CN118980860A - 一种基于感生荧光效应的425nm波长基准构建方法及装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种基于感生荧光效应的425nm波长基准构建方法及装置,涉及跃迁频率测量领域,装置包括,连续可调谐激光器,原子炉,铬原子束,光学频率梳,倍频光路,保偏光纤分束器,保偏光纤合束器,拍频检测光路,光电接收器以及频率计数器;连续可调谐激光器的输出端与保偏光纤分束器的输入端连接;光学频率梳的输出端与倍频光路连接;倍频光路和和保偏光纤分束器的第一输出端分别与光纤合束器的输入端连接;铬原子束经原子炉喷发与保偏光纤分束器的第二输出端发生作用;保偏光纤合束器的输出端与拍频检测光路的输入端连接;拍频检测光路的输出端通过光电接收器与频率计数器的输入端连接。本方法填补了蓝紫光波段波长基准的空白。
Description
技术领域
本发明涉及跃迁频率测量领域,特别是一种基于感生荧光效应的425nm波长基准构建方法及装置。
背景技术
在前沿制造领域中,超精密测量水平决定了制造稳定性和准确性。溯源性是超精密测量中的基础性问题,溯源链的缺失或者长度量值传递过程中的误差积累会导致纳米测量仪器的测量准确性、一致性和可比性降低,从而限制纳米制造的发展。解决上述问题的关键是保证纳米尺度几何量值测试的统一和准确性,即要求纳米测量通过一条连续的、不间断的长度溯源链链接到“米”定义。波长基准作为国际单位制(SI)中光学量值的传递标准,可直接复现“米”定义,且能够确保不同国家和机构之间在波长测量上的一致性。它是几何量量值溯源的源头,使得不同地点的测量结果可以互相对比和转换,从而实现全球范围内的标准化。
研制纳米计量标准物质是实现波长基准量值传递、保证纳米几何量值测试的统一性和准确性的关键环节。基于铬原子(7S3→7P4)跃迁频率,采用原子光刻技术和软X射线干涉技术可制备1D212.8nm、2D212.8nm、1D106.4nm等多种自溯源光栅标准物质,以一维铬原子光刻光栅为例,周期为212.8nm的一维铬原子光刻光栅经验证准确性与一致性均在0.001nm量级。在应用领域,开展自溯源光栅对扫描探针显微镜、扫描电子显微镜等高精密测量仪器的校准研究,缩短了各种精密仪器和加工技术过程中的纳米长度计量溯源链,实现了量值扁平化传递。同时现存波长基准在400-435nm蓝紫光波段存在空白。
基于上述现状,为了补充关于400-435nm蓝紫光波段空白,提高铬原子跃迁(7S3→7P4)频率测量精确性,提出了一种基于感生荧光效应的425nm波长基准构建方法。
发明内容
为解决上述问题,本申请提供了一种基于感生荧光效应的425nm波长基准构建方法及装置,以填补蓝紫光波段波长基准空白为目标,实现在线实时测量铬原子(7S3→7P4)跃迁频率的目的。
在本申请,提供了一种基于感生荧光效应的425nm波长基准构建装置,包括,连续可调谐激光器,原子炉,铬原子束,光学频率梳,倍频光路,保偏光纤分束器,保偏光纤合束器,拍频检测光路,光电接收器以及频率计数器;
所述连续可调谐激光器输出端一侧一次设置有第一半波片、第一耦合器和保偏光纤分束器;
所述连续可调谐激光器的输出端与所述保偏光纤分束器的输入端连接;
所述光学频率梳的输出端与所述倍频光路连接;
所述倍频光路和和所述保偏光纤分束器的第一输出端分别与所述光纤合束器的输入端连接;
所述铬原子束经所述原子炉喷发与所述保偏光纤分束器的第二输出端发生作用;
所述保偏光纤合束器的输出端与所述拍频检测光路的输入端连接;
所述拍频检测光路的输出端通过光电接收器与所述频率计数器的输入端连接。
优选地,所述倍频光路包括滤波片,第二半波片,第一凸透镜,倍频晶体PPLN,第二凸透镜和第二耦合器;
所述光学频率梳的输出端与所述滤波片的输入端连接;
所述滤波片的输出端与所述第二半波片的输入端连接;
所述第二半波片的输出端与所述倍频晶体PPLN的输入端连接;
所述倍频晶体PPLN的两端分别设置有第一凸透镜和第二凸透镜,所述第一凸透镜和第二凸透镜用以光束聚焦在所述倍频晶体PPLN内。
优选地,所述拍频检测光路包括第二准直器,第二反射镜,第三半波片,偏振分光棱镜,第三反射镜和衍射光栅;
其中,所述第二反射镜和第三反射镜平行放置;
所述保偏光纤合束器的光路输出端依次通过所述第二准直器、第二反射镜、第三半波片、偏振分光棱镜、第三反射镜和衍射光栅后与所述光电接收器的输入端连接。
优选地,所述原子炉在真空环境下将铬粉末加热至升华状态并以泄流方式引出铬原子束;
所述保偏光纤分束器第二输出端通过第一准直器经第一反射镜形成一组相向传播的激光与准直后的铬原子束作用,产生两个荧光斑点,以两个荧光斑点重合作为激光频率与铬(Cr)原子(7S3→7P4)跃迁频率相等的判断依据。
优选地,所述连续可调谐激光器输出波段覆盖425.5±1.0nm,输入端设置有频率调谐模块;
所述光学频率梳参考源为高稳定度时间频率信号,输出波段覆盖851±2nm,经所述倍频晶体PPLN后输出波段覆盖425.5±1.0nm。
优选地,所述原子炉喷发铬原子束的泄流温度区间在1500-1750摄氏度。
优选地,所述原子炉通过一狭缝或一横向激光光场以实现所述铬原子束的准直。
优选地,所述铬原子束传播方向与所述保偏光纤分束器第二输出端经第一反射镜形成一组相向传播的激光传播方向垂直。
优选地,所述光电接收器和所述频率计数器之间设置有低通滤波器。
本申请还提供了一种基于感生荧光效应的425nm波长基准构建方法,包括以下步骤:
S1、基于外差拍频检测技术,搭建激光与光频梳的频率测量系统;
S2、原子炉温度设定至铬原子束泄流产生状态,初步调整激光波长在铬原子(7S3→7P4)跃迁频率理论值附近,相向传播的一组激光与铬原子束相互作用并在铬原子束中轴两侧对称荧光斑点;
S3、精细化调整激光波长使铬原子束中轴两侧对称感生的荧光斑点重合,此时激光频率等于铬原子(7S3→7P4)跃迁频率,进行铬原子(7S3→7P4)跃迁频率测量。
综上所述,本发明的一种基于感生荧光效应的425nm波长基准构建方法及装置,相比传统跃迁频率测量技术,本方法及装置采用多普勒冷却等原理作为热效应对应抑制方法可对铬原子(7S3→7P4)跃迁频率进行精确测量,在制备原子光刻光栅的同时,可有效评估所用激光的稳定性。
下面通过附图和实施例,对本发明的技术方案做进一步的详细描述。
附图说明
图1为本发明一种基于感生荧光效应的425nm波长基准构建装置的光频梳精密测量铬原子(7S3→7P4)跃迁频率方法示意图;
图2为本发明一种基于感生荧光效应的425nm波长基准构建方法的光频梳测量跃迁频率结果图。
附图标记:
1、连续可调谐激光器;2、第一半波片,3、第一耦合器,4、保偏光纤分束器,5、第一准直器,6、原子炉,7、铬原子束,8、第一反射镜,9、荧光斑点,10、光学频率梳,11、滤波片,12、第二半波片,13、第一凸透镜,14、倍频晶体PPLN,15、第二凸透镜,16、第二耦合器,17、保偏光纤合束器,18、第二准直器,19、第二反射镜,20、第三半波片,21、偏振分光棱镜,22、第三反射镜,23、衍射光栅,24、光电接收器,25、频率计数器。
具体实施方式
以下通过附图和实施例对本发明的技术方案作进一步说明。应注意到:除非另外具体说明,否则在这些实施例中阐述的部件和步骤的相对布置、数字表达式和数值不限制本申请的范围。
以下对至少一个示例性实施例的描述实际上仅仅是说明性的,决不作为对本申请及其应用或使用的任何限制。
对于相关领域普通技术人员已知的技术、方法和设备可能不作详细讨论,但在适当情况下,技术、方法和设备应当被视为说明书的一部分。
在这里示出和讨论的所有例子中,任何具体值应被解释为仅仅是示例性的,而不是作为限制。因此,示例性实施例的其它例子可以具有不同的值。
除非另外定义,本发明使用的技术术语或者科学术语应当为本发明所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。
如图1所示,一种基于感生荧光效应的425nm波长基准构建装置,包括,连续可调谐激光器1,原子炉6,铬原子束7,光学频率梳10,倍频光路,保偏光纤分束器,保偏光纤合束器17,拍频检测光路,光电接收器24以及频率计数器25;
连续可调谐激光器1输出端一侧一次设置有第一半波片2、第一耦合器3和保偏光纤分束器4;
连续可调谐激光器1的输出端与保偏光纤分束器4的输入端连接;
光学频率梳10的输出端与倍频光路连接;
倍频光路和和保偏光纤分束器4的第一输出端分别与光纤合束器的输入端连接;
铬原子束7经原子炉6喷发与保偏光纤分束器4的第二输出端发生作用;
保偏光纤合束器17的输出端与拍频检测光路的输入端连接;
拍频检测光路的输出端通过光电接收器24与频率计数器25的输入端连接。
进一步地,倍频光路包括滤波片11,第二半波片12,第一凸透镜13,倍频晶体PPLN14,第二凸透镜15和第二耦合器16;
光学频率梳10的输出端与滤波片11的输入端连接;
滤波片11的输出端与第二半波片12的输入端连接;
第二半波片12的输出端与倍频晶体PPLN14的输入端连接;
倍频晶体PPLN14的两端分别设置有第一凸透镜13和第二凸透镜15,第一凸透镜13和第二凸透镜15用以光束聚焦在倍频晶体PPLN14内。
进一步地,拍频检测光路包括第二准直器18,第二反射镜19,第三半波片20,偏振分光棱镜21,第三反射镜22和衍射光栅23;
其中,第二反射镜19和第三反射镜22平行放置;
保偏光纤合束器17的光路输出端依次通过第二准直器18、第二反射镜19、第三半波片20、偏振分光棱镜21、第三反射镜22和衍射光栅23后与光电接收器24的输入端连接。
进一步地,原子炉6在真空环境下将铬粉末加热至升华状态并以泄流方式引出铬原子束7;
保偏光纤分束器4第二输出端通过第一准直器5经第一反射镜8形成一组相向传播的激光与准直后的铬原子束7作用,产生两个荧光斑点9,以两个荧光斑点9重合作为激光频率与铬(Cr)原子(7S3→7P4)跃迁频率相等的判断依据。
进一步地,连续可调谐激光器1输出波段覆盖425.5±1.0nm,输入端设置有频率调谐模块;
光学频率梳10参考源为高稳定度时间频率信号,输出波段覆盖851±2nm,经倍频晶体PPLN14后输出波段覆盖425.5±1.0nm。
进一步地,原子炉6喷发铬原子束7的泄流温度区间在1500-1750摄氏度。
进一步地,原子炉6通过一狭缝或一横向激光光场以实现铬原子束7的准直。
进一步地,铬原子束7传播方向与保偏光纤分束器4第二输出端经第一反射镜8形成一组相向传播的激光传播方向垂直。
进一步地,光电接收器24和频率计数器25之间设置有低通滤波器。
本申请还提供了一种基于感生荧光效应的425nm波长基准构建方法,包括以下步骤:
S1、基于外差拍频检测技术,搭建激光与光频梳的频率测量系统;
S2、原子炉6温度设定至铬原子束7泄流产生状态,初步调整激光波长在铬原子(7S3→7P4)跃迁频率理论值附近,相向传播的一组激光与铬原子束7相互作用并在铬原子束7中轴两侧对称荧光斑点9;
S3、精细化调整激光波长使铬原子束7中轴两侧对称感生的荧光斑点9重合,此时激光频率等于铬原子(7S3→7P4)跃迁频率,进行铬原子(7S3→7P4)跃迁频率测量。
再具体实施过程中,连续可调谐激光器1输出波长调整到铬原子(7S3→7P4)跃迁频率理论值附近,原子炉6设置温度为1600摄氏度,在真空环境下将铬粉末加热至升华状态并以泄流方式引出铬原子束7,连续可调谐激光器1其中一路形成一组相向传播的激光与准直后的铬原子束7作用产生两个荧光斑点9;搭建频率测量系统,连续可调谐激光器1的另一路激光与倍频后的光学频率梳10通过光纤合束器产生信噪比大于30dB的拍频信号,拍频信号接入计数器实现425.5nm连续可调谐激光器1的波长测量;精细调整激光波长,使铬原子束7中轴两侧对称感生的荧光斑点9重合,此时激光频率等于铬原子(7S3→7P4)跃迁频率,进行铬原子(7S3→7P4)跃迁频率的测量。
如图2所示,光频梳测量跃迁频率结果图表明本发明的频率测量方法可对铬原子(7S3→7P4)跃迁频率进行精确测量。
最后应说明的是:以上实施例仅用以说明本发明的技术方案而非对其进行限制,尽管参照较佳实施例对本发明进行了详细的说明,本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对本发明的技术方案进行修改或者等同替换,而这些修改或者等同替换亦不能使修改后的技术方案脱离本发明技术方案的精神和范围。
Claims (10)
1.一种基于感生荧光效应的425nm波长基准构建装置,其特征在于,包括,连续可调谐激光器,原子炉,铬原子束,光学频率梳,倍频光路,保偏光纤分束器,保偏光纤合束器,拍频检测光路,光电接收器以及频率计数器;
所述连续可调谐激光器输出端一侧一次设置有第一半波片、第一耦合器和保偏光纤分束器;
所述连续可调谐激光器的输出端与所述保偏光纤分束器的输入端连接;
所述光学频率梳的输出端与所述倍频光路连接;
所述倍频光路和和所述保偏光纤分束器的第一输出端分别与所述光纤合束器的输入端连接;
所述铬原子束经所述原子炉喷发与所述保偏光纤分束器的第二输出端发生作用;
所述保偏光纤合束器的输出端与所述拍频检测光路的输入端连接;
所述拍频检测光路的输出端通过光电接收器与所述频率计数器的输入端连接。
2.根据权利要求1所述的一种基于感生荧光效应的425nm波长基准构建装置,其特征在于,所述倍频光路包括滤波片,第二半波片,第一凸透镜,倍频晶体PPLN,第二凸透镜和第二耦合器;
所述光学频率梳的输出端与所述滤波片的输入端连接;
所述滤波片的输出端与所述第二半波片的输入端连接;
所述第二半波片的输出端与所述倍频晶体PPLN的输入端连接;
所述倍频晶体PPLN的两端分别设置有第一凸透镜和第二凸透镜,所述第一凸透镜和第二凸透镜用以光束聚焦在所述倍频晶体PPLN内。
3.根据权利要求1所述的一种基于感生荧光效应的425nm波长基准构建装置,其特征在于,所述拍频检测光路包括第二准直器,第二反射镜,第三半波片,偏振分光棱镜,第三反射镜和衍射光栅;
其中,所述第二反射镜和第三反射镜平行放置;
所述保偏光纤合束器的光路输出端依次通过所述第二准直器、第二反射镜、第三半波片、偏振分光棱镜、第三反射镜和衍射光栅后与所述光电接收器的输入端连接。
4.根据权利要求1所述的一种基于感生荧光效应的425nm波长基准构建装置,其特征在于,所述原子炉在真空环境下将铬粉末加热至升华状态并以泄流方式引出铬原子束;
所述保偏光纤分束器第二输出端通过第一准直器经第一反射镜形成一组相向传播的激光与准直后的铬原子束作用,产生两个荧光斑点,以两个荧光斑点重合作为激光频率与铬(Cr)原子(7S3→7P4)跃迁频率相等的判断依据。
5.根据权利要求1所述的一种基于感生荧光效应的425nm波长基准构建装置,其特征在于,所述连续可调谐激光器输出波段覆盖425.5±1.0nm,输入端设置有频率调谐模块;
所述光学频率梳参考源为高稳定度时间频率信号,输出波段覆盖851±2nm,经所述倍频晶体PPLN后输出波段覆盖425.5±1.0nm。
6.根据权利要求1所述的一种基于感生荧光效应的425nm波长基准构建装置,其特征在于,所述原子炉喷发铬原子束的泄流温度区间在1500-1750摄氏度。
7.根据权利要求1所述的一种基于感生荧光效应的425nm波长基准构建装置,其特征在于,所述原子炉通过一狭缝或一横向激光光场以实现所述铬原子束的准直。
8.根据权利要求4所述的一种基于感生荧光效应的425nm波长基准构建装置,其特征在于,所述铬原子束传播方向与所述保偏光纤分束器第二输出端经第一反射镜形成一组相向传播的激光传播方向垂直。
9.根据权利要求1所述的一种基于感生荧光效应的425nm波长基准构建装置,其特征在于,所述光电接收器和所述频率计数器之间设置有低通滤波器。
10.一种基于感生荧光效应的425nm波长基准构建方法,其特征在于,包括以下步骤:
S1、基于外差拍频检测技术,搭建激光与光频梳的频率测量系统;
S2、原子炉温度设定至铬原子束泄流产生状态,初步调整激光波长在铬原子(7S3→7P4)跃迁频率理论值附近,相向传播的一组激光与铬原子束相互作用并在铬原子束中轴两侧对称荧光斑点;
S3、精细化调整激光波长使铬原子束中轴两侧对称感生的荧光斑点重合,此时激光频率等于铬原子(7S3→7P4)跃迁频率,进行铬原子(7S3→7P4)跃迁频率测量。
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