CN117888777B - 一种用于半导体晶圆厂的光罩盒智能货柜控制系统 - Google Patents

Abstract

本发明涉及光罩盒智能货柜技术领域，用于解决现有的对光罩盒智能货柜的控制方式中，难以对光罩盒出入库出现的故障进行及时的排查分析，无法实现光罩盒正确、高效的出入库操作的问题，尤其公开了一种用于半导体晶圆厂的光罩盒智能货柜控制系统，包括货柜控制平台，货柜控制平台的内部设置有服务器，服务器通信连接有数据采集单元、货柜存储状态分析单元、光罩盒入库控制单元、光罩盒出库控制单元、显示控制终端和显示屏；本发明，分别对光罩盒的入库状态及出库状态进行监测分析，采用数据逐项分析、模型比较分析以及数据信号输出的方式，从不同层面对光罩盒的入库及出库故障进行排查校正分析，从而实现了实现光罩盒高效的出入库操作。

Description

一种用于半导体晶圆厂的光罩盒智能货柜控制系统

技术领域

本发明涉及光罩盒智能货柜技术领域，具体为一种用于半导体晶圆厂的光罩盒智能货柜控制系统。

背景技术

光罩盒的作用是存放用于存储芯片电路图形的光罩，在无尘室内，存储光罩的光罩盒在进入光刻机前被临时存储在光罩盒智能货柜中，光罩盒智能货柜的储位可将超纯净干燥空气或氮气持续吹入光罩盒内，以保证光罩、芯片电路图形的洁净度和干燥度；

但现有的光罩盒的存储货柜，大都是仅能为光罩盒提供临时存储的作用，难以实现对光罩盒的出入库的高效控制，也难以对光罩盒出入库出现的故障进行及时的排查分析，故无法实现光罩盒正确、高效的出入库操作；

为了解决上述缺陷，现提供一种技术方案。

发明内容

本发明的目的就在于为了解决现有的对光罩盒智能货柜的控制方式中，难以对光罩盒出入库出现的故障进行及时的排查分析，无法实现光罩盒正确、高效的出入库操作的问题，利用数据分类标定以及集合整合分析，实现了对光罩盒智能货柜的货位空实状态的明确判定分析，通过实时监测光罩盒入库状态，采用逐项分析、模型分析以及阈值比较分析的方式，从不同层面对光罩盒的入库故障进行排查分析以及校正处理，从而实现了光罩盒的成功入库操作，通过实时监测光罩盒出库状态，利用数值比较以及信号输出的方式，实现了对光罩盒解锁故障的明确判定分析以及故障修正处理，从而实现了光罩盒的正确出库操作，而提出一种用于半导体晶圆厂的光罩盒智能货柜控制系统。

本发明的目的可以通过以下技术方案实现：

一种用于半导体晶圆厂的光罩盒智能货柜控制系统，包括货柜控制平台，货柜控制平台的内部设置有服务器，服务器通信连接有数据采集单元、货柜存储状态分析单元、光罩盒入库控制单元、光罩盒出库控制单元、显示控制终端和显示屏；

所述数据采集单元用于采集光罩盒智能货柜的结构状态信息、光罩盒的放入状态信息以及光罩盒智能货柜的电磁锁状态信息，并将其分别发送至货柜存储状态分析单元、光罩盒入库控制单元和光罩盒出库控制单元；

所述货柜存储状态分析单元用于接收光罩盒智能货柜的结构状态信息，并进行货柜结构状态分析，据此生成实料货位集合A与待料货位集合B，并将实料货位集合A中的各货位在显示屏上用绿色颜色显示，将待料货位集合B中的各货位在显示屏上用黄色颜色显示，并将集合A与集合B分别发送至光罩盒入库控制单元、光罩盒出库控制单元；

所述光罩盒入库控制单元用于接收待料货位集合B，并据此调取光罩盒的放入状态信息，并进行入库操作处理，据此生成入库成功指令，并触发用于电磁锁开关的继电器；

所述光罩盒出库控制单元用于接收实料货位集合A，并据此调取光罩盒智能货柜的电磁锁状态信息，并进行出库操作处理，据此生成出库指令，并触发用于电磁锁开关的继电器。

进一步的，货柜结构状态分析的具体操作步骤如下：

实时获取光罩盒智能货柜的结构状态信息中的层数及货位数，并按照从上到下的顺序将光罩盒智能货柜的各层数标定为a_i，其中，i＝1，2，3……n1；

依据光罩盒智能货柜的各层数，将各层的货位按照从左到右的顺序标定为b_j，其中，j＝1，2，3……n2，且n1、n2均为正整数；

依据公式k＝n1*n2，得到光罩盒智能货柜共有k个货位，并将光罩盒智能货柜中的k个货位的位置进行坐标标定，并将各货位标定为坐标(a_i，b_j)；

依次对光罩盒智能货柜中的k个货位的空实状态进行盘点分析，当货位中已放入光罩盒，则将对应的货位标定为实料货位，并调取实料货位的位置坐标，并将实料货位的位置坐标归入集合A中，并将对应的实料货位在显示屏上用绿色颜色显示；

当货位中未放入光罩盒，则将对应的货位标定为待料货位，并调取待料货位的位置坐标，并将待料货位的位置坐标归入集合B中，并将对应的待料货位在显示屏上用黄色颜色显示。

进一步的，入库操作处理的具体步骤如下：

依据集合B，统计集合B中的元素的个数和，并将其标定为sum1，并据此生成sum1个入库指令；

依据sum1个入库指令，将sum1个光罩盒依次放入光罩盒智能货柜的待料货位中；

当光罩盒正确放入货位，并成功触发行程开关时，则生成入库成功指令，并将入库成功指令发送至显示控制终端，当显示控制终端接收到入库成功指令时，并将对应的货位在显示屏上显示的颜色由黄色跳转为绿色，并依据入库成功指令，触发用于电磁锁开关的继电器，即将入库后的光罩盒进行上锁操作；

当光罩盒错误入库时，则生成入库失败指令，并将入库失败指令发送至显示控制终端，当显示控制终端接收到入库失败指令时，并将对应的货位在显示屏上显示的颜色由黄色跳转为红色，并据此进行入库操作判定分析处理。

进一步的，入库操作判定分析处理的具体操作步骤如下：

实时获取光罩盒的放入状态信息中的标签所处位置以及天线感应范围，以货位水平面建立二维坐标系，将天线感应范围通过实线绘制在二维坐标系上，将标签所处位置通过虚实线绘制在二维坐标系上，分别获取二维坐标系上虚实线构成的图形的中心点与实线构成的图形的中心点，并将其分别标定为(x1，y1)与(x2，y2)，依据两点间的距离公式得到有效感应值；

将有效感应值与预设的参照阈值TT1进行比较分析，当有效感应值大于预设的参照阈值TT1时，则生成标签感应位置放置不当信号，当有效感应值小于等于预设的参照阈值TT1时，则生成标签感应位置放置正常信号；

依据生成的标签感应位置放置不当信号，生成位置修正指令，并触发入库检修机制处理，据此生成二级故障分析指令或不生成任何指令；

依据生成的标签感应位置放置正常信号或二级故障分析指令，实时获取光罩盒的放入状态信息中的标签电感电流值，当标签电感电流值为0时，则生成贴片无损坏信号，当标签电感电流值为稍大或无穷时，则生成贴片损坏信号，并触发入库检修机制处理，据此生成三级故障分析指令或不生成任何指令；

依据贴片无损坏信号或三级故障分析指令，实时获取光罩盒对应的货位的天线接线电流值，当天线接线电流值为0时，则生成天线连接异常信号，并触发入库检修机制处理，当天线接线电流值不为0时，则生成手动入库指令，并通过服务器发送至显示控制终端，通过显示控制终端告知操作人员，操作人员手动将光罩盒入库。

进一步的，入库检修机制处理的具体操作步骤如下：

将位置修正指令通过服务器发送至操作人员，当操作人员接收到位置修正指令时，将光罩盒重新放入货位中，并手动校对光罩盒标签的位置，使光罩盒上的贴片式标签处于天线感应范围内，此时，再次执行入库操作处理，若对应的货位在显示屏上显示的颜色由红色跳转为绿色，并触发用于电磁锁开关的继电器，若对应的货位在显示屏上显示的颜色仍为红色，则生成二级故障分析指令；

依据生成的贴片损坏信号，更换光罩盒的贴片式标签，此时，再次执行入库操作处理，若对应的货位在显示屏上显示的颜色由红色跳转为绿色，并触发用于电磁锁开关的继电器，若对应的货位在显示屏上显示的颜色仍为红色，则生成三级故障分析指令；

依据生成的天线连接异常信号，更换光罩盒对应货位的天线接线，此时，再次执行入库操作处理，若对应的货位在显示屏上显示的颜色由红色跳转为绿色，并触发用于电磁锁开关的继电器。

进一步的，出库操作处理的具体步骤如下：

依据实料货位集合A，依次获取待出库的光罩盒的标签编号，并将其标定为id_p，依据光罩盒的标签编号追踪待出库光罩盒所处的光罩盒智能货柜的位置坐标(a_i，b_j)，即id_p→(a_i，b_j)；

依据id_p→(a_i，b_j)，生成出库指令，并触发用于电磁锁开关的继电器，即将待出库的光罩盒进行解锁操作，若解锁成功，光罩盒智能货柜对应货位会呈绿色闪烁状态，并引导操作人员取出光罩盒，并在取出光罩盒后，对应的货位在显示屏上显示的颜色由绿色跳转为黄色，且对应实料货位恢复为待料货位；

若解锁失败，对应的货位在显示屏上显示的颜色由绿色跳转为红色，并生成解锁按钮修正指令，触发出库检修机制处理，并在完成出库检修机制处理后，再次执行出库操作处理。

进一步的，出库检修机制处理具体操作步骤如下：

依据解锁按钮修正指令，实时获取光罩盒智能货柜的电磁锁状态信息中的电磁锁活动值、继电器电流值、解锁按钮接线电流值；

当电磁锁活动值为0时，则生成电磁锁故障信号，当继电器电流值为0时，则生成继电器故障信号，当解锁按钮接线电流值为0时，则生成解锁按钮连接线故障信号；

依据生成的电磁锁故障信号，更换电磁锁，依据生成的继电器故障信号，更换继电器，依据生成的解锁按钮连接线故障信号，更换解锁按钮连接线，并在完成检修操作后，再次执行出库操作处理，此时，对应的货位在显示屏上显示的颜色由红色跳转为黄色。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

(1)本发明，利用数据分类标定以及集合整合分析，实现了对光罩盒智能货柜的货位空实状态的明确判定分析，并以此为基础，实时监测光罩盒入库状态，通过对光罩盒的放入状态信息中的各项数据进行逐项分析，并采用模型分析、距离公式以及阈值比较分析的方式，从而实现了对光罩盒上的贴片式标签的位置放置状态进行了判定及校正处理，通过捕捉光罩盒上的贴片式标签的当标签电感电流值，利用数据的比较分析的方式，从而实现了对光罩盒上的贴片式标签的损坏情况进行了明确的判定以及修正处理，通过捕捉光罩盒对应的货位的天线接线电流值，利用数值大小比对处理的方式，从货位的天线连线层面进行了分析和校对，有效的实现了光罩盒的成功入库操作；

(2)本发明，实时监测光罩盒出库状态，依据获取待出库的光罩盒的标签编码追踪光罩盒所处的位置，并触发用于电磁锁开关的继电器，当解锁成功，光罩盒智能货柜对应货位会呈绿色闪烁状态，并引导操作人员取出光罩盒，从而实现了光罩盒的正确出库操作，当解锁失败，并触发出库检修机制处理，通过获取光罩盒智能货柜的电磁锁状态信息，利用数值比较以及信号输出的方式，实现了对光罩盒解锁故障的明确判定分析以及故障修正处理，从而实现了光罩盒的正确出库操作。

附图说明

为了便于本领域技术人员理解，下面结合附图对本发明作进一步的说明；

图1为本发明的系统总框图；

图2为本发明的光罩盒入库操作处理的流程图；

图3为本发明的光罩盒出库操作处理的流程图。

具体实施方式

下面将结合实施例对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。

如图1所示，一种用于半导体晶圆厂的光罩盒智能货柜控制系统，包括货柜控制平台，货柜控制平台的内部设置有服务器，服务器通信连接有数据采集单元、货柜存储状态分析单元、光罩盒入库控制单元、光罩盒出库控制单元、显示控制终端和显示屏，其中，货柜控制平台用于实现对半导体晶圆厂的光罩盒智能货柜进行出入库的控制分析；

通过数据采集单元获取光罩盒智能货柜的结构状态信息，并将其通过服务器发送至货柜存储状态分析单元；

当货柜存储状态分析单元接收到光罩盒智能货柜的结构状态信息时，并据此进行货柜结构状态分析，具体的操作过程如下：

实时获取光罩盒智能货柜的结构状态信息中的层数及货位数，并按照从上到下的顺序将光罩盒智能货柜的各层数标定为a_i，其中，i＝1，2，3……n1；

依据光罩盒智能货柜的各层数，将各层的货位按照从左到右的顺序标定为b_j，其中，j＝1，2，3……n2，且n1、n2均为正整数，需要说明是，i表示光罩盒智能货柜的层数，j表示光罩盒智能货柜的每层的货位数；

依据公式k＝n1*n2，得到光罩盒智能货柜共有k个货位，并将光罩盒智能货柜中的k个货位的位置进行坐标标定，并将各货位标定为坐标(a_i，b_j)；

需要指出的是，当i＝1，j＝1时，(a₁，b₁)表示光罩盒智能货柜的结构状态中的第一层第一个货位，当i＝5，j＝1时，(a₅，b₁)表示光罩盒智能货柜的结构状态中的第五层第一个货位；

依次对光罩盒智能货柜中的k个货位的空实状态进行盘点分析，当货位中已放入光罩盒，则将对应的货位标定为实料货位，并调取实料货位的位置坐标，并将实料货位的位置坐标归入集合A中，并将对应的实料货位在显示屏上用绿色颜色显示；

当货位中未放入光罩盒，则将对应的货位标定为待料货位，并调取待料货位的位置坐标，并将待料货位的位置坐标归入集合B中，并将对应的待料货位在显示屏上用黄色颜色显示；

并将生成的实料货位集合A与待料货位集合B分别通过服务器发送至光罩盒入库控制单元、光罩盒出库控制单元；

如图2所示，通过数据采集单元获取到光罩盒的放入状态信息，并将其通过服务器发送至光罩盒入库控制单元；

当光罩盒入库控制单元接收到光罩盒的放入状态信息与待料货位集合B时，并据此进行入库操作处理，具体的操作过程如下：

依据集合B，统计集合B中的元素的个数和，并将其标定为sum1，并据此生成sum1个入库指令；

依据sum1个入库指令，将sum1个光罩盒依次放入光罩盒智能货柜的待料货位中；

当光罩盒正确放入货位，并成功触发行程开关时，则生成入库成功指令，并将入库成功指令发送至显示控制终端，当显示控制终端接收到入库成功指令时，并将对应的货位在显示屏上显示的颜色由黄色跳转为绿色，并依据入库成功指令，触发用于电磁锁开关的继电器，即将入库后的光罩盒进行上锁操作；

当光罩盒错误入库时，则生成入库失败指令，并将入库失败指令发送至显示控制终端，当显示控制终端接收到入库失败指令时，并将对应的货位在显示屏上显示的颜色由黄色跳转为红色，并据此进行入库操作判定分析处理，具体的操作过程如下：

实时获取光罩盒的放入状态信息中的标签所处位置以及天线感应范围，以货位水平面建立二维坐标系，将天线感应范围通过实线绘制在二维坐标系上，将标签所处位置通过虚实线绘制在二维坐标系上，分别获取二维坐标系上虚实线构成的图形的中心点与实线构成的图形的中心点，并将其分别标定为(x1，y1)与(x2，y2)，依据两点间的距离公式得到有效感应值；

将有效感应值与预设的参照阈值TT1进行比较分析，当有效感应值大于预设的参照阈值TT1时，则生成标签感应位置放置不当信号，当有效感应值小于等于预设的参照阈值TT1时，则生成标签感应位置放置正常信号；

依据生成的标签感应位置放置不当信号，生成位置修正指令，并触发入库检修机制处理，具体的，将位置修正指令通过服务器发送至操作人员，当操作人员接收到位置修正指令时，将光罩盒重新放入货位中，并手动校对光罩盒标签的位置，使光罩盒上的贴片式标签处于天线感应范围内，此时，再次执行入库操作处理，若对应的货位在显示屏上显示的颜色由红色跳转为绿色，并触发用于电磁锁开关的继电器，若对应的货位在显示屏上显示的颜色仍为红色，则生成二级故障分析指令；

依据生成的标签感应位置放置正常信号或二级故障分析指令，实时获取光罩盒的放入状态信息中的标签电感电流值，当标签电感电流值为0时，则生成贴片无损坏信号，当标签电感电流值为稍大或无穷时，则生成贴片损坏信号，并触发入库检修机制处理，具体的，依据生成的贴片损坏信号，更换光罩盒的贴片式标签，此时，再次执行入库操作处理，若对应的货位在显示屏上显示的颜色由红色跳转为绿色，并触发用于电磁锁开关的继电器，若对应的货位在显示屏上显示的颜色仍为红色，则生成三级故障分析指令；

依据贴片无损坏信号或三级故障分析指令，实时获取光罩盒对应的货位的天线接线电流值，当天线接线电流值为0时，则生成天线连接异常信号，并触发入库检修机制处理，具体的，依据生成的天线连接异常信号，更换光罩盒对应货位的天线接线，此时，再次执行入库操作处理，若对应的货位在显示屏上显示的颜色由红色跳转为绿色，并触发用于电磁锁开关的继电器，当天线接线电流值不为0时，则生成手动入库指令，并通过服务器发送至显示控制终端，通过显示控制终端告知操作人员，操作人员手动将光罩盒入库；

如图3所示，通过数据采集单元捕捉到光罩盒智能货柜的电磁锁状态信息，并将其通过服务器发送至光罩盒出库控制单元；

当光罩盒出库控制单元接收到实料货位集合A与光罩盒智能货柜的电磁锁状态信息，并据此进行出库操作处理，具体的操作过程如下：

依据实料货位集合A，依次获取待出库的光罩盒的标签编号，并将其标定为id_p，依据光罩盒的标签编号追踪待出库光罩盒所处的光罩盒智能货柜的位置坐标(a_i，b_j)，即id_p→(a_i，b_j)；

依据id_p→(a_i，b_j)，生成出库指令，并触发用于电磁锁开关的继电器，即将待出库的光罩盒进行解锁操作，若解锁成功，光罩盒智能货柜对应货位会呈绿色闪烁状态，并引导操作人员取出光罩盒，并在取出光罩盒后，对应的货位在显示屏上显示的颜色由绿色跳转为黄色，且对应实料货位恢复为待料货位；

若解锁失败，对应的货位在显示屏上显示的颜色由绿色跳转为红色，并生成解锁按钮修正指令，触发出库检修机制处理，具体的，依据解锁按钮修正指令，实时获取光罩盒智能货柜的电磁锁状态信息中的电磁锁活动值、继电器电流值、解锁按钮接线电流值；

当电磁锁活动值为0时，则生成电磁锁故障信号，当继电器电流值为0时，则生成继电器故障信号，当解锁按钮接线电流值为0时，则生成解锁按钮连接线故障信号；

依据生成的电磁锁故障信号，更换电磁锁，依据生成的继电器故障信号，更换继电器，依据生成的解锁按钮连接线故障信号，更换解锁按钮连接线，并在完成检修操作后，再次执行出库操作处理，此时，对应的货位在显示屏上显示的颜色由红色跳转为黄色。

本发明在使用时，通过获取光罩盒智能货柜的结构状态信息，并进行货柜结构状态分析，利用数据分类标定以及集合整合分析，实现了对光罩盒智能货柜的货位空实状态的明确判定分析；

并以此为基础，实时监测光罩盒入库状态，当光罩盒放入货柜后，并成功触发行程开关，并实现入库后的光罩盒的上锁操作，且对应的货位在显示屏上显示的颜色由黄色跳转为绿色，实现了光罩盒的入库操作；

当光罩盒放入货柜后，未成功触发行程开关，并据此获取光罩盒的放入状态信息，通过对光罩盒的放入状态信息中的各项数据进行逐项分析，并采用模型分析、距离公式以及阈值比较分析的方式，从而实现了对光罩盒上的贴片式标签的位置放置状态进行了判定及校正处理；

当对光罩盒上的贴片式标签的位置放置状态判定无异常，仍未成功触发行程开关，并以此为基础，通过捕捉光罩盒上的贴片式标签的当标签电感电流值，利用数据的比较分析的方式，从而实现了对光罩盒上的贴片式标签的损坏情况进行了明确的判定以及修正处理；

当分析到光罩盒上的贴片式标签无损坏情况，仍未成功触发行程开关，并以此为基础，通过捕捉光罩盒对应的货位的天线接线电流值，利用数值大小比对处理的方式，从货位的天线连线层面进行了分析和校对，有效的实现了光罩盒的成功入库操作；

实时监测光罩盒出库状态，依据获取待出库的光罩盒的标签编码追踪光罩盒所处的位置，并触发用于电磁锁开关的继电器，当解锁成功，光罩盒智能货柜对应货位会呈绿色闪烁状态，并引导操作人员取出光罩盒，从而实现了光罩盒的正确出库操作；

当解锁失败，并触发出库检修机制处理，通过获取光罩盒智能货柜的电磁锁状态信息，利用数值比较以及信号输出的方式，实现了对光罩盒解锁故障的明确判定分析以及故障修正处理，从而实现了光罩盒的正确出库操作。

以上公开的本发明优选实施例只是用于帮助阐述本发明。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该发明仅为的具体实施方式。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本发明的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本发明。本发明仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。

Claims (4)

1.一种用于半导体晶圆厂的光罩盒智能货柜控制系统，包括货柜控制平台，其特征在于，货柜控制平台的内部设置有服务器，服务器通信连接有：

数据采集单元，用于采集光罩盒智能货柜的结构状态信息、光罩盒的放入状态信息以及光罩盒智能货柜的电磁锁状态信息，并将其分别发送至货柜存储状态分析单元、光罩盒入库控制单元和光罩盒出库控制单元；

货柜存储状态分析单元，用于接收光罩盒智能货柜的结构状态信息，并进行货柜结构状态分析，据此生成实料货位集合A与待料货位集合B，并将实料货位集合A中的各货位在显示屏上用绿色颜色显示，将待料货位集合B中的各货位在显示屏上用黄色颜色显示，并将集合A与集合B分别发送至光罩盒入库控制单元、光罩盒出库控制单元；

光罩盒入库控制单元，用于接收待料货位集合B，并据此调取光罩盒的放入状态信息，并进行入库操作处理，据此生成入库成功指令，并触发用于电磁锁开关的继电器；

光罩盒出库控制单元，用于接收实料货位集合A，并据此调取光罩盒智能货柜的电磁锁状态信息，并进行出库操作处理，据此生成出库指令，并触发用于电磁锁开关的继电器；

入库操作处理的具体步骤如下：

依据集合B，统计集合B中的元素的个数和，并将其标定为sum1，并据此生成sum1个入库指令；

依据sum1个入库指令，将sum1个光罩盒依次放入光罩盒智能货柜的待料货位中；

当光罩盒正确放入货位，并成功触发行程开关时，则生成入库成功指令，并将入库成功指令发送至显示控制终端，当显示控制终端接收到入库成功指令时，并将对应的货位在显示屏上显示的颜色由黄色跳转为绿色，并依据入库成功指令，触发用于电磁锁开关的继电器，即将入库后的光罩盒进行上锁操作；

当光罩盒错误入库时，则生成入库失败指令，并将入库失败指令发送至显示控制终端，当显示控制终端接收到入库失败指令时，并将对应的货位在显示屏上显示的颜色由黄色跳转为红色，并据此进行入库操作判定分析处理；

入库操作判定分析处理的具体操作步骤如下：

实时获取光罩盒的放入状态信息中的标签所处位置以及天线感应范围，以货位水平面建立二维坐标系，将天线感应范围通过实线绘制在二维坐标系上，将标签所处位置通过虚实线绘制在二维坐标系上，分别获取二维坐标系上虚实线构成的图形的中心点与实线构成的图形的中心点，依据两点间的距离公式，得到有效感应值；

将有效感应值与预设的参照阈值TT1进行比较分析，当有效感应值大于预设的参照阈值TT1时，则生成标签感应位置放置不当信号，当有效感应值小于等于预设的参照阈值TT1时，则生成标签感应位置放置正常信号；

依据生成的标签感应位置放置不当信号，生成位置修正指令，并触发入库检修机制处理，据此生成二级故障分析指令或不生成任何指令；

依据生成的标签感应位置放置正常信号或二级故障分析指令，实时获取光罩盒的放入状态信息中的标签电感电流值，当标签电感电流值为0时，则生成贴片无损坏信号，当标签电感电流值为稍大或无穷时，则生成贴片损坏信号，并触发入库检修机制处理，据此生成三级故障分析指令或不生成任何指令；

依据贴片无损坏信号或三级故障分析指令，实时获取光罩盒对应的货位的天线接线电流值，当天线接线电流值为0时，则生成天线连接异常信号，并触发入库检修机制处理，当天线接线电流值不为0时，则生成手动入库指令，并通过服务器发送至显示控制终端，通过显示控制终端告知操作人员，操作人员手动将光罩盒入库；

入库检修机制处理的具体操作步骤如下：

将位置修正指令通过服务器发送至操作人员，当操作人员接收到位置修正指令时，将光罩盒重新放入货位中，并手动校对光罩盒标签的位置，使光罩盒上的贴片式标签处于天线感应范围内，此时，再次执行入库操作处理，若对应的货位在显示屏上显示的颜色由红色跳转为绿色，并触发用于电磁锁开关的继电器，若对应的货位在显示屏上显示的颜色仍为红色，则生成二级故障分析指令；

依据生成的贴片损坏信号，更换光罩盒的贴片式标签，此时，再次执行入库操作处理，若对应的货位在显示屏上显示的颜色由红色跳转为绿色，并触发用于电磁锁开关的继电器，若对应的货位在显示屏上显示的颜色仍为红色，则生成三级故障分析指令；

依据生成的天线连接异常信号，更换光罩盒对应货位的天线接线，此时，再次执行入库操作处理，若对应的货位在显示屏上显示的颜色由红色跳转为绿色，并触发用于电磁锁开关的继电器。

2.根据权利要求1所述的一种用于半导体晶圆厂的光罩盒智能货柜控制系统，其特征在于，货柜结构状态分析的具体操作步骤如下：

实时获取光罩盒智能货柜的结构状态信息中的层数及货位数，并按照从上到下的顺序将光罩盒智能货柜的各层数标定为a_i，其中，i＝1，2，3……n1；

依据光罩盒智能货柜的各层数，将各层的货位按照从左到右的顺序标定为b_j，其中，j＝1，2，3……n2，且n1、n2均为正整数；

依据公式k＝n1*n2，得到光罩盒智能货柜共有k个货位，并将光罩盒智能货柜中的k个货位的位置进行坐标标定，并将各货位标定为坐标(a_i，b_j)；

依次对光罩盒智能货柜中的k个货位的空实状态进行盘点分析，当货位中已放入光罩盒，则将对应的货位标定为实料货位，并调取实料货位的位置坐标，并将实料货位的位置坐标归入集合A中，并将对应的实料货位在显示屏上用绿色颜色显示；

当货位中未放入光罩盒，则将对应的货位标定为待料货位，并调取待料货位的位置坐标，并将待料货位的位置坐标归入集合B中，并将对应的待料货位在显示屏上用黄色颜色显示。

3.根据权利要求1所述的一种用于半导体晶圆厂的光罩盒智能货柜控制系统，其特征在于，出库操作处理的具体步骤如下：

依据实料货位集合A，依次获取待出库的光罩盒的标签编号，并将其标定为id_p，依据光罩盒的标签编号追踪待出库光罩盒所处的光罩盒智能货柜的位置坐标(a_i，b_j)，即id_p→(a_i，b_j)；

依据id_p→(a_i，b_j)，生成出库指令，并触发用于电磁锁开关的继电器，即将待出库的光罩盒进行解锁操作，若解锁成功，光罩盒智能货柜对应货位呈绿色闪烁状态，并引导操作人员取出光罩盒，并在取出光罩盒后，对应的货位在显示屏上显示的颜色由绿色跳转为黄色，且对应实料货位恢复为待料货位；

若解锁失败，对应的货位在显示屏上显示的颜色由绿色跳转为红色，并生成解锁按钮修正指令，触发出库检修机制处理，并在完成出库检修机制处理后，再次执行出库操作处理。

4.根据权利要求3所述的一种用于半导体晶圆厂的光罩盒智能货柜控制系统，其特征在于，出库检修机制处理具体操作步骤如下：

依据解锁按钮修正指令，实时获取光罩盒智能货柜的电磁锁状态信息中的电磁锁活动值、继电器电流值、解锁按钮接线电流值；

当电磁锁活动值为0时，则生成电磁锁故障信号，当继电器电流值为0时，则生成继电器故障信号，当解锁按钮接线电流值为0时，则生成解锁按钮连接线故障信号；

依据生成的电磁锁故障信号，更换电磁锁，依据生成的继电器故障信号，更换继电器，依据生成的解锁按钮连接线故障信号，更换解锁按钮连接线，并在完成检修操作后，再次执行出库操作处理，此时，对应的货位在显示屏上显示的颜色由红色跳转为黄色。