CN117704977B - 一种基于线光谱共焦技术的透明平板二维测厚系统及方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种基于线光谱共焦技术的透明平板二维测厚系统及方法，宽谱线阵LED光源发出的光线经光纤束传导至狭缝，再通过对称式共焦线色散镜组并在共焦面上发生色散，在透明平板表面聚焦的线形光斑会反射回去，由线成像光谱仪分光，通过微处理器进行光谱‑距离映射关系解码获得共焦线上的厚度测量结果，配合二维精密平移台可实现对大面积透明平板的二维表面厚度测量。该方法突破了传统光谱共焦传感器对射测厚及单点测厚中存在的问题，具有测量装置简单、易操作、易集成于自动化生产线上和二维面厚度测量效率高等优点。
Description
技术领域
本发明涉及精密光学测量技术领域，尤其涉及一种基于线光谱共焦技术的透明平板二维测厚系统及方法。
背景技术
随着科学技术和精密制造业的快速发展，对各类透明材料制品的三维形貌精密测量提出了更高的要求。光谱共焦传感器作为近些年来发展起来的一种光学非接触式位移传感器，被广泛应用于工业自动化领域。由于具备能够突破光学衍射极限，实现超分辨测量的特点，其测量精度往往可达数十纳米。然而，包括手机屏幕在内的各类透明平板零件除单侧形貌需要表征外，厚度也是决定其工作性能的重要参数，传统的测量方法往往需要通过对射的方式来进行差值比较获得透明平板零件的厚度。
中国专利申请CN111928788A公开了一种双向对射光谱共焦平板厚度检测系统及其双光轴校准方法，通过在被测平板两侧分别设置光谱共焦探头并精调五轴位移平台使两探头位于同一轴线上，最后再经过平行度校准后用于被测平板的厚度测量。然而这种方式却存在测量装置复杂、装配和操作流程繁琐、成本高昂、难以实现自动化检测等众多缺点。中国专利申请CN112229338A公开了一种无标准片对零的双光谱共焦测量厚度方法，此方法通过对两传感器互设参考面来避免对射测厚中需采用标准厚度片进行对零的过程。此方法虽然省去了装置对零测厚的过程，却也引入了传感器需互设参考面这一额外操作流程，同时该方法也存在上述提到的对射测厚方法当中存在的一系列缺点。
除上述问题外，目前已公开的光谱共焦透明平板厚度测量方法均为单点测量方式，需通过附加二维精密扫描平台来测量透明平板零件的二维厚度分布情况，测量效率十分低下。
发明内容
本发明针对现有技术的不足，提出了一种基于线光谱共焦技术的透明平板二维测厚系统及方法。
本发明的技术方案如下：
一种基于线光谱共焦技术的透明平板二维测厚系统，包括宽谱线阵LED光源、光纤束、狭缝、对称式共焦线色散镜组、线成像光谱仪、微处理器、探头固定支架和二维精密平移台。
所述宽谱线阵LED光源发出的光经光纤束传导后，通过狭缝成为理想线光源，再经过对称式共焦线色散镜组后在共焦面上发生色散，在透明板表面聚焦的线形光斑会反射回对称式共焦线色散镜组，并由线成像光谱仪分光，通过微处理器对光谱-距离映射关系进行解码获得测量值，所述对称式共焦线色散镜组竖直固定于探头固定支架上，被测透明板设置于二维精密平移台上。
进一步的，所述对称式共焦线色散镜组能够将经狭缝后的理想线光源以不同的波长成像在共焦面上不同深度的位置处，聚焦线长与狭缝长度相同为2～10mm，成像的色散深度范围为1～6mm。
进一步的，所述的被测透明板为被测透明平板、多层透明平板、透明复合材料板或透明曲面板。
一种基于线光谱共焦技术的透明平板二维测厚方法，包括以下步骤：
S1:将对称式共焦线色散镜组竖直固定在探头固定支架上，被测透明平板设置于二维精密平移台上，使用由若干个在工作波段光谱分布均匀且高亮度的LED光源排列成宽谱线阵LED光源，经光纤束传导并通过狭缝后变成具有和狭缝等长度的理想宽谱线光源；
S2:光束经过对称式共焦线色散镜组的出射镜组后，在垂直于被测表面的共焦面上发生均匀色散，即将上述宽谱线光源的不同波长成像在不同的聚焦深度处，恰好聚焦于透明平板上下表面的光线将反射回对称式共焦线色散镜组的入射镜组，而其余离焦的光线只能形成弥散斑，反射光强极弱；
S3:对称式共焦线色散镜组的入射镜组接收反射光后，再将反射光线成像到线成像光谱仪中进行分光解码，建立反射光谱峰值波长与反射深度之间的映射关系；
S4:使用微处理器进行数据分析处理，定位透明平板上下表面反射光谱的峰值波长，并根据线光谱厚度测量模型计算被测样品的厚度；
S5:通过控制二维精密平移台进行往返扫描运动，可以实现被测透明平板的二维全域厚度的测量。
进一步的，所述线光谱厚度测量模型的表达式为：式中t(θ)表示入射角为θ时光线的反射率占所有分析光线反射率总和的比例，n(λ)为波长λ下透明平板的折射率，θ为入射光线束对应的入射角，光线束入射角范围在θmin和θmax之间，Δθ为θmax和θmin之间的差值，dx′为反射光谱中透明平板上下表面对应的峰值波长的距离测量结果的差值。
进一步的，控制二维精密平移台进行往返扫描运动时需保证每次扫描行程之间存在一定的重复扫描区域，并依据重复扫描区域透明平板的上表面三维点云形貌数据，采用迭代最近点算法进行拼接，并将测得的二维厚度数据通过上表面点云形貌数据进行映射，实现透明平板二维厚度测量。
进一步的，线光谱厚度测量模型还可以推广应用于多层透明平板以及透明复合材料的厚度测量当中。
进一步的，测量类型还包括透明曲面二维厚度，通过增加探头固定支架的摆动自由度，控制对称式共焦线色散镜组在扫描运动过程中近似保持在透明曲面上表面的法平面位置上，可以实现对透明曲面的二维厚度测量。
本发明的有益效果为：
1)提出一种适用于对称式共焦线色散镜组的透明平板线厚度测量方法，能够通过单次单侧检测同时获得共焦线上所有测量点的厚度值，装置简单，易于操作。
2)将被测透明平板设置在二维精密平移台上，还可以实现大面积透明平板二维表面面型及其厚度的高效测量，方便集成到自动化生产线当中。
3)通过为探头固定支架增加摆动自由度，所提出的方法还可应用于弯曲透明平板的厚度测量当中。
附图说明
图1为本发明基于线光谱共焦技术的透明平板二维测厚系统示意图。
图2为本发明透明平板二维测厚方法流程图。
图3为本发明线光谱共焦二维测厚原理图。
图4为本发明线光谱共焦二维测厚反射光谱信号示意图。
具体实施方式
为使本发明的目的、技术方案和优点更加清晰，下面结合附图并举实施例来进一步详细说明。然而，应当理解此处所具体描述的实施例仅用于解释本发明，并非以任何方式限制本发明的保护范围。
本发明公开了一种基于线光谱共焦技术的透明平板二维测厚系统，如图1所示，包括宽谱线阵LED光源1、光纤束2、狭缝3、对称式共焦线色散镜组4、线成像光谱仪5、微处理器6、探头固定支架7和二维精密平移台8。
宽谱线阵LED光源1发出的光经光纤束2传导后，通过狭缝3成为理想线光源，再经过对称式共焦线色散镜组4后在共焦面上发生色散，在透明平板表面聚焦的线形光斑会反射回对称式共焦线色散镜组4，并由线成像光谱仪5分光，通过微处理器6对光谱-距离映射关系进行解码获得测量值，所述对称式共焦线色散镜组竖直固定于探头固定支架7上，被测透明平板设置于二维精密平移台8上。
对称式共焦线色散镜组4能够将经狭缝2后的理想线光源以不同的波长成像在共焦面上不同深度的位置处，聚焦线长与狭缝长度相同为2～10mm，成像的色散深度范围为1～6mm。
一种基于线光谱共焦技术的透明平板二维测厚方法，如图2所示，包括以下步骤：
S1:使用由若干个在工作波段光谱分布均匀且高亮度的LED光源排列成宽谱线阵LED光源1，经光纤束2传导并通过狭缝3后变成具有和狭缝等长度的理想宽谱线光源；
S2:光束经过对称式共焦线色散镜组4的出射镜组后，在垂直于被测表面的共焦面上发生均匀色散，即将上述宽谱线光源的不同波长成像在不同的聚焦深度处，恰好聚焦于透明平板上下表面的光线将反射回对称式共焦线色散镜组4的入射镜组，而其余离焦的光线只能形成弥散斑，反射光强极弱；
S3:对称式共焦线色散镜组4的入射镜组接收反射光后，再将反射光线成像到线成像光谱仪5中进行分光解码，建立反射光谱峰值波长与反射深度之间的映射关系；
S4:使用微处理器6进行数据分析处理，定位透明平板上下表面反射光谱的峰值波长，并根据线光谱厚度测量模型计算被测样品的厚度；
S5:将传感器固定在探头固定支架7上，被测透明平板设置于二维精密平移台8上，通过控制二维精密平移台进行往返扫描运动，可以实现被测透明平板的二维全域厚度的测量。
所述线光谱厚度测量模型的表达式为：式中式中t(θ)表示入射角为θ时光线的反射率占所有分析光线反射率总和的比例，n(λ)为波长λ下透明平板的折射率，θ为入射光线束对应的入射角，光线束入射角范围在θmin和θmax之间，Δθ为θmax和θmin之间的差值，dx′为反射光谱中透明平板上下表面对应的峰值波长的距离测量结果的差值。
作为一种优选的实施方式，控制二维精密平移台8进行往返扫描运动时需保证每次扫描行程之间存在一定的重复扫描区域，并依据重复扫描区域透明平板的上表面三维点云形貌数据，采用迭代最近点算法进行拼接，并将测得的二维厚度数据通过上表面点云形貌数据进行映射，实现透明平板二维厚度测量。
作为一种优选的实施方式，线光谱厚度测量模型还可以推广应用于多层透明平板以及透明复合材料的厚度测量当中。
作为一种优选的实施方式，测量类型还包括透明曲面二维厚度，通过增加探头固定支架的摆动自由度，控制对称式共焦线色散镜组4在扫描运动过程中近似保持在透明曲面上表面的法平面位置上，可以实现对透明曲面的二维厚度测量。需进一步说明的是，透明曲面在某处的厚度定义为曲面上表面测量点与其下表面之间的欧拉距离。
下面针对线光谱厚度测量模型进行进一步阐述。
如图3所示，在距透明平板边缘x距离位置处，取一与对称式共焦线色散镜组共面的横截面进行研究，其中x方向为对称式共焦线色散镜组的共聚焦线方向，而y方向为二维厚度测量的扫描方向。θi(i＝1～m)为聚焦在下表面追迹光线的入射角，透明平板的折射率n(λ)由材料的固有特性决定。于是对聚焦于透明平板下表面的一簇光线进行光线追迹，应用Snell原理，可以得到
n0 sinθi＝nsinθt，
其中，n0为空气的折射率，θt为入射角θi所对应的折射角，由几何关系可知
θt＝arcsin(sinθi/n)。
于是对于单条分析光线而言，透明平板的厚度可表达为
但由于对称式共焦线色散镜组的出射光为斜色散到共焦面上，因此在同一深度(即透明平板下表面)位置处聚焦的同一波长的光线具有不同的入射角度。假定图3所示的θ1和θm分别对应该共聚焦波长下最小和最大入射角θmin和θmax。综合考虑不同入射角光线的影响，则位置x处的透明平板厚度可表示为：
进一步可以写成累加的形式
式中，相邻入射角θi与θi-1的间距取为单位长度，t(θ)表示入射角为θ时光线的反射率占所有分析光线反射率总和的比例，该值由菲涅尔公式给出，与入射光的偏振态有关。对于大多数自然偏振光而言，反射率可表示为
式中，tall为所有分析光线反射率之和。图4所示为使用对称式共焦线色散镜组4测量透明平板时的反射光谱示意图，图中的x坐标方向与共焦面重合，由不同x坐标下定位到的谱峰差值借助上述厚度测量模型可计算得到该点处的厚度dx。共焦线上的厚度由一系列dx测量值得到。
上述实施例为本发明的优选实施方式，只为说明本发明的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本发明的内容并据以实施，并不能以此限制本发明的保护范围。凡根据本发明精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本发明的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种基于线光谱共焦技术的透明平板二维测厚方法，其特征在于，使用的测厚系统包括宽谱线阵LED光源、光纤束、狭缝、对称式共焦线色散镜组、线成像光谱仪、微处理器、探头固定支架和二维精密平移台；
所述宽谱线阵LED光源发出的光经光纤束传导后，通过狭缝成为理想线光源，再经过对称式共焦线色散镜组后在共焦面上发生色散，在被测透明板表面聚焦的线形光斑会反射回对称式共焦线色散镜组，并由线成像光谱仪分光，通过微处理器对光谱-距离映射关系进行解码获得测量值，所述对称式共焦线色散镜组竖直固定于探头固定支架上，被测透明板设置于二维精密平移台上；
包括以下步骤：
S1:将对称式共焦线色散镜组竖直固定在探头固定支架上，被测透明平板设置于二维精密平移台上，使用由若干个在工作波段光谱分布均匀且高亮度的LED光源排列成宽谱线阵LED光源，经光纤束传导并通过狭缝后变成具有和狭缝等长度的理想宽谱线光源；
S2:光束经过对称式共焦线色散镜组的出射镜组后，在垂直于被测表面的共焦面上发生均匀色散，即将上述宽谱线光源的不同波长成像在不同的聚焦深度处，恰好聚焦于透明平板上下表面的光线将反射回对称式共焦线色散镜组的入射镜组，而其余离焦的光线只能形成弥散斑，反射光强极弱；
S3:对称式共焦线色散镜组的入射镜组接收反射光后，再将反射光线成像到线成像光谱仪中进行分光解码，建立反射光谱峰值波长与反射深度之间的映射关系；
S4:使用微处理器进行数据分析处理，定位透明平板上下表面反射光谱的峰值波长，并根据线光谱厚度测量模型计算被测样品的厚度；所述线光谱厚度测量模型的表达式为：
式中t(θ)表示入射角为θ时光线的反射率占所有分析光线反射率总和的比例，n(λ)为波长λ下透明平板的折射率，θ为入射光线束对应的入射角，光线束入射角范围在θmin和θmax之间，Δθ为θmax和θmin之间的差值，dx′为反射光谱中透明平板上下表面对应的峰值波长的距离测量结果的差值；
S5:通过控制二维精密平移台进行往返扫描运动，实现被测透明平板的二维全域厚度的测量。
2.根据权利要求1所述的一种基于线光谱共焦技术的透明平板二维测厚方法，其特征在于，控制二维精密平移台进行往返扫描运动时需保证每次扫描行程之间存在重复扫描区域，并依据重复扫描区域透明平板的上表面三维点云形貌数据，采用迭代最近点算法进行拼接，并将测得的二维厚度数据通过上表面点云形貌数据进行映射，实现透明平板二维厚度测量。
3.根据权利要求1所述的一种基于线光谱共焦技术的透明平板二维测厚方法，其特征在于，应用于多层透明平板以及透明复合材料的厚度测量当中。
4.根据权利要求1所述的一种基于线光谱共焦技术的透明平板二维测厚方法，其特征在于，应用于测量透明曲面板二维厚度，通过增加探头固定支架的摆动自由度，控制对称式共焦线色散镜组在扫描运动过程中近似保持在透明曲面上表面的法平面位置上，实现对透明曲面的二维厚度测量。
5.根据权利要求1所述的一种基于线光谱共焦技术的透明平板二维测厚方法，其特征在于：所述对称式共焦线色散镜组能够将经狭缝后的理想线光源以不同的波长成像在共焦面上不同深度的位置处，聚焦线长与狭缝长度相同为2～10mm，成像的色散深度范围为1～6mm。
6.根据权利要求1所述的一种基于线光谱共焦技术的透明平板二维测厚方法，其特征在于：所述的被测透明板为被测透明平板、多层透明平板、透明复合材料板或透明曲面板。
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Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114719774A (zh) * | 2022-04-01 | 2022-07-08 | 浙江大学 | 一种基于超结构色散共焦的复杂曲面形貌测量方法及系统 |
| CN115468504A (zh) * | 2022-10-08 | 2022-12-13 | 苏州创视智能技术有限公司 | 一种基于光谱共焦原理的多层透明材料测厚装置及方法 |
Family Cites Families (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103003661A (zh) * | 2011-02-24 | 2013-03-27 | 康宁股份有限公司 | 用于测量膜厚度的方法和设备 |
| JP5871242B2 (ja) * | 2013-10-30 | 2016-03-01 | レーザーテック株式会社 | 膜厚測定装置及び膜厚測定方法 |
| DE102018130901A1 (de) * | 2018-12-04 | 2020-06-04 | Precitec Optronik Gmbh | Optische Messeinrichtung |
| CN109458939A (zh) * | 2018-12-18 | 2019-03-12 | 南京理工大学 | 与快速定心结合的透镜中心厚度测量方法 |
| CN110887450B (zh) * | 2019-12-23 | 2024-09-17 | 海伯森技术（深圳）有限公司 | 一种基于光谱共焦的物体表面三维信息测量系统及方法 |
| CN113433077B (zh) * | 2021-06-11 | 2023-12-19 | 大连海事大学 | 一种基于油膜相对厚度获取油膜衰减系数的方法 |
| CN113465547A (zh) * | 2021-08-06 | 2021-10-01 | 儒众智能科技（苏州）有限公司 | 一种线式扫描光谱共聚测量系统与方法 |
| CN114527096A (zh) * | 2022-02-19 | 2022-05-24 | 中国科学院新疆理化技术研究所 | 一种亚毫米量级微小样品折射率的测试方法 |
| CN218469785U (zh) * | 2022-10-08 | 2023-02-10 | 苏州创视智能技术有限公司 | 一种基于光谱共焦原理的多层透明材料测厚装置 |
| CN115682983A (zh) * | 2022-10-25 | 2023-02-03 | 浙江大学 | 一种基于光谱共焦的半球谐振子内外表面形貌测量方法 |
| CN115752252A (zh) * | 2022-11-11 | 2023-03-07 | 西安邮电大学 | 基于径向grin透镜的光谱共焦色散物镜 |
| CN116136391A (zh) * | 2023-03-17 | 2023-05-19 | 中国工程物理研究院材料研究所 | 一种薄膜厚度测量装置及方法 |
| CN116147526A (zh) * | 2023-04-20 | 2023-05-23 | 华中科技大学 | 一种线光谱共焦轮廓测量传感器及方法 |
-
2023
- 2023-12-06 CN CN202311664237.5A patent/CN117704977B/zh active Active
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114719774A (zh) * | 2022-04-01 | 2022-07-08 | 浙江大学 | 一种基于超结构色散共焦的复杂曲面形貌测量方法及系统 |
| CN115468504A (zh) * | 2022-10-08 | 2022-12-13 | 苏州创视智能技术有限公司 | 一种基于光谱共焦原理的多层透明材料测厚装置及方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN117704977A (zh) | 2024-03-15 |
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Legal Events
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| PB01 | Publication | ||
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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| GR01 | Patent grant | ||
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