (zh) 一种镀膜用工件装载装置及镀膜设备
CN105563272A (zh) 一种火箭发动机壳体绝热层打磨机构
CN204725247U (zh) 变轨迹-超声椭圆振动辅助固结磨粒抛光机
CN210307278U (zh) 蓝宝石切片立式双面研磨设备
CN116334568A (zh) 单向旋转装置、上料装置以及真空镀膜设备
CN206702824U (zh) 游星轮及研磨机

Legal Events

Date Code Title Description
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
ASS Succession or assignment of patent right

Owner name: LANZHOU DC TECHNOLOGY CO., LTD.

Free format text: FORMER OWNER: LANZHOU DC AUTOMATION ENGINEERING CO., LTD.

Effective date: 20100604

Free format text: FORMER OWNER: LANZHOU JIAOTONG UNIVERSITY

C41 Transfer of patent application or patent right or utility model
COR Change of bibliographic data

Free format text: CORRECT: ADDRESS; FROM: 730070 NO.88, ANNING WEST ROAD, LANZHOU CITY, GANSU PROVINCE TO: 730000 LANZHOU HIGH-TECH. INDUSTRIAL DEVELOPMENT AREA (NO.575, ZHANGSUTAN), GANSU PROVINCE

TR01 Transfer of patent right

Effective date of registration: 20100604

Address after: 730000 Lanzhou hi tech Industrial Development Zone, Gansu province (No. 575 Zhang ha Beach)

Patentee after: Lanzhou Dacheng Technology Co., Ltd.

Address before: 730070 Anning West Road, Gansu, Lanzhou, No. 88

Co-patentee before: Lanzhou Jiaotong Univ.

Patentee before: Dacheng Automation Engineering Co., Ltd., Lanzhou

EE01 Entry into force of recordation of patent licensing contract

Assignee: Changzhou Dacheng Green Coating Science & Technology Co., Ltd.

Assignor: Lanzhou Dacheng Technology Co., Ltd.

Contract record no.: 2011320000522

Denomination of utility model: Three-dimensional rotating bracket for workpiece of vacuum coating machine

Granted publication date: 20090218

License type: Exclusive License

Record date: 20110406

AV01 Patent right actively abandoned

Granted publication date: 20090218

Effective date of abandoning: 20080312