CN119062574A - 一种多级罗茨真空泵 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及真空泵技术领域,且公开了一种多级罗茨真空泵,包括:壳体部;设置在壳体部内的转子部;设置在壳体部一侧的驱动电机;设置在壳体部另一侧的齿轮箱;所述转子部与驱动电机以及齿轮箱联动配合,所述驱动电机带动转子部转动;其中,所述壳体部内设置有第一空冷结构,包括进气通道、出气通道以及两个轴孔,所述出气通道包括第一支道、第二支道以及第三支道,所述第一支道与进气通道相连通且延伸至第二支道,所述第二支道与第三支道相连通,所述第二支道延伸至一个轴孔内,所述第一支道与第三支道延伸至另一个轴孔。本发明采用氮气作为降温介质,安全无污染,同时噪音小,实现绿色环保的真空泵结构。
Description
技术领域
本发明涉及真空泵技术领域,具体为一种采用氮气冷却的多级罗茨真空泵。
背景技术
多级罗茨真空泵是一种变容真空泵,其工作原理基于两个相反方向同步旋转的叶形转子,其转子间、转子与泵壳内壁间有细小间隙而互不接触,由于多级罗茨真空泵在工作过程中会产出热量,因此需要相应的冷却结构对其进行冷却,在专利号为CN115013316A中公开了一种自冷却的多级罗茨真空泵和多级罗茨真空泵自冷却方法,包括安装座和设置在安装座上方的真空泵外壳,真空泵外壳的内部安装有叶轮,叶轮设置有两个,两个叶轮与真空泵外壳上的电机输出轴连接,安装座的上方设置有循环驱动冷却机构,真空泵外壳上设置有接触导热机构,通过循环驱动冷却机构的设置,便于利用水流进行快速降温。
此类冷却结构,无法针对转子轴连接处的轴承位置进行降温以及除尘,导致轴承以及转子轴寿命下降,影响正常使用。
发明内容
本发明的目的在于提供一种多级罗茨真空泵,以解决上述背景技术中提出的问题。
为解决上述技术问题,本发明是通过以下技术方案实现的:
本发明为一种多级罗茨真空泵,包括:
壳体部;
设置在壳体部内的转子部,所述转子部包括转子轴与设置在转子轴上的转子片;
设置在壳体部一侧的驱动电机;
设置在壳体部另一侧的齿轮箱;
所述转子部与驱动电机以及齿轮箱联动配合,所述驱动电机带动转子部转动;
其中,所述壳体部内设置有第一空冷结构,所述第一空冷结构与外部氮气源相连通,所述第一空冷结构包括进气通道、出气通道以及两个轴孔,所述轴孔用以容纳转子轴,所述出气通道包括第一支道、第二支道以及第三支道,所述第一支道与进气通道相连通且延伸至第二支道,所述第二支道与第三支道相连通,所述第二支道延伸至一个轴孔内,所述第一支道与第三支道延伸至另一个轴孔。
进一步地,所述壳体部包括相对设置的两个半壳体,两个所述半壳体将转子部容纳在内,所述半壳体两侧分别设置有第一安装座与第二安装座,所述第一安装座用以连接驱动电机,所述第二安装座用以连接齿轮箱。
进一步地,所述第一空冷结构设置在第一安装座内,所述进气通道从第一安装座的一侧向内延伸,并延伸至两个轴孔之间,所述第一支道、第二支道以及第三支道与相连通的轴孔之间均具有小于90°的夹角。
进一步地,所述进气通道贯穿第一支道的中部,所述第一支道与第三支道大体平行,所述第二支道与第三支道交叉设置,所述第一支道与相连接的轴孔的后部连通,所述第三支道与相连接的轴孔的前部连通。
进一步地,所述壳体部上设置有气体流道,气体流道与外部氮气源以及壳体部内的转子腔室相连通,所述转子腔室用以容纳转子部。
进一步地,所述转子片包括依次间隔设置的第一叶片、第二叶片、第三叶片、第四叶片、第五叶片以及第六叶片,所述第一叶片、第二叶片、第三叶片、第四叶片以及第五叶片的厚度逐渐增大,所述第六叶片的厚度小于第五叶片的厚度且大于第四叶片的厚度。
进一步地,所述第五叶片的厚度大于转子片整体厚度的1/2。
进一步地,所述气体流道内设置有一止回球体,所述止回球体用以防止气体反流。
本发明具有以下有益效果:
本发明通过第一空冷结构对转子轴以及相连接的轴承位置进行降温冷却,且通过氮气作为冷却介质,可有效实现降温以及粉尘的清除,极大的保证转子轴以及轴承的使用安全,延长其使用寿命。
本发明通过出气通道的结构,使得氮气可以以一定的角度快速进入轴孔内进行喷吹,提高喷吹带来的降温以及除尘效果。
本发明采用氮气作为降温介质,安全无污染,同时噪音小,实现绿色环保的真空泵结构。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案,下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明的侧视结构示意图;
图2为本发明的立体结构示意图,其中,不包括一个半壳体;
图3为本发明的半壳体的结构示意图;
图4为本发明的转子部的立体结构示意图;
图5为本发明的转子部的前视结构示意图;
图6为本发明的整体前视结构示意图;
图7为图6中A-A向的剖面结构示意图;
图8为本发明的第一安装座的结构示意图;
图9为图7中的A部放大结构示意图;
图10为本发明的第一安装座的剖面结构示意图。
附图标记:
壳体部10、半壳体11、第一安装座12、第二安装座13、气体流道14、止回球体141、转子腔室15;
转子部20、转子轴21、转子片22、第一叶片23、第二叶片24、第三叶片25、第四叶片26、第五叶片27、第六叶片28;
驱动电机30;
齿轮箱40;
进气通道51、轴孔52、第一支道53、第二支道54、第三支道55。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
如图1-图2所示,本实施例中的多级罗茨真空泵,其基体是由壳体部10、设置在壳体部10内的转子部20、设置在壳体部10一侧的驱动电机30以及设置在壳体部10另一侧的齿轮箱40所构成的,转子部20包括转子轴21与设置在转子轴21上的转子片22,转子部20与驱动电机30以及齿轮箱40联动配合,所述驱动电机30带动转子部20转动,由此实现抽取功能。
具体的,壳体部10包括相对设置的两个半壳体11以及分别设置在半壳体11两侧的第一安装座12与第二安装座13,两个所述半壳体11内设置有转子腔室15,两个转子腔室15相对设置并将转子部20容纳在内,所述半壳体11两侧分别设置有第一安装座12与第二安装座13,所述第一安装座12用以连接驱动电机30,所述第二安装座13用以连接齿轮箱40。
结合图3所示,壳体部10上设置有气体流道14,其在两个半壳体11上形成完整的空气流道,气体流道14与外部氮气源以及壳体部10内的转子腔室15相连通,且在气体流道14内设置有一止回球体141,所述止回球体141用以防止气体反流。
结合图4-图7所示,转子片22包括依次间隔设置的第一叶片23、第二叶片24、第三叶片25、第四叶片26、第五叶片27以及第六叶片28,所述第一叶片23、第二叶片24、第三叶片25、第四叶片26以及第五叶片27的厚度逐渐增大,所述第六叶片28的厚度小于第五叶片27的厚度且大于第四叶片26的厚度,且第五叶片27的厚度大于转子片22整体厚度的1/2,第一叶片23、第二叶片24、第三叶片25、第四叶片26与第六叶片28之间厚度增加的倍率在1.1-1.3左右,且每个叶片之间的间距基本相等,且上述叶片为双叶结构,如此提供更高的吸气效率。
结合图7-图10所示,壳体部10内设置有第一空冷结构,所述第一空冷结构与外部氮气源相连通,该第一空冷结构具体是设置在第一安装座12内的,其主要包括第一空冷结构与外部氮气源相连通,所述第一空冷结构包括进气通道51、出气通道以及两个轴孔52,所述轴孔52用以容纳转子轴21,所述出气通道包括第一支道53、第二支道54以及第三支道55,所述第一支道53与进气通道51相连通且延伸至第二支道54,所述第二支道54与第三支道55相连通,所述第二支道54延伸至一个轴孔52内,所述第一支道53与第三支道55延伸至另一个轴孔52,通过第一空冷结构对转子轴的端部以及套设在其上的轴承进行降温冷却。
以及,进气通道51从第一安装座12的一侧向内延伸,并延伸至两个轴孔52之间,所述第一支道53、第二支道54以及第三支道55与相连通的轴孔52之间均具有小于90°的夹角,大体在35°-45°左右,形成倾斜的吹气方向。
且,进气通道51贯穿第一支道53的中部,所述第一支道53与第三支道55大体平行,所述第二支道54与第三支道55交叉设置,大体是对称的,所述第一支道53与相连接的轴孔52的后部连通,所述第三支道55与相连接的轴孔52的前部连通,其中,前部为靠近转子部20的部位。
以上公开的本发明优选实施例只是用于帮助阐述本发明。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节,也不限制该发明仅为所述的具体实施方式。显然,根据本说明书的内容,可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例,是为了更好地解释本发明的原理和实际应用,从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本发明。本发明仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。
Claims (8)
1.一种多级罗茨真空泵,其特征在于,包括:
壳体部;
设置在壳体部内的转子部,所述转子部包括转子轴与设置在转子轴上的转子片;
设置在壳体部一侧的驱动电机;
设置在壳体部另一侧的齿轮箱;
所述转子部与驱动电机以及齿轮箱联动配合,所述驱动电机带动转子部转动;
其中,所述壳体部内设置有第一空冷结构,所述第一空冷结构与外部氮气源相连通,所述第一空冷结构包括进气通道、出气通道以及两个轴孔,所述轴孔用以容纳转子轴,所述出气通道包括第一支道、第二支道以及第三支道,所述第一支道与进气通道相连通且延伸至第二支道,所述第二支道与第三支道相连通,所述第二支道延伸至一个轴孔内,所述第一支道与第三支道延伸至另一个轴孔。
2.根据权利要求1所述的一种多级罗茨真空泵,其特征在于:所述壳体部包括相对设置的两个半壳体,两个所述半壳体将转子部容纳在内,所述半壳体两侧分别设置有第一安装座与第二安装座,所述第一安装座用以连接驱动电机,所述第二安装座用以连接齿轮箱。
3.根据权利要求2所述的一种多级罗茨真空泵,其特征在于:所述第一空冷结构设置在第一安装座内,所述进气通道从第一安装座的一侧向内延伸,并延伸至两个轴孔之间,所述第一支道、第二支道以及第三支道与相连通的轴孔之间均具有小于90°的夹角。
4.根据权利要求3所述的一种多级罗茨真空泵,其特征在于:所述进气通道贯穿第一支道的中部,所述第一支道与第三支道大体平行,所述第二支道与第三支道交叉设置,所述第一支道与相连接的轴孔的后部连通,所述第三支道与相连接的轴孔的前部连通。
5.根据权利要求1所述的一种多级罗茨真空泵,其特征在于:所述壳体部上设置有气体流道,气体流道与外部氮气源以及壳体部内的转子腔室相连通,所述转子腔室用以容纳转子部。
6.根据权利要求1所述的一种多级罗茨真空泵,其特征在于:所述转子片包括依次间隔设置的第一叶片、第二叶片、第三叶片、第四叶片、第五叶片以及第六叶片,所述第一叶片、第二叶片、第三叶片、第四叶片以及第五叶片的厚度逐渐增大,所述第六叶片的厚度小于第五叶片的厚度且大于第四叶片的厚度。
7.根据权利要求6所述的一种多级罗茨真空泵,其特征在于:所述第五叶片的厚度大于转子片整体厚度的1/2。
8.根据权利要求5所述的一种多级罗茨真空泵,其特征在于:所述气体流道内设置有一止回球体,所述止回球体用以防止气体反流。
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Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20030077182A1 (en) * | 2001-10-24 | 2003-04-24 | Aisin Seiki Kabushiki Kaisha | Multi-stage vacuum pump |
CN101238294A (zh) * | 2005-08-02 | 2008-08-06 | 爱德华兹有限公司 | 真空泵 |
CN102705239A (zh) * | 2012-06-21 | 2012-10-03 | 南通荣恒环保设备有限公司 | 一种罗茨风机用夹层式多功能轴承座 |
CN204025047U (zh) * | 2014-02-28 | 2014-12-17 | 东莞市雅之雷德机电科技有限公司 | 一种多级罗茨真空泵 |
TW201544708A (zh) * | 2014-05-16 | 2015-12-01 | Hanbell Precise Machinery Co Ltd | 乾式真空泵軸封離心冷卻機構 |
CN205533104U (zh) * | 2016-04-07 | 2016-08-31 | 台州环球真空设备制造有限公司 | 一种风冷式真空泵 |
CN217202524U (zh) * | 2022-05-09 | 2022-08-16 | 中光科技(福建)有限公司 | 一种防尘的tn玻璃裁切装置 |
CN114962290A (zh) * | 2021-02-26 | 2022-08-30 | 株式会社丰田自动织机 | 流体机械 |
CN217395572U (zh) * | 2022-05-10 | 2022-09-09 | 卡柯洛塑胶科技(太仓)有限公司 | 一种带有吹气通道的注塑模具 |
CN117685227A (zh) * | 2023-12-20 | 2024-03-12 | 江苏徐工工程机械研究院有限公司 | 一种冷却装置及罗茨风机冷却系统 |
CN220973252U (zh) * | 2023-11-03 | 2024-05-17 | 江苏锦汇高分子科技有限公司 | 一种用于注塑模具内腔的清洁装置 |
-
2024
- 2024-11-05 CN CN202411561750.6A patent/CN119062574A/zh active Pending
Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20030077182A1 (en) * | 2001-10-24 | 2003-04-24 | Aisin Seiki Kabushiki Kaisha | Multi-stage vacuum pump |
CN101238294A (zh) * | 2005-08-02 | 2008-08-06 | 爱德华兹有限公司 | 真空泵 |
CN102705239A (zh) * | 2012-06-21 | 2012-10-03 | 南通荣恒环保设备有限公司 | 一种罗茨风机用夹层式多功能轴承座 |
CN204025047U (zh) * | 2014-02-28 | 2014-12-17 | 东莞市雅之雷德机电科技有限公司 | 一种多级罗茨真空泵 |
TW201544708A (zh) * | 2014-05-16 | 2015-12-01 | Hanbell Precise Machinery Co Ltd | 乾式真空泵軸封離心冷卻機構 |
CN205533104U (zh) * | 2016-04-07 | 2016-08-31 | 台州环球真空设备制造有限公司 | 一种风冷式真空泵 |
CN114962290A (zh) * | 2021-02-26 | 2022-08-30 | 株式会社丰田自动织机 | 流体机械 |
CN217202524U (zh) * | 2022-05-09 | 2022-08-16 | 中光科技(福建)有限公司 | 一种防尘的tn玻璃裁切装置 |
CN217395572U (zh) * | 2022-05-10 | 2022-09-09 | 卡柯洛塑胶科技(太仓)有限公司 | 一种带有吹气通道的注塑模具 |
CN220973252U (zh) * | 2023-11-03 | 2024-05-17 | 江苏锦汇高分子科技有限公司 | 一种用于注塑模具内腔的清洁装置 |
CN117685227A (zh) * | 2023-12-20 | 2024-03-12 | 江苏徐工工程机械研究院有限公司 | 一种冷却装置及罗茨风机冷却系统 |
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