CN119480751A - 用于晶圆键合设备中的视觉对位装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及晶圆键合技术领域，具体涉及一种用于晶圆键合设备中的视觉对位装置，主要解决现有视觉对位装置存在的体积偏大的技术问题。所述用于晶圆键合设备中的视觉对位装置包括箱体，通过设于箱体侧壁的操作窗口实现与机械手的对接，箱体内设有龙门架，通过将上静电吸盘和光学机构设于龙门架上，将下静电吸盘通过安装架和对位驱动件安装在龙门架内，将顶针机构安装在安装架上，同时将预键合驱动件贯穿对位驱动件和下静电吸盘的中部设置，使得各部分结构能够独立动作且互不干涉，结构紧凑度较高，从而使得装置的体积更小，能够适用于空间受限的场景使用，同时也能够避免抽真空工作量的增加。

Description

用于晶圆键合设备中的视觉对位装置

技术领域

本发明涉及晶圆键合技术领域，尤其涉及一种用于晶圆键合设备中的视觉对位装置。

背景技术

晶圆键合，即通过化学和物理作用将两块已镜面抛光的同质或异质的晶片紧密地结合起来，实现3D集成与先进封装中的垂直堆叠以及电气互连的过程。晶圆键合设备中一般集成有烘烤装置、视觉对位装置、键合装置等。其中，视觉对位装置的主要功能是将上晶圆和下晶圆的相对位置进行校准，并以校准后的姿态完成预键合。

视觉对位装置在使用时一般配置有真空操作腔，真空操作腔与对位腔体通过插板阀连接，真空操作腔内设有机械手，作业时首先将对位腔体内抽真空，机械手拾取上晶圆或下晶圆并通过插板阀将上晶圆或下晶圆送至对位腔体内，然后机械手收回，最后关闭插板阀进行视觉对位以及预键合操作。

由于视觉对位装置内需设置光学组件、对位组件、预键合组件等诸多结构，现有视觉对位装置为保证各结构动作互不干涉，需占用较大空间，装置整体的体积偏大，应用场景受限，同时对位腔体作业时需保持真空环境，体积偏大也间接增大了抽真空的工作量。

发明内容

为克服现有视觉对位装置存在的体积偏大的技术缺陷，本发明提供了一种用于晶圆键合设备中的视觉对位装置。

本发明提供的用于晶圆键合设备中的视觉对位装置，包括：

机架；

箱体，其固定在所述机架上且形成密闭的对位腔体，所述箱体的侧壁设有操作窗口，所述操作窗口安装有开闭阀门；

龙门架，其固定于所述对位腔体内；

上静电吸盘，其固定于所述龙门架的顶梁下方；

对位驱动件，其位于所述龙门架内且安装在所述箱体的底壁上，所述对位驱动件的输出部位于其顶部且用以输出空间六自由度运动；

下静电吸盘，其通过安装架间接固定于所述对位驱动件的输出部上方；

顶针机构，其包括升降板，所述升降板位于所述下静电吸盘的下方，所述下静电吸盘设有沿周向分布的至少三个顶升孔，所述升降板上对应顶升孔设有针体，所述升降板安装在所述安装架上且被驱动能竖直升降以使针体穿过顶升孔顶升上晶圆或下晶圆；

预键合驱动件，其壳体固定在机架上且位于所述箱体的下方，所述预键合驱动件的输出轴密封贯穿所述箱体的底壁，所述对位驱动件的中部设有竖向布置的第一避让孔，所述下静电吸盘的中部设有竖向布置的第二避让孔，所述预键合驱动件的输出轴用以依次贯穿第一避让孔和第二避让孔后顶升下晶圆；

光学机构，其安装在所述龙门架上，所述下静电吸盘和/或上静电吸盘开设有成像窗口，所述光学机构用以通过所述成像窗口获取上晶圆图像和下晶圆图像。

可选的，所述对位驱动件包括六轴平台和压电平台，所述六轴平台的底部固定在所述箱体的底壁上，所述压电平台连接在所述六轴平台的顶部，所述安装架固定在所述压电平台的顶部。

可选的，所述安装架与六轴平台的顶部之间设有阻尼弹簧。

可选的，所述光学机构包括对称分布的上视觉组件和下视觉组件，所述上视觉组件与下视觉组件通过连接架固定连接，所述下静电吸盘和上静电吸盘皆开设有成像窗口，所述上视觉组件安装在所述龙门架的顶梁上且用以通过上静电吸盘的成像窗口获取上晶圆图像，所述下视觉组件位于所述下静电吸盘的下方且用以通过下静电吸盘的成像窗口获取下晶圆图像。

可选的，所述上视觉组件通过导轨副滑动安装在所述龙门架的顶梁上，所述上视觉组件的滑动方向与机械手进出方向垂直，且所述上视觉组件连接有用以驱动其滑动的驱动件。

可选的，所述上视觉组件在其滑动方向的一侧安装有所述导轨副，所述上视觉组件在其滑动方向的另一侧安装有真空滑台以作为所述驱动件。

可选的，还包括顶出驱动件，所述顶出驱动件的壳体固定在所述龙门架的顶梁上方，所述上静电吸盘还设有贯穿孔，所述顶出驱动件的输出轴朝下布置且用以穿过所述贯穿孔后将预键合后的晶圆顶出。

可选的，所述箱体的侧壁上密封安装有照明玻璃。

可选的，所述开闭阀门为插板阀。

本发明提供的技术方案与现有技术相比具有如下优点：

本发明提供的用于晶圆键合设备中的视觉对位装置，设有箱体，通过设于箱体侧壁的操作窗口实现与机械手的对接，箱体内设有龙门架，通过将上静电吸盘和光学机构设于龙门架上，将下静电吸盘通过安装架和对位驱动件安装在龙门架内，将顶针机构安装在安装架上，同时将预键合驱动件贯穿对位驱动件和下静电吸盘的中部设置，使得各部分结构能够独立动作且互不干涉，结构紧凑度较高，从而使得装置的体积更小，能够适用于空间受限的场景使用，同时也能够避免抽真空工作量的增加。

附图说明

此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本发明的实施例，并与说明书一起用于解释本发明的原理。

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，对于本领域普通技术人员而言，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1表示本发明实施例中视觉对位装置的结构示意图；

图2表示本发明实施例中视觉对位装置的内部结构示意图（去除箱体）；

图3表示本发明实施例中下静电吸盘、顶针机构及对位驱动件的装配结构示意图；

图4表示本发明实施例中下静电吸盘与顶针机构配合示意图；

图5表示本发明实施例中龙门架、下静电吸盘及顶出驱动件的装配结构爆炸图；

图6表示本发明实施例中光学机构的结构示意图。

图中：

1、机架；2、箱体；21、对位腔体；22、操作窗口；23、照明玻璃；3、龙门架；4、上静电吸盘；41、贯穿孔；5、对位驱动件；51、第一避让孔；52、六轴平台；53、压电平台；54、阻尼弹簧；6、下静电吸盘；61、安装架；62、顶升孔；63、第二避让孔；7、顶针机构；71、升降板；72、针体；8、预键合驱动件；9、光学机构；91、成像窗口；92、上视觉组件；93、下视觉组件；94、连接架；95、导轨副；96、真空滑台；10、顶出驱动件。

具体实施方式

为了能够更清楚地理解本发明的上述目的、特征和优点，下面将对本发明的方案进行进一步描述。需要说明的是，在不冲突的情况下，本发明的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

在描述中，需要说明的是，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语的具体含义。

在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明，但本发明还可以采用其他不同于在此描述的方式来实施；显然，说明书中的实施例只是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。

下面结合图1至图6对本发明的具体实施例进行详细说明。

本实施例提供一种用于晶圆键合设备中的视觉对位装置，包括机架1、箱体2、龙门架3、上静电吸盘4、对位驱动件5、下静电吸盘6、顶针机构7、预键合驱动件8和光学机构9。

其中，机架1主要用以为其他部件提供硬件支撑，具体结构不作限定。

进一步的，本实施例在机架1的底部安装有滚轮，以方便装置整体的搬运移动。

其中，箱体2固定在机架1上且形成密闭的对位腔体21，箱体2的侧壁设有操作窗口22，操作窗口22安装有开闭阀门。

容易理解的，由于视觉对位时需在真空环境中进行，所以箱体2在实际设计时应安装有抽真空结构以及用以检测真空度的真空规管；同时，可根据需要设置转接头以连接检测机构，还可设置吊挂以连接吊具，亦可设置其他结构以辅助作业。

具体的，本实施例的开闭阀门为插板阀。

进一步的，本实施例在箱体2的侧壁上密封安装有照明玻璃23。照明玻璃23能够调节对位腔体21内的亮度，以满足光学机构9作业的亮度要求。

进一步的，本实施例在箱体2的外侧壁设置有硅胶板，硅胶板具有一定柔韧性，能够减小磕碰对装置内部结构造成的震荡，从而减小对装置内部结构位置精度的影响。

其中，龙门架3固定于对位腔体21内。

容易理解的，龙门架3主要用以安装其他部件，同时将对位腔体21划分为龙门架3顶梁上方、龙门架3内部等多个安装区，更加充分有效的利用对位腔体21内的空间。

容易理解的，龙门架3由顶梁和两根立柱组成。顶梁和立柱的结构不作限定，例如本实施例中顶梁和立柱皆设为H型结构。

其中，上静电吸盘4固定于龙门架3的顶梁下方。

容易理解的，静电吸盘为本领域成熟结构，其表面设有用以连接电极的电极孔，工作时通过电极为整个盘面提供均匀电场，依据库仑定律和洛伦兹定律实现晶圆表面的电荷极化，从而达到晶圆吸附的效果。所述上静电吸盘4以及后文提及的下静电吸盘6皆采用这种原理制成。

需要说明的是，为配合其他部件工作，上静电吸盘4还设有成像窗口91和贯穿孔41，为更好理解，成像窗口91和贯穿孔41的具体作用在后文中结合相应部件进行阐述。

其中，对位驱动件5位于龙门架3内且安装在箱体2的底壁上，对位驱动件5的输出部位于其顶部且用以输出空间六自由度运动。

具体的，本实施例的对位驱动件5包括六轴平台52和压电平台53，六轴平台52的底部固定在箱体2的底壁上，压电平台53连接在六轴平台52的顶部，安装架61固定在压电平台53的顶部。工作时，六轴平台52带动压电平台53、安装架61以及下静电吸盘6一体沿空间六自由度运动，从而实现下晶圆在空间内位置的任意调节，进而实现下晶圆与上晶圆的粗对位；压电平台53利用自身高精度的特性，在下晶圆与上晶圆的粗对位之后，对下晶圆的位置进行进一步调节，从而实现下晶圆与上晶圆的精对位。通过六轴平台52实现粗对位，再通过压电平台53实现精对位，如此能够在保证对位效率的前提下有效提高对位精度。更具体的，六轴平台52包括位于顶部的环板和位于底部的固定板，环板与压电平台53连接，固定板与箱体2底部连接，环板与固定板之间通过六个伸缩驱动副活动连接，通过六个伸缩驱动副的配合实现环板的空间六自由度运动；压电平台53为方环形结构，压电平台53包括底座和输出部，输出部通过压电驱动结构安装在底座的顶部并与安装架61连接，压电驱动结构利用压电陶瓷材料的逆压电效应，通过控制压电陶瓷材料的机械变形产生空间运动，从而实现输出部的空间运动。

需要说明的是，传统电机运行会散发微小粒子和分子沉淀，容易污染对位腔体21的真空环境，本实施例的对位驱动件5采用六轴平台52和压电平台53的组合结构，能够避免微小粒子和分子沉淀，从而能够避免真空环境的污染。

进一步的，本实施例在安装架61与六轴平台52的顶部之间设有阻尼弹簧54。阻尼弹簧54能够分担部分安装架61以及附属结构的重量，从而降低压电平台53的承重量，进而避免压电平台53被压坏。具体的，阻尼弹簧54包括销轴和簧体，销轴的下端固定在六轴平台52的顶部，销轴的上端间隙贯穿安装架61的底部，簧体套装在销轴上且处于压缩姿态，簧体的两端分别抵接在六轴平台52和安装架61上，如此利用簧体压缩产生的弹力分担部分安装架61以及附属结构的重量。

需要说明的是，为配合其他部件工作，对位驱动件5还设有第一避让孔51，为更好理解，第一避让孔51的具体作用在后文中结合相应部件进行阐述。

其中，下静电吸盘6通过安装架61间接固定于对位驱动件5的输出部上方。

需要说明的是，为配合其他部件工作，下静电吸盘6还设有成像窗口91、顶升孔62和第二避让孔63，为更好理解，成像窗口91、顶升孔62和第二避让孔63的具体作用在后文中结合相应部件进行阐述。

其中，顶针机构7包括升降板71，升降板71位于下静电吸盘6的下方，下静电吸盘6设有沿周向分布的至少三个顶升孔62，升降板71上对应顶升孔62设有针体72，升降板71安装在安装架61上且被驱动能竖直升降以使针体72穿过顶升孔62顶升上晶圆或下晶圆。工作时，机械手首先将上晶圆送至对位腔体21内，针体72上升将上晶圆顶起至接触上静电吸盘4的下表面，同时上静电吸盘4通过静电将上晶圆吸附；然后针体72落回原位，机械手再将下晶圆送至对位腔体21内，针体72上升将下晶圆顶起，待机械手退出对位腔体21后，针体72落回原位，使下晶圆吸附在下静电吸盘6的上表面。

容易理解的，顶升孔62设为至少三个，主要目的是为保证针体72对晶圆顶升的稳定性；顶升孔62的主要目的就是为了避让针体72的运动，以使得针体72能够贯穿下静电吸盘6接触晶圆。

其中，预键合驱动件8的壳体固定在机架1上且位于箱体2的下方，预键合驱动件8的输出轴密封贯穿箱体2的底壁，对位驱动件5的中部设有竖向布置的第一避让孔51，下静电吸盘6的中部设有竖向布置的第二避让孔63，预键合驱动件8的输出轴用以依次贯穿第一避让孔51和第二避让孔63后顶升下晶圆。在下晶圆完成与上晶圆的视觉对位后，预键合驱动件8动作使其输出轴上升并依次贯穿第一避让孔51和第二避让孔63后将下晶圆顶起至接触上晶圆，以完成上晶圆与下晶圆的预键合。

需要说明的是，在粗对位时，六轴平台52已经将上晶圆与下晶圆之间的间隙调节至较小，所以预键合驱动件8顶升下晶圆时对下晶圆的位置精度影响较小，能够满足工艺要求。

容易理解的，六轴平台52的环板内孔以及压电平台53的方环形结构内孔共同形成所述第一避让孔51，第一避让孔51和第二避让孔63主要用以避让预键合驱动件8的输出轴运动，以使得预键合驱动件8的输出轴能够依次贯穿对位驱动件5和下静电吸盘6接触下晶圆。

具体的，本实施例的预键合驱动件8为电缸，精度较高。

其中，光学机构9安装在龙门架3上，下静电吸盘6和/或上静电吸盘4开设有成像窗口91，光学机构9用以通过成像窗口91获取上晶圆图像和下晶圆图像。工作时，光学机构9获取上晶圆图像和下晶圆图像，通过上晶圆标记和下晶圆标记的位置差异确定下晶圆补偿位移的方向和大小。

需要理解的是，可以仅在下静电吸盘6开设成像窗口91，此时光学机构9需设置在下静电吸盘6的下方，并且需采用具有穿透力的红外光学元件，以能够同时获取上晶圆图像和下晶圆图像；也可以仅在上静电吸盘4开设成像窗口91，此时光学机构9需设置在上静电吸盘4的上方，并且需采用具有穿透力的红外光学元件，以能够同时获取上晶圆图像和下晶圆图像；还可以在上静电吸盘4和下静电吸盘6皆设置成像窗口91，光学机构9需设置两套视觉组件且分别位于下静电吸盘6的下方和上静电吸盘4的上方，以分别获取上晶圆图像和下晶圆图像，本实施例即采用此种方案。

具体的，本实施例的光学机构9包括对称分布的上视觉组件92和下视觉组件93，上视觉组件92与下视觉组件93通过连接架94固定连接，下静电吸盘6和上静电吸盘4皆开设有成像窗口91，上视觉组件92安装在龙门架3的顶梁上且用以通过上静电吸盘4的成像窗口91获取上晶圆图像，下视觉组件93位于下静电吸盘6的下方且用以通过下静电吸盘6的成像窗口91获取下晶圆图像。容易理解的，由于上视觉组件92和下视觉组件93通过连接架94固定连接且对称分布，所以上视觉组件92和下视觉组件93的相对位置是确定的，所获取的上晶圆图像和下晶圆图像的相对位置也是确定的。工作时，通过上视觉组件92和下视觉组件93分别获取上晶圆图像和下晶圆图像，能够达到高清晰、低畸变的目的，从而更利于保证预键合精度。

进一步的，本实施例的上视觉组件92通过导轨副95滑动安装在龙门架3的顶梁上，上视觉组件92的滑动方向与机械手进出方向垂直，且上视觉组件92连接有用以驱动其滑动的驱动件。通过导轨副95能够使上视觉组件92和下视觉组件93相对机械手进出的方向两侧移动，从而能够适用于不同规格或不同标记的晶圆的视觉对位。

更进一步的，本实施例的上视觉组件92在其滑动方向的一侧安装有导轨副95，上视觉组件92在其滑动方向的另一侧安装有真空滑台96以作为驱动件。真空滑台96作为动力元件的同时还具有支撑导向的作用，能够进一步节省占用空间，更利于装置整体体积的缩减。

需要注意的是，本实施例中，上静电吸盘4和下静电吸盘6皆开设有两个成像窗口91，上晶圆和下晶圆上皆设有两个标记，光学机构9设有左右对称分布的两套，两套光学机构9分别通过两个成像窗口91捕捉上晶圆或下晶圆上的两个标记，以更加准确的确定上晶圆或下晶圆的位置。

此外，本实施例的视觉对位装置还包括顶出驱动件10，顶出驱动件10的壳体固定在龙门架3的顶梁上方，上静电吸盘4还设有贯穿孔41，顶出驱动件10的输出轴朝下布置且用以穿过贯穿孔41后将预键合后的晶圆顶出。工作时，在下晶圆与上晶圆预键合完毕后，即使上静电吸盘4断电，上晶圆与上静电吸盘4之间还可能存在残余静电导致晶圆不掉落，所以本实施例增设顶出驱动件10，用以在预键合后将晶圆顶出，使晶圆脱离上静电吸盘4落在机械手上，以保证后续工序的顺利进行。

容易理解的，贯穿孔41主要用以避让顶出驱动件10的输出轴运动，以使得顶出驱动件10的输出轴能够贯穿上静电吸盘4接触上晶圆。

具体的，本实施例的顶出驱动件10为电动推杆。

本实施例的用于晶圆键合设备中的视觉对位装置的工作过程如下：

S1.对箱体2所围成的对位腔体21抽真空，使对位腔体21的真空度满足工艺要求；

S2.机械手托载上晶圆并通过操作窗口22将上晶圆送入对位腔体21内，顶针上升将上晶圆顶起至接触上静电吸盘4的下表面，上静电吸盘4通电并通过静电吸附上晶圆，机械手退出对位腔体21；

S3. 机械手托载下晶圆并通过操作窗口22将下晶圆送入对位腔体21内，顶针上升将下晶圆顶起至脱离机械手，机械手退出对位腔体21，顶针回落使下晶圆落在下静电吸盘6的上表面，下静电吸盘6通电并通过静电吸附下晶圆；

S4.上视觉组件92通过上静电吸盘4的成像窗口91获取上晶圆图像，下视觉组件93通过下静电吸盘6的成像窗口91获取下晶圆图像，通过上晶圆图像的标记和下晶圆图像的标记的位置差异确定下晶圆补偿位移的方向和大小；

S5.通过六轴平台52对下晶圆进行粗对位，通过压电平台53对下晶圆进行精对位，最终使得下晶圆图像的标记和上晶圆图像的标记重叠，对位完成；

S6.预键合驱动件8动作将下晶圆顶起至接触上晶圆，下晶圆与上晶圆通过静电吸附，完成预键合；

S7.机械手通过操作窗口22进入对位腔体21，顶出驱动件10动作将预键合后的晶圆顶出至脱离上静电吸盘4并落在机械手上，机械手托载预处理后的晶圆退出对位腔体21。

以上仅是本发明的具体实施方式，使本领域技术人员能够理解或实现本发明。尽管参照前述各实施例进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离各实施例技术方案的范围，其均应涵盖权利要求书的保护范围中。

Claims (9)

1.一种用于晶圆键合设备中的视觉对位装置，其特征在于，包括：

机架（1）；

箱体（2），其固定在所述机架（1）上且形成密闭的对位腔体（21），所述箱体（2）的侧壁设有操作窗口（22），所述操作窗口（22）安装有开闭阀门；

龙门架（3），其固定于所述对位腔体（21）内；

上静电吸盘（4），其固定于所述龙门架（3）的顶梁下方；

对位驱动件（5），其位于所述龙门架（3）内且安装在所述箱体（2）的底壁上，所述对位驱动件（5）的输出部位于其顶部且用以输出空间六自由度运动；

下静电吸盘（6），其通过安装架（61）间接固定于所述对位驱动件（5）的输出部上方；

顶针机构（7），其包括升降板（71），所述升降板（71）位于所述下静电吸盘（6）的下方，所述下静电吸盘（6）设有沿周向分布的至少三个顶升孔（62），所述升降板（71）上对应顶升孔（62）设有针体（72），所述升降板（71）安装在所述安装架（61）上且被驱动能竖直升降以使针体（72）穿过顶升孔（62）顶升上晶圆或下晶圆；

预键合驱动件（8），其壳体固定在机架（1）上且位于所述箱体（2）的下方，所述预键合驱动件（8）的输出轴密封贯穿所述箱体（2）的底壁，所述对位驱动件（5）的中部设有竖向布置的第一避让孔（51），所述下静电吸盘（6）的中部设有竖向布置的第二避让孔（63），所述预键合驱动件（8）的输出轴用以依次贯穿第一避让孔（51）和第二避让孔（63）后顶升下晶圆；

光学机构（9），其安装在所述龙门架（3）上，所述下静电吸盘（6）和/或上静电吸盘（4）开设有成像窗口（91），所述光学机构（9）用以通过所述成像窗口（91）获取上晶圆图像和下晶圆图像。

2.根据权利要求1所述的用于晶圆键合设备中的视觉对位装置，其特征在于，所述对位驱动件（5）包括六轴平台（52）和压电平台（53），所述六轴平台（52）的底部固定在所述箱体（2）的底壁上，所述压电平台（53）连接在所述六轴平台（52）的顶部，所述安装架（61）固定在所述压电平台（53）的顶部。

3.根据权利要求2所述的用于晶圆键合设备中的视觉对位装置，其特征在于，所述安装架（61）与六轴平台（52）的顶部之间设有阻尼弹簧（54）。

4.根据权利要求1所述的用于晶圆键合设备中的视觉对位装置，其特征在于，所述光学机构（9）包括对称分布的上视觉组件（92）和下视觉组件（93），所述上视觉组件（92）与下视觉组件（93）通过连接架（94）固定连接，所述下静电吸盘（6）和上静电吸盘（4）皆开设有成像窗口（91），所述上视觉组件（92）安装在所述龙门架（3）的顶梁上且用以通过上静电吸盘（4）的成像窗口（91）获取上晶圆图像，所述下视觉组件（93）位于所述下静电吸盘（6）的下方且用以通过下静电吸盘（6）的成像窗口（91）获取下晶圆图像。

5.根据权利要求4所述的用于晶圆键合设备中的视觉对位装置，其特征在于，所述上视觉组件（92）通过导轨副（95）滑动安装在所述龙门架（3）的顶梁上，所述上视觉组件（92）的滑动方向与机械手进出方向垂直，且所述上视觉组件（92）连接有用以驱动其滑动的驱动件。

6.根据权利要求5所述的用于晶圆键合设备中的视觉对位装置，其特征在于，所述上视觉组件（92）在其滑动方向的一侧安装有所述导轨副（95），所述上视觉组件（92）在其滑动方向的另一侧安装有真空滑台（96）以作为所述驱动件。

7.根据权利要求1所述的用于晶圆键合设备中的视觉对位装置，其特征在于，还包括顶出驱动件（10），所述顶出驱动件（10）的壳体固定在所述龙门架（3）的顶梁上方，所述上静电吸盘（4）还设有贯穿孔（41），所述顶出驱动件（10）的输出轴朝下布置且用以穿过所述贯穿孔（41）后将预键合后的晶圆顶出。

8.根据权利要求1至7任一项所述的用于晶圆键合设备中的视觉对位装置，其特征在于，所述箱体（2）的侧壁上密封安装有照明玻璃（23）。

9.根据权利要求1至7任一项所述的用于晶圆键合设备中的视觉对位装置，其特征在于，所述开闭阀门为插板阀。