CN118423358A - 铰链结构、半导体沉积腔室及机械设备 - Google Patents

Abstract

本发明涉及机械设备技术领域，公开了铰链结构、半导体沉积腔室及机械设备。其中，铰链结构包括第一铰链座、销轴、连接件、弹性件和第二铰链座，第一铰链座开设有销孔和安装槽，连接件的一端与销轴连接，弹性件一端与第一铰链座抵接，另一端与连接件的另一端抵接，在伸出状态下，弹性件处于初始状态，使第二铰链座朝向远离第一铰链座方向移动，在缩回状态下，对第二铰链座施加朝向第一铰链座方向作用力克服弹性件的弹性力，使弹性件处于压缩状态，第二铰链座朝向靠近第一铰链座方向移动，本发明第二铰链座能够在伸出状态和缩回状态之间切换，可以有效避免靠近铰链结构区域的密封圈受到多方向的挤压力，延长密封圈的使用寿命。

Description

铰链结构、半导体沉积腔室及机械设备

技术领域

本发明涉及机械设备技术领域，具体涉及铰链结构、半导体沉积腔室及机械设备。

背景技术

机械设备广泛应用于各个领域，包括制造业、建筑业、农业、交通运输等。机械设备的分类很多，可以按照不同的标准进行划分，例如根据用途可以分为生产设备、运输设备、建筑设备、作业机械等。

现有技术中，腔体和盖体通常通过铰链结构连接，以实现盖体的开启和关闭。为了确保在关闭状态下的密封性，通常在腔体或盖体上设置了密封圈。密封圈凸出于腔体或盖体的表面，在关闭盖体时，靠近铰链结构一侧的盖体会首先与密封圈接触，造成该区域的密封圈受到多方向的挤压，影响了密封圈的寿命。

发明内容

有鉴于此，本发明提供了一种铰链结构、半导体沉积腔室及机械设备，以解决现有的铰链结构导致密封圈受力不均的问题。

第一方面，本发明提供了一种铰链结构，包括：

第一铰链座，开设有销孔和安装槽；

销轴，可移动地设于所述销孔内，所述销轴适于朝向所述销孔的内壁方向移动；

连接件，与所述销轴成角度设置，所述连接件的一端与所述销轴连接；

弹性件，一端与所述第一铰链座抵接，另一端与所述连接件的另一端抵接；

第二铰链座，设于所述安装槽中与所述销轴可转动连接，所述第二铰链座适于沿所述安装槽的长度方向移动，所述第二铰链座具有伸出状态和缩回状态；

所述第二铰链座在所述伸出状态下，所述弹性件处于初始状态，使所述第二铰链座朝向远离所述第一铰链座方向移动；所述第二铰链座在所述缩回状态下，对所述第二铰链座施加朝向所述第一铰链座方向作用力克服所述弹性件的弹性力，使所述弹性件处于压缩状态，所述第二铰链座朝向靠近所述第一铰链座方向移动。

有益效果：此铰链结构，第二铰链座设置在安装槽中与销轴可转动连接，使得第二铰链座能够以销轴的轴线为旋转轴线，绕第一铰链座转动。在第二铰链座未受外界作用力的情况下，第二铰链座处于伸出状态，此时弹性件处于初始状态，由于弹性件一端与第一铰链座抵接，另一端与连接件的另一端抵接，弹性件对连接件施加朝向远离第一铰链座方向的弹性力，连接件带动销轴以及第二铰链座朝向远离第一铰链座方向移动，此时第二铰链座相对远离第一铰链座。

当外界对第二铰链座施加朝向第一铰链座方向的作用力时，第二铰链座上所承受的作用力传递至连接件处，进而对弹性件施加作用力，直至作用力克服弹性件的弹性力，使得弹性件从初始状态进入压缩状态，此时第二铰链座带动连接件和销轴朝向靠近第一铰链座方向移动，此时第二铰链座相对靠近第一铰链座。当撤销第二铰链座上的作用力时，弹性件从压缩状态进入初始状态，弹性件对连接件施加朝向远离第一铰链座方向的弹性力，连接件带动销轴以及第二铰链座朝向远离第一铰链座方向移动，此时第二铰链座回归至伸出状态。

将该铰链结构设置在腔体和盖体上，在关闭盖体的过程中，由于第二铰链座未受到外界的作用力，因此第二铰链座处于伸出状态，使得盖体与腔体之间留有间隙，此时，盖体与密封圈未接触，避免靠近铰链结构区域的密封圈受到多方向的挤压力，延长密封圈的使用寿命。当盖体盖设在腔体上方时，外界对盖体施加朝向腔体方向的作用力，弹性件从初始状态进入压缩状态，此时第二铰链座带动连接件和销轴朝向靠近第一铰链座方向移动，盖体均匀挤压密封圈，直至盖体与腔体密封，整个密封过程中密封圈受力均匀；在打开盖体的过程中，撤销盖体上的作用力，弹性件从压缩状态进入初始状态，盖体逐渐远离腔体，密封圈所受压力均匀撤销，避免应力集中导致密封圈损伤。

在一种可选的实施方式中，所述连接件的一端与所述销轴可拆卸连接。

有益效果：将连接件与销轴可拆卸连接，当需要更换或维修铰链结构上的某个部件时，仅需拆卸连接件和销轴即可进行必要的操作，极大地简化了维护程序，降低了维护成本和时间。同时，铰链结构在不同的应用场景下，对弹性件的弹性力要求不同，可以通过拆卸连接件和销轴来更换不同规格的弹性件，从而提高铰链结构的适应性，满足不同使用条件下的性能要求。

在一种可选的实施方式中，所述销轴的周壁上对应所述连接件的一端开设有连接孔。

有益效果：在销轴的周壁上开设与连接件对应的连接孔，使得连接件能够稳固地固定在销轴上，避免在铰链结构运转过程中连接件松动或脱离，确保整体结构的稳定性和可靠性。

在一种可选的实施方式中，所述连接件与所述销轴垂直设置。

有益效果：连接件与销轴垂直设置，可以确保连接件与销轴之间的力矩传递直接有效，能够更好地将弹性件提供的力均匀地传导到第二铰链座上，进而确保第二铰链座能够在伸出状态和缩回状态之间正常切换。垂直连接有助于提升整个铰链结构的稳定性，尤其是在承受垂直于销轴方向的力时，可以防止连接件因受力方向改变而产生晃动或错位，保证铰链结构的正常工作。并且，垂直设置的连接件与销轴更容易定位和安装，简化了维护和装配过程。

在一种可选的实施方式中，所述销孔为长圆孔，所述长圆孔沿所述安装槽的长度方向延伸。

有益效果：将销孔设置为长圆孔，销轴设置在长圆孔内，当第二铰链座在伸出状态和缩回状态切换时，使得销轴能够沿着长圆孔的延伸方向移动。当第二铰链座处于伸出状态和缩回状态时，销轴周壁的一侧可以与长圆孔的内壁充分接触，使得销轴能够承受较大的压力。

在一种可选的实施方式中，所述第一铰链座上开设有与所述销孔连通的安装孔，所述弹性件套设于所述连接件的外表面并安装于所述安装孔内，所述连接件穿过所述安装孔与所述销轴连接。

有益效果：通过在第一铰链座上设置安装孔，将弹性件设置在安装孔内，使得弹性件安装在第一铰链座内部，实现紧凑、合理的布局，减少外部空间占用，提升整体结构的紧凑性和简洁性。将弹性件设置在第一铰链座内部，能够有效地保护弹性件免受外部因素(如尘埃、水分、机械撞击等)的影响，延长其使用寿命。将弹性件套设在连接件的外表面，使弹性件能稳定地向连接件提供所需的弹性力，确保第二铰链座能够在伸出状态和缩回状态之间正常切换。

在一种可选的实施方式中，所述弹性件与所述连接件一一对应设有多个，多个所述弹性件与所述连接件分别设于所述第二铰链座的两侧。

有益效果：通过设置多个弹性件，来提高弹性件对第二铰链座施加的弹性力，使得第二铰链座能够承受较大的负载。通过在第二铰链座两侧分别设置弹性件和连接件，可以实现对第二铰链座的两侧均衡施加弹性力，从而保证第二铰链座在伸出或缩入第一铰链座时受力均匀，避免单边受力过大导致的不稳定或损坏，确保第二铰链座移动过程中的稳定性。

在一种可选的实施方式中，所述第二铰链座在所述伸出状态下，所述连接件的另一端凸出于所述第一铰链座的外表面。

有益效果：第二铰链座在伸出状态下，由于连接件的另一端凸出于第一铰链座的外表面，工作人员可以通过观察连接件的位置，来直接判断第二铰链座是否处于伸出状态。

第二方面，本发明还提供了一种半导体沉积腔室，包括：

腔体；

盖体，可开闭地设于所述腔体上，所述盖体与所述腔体之间设有密封圈；

铰链结构，所述第一铰链座与所述第二铰链座二者中一者设于所述腔体上，另一者设于所述盖体上；

在所述盖体盖设于所述腔体上且所述第二铰链座在所述伸出状态下，所述盖体下表面与所述腔体上表面相互平行且留有间隙，通过所述腔体内部负压吸引所述盖体垂直朝向所述腔体方向移动，所述密封圈受到垂直作用力。

有益效果：此半导体沉积腔室，将铰链结构设置在腔体和盖体上，在关闭盖体的过程中，第二铰链座处于伸出状态，使得盖体与腔体之间留有间隙，此时，盖体与密封圈未接触，避免靠近铰链结构区域的密封圈受到多方向的挤压力，延长密封圈的使用寿命。当盖体盖设在腔体上方时，对腔体内进行抽真空，在负压的作用下，盖体受到朝向腔体方向的吸力，盖体垂直朝向腔体方向移动，使得弹性件从初始状态进入压缩状态，此时第二铰链座带动连接件和销轴朝向靠近第一铰链座方向移动，盖体均匀挤压密封圈，密封圈受到垂直作用力，直至盖体与腔体密封，整个密封过程中密封圈受力均匀；当需要打开盖体时，消除腔体内的负压环境，即撤销盖体朝向腔体方向的吸力，弹性件从压缩状态进入初始状态，盖体逐渐远离腔体，密封圈所受压力均匀撤销，避免应力集中导致密封圈损伤。

第三方面，本发明还提供了一种机械设备，包括铰链结构。

有益效果：此机械设备，将铰链结构设置在机械设备上，由于第二铰链座能够在伸出状态和缩回状态之间切换，可以有效避免靠近铰链结构区域的密封圈受到多方向的挤压力，延长密封圈的使用寿命。

附图说明

为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例的一种铰链结构在伸出状态下的结构示意图；

图2为图1所示的铰链结构的剖视图；

图3为本发明实施例的一种铰链结构在缩回状态下的结构示意图；

图4为本发明实施例的一种半导体沉积腔室的结构示意图；

图5为本发明实施例的一种半导体沉积腔室中铰链结构在伸出状态下的结构示意图；

图6为本发明实施例的一种半导体沉积腔室中铰链结构在缩回状态下的结构示意图。

附图标记说明：

1、第一铰链座；101、销孔；102、安装槽；103、安装孔；2、销轴；201、连接孔；3、连接件；4、弹性件；5、第二铰链座；6、腔体；7、盖体。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

相关技术中，腔体和盖体通常通过铰链结构连接，以实现盖体的开启和关闭。为了确保在关闭状态下的密封性，通常在腔体或盖体上设置了密封圈。密封圈凸出于腔体或盖体的表面，在关闭盖体时，靠近铰链结构一侧的盖体会首先与密封圈接触，造成该区域的密封圈受到多方向的挤压，影响了密封圈的寿命。

为了解决上述技术问题，下面结合图1至图6，描述本发明的实施例。

根据本发明的实施例，一方面，如图1至图3所示，提供了一种铰链结构，包括第一铰链座1、销轴2、连接件3、弹性件4和第二铰链座5。

具体地，如图1至图3所示，第一铰链座1上开设有销孔101和安装槽102。

具体地，如图1至图3所示，销轴2可移动地设置在销孔101内，销轴2适于朝向销孔101的内壁方向移动。

具体地，如图1至图3所示，连接件3与销轴2成角度设置，连接件3的一端与销轴2。

具体地，如图2所示，弹性件4的一端与第一铰链座1抵接，另一端与连接件3的另一端抵接。

具体地，结合图1至图3所示，第二铰链座5设于安装槽102中，第二铰链座5与销轴2可转动连接，第二铰链座5适于沿安装槽102的长度方向移动，第二铰链座5具有伸出状态和缩回状态。

具体地，如图1和图2所示，第二铰链座5在伸出状态下，弹性件4处于初始状态，使得第二铰链座5朝向远离第一铰链座1方向移动。结合图2和图3所示，第二铰链座5在缩回状态下，外界对第二铰链座5施加朝向第一铰链座1方向的作用力，来克服弹性件4的弹性力，使得弹性件4处于压缩状态，第二铰链座5朝向靠近第一铰链座1方向移动。

此铰链结构，第二铰链座5设置在安装槽102中与销轴2可转动连接，使得第二铰链座5能够以销轴2的轴线为旋转轴线，绕第一铰链座1转动。在第二铰链座5未受外界作用力的情况下，第二铰链座5处于伸出状态，此时弹性件4处于初始状态，由于弹性件4一端与第一铰链座1抵接，另一端与连接件3的另一端抵接，弹性件4对连接件3施加朝向远离第一铰链座1方向的弹性力，连接件3带动销轴2以及第二铰链座5朝向远离第一铰链座1方向移动，此时第二铰链座5相对远离第一铰链座1。

当对第二铰链座5施加朝向第一铰链座1方向的作用力时，第二铰链座5上所承受的作用力传递至连接件3处，进而对弹性件4施加作用力，直至作用力克服弹性件4的弹性力，使得弹性件4从初始状态进入压缩状态，此时第二铰链座5带动连接件3和销轴2朝向靠近第一铰链座1方向移动，此时第二铰链座5相对靠近第一铰链座1。当撤销第二铰链座5上的作用力时，弹性件4从压缩状态进入初始状态，弹性件4对连接件3施加朝向远离第一铰链座1方向的弹性力，连接件3带动销轴2以及第二铰链座5朝向远离第一铰链座1方向移动，此时第二铰链座5回归至伸出状态。

将该铰链结构设置在腔体6和盖体7上，在关闭盖体7的过程中，由于第二铰链座5未受到外界的作用力，因此第二铰链座5处于伸出状态，使得盖体7与腔体6之间留有间隙，此时，盖体7与密封圈未接触，避免靠近铰链结构区域的密封圈受到多方向的挤压力，延长密封圈的使用寿命。当盖体7盖设在腔体6上方时，对盖体7施加朝向腔体6方向的作用力，弹性件4从初始状态进入压缩状态，此时第二铰链座5带动连接件3和销轴2朝向靠近第一铰链座1方向移动，盖体7均匀挤压密封圈，直至盖体7与腔体6密封，整个密封过程中密封圈受力均匀；在打开盖体7的过程中，撤销盖体7上的作用力，弹性件4从压缩状态进入初始状态，盖体7逐渐远离腔体6，密封圈所受压力均匀撤销，避免应力集中导致密封圈损伤。

具体地，铰链结构可以应用在柜门、门窗、车门、机舱门等各个领域，在本申请实施例中，不对铰链结构的使用领域进行具体限制。

具体地，第一铰链座1和第二铰链座5的形状可以根据使用需求选择现有的任意铰链座形状，在本申请实施例中，不对第一铰链座1和第二铰链座5的形状进行具体限制。

具体地，弹性件4可以选用螺旋弹簧、气压弹簧或液压弹簧等任意现有的弹性件，在本申请实施例中，不对弹性件4的类型进行具体限制。

具体地，连接件3可以选用销钉、螺栓、螺钉等现有的连接件，在本申请实施例中，不对连接件3的类型进行具体限制。

在一个实施例中，如图2所示，连接件3的一端与销轴2可拆卸连接。

将连接件3与销轴2可拆卸连接，当需要更换或维修铰链结构上的某个部件时，仅需拆卸连接件3和销轴2即可进行必要的操作，极大地简化了维护程序，降低了维护成本和时间。同时，铰链结构在不同的应用场景下，对弹性件4的弹性力要求不同，可以通过拆卸连接件3和销轴2来更换不同规格的弹性件4，从而提高铰链结构的适应性，满足不同使用条件下的性能要求。

具体地，连接件3与销轴2可拆卸连接，可以采用螺纹连接、卡接等现有的可拆卸连接方式，在本申请实施例中，不对连接件3与销轴2的可拆卸连接方式进行具体限制。

在一个实施例中，如图2所示，销轴2的周壁上对应连接件3的一端开设有连接孔201。

在销轴2的周壁上开设与连接件3对应的连接孔201，使得连接件3能够稳固地固定在销轴2上，避免在铰链结构运转过程中连接件3松动或脱离，确保整体结构的稳定性和可靠性。

具体地，连接孔201可以是螺纹孔、贯穿孔、卡接孔等，在本申请实施例中，不对连接孔201的类型进行具体限制。

示例性的，连接孔201为贯穿孔，在连接孔201的内壁上设置螺纹，连接件3的一端插入连接孔201中与销轴2螺纹连接，以确保连接件3和销轴2连接牢固。

在一个实施例中，如图2所示，连接件3与销轴2垂直设置。

连接件3与销轴2垂直设置，可以确保连接件3与销轴2之间的力矩传递直接有效，能够更好地将弹性件4提供的力均匀地传导到第二铰链座5上，进而确保第二铰链座5能够在伸出状态和缩回状态之间正常切换。垂直连接有助于提升整个铰链结构的稳定性，尤其是在承受垂直于销轴2方向的力时，可以防止连接件3因受力方向改变而产生晃动或错位，保证铰链结构的正常工作。并且，垂直设置的连接件3与销轴2更容易定位和安装，简化了维护和装配过程。

在一个实施例中，如图1至图3所示，销孔101为长圆孔，长圆孔沿安装槽102的长度方向延伸。

将销孔101设置为长圆孔，销轴2设置在长圆孔内，当第二铰链座5在伸出状态和缩回状态切换时，使得销轴2能够沿着长圆孔的延伸方向移动。当第二铰链座5处于伸出状态和缩回状态时，销轴2周壁的一侧可以与长圆孔的内壁充分接触，使得销轴2能够承受较大的压力。

在一个实施例中，如图2所示，第一铰链座1上开设有与销孔101连通的安装孔103，弹性件4套设于在连接件3的外表面并安装在安装孔103内，连接件3穿过安装孔103与销轴2连接。

通过在第一铰链座1上设置安装孔103，将弹性件4设置在安装孔103内，使得弹性件4安装在第一铰链座1内部，实现紧凑、合理的布局，减少外部空间占用，提升整体结构的紧凑性和简洁性。将弹性件4设置在第一铰链座1内部，能够有效地保护弹性件4免受外部因素(如尘埃、水分、机械撞击等)的影响，延长其使用寿命。将弹性件4套设在连接件3的外表面，使弹性件4能稳定地向连接件3提供所需的弹性力，确保第二铰链座5能够在伸出状态和缩回状态之间正常切换。

在一个实施例中，如图1至图3所示，弹性件4与连接件3一一对应设有多个，多个弹性件4与连接件3分别设置在第二铰链座5的两侧。

通过设置多个弹性件4，来提高弹性件4对第二铰链座5施加的弹性力，使得第二铰链座5能够承受较大的负载。通过在第二铰链座5两侧分别设置弹性件4和连接件3，可以实现对第二铰链座5的两侧均衡施加弹性力，从而保证第二铰链座5在伸出或缩入第一铰链座1时受力均匀，避免单边受力过大导致的不稳定或损坏，确保第二铰链座5移动过程中的稳定性。

具体地，弹性件4和连接件3可以分别设置两个、三个或四个等，在本申请实施例中，不对弹性件4和连接件3的数量进行具体限制。

示例性的，如图2所示，弹性件4和连接件3分别设置两个，弹性件4与连接件3一一对应设置，其中，一个弹性件4和一个连接件3设置在第二铰链座5的一侧，另一个弹性件4和另一个连接件3设置在第二铰链座5的另一侧。

在一个实施例中，结合图1和图2所示，第二铰链座5在伸出状态下，连接件3的另一端凸出于第一铰链座1的外表面。

第二铰链座5在伸出状态下，由于连接件3的另一端凸出于第一铰链座1的外表面，工作人员可以通过观察连接件3的位置，来直接判断第二铰链座5是否处于伸出状态。

具体地，第二铰链座5在缩回状态下，连接件3的另一端也可以凸出于第一铰链座1的外表面，也可以隐藏与第一铰链座1内部，在本申请实施例中，不对缩回状态下连接件3与第一铰链座1的位置关系进行具体限制。

根据本发明的实施例，另一方面，结合图1至图6所示，还提供了一种半导体沉积腔室，包括腔体6、盖体7和铰链结构。

具体地，如图4所示，盖体7可开闭地设置在腔体6上，盖体7与腔体6之间设有密封圈(图中未示出)。

具体地，第一铰链座1与第二铰链座5二者中一者设于腔体6上，另一者设于盖体7上。

在盖体7盖设于腔体6上且第二铰链座5在伸出状态下，盖体7下表面与腔体6上表面相互平行且留有间隙，通过腔体6内部负压吸引盖体7垂直朝向腔体6方向移动，密封圈受到垂直作用力。

此半导体沉积腔室，将铰链结构设置在腔体6和盖体7上，在关闭盖体7的过程中，第二铰链座5处于伸出状态，使得盖体7与腔体6之间留有间隙，此时，盖体7与密封圈未接触，避免靠近铰链结构区域的密封圈受到多方向的挤压力，延长密封圈的使用寿命。当盖体7盖设在腔体6上方时，对腔体6内进行抽真空，在负压的作用下，盖体7受到朝向腔体6方向的吸力，盖体7垂直朝向腔体6方向移动，使得弹性件4从初始状态进入压缩状态，此时第二铰链座5带动连接件3和销轴2朝向靠近第一铰链座1方向移动，盖体7均匀挤压密封圈，密封圈受到垂直作用力，直至盖体7与腔体6密封，整个密封过程中密封圈受力均匀；当需要打开盖体7时，消除腔体6内的负压环境，即撤销盖体7朝向腔体6方向的吸力，弹性件4从压缩状态进入初始状态，盖体7逐渐远离腔体6，密封圈所受压力均匀撤销，避免应力集中导致密封圈损伤。

具体地，若第一铰链座1设置在腔体6上，则第二铰链座5设置在盖体7上；若第一铰链座1设置在盖体7上，则第二铰链座5设置在腔体6上，在本申请实施例中，不对第一铰链座1和第二铰链座5的设置位置进行具体限制。

本实施例中半导体沉积腔室的工作原理描述如下：

结合图1至图4所示，将第一铰链座1安装在腔室上，第二铰链座5安装在盖体7上。

在腔体6未密封状态下，第二铰链座5处于伸出状态。当需要关闭盖体7时，如图5所示，将盖体7翻转盖设在腔体6上，由于第二铰链座5处于伸出状态，因此盖体7与腔体6之间留有间隙，盖体7与腔体6上的密封圈未接触。

当需要将腔体6密封时，如图6所示，对腔体6内进行抽真空，在负压的作用下，盖体7受到朝向腔体6方向的吸力，使得弹性件4从初始状态进入压缩状态，此时第二铰链座5带动连接件3和销轴2朝向靠近第一铰链座1方向移动，盖体7均匀挤压密封圈，直至盖体7与腔体6密封。

当需要打开盖体7时，消除腔体6内的负压环境，此时盖体7朝向腔体6方向的吸力被撤销，弹性件4从压缩状态进入初始状态，盖体7逐渐远离腔体6，第二铰链座5处于伸出状态，能够翻转盖体7远离腔体6。

根据本发明的实施例，另一方面，还提供了一种机械设备，包括铰链结构。

此机械设备，将铰链结构设置在机械设备上，由于第二铰链座5能够在伸出状态和缩回状态之间切换，可以有效避免靠近铰链结构区域的密封圈受到多方向的挤压力，延长密封圈的使用寿命。

具体地，机械设备可以是生产设备、运输设备、建筑设备等，在本申请实施例中，不对机械设备的类型进行具体限制。

虽然结合附图描述了本发明的实施例，但是本领域技术人员可以在不脱离本发明的精神和范围的情况下做出各种修改和变型，这样的修改和变型均落入由所附权利要求所限定的范围之内。

Claims (10)

1.一种铰链结构，其特征在于，包括：

第一铰链座(1)，开设有销孔(101)和安装槽(102)；

销轴(2)，可移动地设于所述销孔(101)内，所述销轴(2)适于朝向所述销孔(101)的内壁方向移动；

连接件(3)，与所述销轴(2)成角度设置，所述连接件(3)的一端与所述销轴(2)连接；

弹性件(4)，一端与所述第一铰链座(1)抵接，另一端与所述连接件(3)的另一端抵接；

第二铰链座(5)，设于所述安装槽(102)中与所述销轴(2)可转动连接，所述第二铰链座(5)适于沿所述安装槽(102)的长度方向移动，所述第二铰链座(5)具有伸出状态和缩回状态；

所述第二铰链座(5)在所述伸出状态下，所述弹性件(4)处于初始状态，使所述第二铰链座(5)朝向远离所述第一铰链座(1)方向移动；所述第二铰链座(5)在所述缩回状态下，对所述第二铰链座(5)施加朝向所述第一铰链座(1)方向作用力克服所述弹性件(4)的弹性力，使所述弹性件(4)处于压缩状态，所述第二铰链座(5)朝向靠近所述第一铰链座(1)方向移动。

2.根据权利要求1所述的铰链结构，其特征在于，所述连接件(3)的一端与所述销轴(2)可拆卸连接。

3.根据权利要求2所述的铰链结构，其特征在于，所述销轴(2)的周壁上对应所述连接件(3)的一端开设有连接孔(201)。

4.根据权利要求2所述的铰链结构，其特征在于，所述连接件(3)与所述销轴(2)垂直设置。

5.根据权利要求2所述的铰链结构，其特征在于，所述销孔(101)为长圆孔，所述长圆孔沿所述安装槽(102)的长度方向延伸。

6.根据权利要求2所述的铰链结构，其特征在于，所述第一铰链座(1)上开设有与所述销孔(101)连通的安装孔(103)，所述弹性件(4)套设于所述连接件(3)的外表面并安装于所述安装孔(103)内，所述连接件(3)穿过所述安装孔(103)与所述销轴(2)连接。

7.根据权利要求6所述的铰链结构，其特征在于，所述弹性件(4)与所述连接件(3)一一对应设有多个，多个所述弹性件(4)与所述连接件(3)分别设于所述第二铰链座(5)的两侧。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的铰链结构，其特征在于，所述第二铰链座(5)在所述伸出状态下，所述连接件(3)的另一端凸出于所述第一铰链座(1)的外表面。

9.一种半导体沉积腔室，其特征在于，包括：

腔体(6)；

盖体(7)，可开闭地设于所述腔体(6)上，所述盖体(7)与所述腔体(6)之间设有密封圈；

权利要求1至8中任一项所述的铰链结构，所述第一铰链座(1)与所述第二铰链座(5)二者中一者设于所述腔体(6)上，另一者设于所述盖体(7)上；

在所述盖体(7)盖设于所述腔体(6)上且所述第二铰链座(5)在所述伸出状态下，所述盖体(7)下表面与所述腔体(6)上表面相互平行且留有间隙，通过所述腔体(6)内部负压吸引所述盖体(7)垂直朝向所述腔体(6)方向移动，所述密封圈受到垂直作用力。

10.一种机械设备，其特征在于，包括：

权利要求1至8中任一项所述的铰链结构。