CN117047436B - 一种悬臂探针的装针设备及装针方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种悬臂探针的装针设备及装针方法，属于探针技术领域。装针设备包括输送线、针杆调节组件、针尖调节组件和组装单元；针杆调节组件包括第一推块和第一驱动件，第一驱动件用于驱动第一推块沿第二方向移动；针尖调节组件包括梳针杆和位移件，梳针杆沿第二方向延伸，位移件用于驱动梳针杆移动，梳针杆和第一推块位于输送线的两侧；组装单元包括第二驱动件，第二驱动件用于推动针尖限位块沿第二方向移动，以使得针尖限位块与存料盘相抵。本发明实施例提供的一种悬臂探针的装针设备，有效提高了装针效率，整个过程便捷可靠，避免产生人工手动作业对熟练度的要求较高的问题，满足了生产要求。

Description

一种悬臂探针的装针设备及装针方法

技术领域

本发明属于探针技术领域，具体涉及一种悬臂探针的装针设备及装针方法。

背景技术

在新型显示、半导体等电子部件模块中，在其制造工序中进行导通等性能进行检测。使用探针卡上探针一端直接与被测产品上的金手指接触，探针另一端与转接PCB上的Pad点接触，通过转接PCB的转接与检测装置连接起来，由此形成通路，进行检测。

为了提高悬臂针探针卡的生产效率，通常将多个悬臂探针装配在料盘中，以进行输送和转运。料盘包括存料盘和针尖限位块，两者可拆卸连接。其中，存料盘上具有多个定位块，以使得多个悬臂探针的针杆平行间隔摆放，而针尖限位块的侧边具有用于插装悬臂探针针尖的定位槽。目前，现有的装针方法是先连接存料盘和针尖限位块。然后，通过机械手将多个悬臂针放置在存料盘上（由于定位槽和悬臂探针较小，机械手放置过程中针尖参差不齐，且针尖不一定朝下，无法直接放置在定位槽中），再通过人工借助专用工具手动逐一移动或者转动各悬臂探针的针杆，使得针尖插装至针尖限位块的定位槽，从而最终完成多个悬臂探针在料盘中的装针。

然而，上述通过人工手动逐一装针的方式效率较低，且对熟练度的要求太高，无法满足生成要求。

发明内容

针对现有技术的以上缺陷或改进需求，本发明提供了一种悬臂探针的装针设备及装针方法，其目的在于有效提高了装针效率，整个过程便捷可靠，避免产生人工手动作业对熟练度的要求较高的问题，满足了生产要求。

第一方面，本发明提供了一种悬臂探针的装针设备，所述装针设备包括输送线、针杆调节组件、针尖调节组件和组装单元，所述针杆调节组件、所述针尖调节组件和所述组装单元沿所述输送线设置；

所述输送线沿第一方向延伸，所述输送线用于输送存料盘沿第一方向移动；

所述针杆调节组件包括第一推块和第一驱动件，所述第一驱动件用于驱动所述第一推块沿第二方向移动，以使得所述第一推块推顶所述存料盘上各悬臂探针的针杆平齐；

所述针尖调节组件包括梳针杆和位移件，所述梳针杆沿第二方向延伸，所述位移件用于驱动所述梳针杆移动，以使得所述梳针杆调整所述存料盘上各悬臂探针的针尖朝向，所述梳针杆和所述第一推块位于所述输送线的两侧；

所述组装单元包括第二驱动件，所述第二驱动件用于推动针尖限位块沿第二方向移动，以使得所述针尖限位块与所述存料盘相抵。

可选地，所述第一推块包括推动部和连接部，所述推动部与所述第一驱动件的输出端传动连接，所述推动部和所述连接部之间夹装有压力传感器，所述压力传感器用于检测所述推动部受到的压力。

可选地，所述针尖调节组件还包括相机、图像处理器和控制器，所述相机用于对所述存料盘上各悬臂探针的针尖进行拍照，所述相机和所述第一推块正对布置，所述相机、所述图像处理器、所述控制器依次电连接，所述控制器与所述位移件电连接。

可选地，所述位移件包括第一直线电机、第二直线电机和第三直线电机，所述第一直线电机用于驱动所述第二直线电机沿第二方向移动，所述第二直线电机用于驱动所述第三直线电机沿第一方向移动，所述第三直线电机用于驱动所述梳针杆沿第三方向移动，所述控制器分别与第一直线电机、第二直线电机和第三直线电机电连接。

可选地，所述输送线为直线电机，所述输送线上具有用于承载所述存料盘的安装板，所述安装板的顶面具有多个间隔布置的定位销，各所述定位销用于对所述存料盘进行定位。

可选地，所述输送线上具有微调滑台，所述微调滑台的输出端与所述安装板传动连接，以调节所述安装板在第一方向上的位置。

可选地，所述安装板上插装有多个接近传感器，多个所述接近传感器用于检测所述存料盘和所述安装板的安装平整度。

可选地，所述安装板的顶面具有顶条，所述顶条沿第一方向延伸，所述顶条上插装有多个间隔布置的螺纹顶丝，各所述螺纹顶丝均伸出所述顶条，以与所述存料盘相抵。

可选地，在第一方向上，所述第一推块朝向所述输送线的推顶端面的尺寸不超过所述存料盘上相邻两个悬臂探针的针杆的间距。

第二方面，本发明提供了一种悬臂探针的装针方法，所述装针方法基于第一方面所述的装针设备，所述装针方法包括：

在所述输送线放置所述存料盘，通过所述输送线输送所述存料盘沿第一方向移动；

通过所述第一驱动件驱动所述第一推块移动，以使得所述第一推块推顶所述存料盘上各悬臂探针的针杆平齐；

控制所述位移件驱动所述梳针杆移动，从而驱动所述存料盘上各悬臂探针的针尖摆动至朝下布置；

通过所述第二驱动件推动所述针尖限位块沿第二方向移动，以使得所述针尖限位块与所述存料盘相抵，且所述存料盘上的所述悬臂探针的针尖插装至所述针尖限位块的定位槽中；

连接所述针尖限位块与所述存料盘。

总体而言，通过本发明所构思的以上技术方案与现有技术相比，具有的有益效果包括：

对于本发明实施例提供的一种悬臂探针的装针设备，在料盘上装针时，首先，将存料盘放置在输送线上，此时存料盘上具有通过机械手放置的多个悬臂探针，针杆位于存料盘上（此时各针杆沿第二方向延伸）。并通过所述输送线输送存料盘沿第一方向移动，从而使得各悬臂探针位移至校正工位上。然后，通过第一驱动件驱动第一推块移动（第一推块的位移过程中行程一致），以使得第一推块推顶存料盘上各悬臂探针的针杆平齐（针杆的尾端在第二方向上平齐），从而使得各针尖伸出存料盘且至同一位置，以便于后续针尖摆动并规整插装至针尖限位块中。

接着，控制位移件驱动梳针杆移动，从而驱动存料盘上各悬臂探针的针尖摆动至朝下布置，也就可以通过位移件带动梳针杆在三维方向上移动，直至调整各针尖朝下布置。再接着，继续通过输送线输送已完成校正的存料盘至装配工位，并通过第二驱动件推动针尖限位块沿第二方向移动，以使得针尖限位块与存料盘相抵。此时，存料盘上的各悬臂探针的针尖恰好同时插装至针尖限位块上相对应的定位槽中，从而提高了装针效率，整个过程便捷可靠，避免产生人工手动作业对熟练度的要求较高的问题，满足了生产要求。最后，连接针尖限位块与存料盘（形成料盘），从而获得后续制备悬臂针探针卡所需的带有多个整齐布置的悬臂探针的料盘，便于搬运及取针后插针。

也就是说，本发明实施例提供的一种悬臂探针的装针设备，有效提高了装针效率，整个过程便捷可靠，避免产生人工手动作业对熟练度的要求较高的问题，满足了生产要求。

附图说明

图1是本发明实施例提供的一种悬臂探针的装针设备的结构示意图；

图2是本发明实施例提供的输送线的结构示意图；

图3是本发明实施例提供的针杆调节组件的结构示意图；

图4是本发明实施例提供的针尖调节组件的结构示意图；

图5是本发明实施例提供的针尖校正前的局部放大图；

图6是本发明实施例提供的针尖校正后的局部放大图；

图7是本发明实施例提供的料盘的结构示意图；

图8是图7中A区域的局部放大图；

图9是图7中B区域的局部放大图；

图10是本发明实施例提供的相机的装配示意图；

图11是本发明实施例提供的一种悬臂探针的装针方法的流程图。

在所有附图中，同样的附图标记表示相同的技术特征，具体为：

1、底座；11、相机支撑座；111、镜头支撑座；12、直线滑台；2、输送线；21、安装板；211、接近传感器；212、顶条；22、微调滑台；3、针杆调节组件；31、第一推块；311、推动部；312、连接部；313、压力传感器；32、第一驱动件；33、手动滑台；4、针尖调节组件；41、梳针杆；42、位移件；421、第一直线电机；422、第二直线电机；423、第三直线电机；424、立柱；43、相机；44、摆臂；5、组装单元；100、存料盘；200、针尖限位块；210、定位槽；300、悬臂探针；310、针杆；320、针尖。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。此外，下面所描述的本发明各个实施方式中所涉及到的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互组合。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

实施例：

图1是本发明实施例提供的一种悬臂探针的装针设备的结构示意图，如图1所示，该装针设备包括输送线2、针杆调节组件3、针尖调节组件4和组装单元5，输送线2、针杆调节组件3、针尖调节组件4和组装单元5沿输送线2设置。

图2是本发明实施例提供的输送线的结构示意图，如图2所示，输送线2沿第一方向延伸，输送线2用于输送存料盘100沿第一方向（X方向）移动。

图3是本发明实施例提供的针杆调节组件的结构示意图，如图3所示，针杆调节组件3包括第一推块31和第一驱动件32，第一驱动件32用于驱动第一推块31沿第二方向移动，以使得第一推块31推顶存料盘100上各悬臂探针300的针杆平齐。

图4是本发明实施例提供的针尖调节组件的结构示意图，如图4所示，针尖调节组件4包括梳针杆41和位移件42，梳针杆41沿第二方向（Y方向）延伸，位移件42用于驱动梳针杆41移动，以使得梳针杆41调整存料盘100上各悬臂探针300的针尖朝向，梳针杆41和第一推块31位于输送线2的两侧。

组装单元5包括第二驱动件，第二驱动件用于推动针尖限位块200沿第二方向移动，以使得针尖限位块200与存料盘100相抵。

对于本发明实施例提供的一种悬臂探针的装针设备，在料盘上装针时，首先，将存料盘100放置在输送线2上，此时存料盘100上具有通过机械手放置的多个悬臂探针300，针杆310位于存料盘100上（此时各针杆310沿第二方向延伸）。并通过所述输送线2输送存料盘100沿第一方向移动，从而使得各悬臂探针300位移至校正工位上。然后，通过第一驱动件32驱动第一推块31移动（第一推块31的位移过程中行程一致），以使得第一推块31推顶存料盘100上各悬臂探针300的针杆310平齐（针杆的尾端在第二方向上平齐），从而使得各针尖320伸出存料盘100且至同一位置，以便于后续针尖摆动并规整插装至针尖限位块200中。

接着，控制位移件42驱动梳针杆41移动，从而驱动存料盘100上各悬臂探针300的针尖摆动至朝下布置，也就可以通过位移件42带动梳针杆41在三维方向上移动，直至调整各针尖朝下布置（见图5和图6）。再接着，继续通过输送线2输送已完成校正的存料盘100至装配工位，并通过第二驱动件推动针尖限位块200沿第二方向移动，以使得针尖限位块200与存料盘100相抵。此时，存料盘100上的各悬臂探针300的针尖恰好同时插装至针尖限位块200上相对应的定位槽210中（见图7、图8和图9），从而提高了装针效率，整个过程便捷可靠，避免产生人工手动作业对熟练度的要求较高的问题，满足了生产要求。最后，连接针尖限位块200与存料盘100（形成料盘），从而获得后续制备悬臂针探针卡所需的带有多个整齐布置的悬臂探针300的料盘，便于搬运及取针后插针。

也就是说，本发明实施例提供的一种悬臂探针的装针设备，有效提高了装针效率，整个过程便捷可靠，避免产生人工手动作业对熟练度的要求较高的问题，满足了生产要求。

示例性地，组装单元5还可以包括支架，针尖限位块200放置在支架上。输送线2、针杆调节组件3、针尖调节组件4和组装单元5位于底座1上。

需要说明的是，悬臂探针300的针杆310的一端和针尖320的一端固定连接，且两者呈一定夹角。

示例性地，输送线2可以为直线电机，精度可以达到±2um。

再次参见图2，输送线2上具有用于承载存料盘100的安装板21，安装板21的顶面具有多个间隔布置的定位销（图未示），各所述定位销用于对存料盘100进行定位。

在上述实施方式中，通过定位销可以实现对存料盘100的限位，保证存料盘100上各针杆310沿第二方向延伸，以便于后续对针杆和针尖进行调节。

示例性地，定位销的数量可以为2个，2个定位销竖直布置，定位销插入存料盘100上对应的定位孔中。

在本实施例中，输送线2上具有微调滑台22，微调滑台22的输出端与安装板21传动连接，以调节安装板21在第一方向上的位置。

容易理解的是，由于存料盘100的加工及安装存在误差，导致存料盘100放置在安装板21上之后，各悬臂探针300在第一方向上存在偏差。通过微调滑台22可以精细调节安装板21及存料盘100在输送线2上的位置，保证在输送过程中各悬臂探针300精准位移到校正工位上。

进一步地，安装板21上插装有多个接近传感器211，多个接近传感器211用于检测存料盘100和安装板21的安装平整度。

在上述实施方式中，接近传感器211可以检测存料盘100放置后其底面与安装板21顶面的间距，即检测两者之间的安装平整度，避免存料盘100倾斜，也就可以保证存料盘100在输送前能与安装板21紧贴。

示例性地，位置传感器211的数量可以为2个，呈沿存料盘100的对角线布置。

另外，安装板21的顶面具有顶条212，顶条212沿第一方向延伸，顶条212上插装有多个间隔布置的螺纹顶丝（图未示），各螺纹顶丝均伸出顶条，以与存料盘100相抵。

示例性地，顶条212位于存料盘100的一侧。螺纹顶丝可以调节，并在伸出后与存料盘100相抵，从而在定位销的作用下进一步实现对存料盘100的定位。

示例性地，第一驱动件32和第二驱动件可以为直线电机或者气缸。

示例性地，底座1上方可以设置有保护罩，而底座1下方则可以设置有箱体，用于存储各种设备。

再次参见图3，针杆调节组件3还包括手动滑台33，手动滑台33位于第一驱动件32的输出端上，手动滑台33用于驱动第一推块31沿第一方向移动。

在上述实施方式中，手动滑台33可以精准调节第一推块31在第一方向上的位置，保证各第一推块31的安装精度，从而精准推动校正工位上的针杆。

在本发明的一种实现方式中，在第一方向上，第一推块31朝向输送线2的推顶端面a的尺寸大于存料盘100上相邻两个悬臂探针的针杆的间距b。因此，此时一次位移第一推块31至少可以对2个针杆进行校正，从而可以提高对针杆的校正效率。

作为优选地，在第一方向上，第一推块31朝向输送线2的推顶端面a的尺寸不超过存料盘100上相邻两个悬臂探针的针杆的间距b。因此，此时一次位移第一推块31仅只能对1个针杆进行校正（此时可以视为点与点接触），控制精度更高。

容易理解的是，当第一推块31同时推顶多个针杆时，推顶端面a面积较大，对应的各针杆受力不均，无法保证对多个针杆沿直线位移。另外，对推顶端面a平面度有较大的要求，无法保证各针杆的推顶距离一致，同时相机视野也无法容置多个针尖。

示例性地，第一推块31包括推动部311和连接部312，推动部311与第一驱动件32的输出端传动连接，推动部311和连接部312之间夹装有压力传感器313，压力传感器313用于检测推动部311受到的压力，从而避免第一推块31在移动过程中压力过大而导致针杆被推顶后变形。

示例性地，连接部312可以为L形结构，连接部312位于手动滑台33上。压力传感器313的两端分别插装在推动部311和连接部312中。另外，推动部311可以为T形结构。

在本发明的一种实现方式中，针尖调节组件4还包括相机43、图像处理器和控制器，相机43用于对存料盘100上各悬臂探针300的针尖进行拍照，相机43和第一推块31正对布置，相机43、图像处理器、控制器依次电连接，控制器与所述位移件42电连接。

在上述实施方式中，通过控制器可以实现对位移件42的自动控制，并可以通过拍照获取的图像进行分析处理后自动实现针尖的校正，提高了校正效率，且无需人工观察。

示例性地，相机43正对悬臂探针300并对悬臂探针300的针尖进行拍照，相机43则将照片输送至图像处理器，图像处理器则会对照片进行处理分析，获得悬臂探针300的针尖的偏摆角α以及针尖的方位等信号，控制器接收该信号后控制位移件42动作，从而驱动梳针杆41位移至相对应的位置来摆动针尖。当针尖朝下的偏摆角不超过±1.5°时，控制器不会控制位移件42工作，悬臂探针300的针尖偏摆角满足要求，无需进行校正，从而提高了校正效率。而当偏摆角超过±1.5°时，此时相机43再次进行拍照，重复上述步骤，直至校正针尖的偏摆角校正至±1.5°为止。

进一步地，位移件42包括第一直线电机421、第二直线电机422和第三直线电机423，第一直线电机421位于底座1上，第一直线电机421用于驱动第二直线电机422沿第二方向移动，从而实现对梳针杆41在第二方向上的移动。第二直线电机422用于驱动第三直线电机423沿第一方向移动，从而实现对梳针杆41在第一方向上的移动，第三直线电机423用于驱动梳针杆41沿第三方向（Z方向）移动，从而实现对梳针杆41在第三方向上的移动。

示例性地，位移件42还包括立柱424，立柱424沿第三方向延伸，立柱424的一端与第二直线电机422的输出端传动连接，第三直线电机423位于立柱424的另一端上。

容易理解的是，立柱424可以增大第三直线电机423的初始高度，起到垫高梳针杆41的作用。

另外，为了避免位移件42对相机43拍照形成干涉，第三直线电机423的输出端和梳针杆41之间通过摆臂44连接。其中，摆臂44可以为L形结构。

图10是本发明实施例提供的相机的装配示意图，如图10所示，底座1上具有相机支撑座11和直线滑台12，直线滑台12位于相机支撑座11上，直线滑台12用于驱动相机43沿第二方向移动。

在上述实施方式中，相机支撑座11对直线滑台12起到支撑的作用，直线滑台12则可以对相机43进行调焦。

示例性地，相机支撑座11上可拆卸地安装有镜头支撑座111，在对相机43进行调焦完成后，通过该镜头支撑座111实现对相机43的镜头的支撑。

图11是本发明实施例提供的一种悬臂探针的装针方法的流程图，如图11所示，该装针方法基于上述的装针设备，该装针方法包括：

S1、在输送线2放置存料盘100，通过输送线2输送存料盘100沿第一方向移动。

S2、通过第一驱动件32驱动第一推块31移动，以使得第一推块31推顶存料盘100上各悬臂探针300的针杆平齐。

S3、控制位移件42驱动梳针杆41移动，从而驱动存料盘100上各悬臂探针300的针尖摆动至朝下布置。

S4、通过第二驱动件推动针尖限位块200沿第二方向移动，以使得针尖限位块200与存料盘100相抵，且存料盘100上的悬臂探针300的针尖插装至针尖限位块200的定位槽210中。

S5、连接针尖限位块200与存料盘100。

示例性地，针尖限位块200与存料盘100可以通过螺栓实现连接。

本发明实施例提供的一种悬臂探针的装针方法，有效提高了装针效率，整个过程便捷可靠，避免产生人工手动作业对熟练度的要求较高的问题，满足了生产要求。

本领域的技术人员容易理解，以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种悬臂探针的装针设备，其特征在于，所述装针设备包括输送线、针杆调节组件、针尖调节组件和组装单元，所述针杆调节组件、所述针尖调节组件和所述组装单元沿所述输送线设置；

所述输送线沿第一方向延伸，所述输送线用于输送存料盘沿第一方向移动；

所述针杆调节组件包括第一推块和第一驱动件，所述第一驱动件用于驱动所述第一推块沿第二方向移动，以使得所述第一推块推顶所述存料盘上各悬臂探针的针杆平齐；

所述针尖调节组件包括梳针杆和位移件，所述梳针杆沿第二方向延伸，所述位移件用于带动所述梳针杆在三维方向上移动，以使得所述梳针杆调整所述存料盘上各悬臂探针的针尖朝向，所述梳针杆和所述第一推块位于所述输送线的两侧，各悬臂探针的针杆的一端和针尖的一端固定连接，且呈夹角；

所述组装单元包括第二驱动件，所述第二驱动件用于推动针尖限位块沿第二方向移动，以使得所述针尖限位块与所述存料盘相抵。

2.根据权利要求1所述的一种悬臂探针的装针设备，其特征在于，所述第一推块包括推动部和连接部，所述推动部与所述第一驱动件的输出端传动连接，所述推动部和所述连接部之间夹装有压力传感器，所述压力传感器用于检测所述推动部受到的压力。

3.根据权利要求1所述的一种悬臂探针的装针设备，其特征在于，所述针尖调节组件还包括相机、图像处理器和控制器，所述相机用于对所述存料盘上各悬臂探针的针尖进行拍照，所述相机和所述第一推块正对布置，所述相机、所述图像处理器、所述控制器依次电连接，所述控制器与所述位移件电连接。

4.根据权利要求3所述的一种悬臂探针的装针设备，其特征在于，所述位移件包括第一直线电机、第二直线电机和第三直线电机，所述第一直线电机用于驱动所述第二直线电机沿第二方向移动，所述第二直线电机用于驱动所述第三直线电机沿第一方向移动，所述第三直线电机用于驱动所述梳针杆沿第三方向移动，所述控制器分别与第一直线电机、第二直线电机和第三直线电机电连接。

5.根据权利要求1-4任意一项所述的一种悬臂探针的装针设备，其特征在于，所述输送线为直线电机，所述输送线上具有用于承载所述存料盘的安装板，所述安装板的顶面具有多个间隔布置的定位销，各所述定位销用于对所述存料盘进行定位。

6.根据权利要求5所述的一种悬臂探针的装针设备，其特征在于，所述输送线上具有微调滑台，所述微调滑台的输出端与所述安装板传动连接，以调节所述安装板在第一方向上的位置。

7.根据权利要求5所述的一种悬臂探针的装针设备，其特征在于，所述安装板上插装有多个接近传感器，多个所述接近传感器用于检测所述存料盘和所述安装板的安装平整度。

8.根据权利要求5所述的一种悬臂探针的装针设备，其特征在于，所述安装板的顶面具有顶条，所述顶条沿第一方向延伸，所述顶条上插装有多个间隔布置的螺纹顶丝，各所述螺纹顶丝均伸出所述顶条，以与所述存料盘相抵。

9.根据权利要求1-4任意一项所述的一种悬臂探针的装针设备，其特征在于，在第一方向上，所述第一推块朝向所述输送线的推顶端面的尺寸不超过所述存料盘上相邻两个悬臂探针的针杆的间距。

10.一种悬臂探针的装针方法，其特征在于，所述装针方法基于权利要求1-9任意一项所述的装针设备，所述装针方法包括：

在所述输送线放置所述存料盘，通过所述输送线输送所述存料盘沿第一方向移动；

通过所述第一驱动件驱动所述第一推块移动，以使得所述第一推块推顶所述存料盘上各悬臂探针的针杆平齐；

控制所述位移件驱动所述梳针杆移动，从而驱动所述存料盘上各悬臂探针的针尖摆动至朝下布置；

通过所述第二驱动件推动所述针尖限位块沿第二方向移动，以使得所述针尖限位块与所述存料盘相抵，且所述存料盘上的所述悬臂探针的针尖插装至所述针尖限位块的定位槽中；

连接所述针尖限位块与所述存料盘。