CN118534667A - 一种激光束匀光系统 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种激光束匀光系统。激光束匀光系统包括依次设置的第一非球面透镜、第一柱面透镜组、第二非球面透镜组和第一柱面透镜；第一非球面透镜用于将入射激光光束准直为第一平行光束；第一柱面透镜组设置在第一平行光束的传播路径上，用于压缩平行光束沿弧矢方向的光束口径；第二非球面透镜组设置在第一柱面透镜组出射激光的传播路径上，用于匀化入射激光光束；第一柱面透镜设置在第二非球面透镜组出射激光的传播路径上，用于沿弧矢方向聚焦入射激光光束，形成线形光斑。本发明实施例，具有体积紧凑、线形光斑长轴长度长、长轴方向能量均匀性高和工作距离连续可调等特点，满足激光加工、激光照明、激光诱导荧光光谱等领域的应用需求。
Description
技术领域
本发明涉及激光整形技术领域，尤其涉及一种激光束匀光系统。
背景技术
激光具有良好的相干性、方向性、单色性和高亮度，在材料加工、信息技术和生物医学等领域具有重要的应用价值。然而激光能量具有非均匀分布的特点，带来了许多不良影响，激光光束整形技术将能量非均匀分布激光光束整形为能量均匀分布平顶光束，解决了激光应用的难题。
现有的激光整形技术通常采用非球面透镜组整形法、微透镜阵列整形法等方法，将圆形高斯光束整形为圆形平顶光束。对于线形光斑应用，圆形平顶光束存在光束口径不一致、能量利用率低和杂光干扰等问题。目前，激光加工等领域需求能量利用率高、长轴方向能量均匀性高的线形光斑。现有的线形光斑激光束匀光技术，难以满足激光加工、激光照明、激光诱导荧光光谱和粒子图像测速等领域的应用需求。
发明内容
本发明实施例提供了一种激光束匀光系统，设置多组透镜对入射激光光束进行匀光，具有体积紧凑、线形光斑长轴长度长、长轴方向能量均匀性高和工作距离连续可调等特点，满足激光加工、激光照明、激光诱导荧光光谱等领域的应用需求。
根据本发明的一方面，提供了一种激光束匀光系统，包括依次设置的第一非球面透镜、第一柱面透镜组、第二非球面透镜组和第一柱面透镜；
所述第一非球面透镜用于将入射激光光束准直为第一平行光束；
所述第一柱面透镜组设置在所述第一平行光束的传播路径上，用于压缩所述平行光束沿弧矢方向的光束口径；
所述第二非球面透镜组设置在所述第一柱面透镜组出射激光的传播路径上，用于匀化所述入射激光光束；
所述第一柱面透镜设置在所述第二非球面透镜组出射激光的传播路径上，用于沿所述弧矢方向聚焦所述入射激光光束，形成线形光斑；
所述线形光斑长轴方向的能量均匀性大于87%；
所述线形光斑的长宽比大于或者等于64：1；
所述第一柱面透镜组包括至少一个柱面透镜；
所述至少一个柱面透镜包括第二柱面透镜和第三柱面透镜，所述第二柱面透镜位于所述第一非球面透镜与所述第三柱面透镜之间；
所述第二柱面透镜用于压缩所述第一平行光束沿所述弧矢方向的光束口径，所述第三柱面透镜用于将经所述第二柱面透镜压缩后的激光光束准直为第二平行光束。
可选地，所述第二非球面透镜组包括至少一个非球面透镜。
可选地，所述至少一个非球面透镜包括第二非球面透镜和第三非球面透镜，所述第三非球面透镜位于所述第二非球面透镜与所述第一柱面透镜之间。
可选地，还包括孔径光阑，所述孔径光阑位于所述第一非球面透镜远离所述第一柱面透镜组的一侧。
可选地，所述激光束匀光系统的工作面与所述第一柱面透镜后表面之间的距离大于或者等于140mm，小于或者等于170mm，工作距离连续可调。
可选地，所述激光束匀光系统的总长小于或者等于86mm。
本发明实施例提供的激光束匀光系统，第一非球面透镜将入射激光光束准直为第一平行光束，便于对入射激光光束进行匀光；设置第一柱面透镜组压缩平行光束沿弧矢方向的光束口径，设置第二非球面透镜组将入射激光光束进行匀光，设置第一柱面透镜进一步聚焦弧矢方向的激光光束；经过匀化和两次压缩，能量非均匀分布的入射激光光束被整形为长轴方向能量均匀分布的线形光斑。本发明实施例提供的激光束匀光系统，设置多组透镜对入射激光光束进行匀光，具有体积紧凑、线形光斑长轴长度长、长轴方向能量均匀性高和工作距离连续可调等特点，满足激光加工、激光照明、激光诱导荧光光谱等领域的应用需求。
应当理解，本部分所描述的内容并非旨在标识本发明的实施例的关键或重要特征，也不用于限制本发明的范围。本发明的其它特征将通过以下的说明书而变得容易理解。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明实施例提供的第一种激光束匀光系统的弧矢方向光路图；
图2为本发明实施例提供的第二种激光束匀光系统的子午方向光路图；
图3为本发明实施例提供的第二种激光束匀光系统的弧矢方向光路图；
图4为本发明实施例提供的入射激光光束的能量分布图；
图5为本发明实施例提供的线形光斑的能量分布图；
图6为本发明实施例提供的第一种线形光斑长轴方向的能量分布图；
图7为本发明实施例提供的第二种线形光斑长轴方向的能量分布图；
图8为本发明实施例提供的第三种线形光斑长轴方向的能量分布图。
具体实施方式
为了使本技术领域的人员更好地理解本发明方案，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本发明保护的范围。
需要说明的是，本发明的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本发明的实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。
图1为本发明实施例提供的第一种激光束匀光系统的弧矢方向光路图，参考图1，激光束匀光系统包括依次设置的第一非球面透镜2、第一柱面透镜组10、第二非球面透镜组20和第一柱面透镜7。第一非球面透镜2用于将入射激光光束准直为第一平行光束；第一柱面透镜组10设置在第一平行光束的传播路径上，用于压缩平行光束沿弧矢方向的光束口径；第二非球面透镜组20设置在第一柱面透镜组10出射激光的传播路径上，用于匀化入射激光光束；第一柱面透镜7设置在第二非球面透镜组20出射激光的传播路径上，用于沿弧矢方向聚焦入射激光光束，形成线形光斑。
示例性地，入射激光光束为能量分布不均匀的激光光束，弧矢方向光路图可以看做激光束匀光系统的俯视结构示意图，子午方向为竖直方向，弧矢方向为水平方向。第一非球面透镜2将入射激光光束准直为第一平行光束，方便对入射激光光束进行匀光。柱面透镜是截面为两圆弧或一圆弧一直线的柱形透镜，柱面透镜只在一个方向上对光束进行聚焦，形成一条焦线。柱面透镜的主截面是其具有曲率的那个平面，对于正柱形透镜(凸透镜)，主截面呈现凸起的形状，使得平行光束在经过透镜后向焦线聚焦；而对于负柱形透镜(凹透镜)，主截面呈现凹陷的形状，使得平行光束在经过透镜后发散，同时光束沿竖直方向通过柱面透镜时，不会出现聚散度的改变。设置第一柱面透镜组10压缩平行光束沿弧矢方向的光束口径，设置第二非球面透镜组20将入射激光光束进行匀光，设置第一柱面透镜7进一步聚焦弧矢方向的激光光束，经过匀化和两次压缩，能量非均匀分布的入射激光光束被整形为长轴方向能量均匀分布的线形光斑。
本发明实施例提供的激光束匀光系统，第一非球面透镜将入射激光光束准直为第一平行光束，便于对入射激光光束进行匀光；设置第一柱面透镜组压缩平行光束沿弧矢方向的光束口径，设置第二非球面透镜组对入射激光光束进行匀光，设置第一柱面透镜进一步聚焦弧矢方向的激光光束；经过匀化和两次压缩，能量非均匀分布的入射激光光束被整形为长轴方向能量均匀分布的线形光斑。本发明实施例提供的激光束匀光系统，设置多组透镜对入射激光光束进行匀光，具有体积紧凑、线形光斑长轴长度长、长轴方向能量均匀性高和工作距离连续可调等特点，满足激光加工、激光照明、激光诱导荧光光谱等领域的应用需求。
示例性地，本发明实施例提供的入射激光光束可以为圆形激光光束，也可以为椭圆形激光光束，本发明实施例对此不做具体限制。
图4为本发明实施例提供的入射激光光束的能量分布图，图5为本发明实施例提供的线形光斑的能量分布图；参考图4和图5，入射激光光束的能量分布不均匀，经过激光束匀光系统后，得到长轴方向能量均匀分布的线形光斑。
图2为本发明实施例提供的第二种激光束匀光系统的子午方向光路图，图3为本发明实施例提供的第二种激光束匀光系统的弧矢方向光路图；参考图2和图3，第一柱面透镜组10包括至少一个柱面透镜。设置多个柱面透镜，能够提高弧矢方向平行光束的压缩口径效果，便于形成长宽比更大的线形光斑。
示例性地，至少一个柱面透镜包括第二柱面透镜3和第三柱面透镜4，第二柱面透镜3位于第一非球面透镜2与第三柱面透镜4之间；第二柱面透镜3用于压缩第一平行光束沿弧矢方向的光束口径，第三柱面透镜4用于将经第二柱面透镜3压缩后的激光光束准直为第二平行光束。
示例性地，第二非球面透镜组20包括至少一个非球面透镜。设置多个非球面透镜，可以进一步提高匀化效果，保证线形光斑长轴方向的能量均匀性。
示例性地，至少一个非球面透镜包括第二非球面透镜5和第三非球面透镜6，第三非球面透镜6位于第二非球面透镜5与第一柱面透镜7之间。设置两个非球面透镜对入射激光光束进行匀光，提高匀化效果。
示例性地，激光束匀光系统还包括孔径光阑1，孔径光阑1位于第一非球面透镜2远离第一柱面透镜组10的一侧。设置孔径光阑1调整激光光束的入射角度和光通量，从而对图像的清晰度和亮度进行调节。
示例性地，激光束匀光系统的工作面8与第一柱面透镜7后表面之间的距离大于或者等于140mm，小于或者等于170mm。激光束匀光系统的工作距离连续可调，可以满足不同情况的需求，提高激光束匀光系统的泛用性。
图6为本发明实施例提供的第一种线形光斑长轴方向的能量分布图；图7为本发明实施例提供的第二种线形光斑长轴方向的能量分布图；图8为本发明实施例提供的第三种线形光斑长轴方向的能量分布图，参考图6-图8，线形光斑长轴方向的能量均匀性大于87%。参考图6，当激光束匀光系统的工作面8与第一柱面透镜7后表面之间的距离为140mm时，线形光斑长轴方向的能量均匀性为87.2%；参考图7，当激光束匀光系统的工作面8与第一柱面透镜7后表面之间的距离为155mm时，线形光斑长轴方向的能量均匀性为88.9%；参考图8，当激光束匀光系统的工作面8与第一柱面透镜7后表面之间的距离为170mm时，线形光斑长轴方向的能量均匀性为88.9%。在激光束匀光系统的工作距离调节范围内，线形光斑长轴方向的能量均匀性大于87%，能量均匀性高，满足激光加工、激光照明等领域的应用需求。
示例性地，激光束匀光系统的总长小于或者等于86mm。激光束匀光系统的总长度较小，结构紧凑，成本低，提高激光束匀光系统的泛用性。
示例性地，线形光斑的长宽比大于或者等于64：1。线形光斑的长度较长，满足不同的工作场景，提高激光束匀光系统的泛用性。
作为一种示例，入射激光束波长为808nm，数值孔径NA为0.21，第一非球面透镜2的曲率半径为5.1mm，第一非球面透镜2的前后表面距离为3mm，第一非球面透镜2的材料为BK7，conic系数为-1.4，第一非球面透镜2与第二柱面透镜3之间的距离为5.4mm。第二柱面透镜3的曲率半径为18.4mm，第二柱面透镜3的前后表面距离为2mm，第二柱面透镜的材料为BK7，第二柱面透镜3与第三柱面透镜4之间的距离为10.3mm。第三柱面透镜4的曲率半径为15.2mm，第三柱面透镜4的前后表面距离为2mm，第三柱面透镜4的材料为BK7，第三柱面透镜4与第二非球面透镜5之间的距离为12.8mm。第二非球面透镜5靠近第三柱面透镜4的一侧表面的曲率半径为-6.3mm，远离第三柱面透镜4的一侧表面的曲率半径为-10.4mm，第二非球面透镜5的前后表面距离为4mm，第二非球面透镜5的材料为BK7，conic系数为-10.7，高次项系数为-3.7e-4、-5.3e-9，第二非球面透镜5与第三非球面透镜6之间的距离为13.7mm。第三非球面透镜6靠近第二非球面透镜5的一侧表面的曲率半径为12.5mm，远离第二非球面透镜5的一侧表面的曲率半径为9.7mm，第三非球面透镜6的前后表面距离为4mm，第三非球面透镜6的材料为BK7，conic系数为6.8，高次项系数为6.1e-6，第三非球面透镜6与第一柱面透镜7之间的距离为26.3mm。第一柱面透镜7的曲率半径为22.5mm，第一柱面透镜7的前后表面距离为2mm，第一柱面透镜7的材料为BK7。第一柱面透镜7后表面与激光束匀光系统工作面8之间的距离为140mm~170mm连续可调。当第一柱面透镜7后表面与激光束匀光系统工作面8之间的距离为155mm时，得到的线形光斑尺寸为32mm×0.5mm。
上述具体实施方式，并不构成对本发明保护范围的限制。本领域技术人员应该明白的是，根据设计要求和其他因素，可以进行各种修改、组合、子组合和替代。任何在本发明的精神和原则之内所作的修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明保护范围之内。
Claims (6)
1.一种激光束匀光系统，其特征在于，包括依次设置的第一非球面透镜、第一柱面透镜组、第二非球面透镜组和第一柱面透镜；
所述第一非球面透镜用于将入射激光光束准直为第一平行光束；
所述第一柱面透镜组设置在所述第一平行光束的传播路径上，用于压缩所述平行光束沿弧矢方向的光束口径；
所述第二非球面透镜组设置在所述第一柱面透镜组出射激光的传播路径上，用于匀化所述入射激光光束；
所述第一柱面透镜设置在所述第二非球面透镜组出射激光的传播路径上，用于沿所述弧矢方向聚焦所述入射激光光束，形成线形光斑；
所述线形光斑长轴方向的能量均匀性大于87%；
所述线形光斑的长宽比大于或者等于64：1；
所述第一柱面透镜组包括至少一个柱面透镜；
所述至少一个柱面透镜包括第二柱面透镜和第三柱面透镜，所述第二柱面透镜位于所述第一非球面透镜与所述第三柱面透镜之间；
所述第二柱面透镜用于压缩所述第一平行光束沿所述弧矢方向的光束口径，所述第三柱面透镜用于将经所述第二柱面透镜压缩后的激光光束准直为第二平行光束。
2.根据权利要求1所述的激光束匀光系统，其特征在于，所述第二非球面透镜组包括至少一个非球面透镜。
3.根据权利要求2所述的激光束匀光系统，其特征在于，所述至少一个非球面透镜包括第二非球面透镜和第三非球面透镜，所述第三非球面透镜位于所述第二非球面透镜与所述第一柱面透镜之间。
4.根据权利要求1所述的激光束匀光系统，其特征在于，还包括孔径光阑，所述孔径光阑位于所述第一非球面透镜远离所述第一柱面透镜组的一侧。
5.根据权利要求1所述的激光束匀光系统，其特征在于，所述激光束匀光系统的工作面与所述第一柱面透镜后表面之间的距离大于或者等于140mm，小于或者等于170mm，工作距离连续可调。
6.根据权利要求1所述的激光束匀光系统，其特征在于，所述激光束匀光系统的总长小于或者等于86mm。
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|---|---|
| CN (1) | CN118534667B (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN119270520A (zh) * | 2024-12-06 | 2025-01-07 | 北京三盟恒业光电科技有限公司 | 一种基于非球面柱透镜组的光束匀化整形方法 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN207676056U (zh) * | 2017-12-14 | 2018-07-31 | 大族激光科技产业集团股份有限公司 | 激光整形装置和激光设备 |
| CN112596250A (zh) * | 2020-12-21 | 2021-04-02 | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 | 一种流式细胞分选仪的照明系统和流式细胞分选仪 |
| CN219512478U (zh) * | 2023-03-20 | 2023-08-11 | 苏州苏纳光电有限公司 | 一种线形光斑激光整形系统 |
| CN117031766A (zh) * | 2023-08-17 | 2023-11-10 | 西安电子科技大学 | 一种基于非球面柱透镜组的光束匀化和准直方法 |
| CN118192090A (zh) * | 2024-04-12 | 2024-06-14 | 潍坊华光光电子有限公司 | 一种光斑形状和尺寸可调节的光束整形系统及其工作方法 |
-
2024
- 2024-07-23 CN CN202410985739.6A patent/CN118534667B/zh active Active
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN207676056U (zh) * | 2017-12-14 | 2018-07-31 | 大族激光科技产业集团股份有限公司 | 激光整形装置和激光设备 |
| CN112596250A (zh) * | 2020-12-21 | 2021-04-02 | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 | 一种流式细胞分选仪的照明系统和流式细胞分选仪 |
| CN219512478U (zh) * | 2023-03-20 | 2023-08-11 | 苏州苏纳光电有限公司 | 一种线形光斑激光整形系统 |
| CN117031766A (zh) * | 2023-08-17 | 2023-11-10 | 西安电子科技大学 | 一种基于非球面柱透镜组的光束匀化和准直方法 |
| CN118192090A (zh) * | 2024-04-12 | 2024-06-14 | 潍坊华光光电子有限公司 | 一种光斑形状和尺寸可调节的光束整形系统及其工作方法 |
Non-Patent Citations (2)
| Title |
|---|
| 吉紫娟 等: "《应用型高等学院校"十三五"规划教材 ZEMAX光学系统设计实训教程》", 30 November 2018, 华中科技大学出版社, pages: 235 * |
| 郁道银 等: "《工程光学》", 30 June 2023, 机械工业出版社, pages: 184 - 186 * |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN119270520A (zh) * | 2024-12-06 | 2025-01-07 | 北京三盟恒业光电科技有限公司 | 一种基于非球面柱透镜组的光束匀化整形方法 |
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| CN118534667B (zh) | 2024-11-15 |
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