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CN1174984A - 微细加工的热式流量传感器 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种热式流量传感器及其制造方法,该传感器主要包括加热元、测温无以及其所依附的低导热载体。本发明的特征在于所说的载体为岛形单晶硅膜,玻璃片通过聚酰亚胺膜对硅膜进行支撑。所说的加热元和测温元由硅膜形成,并且处在聚酰亚胺的覆盖面上。器件与外电路的连接通过布置在聚酰亚胺膜上的金属条和压焊块实现。本发明的优点主要是体积小,响应快,灵敏度高,功耗低,机械强度大,防腐蚀和防磨损能力强,安装容易,使用方便,制造工艺简单,可在标准的集成电路线上进行批量生产,因而生产成本很低。

Description

微细加工的热式流量传感器
本发明是关于流量传感器，特别是关于微细加工的热式流量传感器。
微细加工的热式流量传感器是在集成电路的基础上发展起来的，与传统的同类传感器相比，这种传感器具有许多显著的优点，主要是体积小、响应快，灵敏度高，成本低，便于实现集成化，多功能化和智能化等，因此其应用范围更宽、更广、更普及。
微细加工的热式流量传感器已有许多报导，最常见的一种如图1所示。该传感器的主要部份为两头固定在硅片上的矩形硅膜，硅膜的中央配置有一加热器件，加热器件的两侧各排列一热电堆，热偶的热结接近加热器件，冷结处在硅膜两头的硅片上，硅膜的两侧和底部都被挖空，以实现硅膜对硅片的热隔离。这种传感器的主要优点是热惯性小，热损耗低，容易用标准的集成电路工艺制造，存在的困难是硅膜脆弱易损，影响器件工作寿命，器件表面与流体接触容易污染，影响器件性能，流体经过的表面有比较深的凹坑，干扰流场，影响测量精度等。
另一种常见的微细加工的热式流量传感器如图2A和图2B所示。该传感器的硅片腐蚀成两条平行的硅梁，每条硅梁的上面都布置一金属薄膜电阻器，其中一电阻器对所在的硅梁进行加热，并测其温度升高，另一电阻器测量环境温度，用以对测得的硅梁加热温度进行补偿。这种传感器的主要优点是硅梁比硅膜坚固，可耐比较高的流速冲击和流体夹杂固体物质的轰击，存在的主要问题是热惯性比较大，所消耗的电功率比较高，制造时须对硅的两面进行加工，不易实现集成等。
第三种常见的微细加工热式流量传感器(如图3所示)由两块硅片粘接而成，其中用作器件的硅片由一环形氧化多孔硅槽分割成两部分，中间圆形部分中心设置加热器件，周围设置测量器件，硅片的背面腐蚀成凹坑，凹坑的底部很薄，上述的器件处在这一薄膜的上面。另一用作盖板的硅片腐蚀成两个凹坑，其中的一个正好罩住器件硅片的加热器件，另一凹坑罩住器件硅片的测温器件。该传感器的主要优点是，流体从器件硅片的背面经过，避免了器件受流体污染，氧化多孔硅槽增大了硅膜的横向热阻，有利降低传感器的功耗。主要缺点是结构很复杂，加工要求很高，很难在标准的集成电路生产线上实施。
本发明的目的是提供一种热式流量传感器，其加热元和测温元由横向热阻非常大的岛形单晶硅膜形成，硅膜通过有机膜由刚性基片支撑，保证硅膜具有足够的机械强度，以最大限度地发挥微细加工的热式流量传感器的优势。
本发明的第二个目的是提供一种热式流量传感器，流体经过的传感器表面是硅膜的非器件所在面，且表面平坦，没有凹进的空腔和空槽，以免干扰流场分布。
本发明的第三个目的是提供一种热式流量传感器，其接触流体的表面可以涂敷防腐蚀和防磨损的材料，以提高传感器的使用寿命。
本发明的第四个目的是提供一种热式流量传感器，其用作低导热的硅微结构可在其器件制造的最后一道工序中完成，在此之前的加工均为平面加工工艺，以减少加工过程中的损耗，提高成品率。
为了实现上述目的以及其它目的，本发明设计的热式流量传感器如图4A和图4B所示。该传感器包括玻璃片，起机械支撑作用，聚酰亚胺膜，起粘接和钝化作用，岛形单晶硅膜，是器件的制作材料，被聚酰亚胺膜复盖的硅膜的中心是加热电阻器，两侧各排列一热电堆。金属互连从硅膜伸出，沿着聚酰亚胺膜表面布置，在玻璃片的边缘与压焊金属块相连。硅膜的暴露面复盖有Si3N4膜，压焊块在焊上金属引条后由树脂保护(图中未画出)。
传感器工作时，电流经加热电阻器产生焦耳热，热量的第一部分用来提高硅膜的温度，第二部分通过周围介质热导传走，第三部分通过流经表面的流体传走。硅膜温度升高的大小取决于后两部分热量损失的大小。本发明的传感器设计主要是减小介质热导传走的部分，增大流体传走的部分，以突出硅膜的升温与流体流速的依赖关系。聚酰亚胺的热导率为0.17W/m·k，玻璃的热导率为1.4W/m·k，水汽热生长SiO2的热导率为2.1W/m·k，单晶硅的热导率为1.5×102W/m·k，可以算出聚酰亚胺的热导率比硅大881倍，比水汽热生长的SiO2小11倍，玻璃的热导率比硅小106倍，比水汽热生长的SiO2小0.5倍。因此本发明用聚酰亚胺和玻璃作为硅膜的隔热材料可以极大地降低热量由硅膜支撑结构传走的热量。聚酰亚胺是集成电路中广泛应用的钝化膜材料，在310℃至343℃范围内能保持良好的机械性能和电性能，还有优良的耐辐射性能，不溶于有机溶剂。聚酰亚胺的热膨胀系数为2×10-6/k，与硅的2.6×10-6/k很接近。聚酰亚胺的杨氏模量为3×104g/cm2，比硅的1.9×109g/cm2小5个数量级，可见用一定厚度的聚酰亚胺膜作缓冲层，几乎不产生对硅膜的热失配应力。
在详细介绍本发明提供的热式流量传感器制造方法之前，先对附图进行说明，并且规定图中代码所表示的含义。
图1表示的是第一种现有技术提供的热式流量传感器的横截面图。图中的代码为：
101-P-型硅片，102-n-型硅外延层，103-SiO2层，104-加热电阻器，105-热偶堆，106-金属接触与互连。
图2表示的是第二种现有技术提供的热式流量传感器的A-顶视图，B-侧向横截面图。
图中的代码为：201-硅片，202-硅梁，203-SiO2层，204-镍丝，205-SiNx层，206-压焊块，207-加热硅梁，208-温度参考梁。
图3表示的是第三种现有技术提供的热式流量传感器的横截面图。
图中的代码为：301-器件硅片，302-器件硅片的凹坑，303-加热元，304-测温元，305-氧化多孔硅环，306-盖片硅片，307-盖片硅片上的凹坑1，308-盖片硅片上的凹坑2。
图4表示的是本发明提供的热式流量传感器的A-顶视图，B-横截面图。
图中的代码为：401-复盖聚酰亚胺膜的玻璃基片，402-岛形单晶硅膜，403-加热电阻器，404-热电堆，404A-热电堆的半导体电极，404B-热电堆的金属电极，405-金属互连，406-压焊块，407-高温淀积的Si3N4层，408-SiO2层，409-聚酰亚胺膜，410-玻璃基片，411-低温淀积的Si3N4层。
图5-图14表示的是本发明提供的热式流量传感器制造方法在各制造楷段芯片的横截面图。
图中的代码为：501-P-型硅片，502-SiO2层，503-n-型硅区，504-P+型扩散区，505-高温Si3N4层，506-Al条，507-Al压焊块，508-聚酰亚胺层，509-多孔硅层，510-玻璃片，511-低温Si3N4层。
图15表示的是本发明提供的第二种热式流量传感器的横截面图。
图中的代码为：601-加热元的n-型硅岛，602-测温元的n-型硅岛，603-加热元，604-测温元，605-SiO2层，606-高温Si3N4层，607-压焊块，608-聚酰亚胺层，609-玻璃片，610-低温Si3N4层。
下面参照图5-图14对本发明提供的热式流量传感器的制造方法进行详细说明。
制造步骤1如图5所示，制造所用的起始硅片为晶向(100)，P-型硼掺杂，电阻率10Ωcm，尺寸4英时，片厚500μm，单面抛光。硅片用标准的清洗工艺进行清洗后，在1000℃进行水汽热氧化，形成厚6500A的SiO2层。采用标准的光刻腐蚀工艺在SiO2层中形成离子注入窗口，腐蚀SiO2用稀释的HF溶液。离子注入前，硅片在1000℃再次进行水汽热氧化，在离子注入窗口中形成厚700A的SiO2层。注入的离子为磷，剂量1.5×1013/cm2，能量100kev。注入后在1200℃进行注入离子层的推进，产生结深6μm，薄层电阻2KΩ/口的n-型区。
制造步骤2如图6所示。腐蚀掉硅片上的所有SiO2层后，在1000℃水汽热氧化生成厚700A的新SiO2层，涂敷光刻胶，在光刻胶层中形成离子注入图形，以胶层为掩蔽进行硼离子注入，剂量1015/cm2，能量100Kev，注入后在950℃行退火，产生薄层电阻90Ω/口的P+型区，并由此形成加热电阻器和热电堆的半导体电极。
制造步骤3如图7所示。在硅片上淀积Si3N4层，用低压CVD法，淀积温度750℃，Si3N4层厚1500A，用作钝化层。
制造步骤4如图8所示。先用电子来蒸发淀积1.2μm厚的Al层，然后进行光刻形成热电堆金属电极，电接触、互连以及压焊块，最后在450℃的干N2中进行合金化。
制造步骤5如图9所示。进行光刻腐蚀，清除n-型区、Al连线以及Al压焊块以外区域的Si3N4和SiO2层，露出硅片表面。
制造步骤6如图10所示。形成阳极氧化保护层，将n-型区、Al连线以及Al压焊块保护起来。用作保护的材料很多，本发明倾向用聚酰亚胺。其方法是先用甩胶机在硅片表面涂上聚酰亚胺，在110℃前烘20-30分钟，然后进行光刻，用O2等离子腐蚀去除须暴露的硅片面上的聚酰亚胺，最后在300℃进行亚胺化1小时。
制造步骤7如图11所示。在HF溶液中进行阳极氧化，将硅片n-型区以外的P-型区的硅转变成多孔硅，并生成100μm厚的薄膜。HF溶液的组份为25％HF，25％水和50％乙醇。阳极氧化电流密度维持在230mA/cm2，多孔硅生长速率为3μm/分钟。多孔硅只在P-型硅区生成，而不在n-型硅区以及n-型硅区内的P+型硅区生成，是因为n-型硅生成多孔硅所需的阳极电势比P-型硅高，阳极电流趋于流过P-型硅区，而不流过n-型硅区。n-硅区下面P-型硅也能转变成多孔硅，是因为阳极电流有一定的横向扩展效应，P-硅片的电阻率愈高，这种横向扩展的效应愈显著。对于1Ωcm的P-型硅片，横向扩展的长度可达40-80μm，n-型硅区的宽度可达80-160μm。
制造步骤8如图12所示。O2等离子腐蚀去掉用作阳极氧化保护层的聚酰亚胺层，然后再涂上新的聚酰亚胺层，层厚5-10μm，可分二至三次涂敷，每涂一次进行一次前烘，在最后一次涂敷时，趁聚酰亚胺仍保持粘性将事先清洗并已烘干的200μm厚的微晶玻璃片贴上，然后在350℃固化2小时。
制造步骤9如图13所示。将硅片从背面减薄直至露出多孔硅，用5％的NaOH溶液腐蚀多孔硅。n-硅区成为岛形硅膜，其厚度基本上等于n-型硅区的结深。
制造步骤10如图14所示。低温淀积Si3N4，厚约1500A，用作硅膜的保护层。Si3N4的硬度为3486Kg/mm2，比硅的820Kg/mm2大3倍，Si3N4防腐蚀能力也很强，因此是很好的保护膜，最后通过光刻腐蚀清除压焊块上的介质膜，露出Al层。
本发明提供的另一种热式流量传感器的实施方案如图15所示。所不同之处是测温器件由热电堆改为PN结器件，硅膜由一块增加到三块，中同那块仍用来制造加热电阻器，其它两块用来制造二极管，制造步骤都相同，只是光刻模版销作相应改动。
上面给出的是本发明的最好实施方案，在本发明的指导和启发下，集成电路领域的熟练技术人员作出某些改动和改进是很容易的。

Claims (13)

1、一种热式流量传感器，主要包括加热元，测温元，以及所依附的低导热载体，本发明的特征在于所说的载体为涂有有机膜的刚性基片支撑的岛形单晶硅膜，所说的加热元和测温元处在硅膜与有机膜相结合的面上，接触流体的硅膜面淀积有防腐蚀和防磨损的薄膜。
2、根据权利要求1所述的热式流量传感器，其特征在于所说的加热元和测温元通过布置在所说的有机膜上的金属线和压焊块与外电路连接。
3、根据权利要求1所述的热式流量传感器，其特征在于所说的加热元为硅膜所形成的电阻器。
4、根据权利要求1所述的热式流量传感器，其特征在于所说的测温元为硅膜和金属膜所形成的热电堆。
5、根据权利要求1所述的热式流量传感器，其特征在于所说的测温元为硅膜所形成的PN结器件。
6、根据权利要求1所述的热式流量传感器，其特征在于所说的有机膜为聚酰亚胺膜。
7、根据权利要求1所述的热式流量传感器，其特征在于所说的刚性基片为玻璃片。
8、根据权利要求1所述的热式流量传感器，其特征在于所说的防腐蚀、防磨损的薄膜为碳化硅或氮化硅薄膜。
9、一种制造热式流量传感器的方法，其主要步骤包括：
提供P-型硅片；
在硅片上形成至少一个n-型硅区；
在n-型硅区中形成P+硅区，用作加热电阻器和热电堆的半导体电极；
金属化，形成热电堆的金属电极、电接触和互连；
高温淀积硬Si3N4层，用作钝化层；
形成阳极氧化保护层，保护n-型硅区、金属连线和压焊块；
在HF溶液中进行阳极氧化，在P-型硅片中形成多孔硅层；
涂敷聚酰亚胺膜，并以此为粘合剂贴装微晶玻璃片；
从硅片背面减薄直至露出多孔硅；2
选择性腐蚀多孔硅；
低温淀积Si3N4膜，用作防腐蚀和防磨损的保护膜；
去掉压焊块上的介质膜，露出金属层。
10、根据权利要求9所述的制造热式流量传感器的方法，其特征在于所说的P-型硅片的电阻率范围为1-20Ωcm。
11、根据权利要求9所述的制造热式流量传感器的方法，其特征在于所说的n-型硅区深度范围为2-20μm，薄层电阻范围为0.1-10KΩ/口。
12、根据权利要求9所述的制造热式流量传感器的方法，其特征在于所说的P-硅区结深范围为0.1-5μm，薄层电阻范围为5-500Ω/口。
13、根据权利要求9所述的制造热式流量传感器的方法，其特征在于所说的多孔硅厚度范围为20-150μm。
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Cited By (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1297802C (zh) * 2004-02-12 2007-01-31 李韫言 一种全硅集成流量传感器及其制造方法
CN100348953C (zh) * 2005-12-19 2007-11-14 浙江大学 一种测热式微型流量传感器
CN100385208C (zh) * 2005-05-11 2008-04-30 浙江大学 一种电化学微流量测量方法及电化学微流量传感器
CN100408981C (zh) * 2003-11-20 2008-08-06 株式会社日立制作所 热式流体流量计
CN100424332C (zh) * 2006-09-08 2008-10-08 浙江麦姆龙仪表有限公司 带自检的汽车发动机空气流量测量装置及方法
CN102515087A (zh) * 2011-12-01 2012-06-27 上海先进半导体制造股份有限公司 流量传感器的制造方法
CN102620777A (zh) * 2012-03-29 2012-08-01 宝鸡恒通电子有限公司 一种柴油流量测量传感器
CN106017587A (zh) * 2016-05-12 2016-10-12 北京启芯传感科技有限公司 镂空热膜式流量传感器及其制作集成方法
CN109211342A (zh) * 2018-09-05 2019-01-15 武汉四方光电科技有限公司 一种气流流量计、mems硅基温敏芯片及其制备方法
CN109798995A (zh) * 2019-01-17 2019-05-24 上海交通大学 一种柔性高灵敏度薄膜热电堆型热流传感器及制备方法
CN110418944A (zh) * 2017-01-17 2019-11-05 剑桥企业有限公司 热流体流量传感器
CN112938892A (zh) * 2021-01-28 2021-06-11 青岛芯笙微纳电子科技有限公司 一种多孔硅绝热支撑的高温热流传感器及其制备方法
US11035709B2 (en) 2017-01-17 2021-06-15 Cambridge Enterprise Limited CMOS thermal fluid flow sensing device employing a flow sensor and a pressure sensor on a single membrane
CN116046089A (zh) * 2023-03-23 2023-05-02 东南大学 一种基于碳化硅pn结测温的高温MEMS热式流量传感器及制备方法

Families Citing this family (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6378365B1 (en) * 1997-08-22 2002-04-30 Eulite Laboratories Inc. Micromachined thermal flowmeter having heating element disposed in a silicon island
WO2001059826A1 (fr) * 2000-02-10 2001-08-16 Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. Nacelle de silicium a film de protection, procede de fabrication, et plaquette en silicium traitee thermiquement utilisant ladite nacelle
US6939632B2 (en) * 2001-08-06 2005-09-06 Massachusetts Institute Of Technology Thermally efficient micromachined device
US20050036536A1 (en) * 2001-09-18 2005-02-17 Lewis Edwin A. High throughout energy array
US20080044939A1 (en) * 2002-01-24 2008-02-21 Nassiopoulou Androula G Low power silicon thermal sensors and microfluidic devices based on the use of porous sealed air cavity technology or microchannel technology
GR1004106B (el) * 2002-01-24 2003-01-13 Εκεφε "Δημοκριτος" Ινστιτουτο Μικροηλεκτρονικης Ολοκληρωμενοι θερμικοι αισθητηρες πυριτιου χαμηλης ισχυος και διαταξεις μικρο-ροης βασισμενοι στην χρηση τεχνολογιας κοιλοτητας αερα σφραγισμενης με μεμβρανη πορωδους πυριτιου ή τεχνολογιας μικρο-καναλιων
US6752015B2 (en) * 2002-09-24 2004-06-22 Visteon Global Technologies, Inc. Fluid flow device having reduced fluid ingress
DE10244786A1 (de) * 2002-09-26 2004-04-08 Robert Bosch Gmbh Mikromechanisches Bauelement und Verfahren
ATE476206T1 (de) * 2003-06-19 2010-08-15 Medela Holding Ag Strömungssensor für eine thoraxdrainagevorrichtung
SE528370C2 (sv) * 2003-06-19 2006-10-31 Millicore Ab Dräneringsanordning
SE0301817D0 (sv) * 2003-06-19 2003-06-19 Millicore Ab Drainage device
US7255800B1 (en) * 2003-08-15 2007-08-14 University Of South Florida Wet etching process
US7500392B1 (en) 2007-10-11 2009-03-10 Memsys, Inc. Solid state microanemometer device and method of fabrication
US9212940B2 (en) * 2012-09-07 2015-12-15 Xiang Zheng Tu Vacuum cavity-insulated flow sensors
DE102012220019B3 (de) * 2012-11-02 2014-02-13 Continental Automotive Gmbh Luftmassenmesser
FR2998365A1 (fr) 2012-11-19 2014-05-23 Eveon Dispositif de mesure de debit d'un fluide dans un canal, dispositif de transfert d'un fluide et procede de mesure de debit d'un fluide dans un canal
FR3011835B1 (fr) * 2013-10-16 2015-12-25 Commissariat Energie Atomique Procede de realisation par voie electrochimique d'au moins une zone poreuse d'une structure micro et/ou nanoelectronique
JP6369379B2 (ja) * 2014-06-03 2018-08-08 株式会社デンソー 質量流量計および速度計

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4696188A (en) * 1981-10-09 1987-09-29 Honeywell Inc. Semiconductor device microstructure
US4633578A (en) * 1983-12-01 1987-01-06 Aine Harry E Miniature thermal fluid flow sensors and batch methods of making same
US4784721A (en) * 1988-02-22 1988-11-15 Honeywell Inc. Integrated thin-film diaphragm; backside etch
DE9006967U1 (de) * 1990-06-22 1991-10-24 Sensycon Gesellschaft für industrielle Sensorsysteme und Prozessleittechnik mbH, 30179 Hannover Widerstandselement
DE69232347T2 (de) * 1991-09-27 2002-07-11 Canon K.K., Tokio/Tokyo Verfahren zur Behandlung eines Substrats aus Silizium
US5313832A (en) * 1991-12-23 1994-05-24 Ford Motor Company Composite mass air flow sensor
US5263380A (en) * 1992-02-18 1993-11-23 General Motors Corporation Differential AC anemometer
KR0155141B1 (ko) * 1993-12-24 1998-10-15 손병기 다공질실리콘을 이용한 반도체 장치의 제조방법
JP3333948B2 (ja) * 1994-02-23 2002-10-15 本田技研工業株式会社 ガス式センサの製造方法
DE4418207C1 (de) * 1994-05-25 1995-06-22 Siemens Ag Thermischer Sensor/Aktuator in Halbleitermaterial
US5451371A (en) * 1994-06-09 1995-09-19 Ford Motor Company High-sensitivity, silicon-based, microcalorimetric gas sensor
US5565084A (en) * 1994-10-11 1996-10-15 Qnix Computer Co., Ltd. Electropolishing methods for etching substrate in self alignment
JPH0972763A (ja) * 1995-09-07 1997-03-18 Ricoh Co Ltd マイクロセンサ
US5882496A (en) * 1997-02-27 1999-03-16 The Regents Of The University Of California Porous silicon structures with high surface area/specific pore size
US5968336A (en) * 1997-10-30 1999-10-19 Micron Technology, Inc. Method for fabricating lithographic stencil masks

Cited By (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100408981C (zh) * 2003-11-20 2008-08-06 株式会社日立制作所 热式流体流量计
CN1297802C (zh) * 2004-02-12 2007-01-31 李韫言 一种全硅集成流量传感器及其制造方法
CN100385208C (zh) * 2005-05-11 2008-04-30 浙江大学 一种电化学微流量测量方法及电化学微流量传感器
CN100348953C (zh) * 2005-12-19 2007-11-14 浙江大学 一种测热式微型流量传感器
CN100424332C (zh) * 2006-09-08 2008-10-08 浙江麦姆龙仪表有限公司 带自检的汽车发动机空气流量测量装置及方法
CN102515087A (zh) * 2011-12-01 2012-06-27 上海先进半导体制造股份有限公司 流量传感器的制造方法
CN102620777A (zh) * 2012-03-29 2012-08-01 宝鸡恒通电子有限公司 一种柴油流量测量传感器
CN106017587A (zh) * 2016-05-12 2016-10-12 北京启芯传感科技有限公司 镂空热膜式流量传感器及其制作集成方法
CN110418944A (zh) * 2017-01-17 2019-11-05 剑桥企业有限公司 热流体流量传感器
US11035709B2 (en) 2017-01-17 2021-06-15 Cambridge Enterprise Limited CMOS thermal fluid flow sensing device employing a flow sensor and a pressure sensor on a single membrane
CN109211342A (zh) * 2018-09-05 2019-01-15 武汉四方光电科技有限公司 一种气流流量计、mems硅基温敏芯片及其制备方法
CN109798995A (zh) * 2019-01-17 2019-05-24 上海交通大学 一种柔性高灵敏度薄膜热电堆型热流传感器及制备方法
CN112938892A (zh) * 2021-01-28 2021-06-11 青岛芯笙微纳电子科技有限公司 一种多孔硅绝热支撑的高温热流传感器及其制备方法
CN112938892B (zh) * 2021-01-28 2023-12-05 青岛芯笙微纳电子科技有限公司 一种多孔硅绝热支撑的高温热流传感器及其制备方法
CN116046089A (zh) * 2023-03-23 2023-05-02 东南大学 一种基于碳化硅pn结测温的高温MEMS热式流量传感器及制备方法

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