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CN116583472A - 通信装置、通信装置的控制方法以及通信系统 - Google Patents

通信装置、通信装置的控制方法以及通信系统 Download PDF

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CN116583472A
CN116583472A CN202180071319.1A CN202180071319A CN116583472A CN 116583472 A CN116583472 A CN 116583472A CN 202180071319 A CN202180071319 A CN 202180071319A CN 116583472 A CN116583472 A CN 116583472A
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CN
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wireless communication
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area wireless
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CN202180071319.1A
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桑原哲也
大岛宗训
北村亘
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Murata Machinery Ltd
Original Assignee
Murata Machinery Ltd
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Publication date
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Abstract

本发明涉及通信装置、通信装置的控制方法以及通信系统。通信装置(12)具备：广域无线通信部(46)，其经由无线接入点(10)在与输送台车(4)之间通过广域无线通信收发信息；近距离无线通信部(50)，其在与通信设备(8)之间，通过比广域无线通信窄的通信范围的近距离无线通信收发信息；以及控制部(54)，其将广域无线通信部(46)接收到的信息从广域无线通信用的信息转换为近距离无线通信用的信息并向近距离无线通信部(50)输出，且将近距离无线通信部(50)接收到的信息从近距离无线通信用的信息转换为广域无线通信用的信息并向广域无线通信部(46)输出。

Description

通信装置、通信装置的控制方法以及通信系统
技术领域
本发明涉及通信装置、通信装置的控制方法以及通信系统。
背景技术
公知有具备用于输送收纳半导体晶片的FOUP(Front Opening Unified Pod：前开式联合吊舱)的桥式输送台车、以及用于处理半导体晶片的半导体制造装置的半导体制造系统(例如，参照专利文献1)。
在输送台车、与连接于半导体制造装置的载置口的通信设备之间的通信中应用SEMI(Semiconductor Equipmentand Materials International：半导体设备与材料国际)的E84通信序列。在输送台车与载置口之间移载FOUP时，在输送台车与通信设备之间通过E84通信序列收发控制信号。
E84通信序列由移载前步骤、移载步骤以及移载后步骤这三个步骤构成。在移载前步骤中，在输送台车与通信设备之间，收发表示此后开始FOUP的移载的意思的控制信号。在移载步骤中，在输送台车与通信设备之间，收发用于执行FOUP的移载的控制信号，实际上进行FOUP的移载。在移载后步骤中，在输送台车与通信设备之间，收发表示FOUP的移载结束的意思的控制信号。移载前步骤、移载步骤以及移载后步骤在输送台车在载置口的紧上方的位置停止的状态下执行。
专利文献1：日本特开2019-117616号公报
在半导体制造系统中，多个输送台车需要分别在与应移载FOUP的多个载置口的各通信设备之间，同时通过无线通信执行E84通信序列。另外，根据半导体制造装置而分配给各载置口的各通信设备的电力受限，通信设备需要以省电方式进行动作。因此，为了避免无线通信的干扰且进行以省电方式动作的无线通信，作为输送台车与通信设备之间的无线通信的方式，采用了通信范围被限制在近距离(例如3～5m以内)的近距离无线通信。
然而，近几年在上述半导体制造系统中，为了进一步提高半导体的制造效率，提出了在输送台车的行驶过程中执行E84通信序列的移载前步骤以及移载后步骤。
然而，在输送台车与通信设备之间的近距离无线通信中，由于电波输出强度被抑制，所以在移载前步骤以及移载后步骤中，会产生在从载置口的紧上方的位置离开的位置行驶中的输送台车与通信设备之间的接收电波强度降低之类的课题。
发明内容
本发明正是鉴于这样的课题而完成的，其目的在于提供一种能够使输送台车与通信设备之间的无线通信稳定化的通信装置、通信装置的控制方法以及通信系统。
为了实现上述目的，本发明的一实施方式的通信装置是对用于输送被输送物的输送台车、和连接于在与上述输送台车之间移载上述被输送物的移载装置的通信设备之间的通信进行中继的通信装置，其具备：广域无线通信部，其经由广域无线通信基站，在与上述输送台车之间通过广域无线通信收发信息；近距离无线通信部，其在与上述通信设备之间通过比上述广域无线通信窄的通信范围的近距离无线通信收发信息；以及控制部，其将上述广域无线通信部接收到的信息从广域无线通信用的信息转换为近距离无线通信用的信息并向上述近距离无线通信部输出，且将上述近距离无线通信部接收到的信息从近距离无线通信用的信息转换为广域无线通信用的信息并向上述广域无线通信部输出。
根据本实施方式，例如即使输送台车在远离移载装置的紧上方的位置的位置行驶过程中，广域无线通信部也经由广域无线通信基站(例如无线接入点)，在与输送台车之间通过广域无线通信收发信息，所以能够避免输送台车与通信设备之间的接收电波强度降低的情况，能够使输送台车与通信设备之间的无线通信稳定化。另外，近距离无线通信部在与通信设备之间通过近距离无线通信收发信息，所以能够使通信设备以低功耗动作。
例如也可以构成为：(i)在上述输送台车在与上述移载装置之间移载上述被输送物之前向与上述移载装置接近的方向行驶过程中，或者在与上述移载装置之间移载上述被输送物之后向远离上述移载装置的方向行驶过程中，向上述通信设备发送信息的情况下，上述广域无线通信部经由上述广域无线通信基站，通过上述广域无线通信接收来自上述输送台车的信息，上述控制部将上述广域无线通信部接收到的信息从广域无线通信用的信息转换为近距离无线通信用的信息并向上述近距离无线通信部输出，上述近距离无线通信部通过上述近距离无线通信将由上述控制部转换后的信息向上述通信设备发送，(ii)在上述输送台车在与上述移载装置之间移载上述被输送物之前向与上述移载装置接近的方向行驶过程中，或者在与上述移载装置之间移载上述被输送物之后向远离上述移载装置的方向行驶过程中时，上述通信设备向上述输送台车发送信息的情况下，上述近距离无线通信部通过上述近距离无线通信接收来自上述通信设备的信息，上述控制部将上述近距离无线通信部接收到的信息从近距离无线通信用的信息转换为广域无线通信用的信息并向上述广域无线通信部输出，上述广域无线通信部经由上述广域无线通信基站，通过上述广域无线通信将由上述控制部转换后的信息向上述输送台车发送。
根据本实施方式，例如在输送台车与通信设备之间应用SEMI的E84通信序列的情况下，在E84通信序列的移载前步骤或者移载后步骤中，输送台车即使在远离移载装置的紧上方的位置的位置行驶中，也能够使输送台车与通信设备之间的无线通信稳定化。
例如也可以构成为：上述通信装置还具备取得部，该取得部在上述输送台车的行驶中，取得表示该输送台车以外的其它输送台车与上述通信设备的通信状况的通信状况信息，上述广域无线通信部将由上述取得部取得的通信状况信息经由上述广域无线通信基站并通过上述广域无线通信向行驶中的该输送台车发送。
根据本实施方式，行驶中的输送台车基于表示该输送台车以外的其它输送台车与通信设备的通信状况的通信状况信息，例如在其它输送台车在该输送台车的行驶路线上正在执行E84通信序列的移载步骤的情况下，能够适当地改变行驶路线。
例如也可以构成为：上述通信装置还具备取得部，该取得部在上述输送台车的行驶过程中，取得表示该输送台车以外的其它输送台车的位置的位置信息，上述广域无线通信部将由上述取得部取得的位置信息经由上述广域无线通信基站并通过上述广域无线通信向行驶中的该输送台车发送。
根据本实施方式，行驶中的输送台车基于表示该输送台车以外的其它输送台车的位置的位置信息，例如在其它输送台车在该输送台车的行驶路线上正在执行E84通信序列的移载步骤的情况下，能够适当地改变行驶路线。
另外，本发明的一实施方式的通信装置的控制方法是对用于输送被输送物的输送台车、和连接于在与上述输送台车之间移载上述被输送物的移载装置的通信设备之间的通信进行中继的通信装置的控制方法，其包含以下步骤：(a)经由广域无线通信基站，通过广域无线通信接收来自上述输送台车的信息的步骤；(b)将在上述(a)中接收到的信息从广域无线通信用的信息转换为近距离无线通信用的信息的步骤；(c)通过比上述广域无线通信窄的通信范围的近距离无线通信，将在上述(b)中转换后的信息向上述通信设备发送的步骤；(d)通过上述近距离无线通信接收来自上述通信设备的信息的步骤；(e)将在上述(d)中接收到的信息从近距离无线通信用的信息转换为广域无线通信用的信息的步骤；以及(f)经由上述广域无线通信基站，通过上述广域无线通信将在上述(e)中转换后的信息向上述输送台车发送的步骤。
根据本实施方式，例如输送台车即使在远离移载装置的紧上方的位置的位置行驶中，也经由广域无线通信基站(例如无线接入点)在与输送台车之间通过广域无线通信收发信息，所以能够避免在输送台车与通信设备之间的接收电波强度降低的情况，能够使输送台车与通信设备之间的无线通信稳定化。另外，在与通信设备之间通过近距离无线通信收发信息，所以能够使通信设备以低功耗动作。
另外，本发明的一实施方式的通信系统具备：输送台车，其用于输送被输送物；通信设备，其连接于在与上述输送台车之间移载上述被输送物的移载装置；以及通信装置，其对上述输送台车与上述通信设备之间的通信进行中继，上述输送台车具有经由广域无线通信基站，在与上述通信装置之间通过广域无线通信收发信息的第一通信部，上述通信设备具有在与上述通信装置之间通过比上述广域无线通信窄的通信范围的近距离无线通信收发信息的第二通信部，上述通信装置具有：广域无线通信部，其经由上述广域无线通信基站，在与上述输送台车的上述第一通信部之间通过上述广域无线通信收发信息；近距离无线通信部，其在与上述通信设备的上述第二通信部之间通过上述近距离无线通信收发信息；以及控制部，其将上述广域无线通信部接收到的信息从广域无线通信用的信息转换为近距离无线通信用的信息并向上述近距离无线通信部输出，且将上述近距离无线通信部接收到的信息从近距离无线通信用的信息转换为广域无线通信用的信息并向上述广域无线通信部输出。
根据本实施方式，例如输送台车即使在远离移载装置的紧上方的位置的位置行驶中，通信装置的广域无线通信部也经由广域无线通信基站(例如无线接入点)，在与输送台车的第一通信部之间通过广域无线通信收发信息，所以能够避免输送台车与通信设备之间的接收电波强度降低的情况，能够使输送台车与通信设备之间的无线通信稳定化。另外，通信装置的近距离无线通信部在与通信设备的第二通信部之间通过近距离无线通信收发信息，所以能够使通信设备以低功耗动作。
此外，本发明不仅可以作为装置来实现，也可以作为将构成该装置的处理机构设为步骤的方法来实现，或作为使计算机执行这些步骤的程序来实现，或作为记录了该程序的计算机可读取的CD-ROM等记录介质来实现，或作为表示该程序的信息、数据或者信号来实现。而且，这些程序、信息、数据以及信号也可以经由因特网等通信网络来分发。
根据本发明的一实施方式的通信装置等，能够使输送台车与通信设备之间的无线通信稳定化。
附图说明
图1是表示实施方式的通信系统的概要的图。
图2是表示装载FOUP时的E84通信序列的一个例子的图。
图3是表示卸载FOUP时的E84通信序列的一个例子的图。
图4是表示实施方式的通信系统的功能结构的框图。
图5是表示广域无线通信用的信息的一个例子的图。
图6是表示近距离无线通信用的信息的一个例子的图。
图7是用于说明移载前步骤中的、实施方式的通信系统的动作的简图。
图8是表示移载前步骤中的、实施方式的通信系统的动作的流程的时序图。
图9是用于说明移载步骤中的、实施方式的通信系统的动作的简图。
图10是表示移载步骤中的、实施方式的通信系统的动作的流程的时序图。
图11是用于说明移载后步骤中的、实施方式的通信系统的动作的简图。
具体实施方式
以下，使用附图详细地说明本发明的实施方式。此外，以下说明的实施方式均表示总括性或者具体的例子。以下的实施方式所示的数值、形状、材料、结构构件、结构构件的配置位置以及连接形态、步骤、步骤的顺序等是一个例子，并不是限定本发明的主旨。另外，在以下的实施方式中的结构构件中，对于没有记载在独立技术方案的结构构件，作为任意结构构件来说明。
(实施方式)
[1.通信系统的概要]
首先，参照图1～图3对实施方式的通信系统2的概要进行说明。图1是表示实施方式的通信系统2的概要的图。图2是表示装载FOUP14时的E84通信序列的一个例子的图。图3是表示卸载FOUP14时的E84通信序列的一个例子的图。
如图1所示，通信系统2例如是构建在半导体制造工厂内的系统。通信系统2具备输送台车4、半导体制造装置6、通信设备8、无线接入点10以及通信装置12。
输送台车4是用于输送收纳有半导体晶片的FOUP14(被输送物的一个例子)的桥式输送台车，所谓的OHT(Overhead Hoist Transfer：空中升降机输送)。输送台车4沿着设置在半导体制造工厂的顶棚的轨道16无人行驶。此外，在半导体制造工厂虽配置有多个(例如数百台)输送台车4，但为了便于说明，在图1中图示出了一个输送台车4。
在输送台车4的内部可升降地搭载有用于把持FOUP14的把持部18。例如，在输送台车4与半导体制造装置6的载置口22(后述)之间移载FOUP14时，在输送台车4停止在载置口22的紧上方的位置的状态下，把持部18从输送台车4下降到载置口22的附近。另外，在FOUP14的移载结束时，把持部18从载置口22的附近上升到输送台车4，收纳于输送台车4的内部。
半导体制造装置6是用于处理或临时放置收纳于FOUP14的半导体晶片等的装置，设置在轨道16的紧下方。半导体制造装置6具有用于搬入以及搬出FOUP14的搬入搬出口20、以及配置在搬入搬出口20的附近的载置口22(移载装置的一个例子)。载置口22是用于载置FOUP14的装载口。载置口22在与输送台车4的把持部18之间移载FOUP14，且通过搬入搬出口20在与半导体制造装置6之间进行FOUP14的交接。
此外，在半导体制造工厂虽设置有多个(例如数千台)半导体制造装置6，但为了便于说明，在图1中仅图示出了一个半导体制造装置6。另外，在本实施方式中，虽对半导体制造装置6具有一个载置口22的情况进行了说明，但并不局限于此，也可以具有多个载置口22。
通信设备8是用于对输送台车4与半导体制造装置6的载置口22之间的通信进行中介的设备服务器。通信设备8配置在半导体制造装置6的顶面，经由并行电缆24与半导体制造装置6的载置口22连接。由此，通信设备8能够与半导体制造装置6的载置口22通信。在通信设备8与输送台车4之间的通信中应用SEMI的E84通信序列。此外，在半导体制造工厂虽配置有与载置口22数目相同的通信设备8，但为了便于说明，在图1中仅图示出了一个通信设备8。
无线接入点10是无线LAN(Local Area Network：局域网)的接入点。无线接入点10对输送台车4与通信装置12之间的广域无线通信进行中介。即、输送台车4以及通信装置12是无线LAN的站。此外，广域无线通信是基于无线LAN的无线通信，其通信范围例如是以无线接入点10为中心的约20～30m见方。无线接入点10是广域无线通信基站的一个例子。
通信装置12是用于对输送台车4与通信设备8之间的通信进行中继的中继装置。通信装置12例如配置在轨道16的上方。通信装置12经由无线接入点10在与输送台车4之间通过广域无线通信收发信息。另外，通信装置12与通信设备8之间通过近距离无线通信收发信息。此外，近距离无线通信例如是基于BLE(Bluetooth(注册商标)Low Energy：蓝牙低能量)的无线通信，其通信范围比广域无线通信的通信范围窄，例如是以通信装置12为中心的约5m见方。近距离无线通信也称为“接近无线通信”。
在上述通信系统2中，在通过输送台车4装载被载置在载置口22的FOUP14时、以及从输送台车4向载置口22卸载FOUP14时，通过E84通信序列在输送台车4与通信设备8之间收发控制信号(信息)。在E84通信序列中，在输送台车4与载置口22之间移载FOUP14时，采用了若特定的控制信号(例如L_REQ)不截止则不移至下一个工序那样的由多个工序构成的联锁序列。
如图2所示，装载FOUP14时的E84通信序列由移载前步骤、移载步骤以及移载后步骤这三个步骤构成。另外，如图3所示，在卸载FOUP14时的E84通信序列与图2相同，由移载前步骤、移载步骤以及移载后步骤这三个步骤构成。
如图2以及图3所示，在移载前步骤中，在输送台车4与通信设备8之间，收发表示此后开始FOUP14的移载的意思的控制信号。在移载步骤中，在输送台车4与通信设备8之间，收发用于执行FOUP14的移载的控制信号，实际上进行FOUP14的移载。在移载后步骤中，在输送台车4与通信设备8之间，收发表示FOUP14的移载结束的意思的控制信号。
移载前步骤在输送台车4向接近应移载FOUP14的载置口22的紧上方的位置的方向行驶的期间执行。移载步骤在输送台车4到达了应移载FOUP14的载置口22的紧上方的位置之后，并在该位置停止的状态下执行。移载后步骤在输送台车4向远离移载了FOUP14的载置口22的紧上方的位置的方向行驶的期间执行。
[2.通信系统的功能结构]
参照图4～图6对实施方式的通信系统2的功能结构进行说明。图4是表示实施方式的通信系统2的功能结构的框图。图5是表示广域无线通信用的信息的一个例子的图。图6是表示近距离无线通信用的信息的一个例子的图。
如图4所示，输送台车4、无线接入点10以及通信装置12与无线网络26连接。无线网络26例如是以IEEE802.11系列为基准的无线LAN，由2.4GHz频带或者5GHz频带的WiFi(注册商标)构建。
输送台车4具有：广域无线通信部28(第一通信部的一个例子)、天线30、近距离无线通信部32、天线34以及控制部36。
广域无线通信部28经由无线接入点10在与通信装置12之间通过广域无线通信收发信息。天线30是广域无线通信用的天线，与广域无线通信部28连接。
近距离无线通信部32在与通信设备8之间通过近距离无线通信收发信息。天线34是近距离无线通信用的天线，与近距离无线通信部32连接。
控制部36通过控制广域无线通信部28以及近距离无线通信部32，来执行各种处理。具体而言，控制部36在输送台车4刚到达应移载FOUP14的载置口22的紧上方的位置之前，以通过近距离无线通信部32在与通信设备8之间进行近距离无线通信的方式进行控制。另外，控制部36也可以在输送台车4在应移载FOUP14的载置口22的位置与自由行驶位置处于恒定范围内的情况下，以通过近距离无线通信部32在与通信设备8之间不经由通信装置12而进行近距离无线通信的方式进行控制。在该情况下，能够减少通信装置12的功耗。此外，控制部36例如通过处理器读出并执行记录在硬盘或者半导体存储器等记录介质的软件程序来实现。
半导体制造装置6的载置口22具有通信部38和控制部40。
通信部38经由并行电缆24(参照图1)在与通信设备8之间收发信息。
控制部40通过控制通信部38，来执行各种处理。具体而言，控制部40执行用于在与输送台车4之间移载FOUP14(参照图1)的联锁处理。另外，控制部40执行用于通过搬入搬出口20(参照图1)在与半导体制造装置6之间进行FOUP14的交接的处理。此外，控制部40例如通过处理器读出并执行记录在硬盘或者半导体存储器等记录介质的软件程序来实现。
通信设备8具有通信部42(第二通信部的一个例子)和控制部44。
通信部42经由并行电缆24在与载置口22之间收发信息。另外，通信部42在与输送台车4以及通信装置12的各个之间，通过近距离无线通信收发信息。
控制部44通过控制通信部42，来执行各种处理。此外，控制部44例如通过处理器读出并执行记录在硬盘或者半导体存储器等记录介质的软件程序来实现。
通信装置12具有广域无线通信部46、天线48、近距离无线通信部50、天线52、控制部54以及取得部56。
广域无线通信部46经由无线接入点10在与输送台车4之间通过广域无线通信收发信息。天线48是广域无线通信用的天线，与广域无线通信部46连接。
近距离无线通信部50在与通信设备8之间通过近距离无线通信收发信息。天线52是近距离无线通信用的天线，与近距离无线通信部50连接。此外，在本实施方式中，通信装置12虽仅具有一组近距离无线通信部50以及天线52，但并不局限于此，例如在与多个通信设备8之间同时通过近距离无线通信收发信息的情况下，也可以具有多组近距离无线通信部50以及天线52。
控制部54通过控制广域无线通信部46以及近距离无线通信部50，来执行各种处理。具体而言，控制部54将广域无线通信部46接收到的信息、从广域无线通信用的信息转换为近距离无线通信用的信息并向近距离无线通信部50输出。另外，控制部54将近距离无线通信部50接收到的信息、从近距离无线通信用的信息转换为广域无线通信用的信息并向广域无线通信部46输出。此外，控制部54例如通过处理器读出并执行记录在硬盘或者半导体存储器等记录介质的软件程序来实现。
这里，广域无线通信用的信息例如是图5的(a)所示那样的数据帧58。图5的(a)所示的数据帧58包含Frame Control、Duration、MACAddress1～3、SeqControl、MACAddress4、Data以及CRC的各字段。在图5的(a)所示的Data的字段中包含图5的(b)所示的IP标题、UDP标题以及通信数据的各字段。并且，在图5的(b)所示的通信数据的字段中包含图5的(c)所示的近距离无线通信频带、近距离无线通信信道、近距离无线连接目标设备ID、近距离无线连接源ID以及近距离无线通信数据的各字段。并且，在图5的(c)所示的近距离无线通信数据的字段中包含图5的(d)所示的发送方向、INPUT DATA以及OUTPUT DATA的各字段。
另外，近距离无线通信用的信息例如是图6所示那样的数据帧60。图6所示的数据帧60包含近距离无线连接目标设备ID、近距离无线连接源ID、发送方向、INPUTDATA以及OUTPUTDATA的各字段。
例如，在广域无线通信部46接收到图5的(a)所示的数据帧58的情况下，控制部54通过从广域无线通信部46接收到的数据帧58中抽出图5的(c)以及(d)所示的近距离无线连接目标设备ID、近距离无线连接源ID、发送方向、INPUT DATA以及OUTPUT DATA的各字段，生成图6所示的数据帧60。这样，控制部54将作为广域无线通信用的信息的数据帧58转换为作为近距离无线通信用的信息的数据帧60。
而且，例如在近距离无线通信部50接收到图6所示的数据帧60的情况下，控制部54通过抽出近距离无线通信部50接收到的数据帧60的近距离无线连接目标设备ID、近距离无线连接源ID、发送方向、INPUT DATA以及OUTPUT DATA的各字段，生成图5的(a)所示的数据帧58。这样，控制部54将作为近距离无线通信用的信息的数据帧60转换为作为广域无线通信用的信息的数据帧58。
取得部56在输送台车4的行驶过程中取得表示该输送台车4以外的其它输送台车(未图示)与通信设备8的通信状况的通信状况信息。另外，在输送台车4的行驶过程中，取得表示该输送台车4以外的其它输送台车的位置的位置信息。取得部56也可以从广域无线通信部46或者近距离无线通信部50取得通信状况信息以及位置信息，也可以从总括通信系统2的上位控制器(未图示)取得通信状况信息以及位置信息。
[3.通信系统的动作]
[3-1.移载前步骤的通信系统的动作]
参照图7以及图8对移载前步骤的通信系统2的动作进行说明。图7是用于说明移载前步骤中的、实施方式的通信系统2的动作的简图。图8是表示移载前步骤中的、实施方式的通信系统2的动作的流程的时序图。
以下，如图7所示，考虑在半导体制造工厂内，将半导体制造装置6a、6b、6c、6d、6e、6f(6a～6f)以该顺序排列设置的情况。半导体制造装置6a～6f分别具有载置口22a、22b、22c、22d、22e、22f(22a～22f)。载置口22a～22f分别连接有通信设备8a、8b、8c、8d、8e、8f(8a～8f)。
另外，以下对输送台车4在与半导体制造装置6d的载置口22d之间移载FOUP14(参照图1)的情况进行说明。如图7所示，移载前步骤在输送台车4向与应移载FOUP14的载置口22d的紧上方的位置接近的方向行驶的期间执行。在移载前步骤中，在输送台车4与通信设备8d之间，收发表示此后开始FOUP14的移载的意思的信息。
此外，通信装置12能够通过近距离无线通信，例如在与通信设备8a～8f的各个之间收发信息。另外，通信装置12能够通过广域无线通信，与在比半导体制造装置6d的紧上方的位置靠半导体制造装置6a侧(在图7中为左侧)、以及在比半导体制造装置6d的紧上方的位置靠半导体制造装置6f侧(在图7中为右侧)行驶的输送台车4之间收发信息。
首先，对输送台车4向通信设备8d发送信息的情况进行说明。如图8所示，输送台车4的广域无线通信部28通过广域无线通信向通信装置12发送信息(广域无线通信用的信息)(S101)。无线接入点10通过广域无线通信将来自该输送台车4的信息向通信装置12转送(S102)。
通信装置12的广域无线通信部46通过广域无线通信，接收从无线接入点10转送来的信息(S103)。通信装置12的控制部54将广域无线通信部46接收到的信息从广域无线通信用的信息转换为近距离无线通信用的信息(S104)，并向近距离无线通信部50输出。通信装置12的近距离无线通信部50通过近距离无线通信，将由控制部54转换后的信息(近距离无线通信用的信息)向通信设备8d发送(S105)。
通信设备8d的通信部42通过近距离无线通信，接收从通信装置12发送来的信息(S106)。
接下来，对通信设备8d向输送台车4发送信息的情况进行说明。如图8所示，通信设备8d的通信部42通过近距离无线通信，向通信装置12发送信息(近距离无线通信用的信息)(S107)。
通信装置12的近距离无线通信部50通过近距离无线通信，接收从通信设备8d发送来的信息(S108)。通信装置12的控制部54将近距离无线通信部50接收到的信息从近距离无线通信用的信息转换为广域无线通信用的信息(S109)，并向广域无线通信部46输出。通信装置12的广域无线通信部46通过广域无线通信，将由控制部54转换后的信息(广域无线通信用的信息)向输送台车4发送(S110)。
无线接入点10通过广域无线通信，将在步骤S110中发送的来自通信装置12的信息向输送台车4转送(S111)。输送台车4的广域无线通信部28通过广域无线通信，接收从无线接入点10转送来的信息(S112)。
[3-2.移载步骤的通信系统的动作]
参照图9以及图10对移载步骤的通信系统2的动作进行说明。图9是用于说明移载步骤中的、实施方式的通信系统2的动作的简图。图10是表示移载步骤中的、实施方式的通信系统2的动作的流程的时序图。
以下，与上述相同，对输送台车4在与半导体制造装置6d的载置口22d之间移载FOUP14的情况进行说明。如图9所示，移载步骤在输送台车4停止在应移载FOUP14的载置口22d的紧上方的位置的状态下执行。在移载步骤中，在输送台车4与通信设备8d之间，收发用于执行FOUP14的移载的信息，实际上进行FOUP14的移载。
首先，对输送台车4向通信设备8d发送信息的情况进行说明。如图10所示，输送台车4的近距离无线通信部32通过近距离无线通信向通信设备8d发送信息(近距离无线通信用的信息)(S201)。通信设备8d的通信部42通过近距离无线通信，接收从输送台车4发送来的信息(S202)。
接下来，对通信设备8d向输送台车4发送信息的情况进行说明。如图10所示，通信设备8d的通信部42通过近距离无线通信，向输送台车4发送信息(近距离无线通信用的信息)(S203)。输送台车4的近距离无线通信部32通过近距离无线通信，接收从通信设备8d发送来的信息(S204)。
[3-3.移载后步骤的通信系统的动作]
参照图11对移载后步骤的通信系统2的动作进行说明。图11是用于说明移载后步骤中的、实施方式的通信系统2的动作的简图。
如图11所示，移载后步骤在输送台车4向远离移载了FOUP14的载置口22d的紧上方的位置的方向行驶的期间执行。在移载后步骤中，与上述图8相同，在输送台车4与通信设备8d之间，经由无线接入点10以及通信装置12，收发表示结束了FOUP14的移载的意思的信息。
[3-4.其它的动作]
如上所述，取得部56在输送台车4的行驶过程中，取得表示该输送台车4以外的其它输送台车与通信设备8a～8f的通信状况的通信状况信息。广域无线通信部46根据来自行驶中的该输送台车4的要求，将由该取得部56取得的通信状况信息和/或位置信息经由无线接入点10通过广域无线通信向行驶中的该输送台车4发送。
由此，例如在输送台车4为了移载前步骤而向与载置口22d的紧上方的位置接近的方向行驶时，在其它输送台车为了移载步骤而在载置口22d的紧上方的位置停止的情况下，行驶中的输送台车4基于通信状况信息和/或位置信息，能够以绕过载置口22d的紧上方的位置的方式，适当地改变行驶路线。
[4.效果]
在本实施方式的通信系统2中，例如在E84通信序列的移载前步骤或者移载后步骤中，输送台车4在远离载置口22的紧上方的位置的位置行驶中，通信装置12的广域无线通信部46经由无线接入点10，在与输送台车4之间通过广域无线通信收发信息。由此，能够避免输送台车4与通信设备8之间的接收电波强度降低的情况，能够使输送台车4与通信设备8之间的无线通信稳定化。
另外，通信装置12的近距离无线通信部50在与通信设备8之间通过近距离无线通信收发信息，所以能够使通信设备8以低功耗动作。由此，例如能够通过经由设置在半导体制造装置6的PI/O(Programmed Input/Output：编程输入/输出)供给的电源(24V，100mA)，使通信设备8动作。
另外，在E84通信序列的移载步骤中，在输送台车4与通信设备8之间通过近距离无线通信进行信息的收发，所以即使在多个输送台车4分别在与多个通信设备8之间同时进行无线通信的情况下，也能够避免无线通信的干扰。
(其它变形例等)
以上，虽基于上述实施方式对本发明的通信装置进行了说明，但本发明并不限于上述实施方式。相对于上述实施方式实施本领域技术人员想到的变形而得到的形态、以及任意组合上述实施方式中的结构构件而实现的其它的形态也包含于本发明。
在上述实施方式中，作为广域无线通信虽采用了WiFi(注册商标)，但并不局限于此，例如也可以采用PrivateLTE(Long Term Evolution：长期演进)，或者局部利用第五代移动体通信系统的Local5G等。在使用该广域无线通信的情况下，输送台车4的广域无线通信部28以及天线30、通信装置12的广域无线通信部46以及天线48、以及通信设备8的通信部42依据各广域无线通信的通信标准。
另外，在上述实施方式中，关于移载步骤的通信系统2的动作，为了在输送台车4与通信设备8之间收发用于执行FOUP4的移载的信息，输送台车4具备的近距离无线通信部32通过近距离无线通信针对通信设备8收发信息(近距离无线通信用的信息)，但也可以应用与移载前步骤以及移载后步骤的通信系统2的动作相同的通信方法。即、在移载步骤的通信系统2的动作中，输送台车4经由无线接入点10在与通信装置12之间通过广域无线通信收发信息，通信装置12在与通信设备8之间进行近距离无线通信。这样，输送台车4不需要具备近距离无线通信部32，能够通过广域无线通信在与通信设备8之间进行联锁通信，且能够减少输送台车4的制造成本以及设计上的繁琐。
此外，在上述实施方式中，各结构构件可以由专用的硬件构成，或也可以通过执行适合于各结构构件的软件程序来实现。各结构构件也可以通过CPU或者处理器等程序执行部读出并执行记录在硬盘或者半导体存储器等记录介质的软件程序来实现。
工业上利用的可能性
本发明的通信系统能够应用于例如用于通过沿着设置在顶棚的轨道行驶的输送台车输送FOUP的半导体制造系统等。
附图标记的说明
2…通信系统
4…输送台车
6、6a、6b、6c、6d、6e、6f…半导体制造装置
8、8a、8b、8c、8d、8e、8f…通信设备
10…无线接入点
12…通信装置
14…FOUP
16…轨道
18…把持部
20…搬入搬出口
22、22a、22b、22c、22d、22e、22f…载置口
24…并行电缆
26…无线网络
28、46…广域无线通信部
30、34、48、52…天线
32、50…近距离无线通信部
36、40、44、54…控制部
38、42…通信部
56…取得部
58、60…数据帧。

Claims (6)

1.一种通信装置，是对用于输送被输送物的输送台车、和连接于在与上述输送台车之间移载上述被输送物的移载装置的通信设备之间的通信进行中继的通信装置，其具备：
广域无线通信部，其经由广域无线通信基站，在与上述输送台车之间通过广域无线通信收发信息；
近距离无线通信部，其在与上述通信设备之间通过比上述广域无线通信窄的通信范围的近距离无线通信收发信息；以及
控制部，其将上述广域无线通信部接收到的信息从广域无线通信用的信息转换为近距离无线通信用的信息并向上述近距离无线通信部输出，且将上述近距离无线通信部接收到的信息从近距离无线通信用的信息转换为广域无线通信用的信息并向上述广域无线通信部输出。
2.根据权利要求1所述的通信装置，其中，
(i)在上述输送台车在与上述移载装置之间移载上述被输送物之前向与上述移载装置接近的方向行驶过程中，或者在与上述移载装置之间移载上述被输送物之后向远离上述移载装置的方向行驶过程中，向上述通信设备发送信息的情况下
上述广域无线通信部经由上述广域无线通信基站，通过上述广域无线通信接收来自上述输送台车的信息，
上述控制部将上述广域无线通信部接收到的信息从广域无线通信用的信息转换为近距离无线通信用的信息并向上述近距离无线通信部输出，
上述近距离无线通信部通过上述近距离无线通信将由上述控制部转换后的信息向上述通信设备发送，
(ii)在上述输送台车在与上述移载装置之间移载上述被输送物之前向与上述移载装置接近的方向行驶过程中，或者在与上述移载装置之间移载上述被输送物之后向远离上述移载装置的方向行驶过程中时，上述通信设备向上述输送台车发送信息的情况下
上述近距离无线通信部通过上述近距离无线通信接收来自上述通信设备的信息，
上述控制部将上述近距离无线通信部接收到的信息从近距离无线通信用的信息转换为广域无线通信用的信息并向上述广域无线通信部输出，
上述广域无线通信部经由上述广域无线通信基站，通过上述广域无线通信将由上述控制部转换后的信息向上述输送台车发送。
3.根据权利要求2所述的通信装置，其中，
上述通信装置还具备取得部，该取得部在上述输送台车的行驶过程中，取得表示该输送台车以外的其它输送台车与上述通信设备的通信状况的通信状况信息，
上述广域无线通信部将由上述取得部取得的通信状况信息经由上述广域无线通信基站并通过上述广域无线通信向行驶中的该输送台车发送。
4.根据权利要求2所述的通信装置，其中，
上述通信装置还具备取得部，该取得部在上述输送台车的行驶过程中，取得表示该输送台车以外的其它输送台车的位置的位置信息，
上述广域无线通信部将由上述取得部取得的位置信息经由上述广域无线通信基站并通过上述广域无线通信向行驶中的该输送台车发送。
5.一种通信装置的控制方法，是对用于输送被输送物的输送台车、和连接于在与上述输送台车之间移载上述被输送物的移载装置的通信设备之间的通信进行中继的通信装置的控制方法，其包含以下步骤：
(a)经由广域无线通信基站，通过广域无线通信接收来自上述输送台车的信息的步骤；
(b)将在上述(a)中接收到的信息从广域无线通信用的信息转换为近距离无线通信用的信息的步骤；
(c)通过比上述广域无线通信窄的通信范围的近距离无线通信，将在上述(b)中转换后的信息向上述通信设备发送的步骤；
(d)通过上述近距离无线通信接收来自上述通信设备的信息的步骤；
(e)将在上述(d)中接收到的信息从近距离无线通信用的信息转换为广域无线通信用的信息的步骤；以及
(f)经由上述广域无线通信基站，通过上述广域无线通信将在上述(e)中转换后的信息向上述输送台车发送的步骤。
6.一种通信系统，其具备：
输送台车，其用于输送被输送物；
通信设备，其连接于在与上述输送台车之间移载上述被输送物的移载装置；以及
通信装置，其对上述输送台车与上述通信设备之间的通信进行中继，
上述输送台车具有经由广域无线通信基站，在与上述通信装置之间通过广域无线通信收发信息的第一通信部，
上述通信设备具有在与上述通信装置之间通过比上述广域无线通信窄的通信范围的近距离无线通信收发信息的第二通信部，
上述通信装置具有：
广域无线通信部，其经由上述广域无线通信基站，在与上述输送台车的上述第一通信部之间通过上述广域无线通信收发信息；
近距离无线通信部，其在与上述通信设备的上述第二通信部之间通过上述近距离无线通信收发信息；以及
控制部，其将上述广域无线通信部接收到的信息从广域无线通信用的信息转换为近距离无线通信用的信息并向上述近距离无线通信部输出，且将上述近距离无线通信部接收到的信息从近距离无线通信用的信息转换为广域无线通信用的信息并向上述广域无线通信部输出。
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