CN116659629A - 气体流量计的标定方法、标定装置和测量装置 - Google Patents

Abstract

本说明书实施方式关于流量传感器的技术领域，提供一种气体流量计的标定方法、标定装置和测量装置。标定方法包括：获取标准气体流量计的多个标准流量测量值和目标气体流量计测得的原始输出信号值；对同一时间段内的标准流量测量值与原始输出信号值进行映射处理，得出原始输出信号值与所述标准流量测量值的对应关系数据；根据对应关系数据，标定所述目标气体流量计。通过上述技术方法，通过将获得的标准测量值和原始输出信号值进行映射处理，得出原始输出信号值与标准流量测量值的对应关系数据，根据对应关系数据，标定目标气体流量计，实现气体流量计全量程范围的连续流量标定，从而在一定程度上提高了气体流量计全量程范围的计算精准度。

Description

气体流量计的标定方法、标定装置和测量装置

技术领域

本说明书中实施方式关于流量传感器的技术领域，具体涉及一种气体流量计的标定方法、标定装置和测量装置。

背景技术

随着科技技术的发展，气体流量测量计在工业生产中得到广泛的应用。其中，该气体流量计可以对气体、液体、蒸汽等介质流量进行测量。随着技术的发展，MEMS技术得到发展，基于MEMS技术的热式气体流量传感器具有响应快、功耗低、体积小、高度集成等特点，使得基于MEMS技术的热式气体流量传感器得到了很大发展。

热式气体流量计是基于流体传热学原理，即利用流体与传感器热源之间热量交换关系来测量气体流量的技术。根据热式气体流量计量的基本原理，热式气体流量计的流量输出受气体介质类型、流速、传感器热耗散、仪表与传感器结构参数、测试环境等不确定性因素的影响，使得全量程范围内传感器输出与流量之间存在严重的非线性关系。

为了保证气体流量计的精准度，需要对气体流量计进行标定，目前行业内常用对流量计进行标定的方法是通过标准装置对气体流量计测量范围内的有限数量的特征流量点进行逐点测试，并采用数据插值计算得到数千个流量点或曲线拟合的方式确定全量程范围内介质流量与气体流量计输出之间的定量关系。该标定方法难以保证全量程范围内的流量与气体流量计输出之间的拟合精度，从而降低了气体流量计在全量程范围的测量精度。

发明内容

有鉴于此，本说明书多个实施方式致力于提供一种气体流量传感器芯片和气体流量传感器，以一定程度上解决了流动介质中污染物在该气体芯片上沉淀，从而提高该气体流量新芯片的测量精度的问题。

为了实现上述目的，本说明书的一个实施方式提供一种气体流量计的标定方法，所述标定方法包括：获取标准气体流量计的多个标准流量测量值和目标气体流量计测得的原始输出信号值；其中，所述多个标准流量测量值为连续的瞬时流量值；对同一时间段内的所述标准流量测量值与所述原始输出信号值进行映射处理，得出所述原始输出信号值与所述流量测量值的对应关系数据；根据所述对应关系数据，标定所述目标气体流量计。

本说明书的一个实施方式提供一种气体流量计的标定装置，所述标定装置包括：动力驱动系统和数据处理单元；其中，所述动力驱动系统包括动力驱动模块和活塞标准器；其中，所述动力驱动模块使所述活塞标准器中的活塞做一定加速运动，以使目标气体流量计和标准流量计流过的气体流量匀速增加；其中，所述数据处理单元执行上述任一所述的标定方法。

本说明书的一个实施方式提供一种气体流量测量装置，包括上述任一所述的标定方法标定的气体流量计。

本说明书提供的一种气体流量计的标定方法与相关技术相比，其有益效果在于：通过数据处理单元获取标准气体流量计的多个连续的流量测量值和在获得多个流量测量值的同一时间段内，获得目标气体流量计测得的原始输出信号值，再对所述多个流量测量值与原始输出信号值进行映射处理，得出原始输出信号值与流量测量值的对应关系数据，根据对应关系数据，标定目标气体流量计，实现气体流量计全量程范围的连续流量标定，从而在一定程度上提高了气体流量计全量程范围的计算精准度。

附图说明

附图是用来提供对说明书实施方式的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本发明，但并不构成对本发明实施方式的限制。在附图中。

图1为本说明书的一个实施方式提供的一种气体流量计的标定方法的流程示意图。

图2为本说明书的一个实施方式提供的一种标准流量测量值与原始输出信号值的对应关系图。

图3为本说明书的一个实施方式提供的一种标准流量测量值与原始输出信号值的对应关系图。

图4为本说明书的一个实施方式提供的一种标准流量测量值与原始输出信号值的对应关系图。

图5为本说明书的一个实施方式提供的一种标准流量测量值与原始输出信号值的对应关系图。

图6为本说明书的一个实施方式提供的一种标定装置的结构示意图。

具体实施方式

为了使本技术领域的人员更好地理解本申请方案，下面将结合本说明书实施例中的附图，对本说明书实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本说明书一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本说明书中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

请参阅图1。本说明书的一个实施方式提供一种气体流量计的标定方法，所述方法运用于标定装置，所述标定方法可以包括以下步骤。

步骤S110：获取标准气体流量计的多个流量测量值和目标气体流量计测得的原始输出信号值；其中，所述多个流量测量值为连续的瞬时流量值。

在一些实施方中，标定装置可以是具有一定运算能力的电子设备。该标定装置一般包括数据处理单元、标准气体流量计等，其中，数据处理单元具有一定运算能力的单元。

在一些情况下，气体流量计的标定过程是通过将需要标定的目标气体流量计放入气体流量计标定装置中，并与目标气体流量计标定装置的器件进行连通，目标气体流量计和标准气体流量计串联接通的，避免气体在流动过程中受环境的影响产生的误差，一般将目标气体流量计和标准气体流量计相邻设置。动力系统是气体流动，从而使气体流过该目标气体流量计和标准气体流量计，并用标准气体流量计作为标定基准。数据处理单元获得目标气体流量计和标准气体流量计的测量数据，并对数据进行处理，最后将需要标定的数据标定目标气体流量计中，从而实现对目标气体流量计的标定。

在本实施方式中，在一段时间内，气体流过标准气体流量计时，标准气体流量计测量得到多个流量测量值，多个测量流量值为连续的瞬时流量值。气体流过目标气体流量计时，目标气体流量计可以测得与流量大小相对应的原始输出信号值。数据处理单元可以实时从标准气体流量计中获得流量测量值和目标气体流量测得原始输出信号值。数据处理单元获取目标气体流量计和标准气体流量计测量数据，为后续数据处理做准备。

在一些实施方式中，标准气体流量计可以是作为标定目标气体流量计的基准流量计，该标准气体流量计的精度要比目标气体流量计高。具体的，例如，目标气体流量计的精度为1％，那么标准气体流量计的精度可以为0.5％，当然还可以比这高。

在一些实施方式中，目标气体流量计可以是指需要进行标定的气体流量计，该气体流量计出厂前或使用一段时间后，该气体流量计的测量可能出现偏差，该偏差超过测量精度时，可能影响测量值的准确性。

在一些实施方式中，原始输出信号值可以指目标气体流量计在一定量的气体流过时产生的输出信号数据。具体的，例如，该原始输出信号值可以是电压值，也可以是电流值。该原始输出信号值与气体流量具有对应关系，气体流量越大，该对应的原始输出信号值越大。

步骤S120：对同一时间段内的所述标准流量测量值与所述原始输出信号值进行映射处理，得出所述原始输出信号值与所述标准流量测量值的对应关系数据。

在本实施方式中，数据处理单元获取目标气体流量计输出的原始输出信号值和同一时间段内的标准气体流量计测量的标准流量测量值，得出原始输出信号值与标准流量测量值的对应关系。具体的，例如，标准气体流量计测得的标准流量测量值为5.5，同一流过目标气体流量计的气体流量时，目标气体流量计输出原始输出信号值为17mA，通过将标准流量测量值10.5与原始输出信号值进行映射，得到的原始输出信号值与流量测量值的对应关系数据为17mA和10.5对应的关系数据。

在一些实施方式中，气体经过目标气体流量计和标准气体流量计可能存在一定时间差的，但是一段时间内目标气体流量计测得的原始输出信号和标准流量测量值的两者之间都具有一定的时间差，可以是相同的时间差，可以通过数据处理单元进行一定的处理，可以消除时间差对该映射处理的影响，得出原始数据信号数据与流量测量值的对应关系。

在一些实施方式中，在数据处理单元获取多个标准流量测量值后，可以通过向标准气体流量计和目标气体流量计流过指定流量的气体，该标准气体流量计测量得到一个与指定流量对应的标准流量测量值，该标准测量值在多个标准流量测量值中的一个，目标气体流量计输出与指定流量对应的原始输出信号值，并在获取得到的数据中得到与该标准流量测量值对应的时间值和该原始输出信号值对应的时间值，并对两个时间值去除时间差，得到标准流量测量值去除差值的时间值与原始输出信号值之间的对应关系数据。请参阅图2和图3。具体的，例如，目标气体经过目标气体流量计和标准气体流量计存在5S的时间差，经过数据单元处理，消除了该5S的时间差后，标准气体流量计测量得到的标准流量测量值和目标气体流量计输出的原始输出信号值以时间值为中介的相对应，并得出对应关系数据。在一些实施方式中，目标气体可以是匀加速流过标准气体流量计和目标气体流量计，以使流量测量值和标准流量测量值是连续增大的。请参阅图4，存在至少有一段时间内目标气体是匀速流过标准气体流量计和目标气体流量计，目标气体可以在其他时间段内是匀加速流过标准气体流量计和目标气体流量计，以使全量程中标定时可以在一定程度提高标定质量。

步骤S130：根据所述对应关系数据，标定所述目标气体流量计。

在本实施方式中，数据处理单元根据对应关系数据，标定目标气体流量计。目标气体流量计在出厂前全量程范围进行了标定，可以提高该目标气体流量计全范围的计量精准度。

在一些实施方式中，数据处理单元可以将关系数据写入到目标气体流量计中，在使用时，目标气体流量计按照该对应关系数据得到测量值。

在一些实施方式中，标定可以是指基于比目标气体流量计的精度等级高的标准气体流量装置确定目标气体流量计的原始信号值与流量测量值关系的操作过程。具体的，例如，目标气体流量计在标定前是不可以进行测量目标气体的流量值。通过标准气体流量装置测得到标准流量测量值和目标气体流量计测得的原始输出信号值进行映射，其中，标准气体流量装置可以是标准气体流量计，气体流量并将映射结果写入到目标气体流量计中，以使目标气体流量计在使用过程中可以测量出气体流量。

在一些实施方式中，通过数据处理单元获取标准气体流量计的多个连续的流量测量值和在获得多个流量测量值的同一时间段内，获得目标气体流量计测得的原始输出信号值，再对所述多个流量测量值与原始输出信号值进行映射处理，得出原始输出信号值与流量测量值的对应关系数据，根据对应关系数据，标定目标气体流量计，实现气体流量计全量程范围的连续流量标定，从而在一定程度上提高了气体流量计全量程范围的计算精准度。

在一些实施方式中，在对同一时间段内的所述标准流量测量值与所述原始输出信号值进行映射处理，得出所述原始输出信号与所述流量测量值的对应关系数据的步骤中，包括：根据流量数据拟合处理方法对所述对应关系数据进行拟合处理，得出能表达所述标准流量测量值与原始输出信号值的数据变化关系的标定数据；相应的，根据所述对应关系数据，标定所述目标气体流量计的步骤中，包括：将所述标定数据写入所述目标气体流量计。

在本实施方式中，在得到对应关系数据之后，把对应关系数据通过流量数据拟合处理方法进行拟合处理，得到用于标定目标气体流量计的标定数据，该标定数据是连续变化的，该标定数据可以是表示标准流量测量值与原始输出信号值之间的定量关系。并将标定数据写入目标气体流量计中，使目标流量计标定完成。

在一些实施方式中，标定数据可以用标定曲线表示。请参阅图5。标准流量测量值与原始输出信号值之间的定量关系表示的标定数据，该标定曲线中，与标准流量测量值为7，对应的原始输出信号值为16.32，目标气体流量计通过标定数据查询得到原始输出信号对应的流量测量值，该流量测量值为目标气体流量计测量值。当然，该标定数据还可以通过数据关联式或数据表格等形式进行表示。

在一些实施方式中，流量数据拟合处理方法可以是指对标准流量测量值与原始输出信号值之间的映射的具体方法。具体的，该流量数据拟合处理方法可以是多项式曲线、指数拟合、对数拟合或分段过渡指数拟合等方式。

在一些实施方式中，所述流量数据拟合处理方法为带权重函数的拟合优化算法。

在本实施方式中，在一些具体的应用场景中，某一或某些特定流量测量值比较重要，需要在某一或某一些特定流量值的精准度较高。可以通过带权重函数的拟合优化算法对标准流量测量值与原始输出信号值之间的拟合处理，得到某一或某一些特定流量值对应的精度较高的对应关系数据。

在一些实施方式中，在根据流量数据拟合处理方法对所述对应关系数据进行拟合处理，得出能表达所述标准流量测量值与原始输出信号值的数据变换关系的标定数据的步骤之后，所述标定方法还包括：根据所述标定数据和至少一个特征流量值，得到与所述特征流量值对应的特征测量值；其中，所述特征流量值为所述多个标准测量流量值中的一个标准测量流量值，所述特征测量值为所述目标气体流量计对应所述特征流量值的测得值；基于测量偏差计算方法计算，得到所述特征测量值对应的测量偏差值。

在本实施方式中，通过已经确定好的标定数据和至少一个特征流量值，该特征流量值为指定流量的气体通过标准气体流量计测得的流量值，该特征流量值的大小要在标定数据中的标准测量流量值的范围中，通过该特征流量值和标定数据，得到目标气流量计测得的与特征流量值对应特征测量值。通过运用测量偏差计算方法计算，得到特征测量值对应的测量偏差值。在目标气体流量计标定之后，检测本次标定后的目标气体流量计是否满足误差规范要求，在不满足要求的情况时，重新对目标气体流量计进行标定，直到目标气体流量计的误差满足误差规范要求为止。当然，还可以继续进行标定，提高该目标气体流量计的精度。

在一些实施方式中，偏差计算方法可以是指计算目标气流量计测量偏差值的方法。具体的，例如，偏差计算方法为特征测量值减去特征流量值之后，除以特征流量值。

在一些实施方式中，测量偏差值可以表示目标气体流量计的测量得到的特征测量值与标准气体流量计测量的特征流量值之间的偏差程度。具体的，例如，特征测量值为5.8，特征流量值为5.75，测量偏差值为0.87％。

在一些实施方法中，基于测量偏差计算方法计算得到所述特征测量值对应的测量偏差值的步骤之后，所述标定方法还包括：判断所述测量偏差值与所述目标定气体流量计的精度参数的大小；其中，所述精度参数是指表示所述目标气体计的要求精度等级对应的参数；在所述测量偏差值大于所述精度参数的情况下，将所述特征流量值与所述标定数据进行处理得到修正后的标定数据；其中，所述特征流量值对包括所述特征流量值和与特征流量值对应的特征测量值；相应的，在将所述标定数据写入所述目标气体流量计的步骤中，所述标定方法还包括：将所述修正后的标定数据写入所述目标气体流量计。

在本实施方式中，目标气体流量计测量气体流量存在的测量偏差值大于精度等级对应精度参数，该目标气体流量计测量得到的测量值的偏差程度是不符合要求的。为了使目标气体流量计的测量值的偏差程度达到精度等级要求，将包括特征流量值和与特征流量值对应的特征测量值的特征流量值对对标定数据进行修正处理，得到修正后的标定数据。也可以将多个特征流量值对对标定数据进行修正，得到修正后标定数据。具体的，将特征流量值对与标定数据进行拟合，从而得到修正后的标定数据，并将修正后的标定数据写入目标气体流量计中。具体的，例如，特征流量值对包括特征测量值为5.81，特征流量值为5.75，将特征测量值为5.81和特征流量值为5.75与标定数据拟合得到修正后的标定数据，在一定程度上提高气体流量计的精度。

在一些实施方式中，精度参数可以是指目标气体流量计的测量偏差值可以出现的最大值。具体的，例如，精度参数为0.05％时，目标气体流量计的最大测量偏差值为0.05％。请参阅图6。本说明书的一个实施方式提供一种气体流量计的标定装置10，所述标定装置10包括：动力驱动系统150和数据处理单元160；其中，所述动力驱动系统150包括动力驱动模块151和活塞标准器152；其中，所述动力驱动模块151使所述活塞标准器152中的活塞1521做一定加速运动，以使目标气体流量计130和标准流量计120流过的气体流量匀速增加；其中，所述数据处理单元160执行权利要求1-5任一所述的标定方法。

在本实施方式中，标定装置10中可以包括动力驱动系统150和数据处理单元160，动力驱动系统150中的动力驱动模块151产生动力，推动活塞标准器152中的活塞1521做一定加速运动，当然，可以通过控制器控制驱动模块151进行加速运动。活塞1521的加速运动可以是活塞标准器152中的目标气体匀加速的通过标准气体流量计120和目标气体流量计130，从而使流过标准气体流量计120和目标气体流量计130流过的目标气体的气体流量是连续的。数据处理单元160执行上述任一所述的标定方法，从而使该标定装置10可对目标气体流量计130的全量程进行标定，从而提高标定的质量，提高目标气体流量计130的精度。

在一些实施方式中，动力驱动模块151可以是指产生驱动活塞1521运动的力的部件，可以是电机。具体的，例如，机械式变速齿轮电机、高精度变频电机，当然还可以是变频器。

在一些实施方式中，所述标定装置10还包括：标准气体流量计120和第一管路170；其中，所述标准气体流量计120测得的流量测量值作为标定所述目标气体流量计130的基准；其中，所述第一管路170用于连通所述目标气体流量计130与所述标准气体流量计120；其中，所述第一管路170的长度小于等于5倍所述第一管路170的直径。

在本实施方式中，标定装置10还包括标准气体流量计120和第一管路170，标准气体流量计120和目标气体流量计130之间通过第一管路120进行连同，以使目标气体可以在标准气体流量计120和目标气体流量计130之间流过。标准气体流量计120测得的流量测量值作为标定目标气体流量计130的基准。第一管路170的长度小于等于5倍第一管路170的直径，第一管路170越短，可以在一定程度上保证气体压强一致，从而保证目标气体过流动的加速度一致，从而在一定程度上保证了标准气体流量计120和目标气体流量计130是对几乎相同流速的目标气体进行测量的，从而保证对目标气体流量计130的标定质量。

在一些实施方式中，所述标定装置10还包括：稳压缓冲系统140；其中，所述稳压缓冲系统140设置在所述目标气体流量计130的气体流出口和所述动力驱动系统150之间。

在本实施方式中，标定装置10还可以包括稳压缓冲系统140，该稳压缓冲系统140设置在所述目标气体流量计130的气体流出口和所述动力驱动系统160之间，从而是标定装置10负压运行模式，使标定装置10中保持一定压差，从而提高标定质量。

在一些实施方式中，所述标定装置10还包括：流动调整模块110、第二管路180和第三管路190；其中，所述流动调整模块110设置在所述标准气体流量计120的进气口和所述动力驱动系统150之间；其中，第二管路180用于连通所述目标气体流量计130和所述稳压缓冲系统140，第三管路190用于连通所述流动调整模块110和所述标准气体流量计120；其中，所述第二管路180的长度小于所述第三管路190的长度。

在本实施方式中，标定装置10还包括设置在所述目标气体流量计130的进气口和所述动力驱动系统150之间的流动调整模块110，用于调整在标定过程的目标气体的流速，从而提高标定的质量。目标气体流量计130和稳压缓冲系统140之间通过第二管路180连通，从而使目标气体可以在目标气体流量计130和稳压缓冲系统140之间流过。流动调整模块110和标准气体流量计120通过第三管路190连通，使流动调整模块110和标准气体流量计120之间流过。第二管路180的长度小于第三管路190的长度，从而可以减少目标气体流量计130和稳压缓冲系统140之间的压缩容积，从而提高标定的质量。

本说明书的一个实施方式提供一种气体流量测量装置，包括上述任一所述的标定方法标定的气体流量计。

在本实施方式中，该气体流量测量装置中包括气体流量计，该气体流量计已经通过上标定方法完成了全量程的标定，提高了气体流量测量装置的测量精度。

以上实施方式的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施方式中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种气体流量计的标定方法，其特征在于，所述标定方法包括：

获取标准气体流量计的多个标准流量测量值和目标气体流量计测得的原始输出信号值；其中，所述多个标准流量测量值为连续的瞬时流量值；

对同一时间段内的所述标准流量测量值与所述原始输出信号值进行映射处理，得出所述原始输出信号值与所述流量测量值的对应关系数据；

根据所述对应关系数据，标定所述目标气体流量计。

2.根据权利要求1所述的标定方法，其特征在于，在对同一时间段内的所述标准流量测量值与所述原始输出信号值进行映射处理，得出所述原始输出信号值与所述标准流量测量值的对应关系数据的步骤中，包括：

根据流量数据拟合处理方法对所述对应关系数据进行拟合处理，得出能表达所述标准流量测量值与原始输出信号值的数据变化关系的标定数据；

相应的，根据所述对应关系数据，标定所述目标气体流量计的步骤中，包括：

将所述标定数据写入所述目标气体流量计。

3.根据权利要求2所述的标定方法，其特征在于，所述流量数据拟合处理方法为带权重函数的拟合优化算法。

4.根据权利要求2所述的标定方法，其特征在于，在根据流量数据拟合处理方法对所述对应关系数据进行拟合处理，得出能表达所述标准流量测量值与原始输出信号值的数据变换关系的标定数据的步骤之后，所述标定方法还包括：

根据所述标定数据和至少一个特征流量值，得到与所述特征流量值对应的特征测量值；其中，所述特征流量值为所述多个标准测量流量值中的一个标准测量流量值，所述特征测量值为所述目标气体流量计对应所述特征流量值的测得值；

基于测量偏差计算方法计算，得到所述特征测量值对应的测量偏差值。

5.根据权利要求4所述的标定方法，其特征在于，基于测量偏差计算方法计算得到所述特征测量值对应的测量偏差值的步骤之后，所述标定方法还包括：

判断所述测量偏差值与所述目标气体流量计的精度参数的大小；其中，所述精度参数是指表示所述目标气体流量计的要求精度等级对应的参数；

在所述测量偏差值大于所述精度参数的情况下，将所述特征流量值对与所述标定数据进行处理得到修正后的标定数据；其中，所述特征流量值对包括所述特征流量值和与特征流量值对应的特征测量值；

相应的，在将所述标定数据写入所述目标气体流量计的步骤中，所述标定方法还包括：

将所述修正后的标定数据写入所述目标气体流量计。

6.一种气体流量计的标定装置，其特征在于，所述标定装置包括：

动力驱动系统和数据处理单元；其中，所述动力驱动系统包括动力驱动模块和活塞标准器；其中，所述动力驱动模块使所述活塞标准器中的活塞做一定加速运动，以使目标气体流量计和标准流量计流过的气体流量匀速增加；其中，所述数据处理单元执行权利要求1-5任一所述的标定方法。

7.根据权利要求6所述的标定装置，其特征在于，所述标定装置还包括：标准气体流量计和第一管路；其中，所述标准气体流量计测得的流量测量值作为标定所述目标气体流量计的基准；其中，所述第一管路用于连通所述目标气体流量计与所述标准气体流量计；其中，所述第一管路的长度小于等于5倍所述第一管路的直径。

8.根据权利要求6所述的标定装置，其特征在于，所述标定装置还包括：稳压缓冲系统；其中，所述稳压缓冲系统设置在所述目标气体流量计的气体流出口和所述动力驱动系统之间。

9.根据权利要求8所述的标定装置，其特征在于，所述标定装置还包括：流动调整模块、第二管路和第三管路；其中，所述流动调整模块设置在所述标准气体流量计的进气口和所述动力驱动系统之间；其中，第二管路用于连通所述目标气体流量计和所述稳压缓冲系统，第三管路用于连通所述流动调整模块和标准气体流量计；其中，所述第二管路的长度小于所述第三管路的长度。

10.一种气体流量测量装置，其特征在于，包括权利要求1-5任一所述的标定方法标定的气体流量计。