CN115922074A - 一种含易燃金属靶材组件的激光焊接方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种含易燃金属靶材组件的激光焊接方法，所述激光焊接方法包括如下步骤：(1)将激光对焦于含易燃金属靶材组件焊接缝的0.4‑0.6mm深度处进行第一轰击，形成水滴状孔洞；(2)步骤(1)所得水滴状孔洞经第二轰击、第三轰击、第四轰击以及融平处理，得到焊接孔洞；(3)采用焊丝熔融填充步骤(2)所得焊接孔洞至焊丝高于焊接孔洞的边沿，然后进行抛平处理，得到所述含易燃金属靶材组件。本发明将激光对焦点置于靶材组件内部进行高功率轰击，进而将细小气泡排出，将熔融金属的褶皱融平，从而得到平整光滑的焊接孔洞，有利于提高焊接结合处的焊接强度与密封性。

Description

一种含易燃金属靶材组件的激光焊接方法

技术领域

本发明属于半导体技术领域，涉及一种激光焊接方法，具体涉及一种含易燃金属靶材组件的激光焊接方法。

背景技术

在半导体靶材组件的加工制造中，经常需要对含有锌、镁或铝等易燃金属的组件进行结合焊接，当靶材组件具有薄壁(厚度在1mm以内)或尺寸较大时，无法使用真空或保护气体焊接方式，通常采用激光焊接或氩弧焊接的方法进行靶材组件的焊接。

CN 113909642A提供了一种铝旋转靶材的连接方法，所述铝旋转靶材包括铝管和铝合金法兰端头，所述铝管的两端设有内螺纹，所述铝合金法兰端头上设有外螺纹，通过所述内螺纹与所述外螺纹将所述铝管和所述铝合金法兰端头进行螺纹连接，将所述铝管和所述铝合金法兰端头的连接处进行氩弧焊，得到铝旋转靶材。但该发明采用氩弧焊进行组件连接处的焊接，会导致铝组件氧化，外观变色，从而降低焊接强度，无法达到焊接要求。

CN 107953084A公开了一种高纯铝旋转靶材的制造方法，包括步骤：选取高纯铝圆锭，对其进行热穿孔挤压处理，得到高纯铝管坯；然后进行矫直、退火处理；选取铝合金为靶材端头材料，对其进行表面硬质氧化处理，得到铝合金端头；将高纯铝管坯铝合金端头进行焊接，得到高纯铝旋转靶材。该发明制得的高纯铝旋转靶材，显微组织细小均匀，内部缺陷少，但采用激光焊接时为抑制易燃金属气化形成溅射，会降低功率，从而导致熔点过浅，无法承受较大的强度。

CN 107127451A公开了一种动力电池低能耗激光焊接工艺，包括以下工艺步骤：a.对金属件焊接区域的表面用激光打标机进行打毛处理；b.将金属件置于动力电池的金属壳体上，调节好激光焊接头的激光光束焦点位置；c.激光焊接头工作，对金属件焊接区域表面发射激光，进行激光焊接，并实时对激光焊接头的焊接处喷射助燃氧气；d.金属件焊接在动力电池的金属壳体上，完成激光焊接。该发明采用激光焊接时将激光对焦点置于材料表面，会进一步降低焊接强度。

针对现有技术的不足，亟需提供一种靶材组件结合点的焊接强度高与密封性好的焊接方法。

发明内容

本发明的目的在于提供一种含易燃金属靶材组件的激光焊接方法，采用高功率激光进行含易燃金属靶材组件的焊接，同时设置激光对焦点于焊接材料内部，使得含易燃金属靶材组件的焊接结合点具有较高的强度与密封性。

为达到此发明目的，本发明采用以下技术方案：

本发明提供了一种含易燃金属靶材组件的激光焊接方法，所述激光焊接方法包括如下步骤：

(1)将激光对焦于含易燃金属靶材组件焊接缝的0.4-0.6mm深度处进行第一轰击，形成水滴状孔洞；

(2)步骤(1)所得水滴状孔洞经第二轰击、第三轰击、第四轰击以及融平处理，得到焊接孔洞；

(3)采用焊丝熔融填充步骤(2)所得焊接孔洞至焊丝高于焊接孔洞的边沿，然后进行抛平处理，得到所述含易燃金属靶材组件。

本发明提供的激光焊接方法，将激光对焦点置于靶材组件的内部，同时对水滴状孔洞进行多次轰击，进而将大功率逸散能量形成的细小气泡排出，将熔融金属形成的褶皱融平，从而得到平整光滑、表面无氧化层的焊接孔洞，显著提高了焊接结合点的焊接强度与密封性。

步骤(1)所述水滴状孔洞为内部大、口部小的孔洞。

步骤(1)所述水滴状孔洞的底部形成部分熔融金属。

所述激光对焦于焊接缝的深度为0.4-0.6mm，例如可以是0.4mm、0.45mm、0.5mm、0.55mm或0.6mm，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用。

将所述激光焦点定在含易燃金属靶材组件的表面上时，溅射凹坑较浅；而将激光的焦点预埋，初步挖槽焦点位于表面下方，焦点较大，但较高的功率可以将易燃金属熔化溅射形成较深的凹坑，在凹坑底部即焦点处，再进行多次轰击以及后续处理，可获得光滑、无氧化层的焊接孔洞。

优选地，步骤(1)所述含易燃金属靶材组件包括易燃金属靶材组件或易燃金属合金靶材组件。

优选地，所述易燃金属靶材组件中易燃金属包括锌、镁或铝中的任意一种。

优选地，所述易燃金属合金靶材组件中易燃金属合金包括镁、钛、锡或锌中的至少两种的组合，典型但非限制性的组合包括镁与钛的组合，钛、锡与锌的组合，或镁、钛、锡与锌的组合。

优选地，所述易燃金属的激光熔融功率为30-60W，例如可以是30W、35W、40W、50W或60W，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用。

优选地，所述易燃金属合金的激光熔融功率为30-60W，例如可以是30W、35W、40W、50W或60W，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用。

优选地，步骤(1)所述第一轰击的功率为易燃金属合金的激光熔融功率的390-410％，例如可以是390％、395％、400％、405％或410％，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用。

优选地，步骤(1)所述第一轰击在保护性气氛中进行，所述保护性气氛包括氩气。

所述第一轰击时，如产生较为严重的溅射，可以增加保护气体抑制金属气化形成的溅射。

所述第一轰击的功率采用较高功率，具体设定为易燃金属合金的激光熔融功率的390-410％，是由于高功率焊接可以得到更深的焊接槽，所述焊接槽的横切面为圆形或三角形，顶部因气孔由轻微收缩，完成焊接后可以提高焊接材料的熔融面积与强度。

优选地，步骤(1)所述水滴状孔洞的深度为1.8-2.2mm，例如可以是1.8mm、1.9mm、2mm、2.1mm或2.2mm，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用。

优选地，步骤(2)所述第二轰击的功率为第一轰击的功率的73-77％，例如可以是73％、74％、75％、76％或77％，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用。

优选地，步骤(2)所述第三轰击的功率为第一轰击的功率的48-52％，例如可以是48％、49％、50％、51％或52％，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用。

优选地，步骤(2)所述第四轰击的功率为易燃金属合金的激光熔融功率的99-101％，例如可以是99％、99.5％、100％、100.5％或101％，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用。

优选地，步骤(2)所述融平处理的功率为易燃金属合金的激光熔融功率的68-72％，例如可以是68％、69％、70％、71％或72％，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用。

本发明在高功率的第一轰击下形成水滴状孔洞后，对水滴状孔洞再进行功率依次递减的第二轰击、第三轰击、第四轰击以及融平处理，可以将高功率轰击下形成的气泡破碎进而排出水滴状孔洞，同时将孔洞底部因余热形成的部分熔融金属的褶皱融平，最终得到利于提高焊接强度的平滑焊接孔洞。

优选地，步骤(3)所述焊丝的材质与所述含易燃金属靶材组件所含易燃金属相同。

依据焊接结合点的焊接强度需要，可选择相应材质的焊丝进行熔融填充。

优选地，步骤(3)所述熔融填充的方式包括堆叠熔融填充。

优选地，步骤(3)所述焊丝高于焊接孔洞的边沿0.5-2mm，例如可以是0.5mm、0.8mm、1mm、1.5mm或2mm，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用。

优选地，步骤(3)所述抛平处理的步骤包括：将高于焊接孔洞边沿的凸起修整至焊丝与焊接孔洞的边沿齐平。

作为本发明所述的激光焊接方法的优选技术方案，所述激光焊接方法包括如下步骤：

(1)将激光对焦于含易燃金属靶材组件焊接缝的0.4-0.6mm深度处，在保护性气氛中进行第一轰击，形成1.8-2.2mm深度的水滴状孔洞；

所述含易燃金属靶材组件包括易燃金属靶材组件或易燃金属合金靶材组件；所述易燃金属靶材组件中易燃金属包括锌、镁或铝中的任意一种；所述易燃金属合金靶材组件中易燃金属合金包括镁、钛、锡或锌中的至少两种的组合；所述易燃金属的激光熔融功率为30-60W；所述易燃金属合金的激光熔融功率为30-60W；所述第一轰击的功率为易燃金属合金的激光熔融功率的390-410％；

(2)步骤(1)所得水滴状孔洞经第二轰击、第三轰击、第四轰击以及融平处理，得到焊接孔洞；

所述第二轰击的功率为第一轰击的功率的73-77％；所述第三轰击的功率为第一轰击的功率的48-52％；所述第四轰击的功率为易燃金属合金的激光熔融功率的99-101％；所述融平处理的功率为易燃金属合金的激光熔融功率的68-72％；

(3)采用焊丝堆叠熔融填充步骤(2)所得焊接孔洞至焊丝高于焊接孔洞的边沿0.5-2mm，然后将高于焊接孔洞边沿的凸起修整至焊丝与焊接孔洞的边沿齐平，得到所述含易燃金属靶材组件。

相对于现有技术，本发明具有以下有益效果：

本发明提供的激光焊接方法，将激光对焦点置于靶材组件的内部，同时进行多次高功率轰击，进而将大功率逸散能量形成的细小气泡排出，将熔融金属形成的褶皱融平，从而得到平整光滑、表面无氧化层的焊接孔洞，有利于提高焊接结合处的焊接强度与密封性，焊接强度可达302MPa，密封性良好，可满足作为靶材组件的使用要求。

附图说明

图1是本发明实施例1提供的激光焊接方法中镁钛合金靶材组件的示意图；

图2是本发明实施例1提供的激光焊接方法中第一轰击后镁钛合金靶材组件的示意图；

图3是本发明实施例1提供的激光焊接方法中融平处理后镁钛合金靶材组件的示意图；

图4是本发明实施例1提供的激光焊接方法中焊丝熔融填充后镁钛合金靶材组件的示意图；

图5是本发明实施例1提供的激光焊接方法中焊丝高于焊接孔洞的边沿时镁钛合金靶材组件的示意图；

图6是本发明实施例1提供的激光焊接方法中抛平处理后镁钛合金靶材组件的示意图。

具体实施方式

下面通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。本领域技术人员应该明了，所述实施例仅仅是帮助理解本发明，不应视为对本发明的具体限制。

实施例1

本实施例提供了一种镁钛合金靶材组件的激光焊接方法，所述镁钛合金靶材组件的示意图如图1所示，所述激光焊接方法包括如下步骤：

(1)将激光对焦于镁钛合金靶材组件焊接缝的0.5mm深度处，在氩气中进行第一轰击，形成2mm深度的水滴状孔洞，如图2所示；

所述镁钛合金的激光熔融功率为60W；所述第一轰击的功率为镁钛合金的激光熔融功率的400％；

(2)步骤(1)所得水滴状孔洞经第二轰击、第三轰击、第四轰击以及融平处理，得到焊接孔洞，如图3所示；

所述第二轰击的功率为第一轰击的功率的75％；所述第三轰击的功率为第一轰击的功率的50％；所述第四轰击的功率为镁钛合金的激光熔融功率的100％；所述融平处理的功率为镁钛合金的激光熔融功率的70％；

(3)采用镁钛合金焊丝堆叠熔融填充步骤(2)所得焊接孔洞，如图4所示，堆叠熔融填充至焊丝高于焊接孔洞的边沿1mm，如图5所示，然后将高于焊接孔洞边沿的凸起修整至焊丝与焊接孔洞的边沿齐平，如图6所示，得到所述镁钛合金靶材组件。

实施例2

本实施例提供了一种镁钛合金靶材组件的激光焊接方法，所述激光焊接方法包括如下步骤：

(1)将激光对焦于镁钛合金靶材组件焊接缝的0.55mm深度处，在氩气中进行第一轰击，形成2.1mm深度的水滴状孔洞；

所述镁钛合金的激光熔融功率为60W；所述第一轰击的功率为镁钛合金的激光熔融功率的405％；

(2)步骤(1)所得水滴状孔洞经第二轰击、第三轰击、第四轰击以及融平处理，得到焊接孔洞；

所述第二轰击的功率为第一轰击的功率的76％；所述第三轰击的功率为第一轰击的功率的51％；所述第四轰击的功率为镁钛合金的激光熔融功率的100.5％；所述融平处理的功率为镁钛合金的激光熔融功率的71％；

(3)采用镁钛合金焊丝堆叠熔融填充步骤(2)所得焊接孔洞至焊丝高于焊接孔洞的边沿0.8mm，然后将高于焊接孔洞边沿的凸起修整至焊丝与焊接孔洞的边沿齐平，得到所述镁钛合金靶材组件。

实施例3

本实施例提供了一种镁钛合金靶材组件的激光焊接方法，所述激光焊接方法包括如下步骤：

(1)将激光对焦于镁钛合金靶材组件焊接缝的0.45mm深度处，在氩气中进行第一轰击，形成1.9mm深度的水滴状孔洞；

所述镁钛合金的激光熔融功率为60W；所述第一轰击的功率为镁钛合金的激光熔融功率的395％；

(2)步骤(1)所得水滴状孔洞经第二轰击、第三轰击、第四轰击以及融平处理，得到焊接孔洞；

所述第二轰击的功率为第一轰击的功率的74％；所述第三轰击的功率为第一轰击的功率的49％；所述第四轰击的功率为镁钛合金的激光熔融功率的99.5％；所述融平处理的功率为镁钛合金的激光熔融功率的69％；

(3)采用镁钛合金焊丝堆叠熔融填充步骤(2)所得焊接孔洞至焊丝高于焊接孔洞的边沿1.5mm，然后将高于焊接孔洞边沿的凸起修整至焊丝与焊接孔洞的边沿齐平，得到所述镁钛合金靶材组件。

实施例4

本实施例提供了一种镁钛合金靶材组件的激光焊接方法，所述激光焊接方法包括如下步骤：

(1)将激光对焦于镁钛合金靶材组件焊接缝的0.6mm深度处，在氩气中进行第一轰击，形成2.2mm深度的水滴状孔洞；

所述镁钛合金的激光熔融功率为60W；所述第一轰击的功率为镁钛合金的激光熔融功率的410％；

(2)步骤(1)所得水滴状孔洞经第二轰击、第三轰击、第四轰击以及融平处理，得到焊接孔洞；

所述第二轰击的功率为第一轰击的功率的77％；所述第三轰击的功率为第一轰击的功率的52％；所述第四轰击的功率为镁钛合金的激光熔融功率的101％；所述融平处理的功率为镁钛合金的激光熔融功率的72％；

(3)采用镁钛合金焊丝堆叠熔融填充步骤(2)所得焊接孔洞至焊丝高于焊接孔洞的边沿0.5mm，然后将高于焊接孔洞边沿的凸起修整至焊丝与焊接孔洞的边沿齐平，得到所述镁钛合金靶材组件。

实施例5

本实施例提供了一种镁钛合金靶材组件的激光焊接方法，所述激光焊接方法包括如下步骤：

(1)将激光对焦于镁钛合金靶材组件焊接缝的0.4mm深度处，在氩气中进行第一轰击，形成1.8mm深度的水滴状孔洞；

所述镁钛合金的激光熔融功率为60W；所述第一轰击的功率为镁钛合金的激光熔融功率的390％；

(2)步骤(1)所得水滴状孔洞经第二轰击、第三轰击、第四轰击以及融平处理，得到焊接孔洞；

所述第二轰击的功率为第一轰击的功率的73％；所述第三轰击的功率为第一轰击的功率的48％；所述第四轰击的功率为镁钛合金的激光熔融功率的99％；所述融平处理的功率为镁钛合金的激光熔融功率的68％；

(3)采用镁钛合金焊丝堆叠熔融填充步骤(2)所得焊接孔洞至焊丝高于焊接孔洞的边沿2mm，然后将高于焊接孔洞边沿的凸起修整至焊丝与焊接孔洞的边沿齐平，得到所述镁钛合金靶材组件。

实施例6

本实施例提供了一种镁钛合金靶材组件的激光焊接方法，与实施例1的区别在于，步骤(1)所述第一轰击的功率调整为镁钛合金的激光熔融功率的350％，其余均与实施例1相同。

实施例7

本实施例提供了一种镁钛合金靶材组件的激光焊接方法，与实施例1的区别在于，步骤(1)所述第一轰击的功率调整为镁钛合金的激光熔融功率的450％，其余均与实施例1相同。

实施例8

本实施例提供了一种锡锌合金靶材组件的激光焊接方法，与实施例1的区别在于，将镁钛合金靶材组件替换为锡锌合金靶材组件，将所述锡锌合金的激光熔融功率调整为50W，其余均与实施例1相同。

实施例9

本实施例提供了一种镁靶材组件的激光焊接方法，与实施例1的区别在于，将镁钛合金靶材组件替换为镁靶材组件，将所述镁的激光熔融功率调整为30W，其余均与实施例1相同。

对比例1

本对比例提供了一种镁钛合金靶材组件的激光焊接方法，与实施例1的区别在于，除将步骤(1)所述激光对焦于镁钛合金靶材组件焊接缝的0.2mm深度处外，其余均与实施例1相同。

对比例2

本对比例提供了一种镁钛合金靶材组件的激光焊接方法，与实施例1的区别在于，除将步骤(1)所述激光对焦于镁钛合金靶材组件焊接缝的0.8mm深度处外，其余均与实施例1相同。

对比例3

本对比例提供了一种镁钛合金靶材组件的激光焊接方法，与实施例1的区别在于，除将步骤(1)所述第一轰击的功率调整为镁钛合金的激光熔融功率的100％，无步骤(2)所述第二轰击、第三轰击、第四轰击，其余均与实施例1相同。

对比例4

本对比例提供了一种镁钛合金靶材组件的激光焊接方法，与实施例1的区别在于，将步骤(2)与步骤(3)合并调整为：步骤(1)所得水滴状孔洞经镁钛合金焊丝堆叠填充、第二轰击、焊丝堆叠填充、第三轰击、焊丝堆叠填充以及第四轰击至焊丝高于焊接孔洞的边沿1mm，然后将高于焊接孔洞边沿的凸起修整至焊丝与焊接孔洞的边沿齐平，得到所述镁钛合金靶材组件，其余均与实施例1相同。

对比例5

本对比例提供了一种镁钛合金靶材组件的激光焊接方法，与实施例1的区别在于，无步骤(2)所述融平处理，其余均与实施例1相同。

对比例6

本对比例提供了一种镁钛合金靶材组件的焊接方法，所述焊接方法采用1600W的氩弧焊进行镁钛合金靶材组件的焊接。

采用实施例1-9以及对比例1-6提供的焊接方法得到含易燃金属靶材组件，加工成同种材质的2枚金属圆柱，1号圆柱直径为32mm，厚度为15mm，中间加工12mm的通孔；2号圆柱直径为20mm，厚度为10mm，在焊接面贴合面加工2mm倒角，将圆柱圆面贴合，贴合面上下形成2mm沟槽，填补后进行密封性检查，将密封效果分为三个等级：“良好”、“一般”以及“较差”，然后进行焊接强度测试，所得结果如表1所示。

表1

	焊接强度(MPa)	密封效果
			实施例1	302	良好
实施例2	242	良好
			实施例3	226	良好
实施例4	176	一般
			实施例5	158	一般
实施例6	126	较差
			实施例7	118	较差
实施例8	372	良好
			实施例9	368	良好
对比例1	132	较差
			对比例2	158	一般
对比例3	96	较差
			对比例4	154	一般
对比例5	102	较差
			对比例6	材料飞溅，无法焊接	-

通过表1可以看出，采用本发明提供的激光焊接方法，所得易燃金属合金靶材组件具有良好的焊接强度与密封性；

由实施例1与实施例6、7对比可知，第一轰击的功率过小或过大，对后续靶材组件的焊接强度与密封性带来不利影响；由实施例1与实施例8、9对比可知，采用不同种类的易燃金属合金进行激光焊接，其焊接强度与密封性仍然能够得到较好的保证；

由实施例1与对比例1、2对比可知，激光对焦点对焦在焊接缝的过小深度靶材组件的焊接强度与密封性均有所下降；深度过大，效果也无法保证；由实

施例1与对比例3对比可知，采用易燃金属合金的激光熔融功率进行轰击，较低的功率会进一步降低焊接结合处的焊接强度，且无多次轰击的情况下，水滴状孔洞的气泡无法彻底排出，金属褶皱难以抚平，从而降低焊接结合处的焊接强度与密封效果；由实施例1与对比例4对比可知，填焊料再轰击的方法无法造成较深的焊接坑，如采用激光熔融的焊接功率，则焊接强度过低，如提高功率会导致焊接基坑面毛糙，产生较多气孔从而影响密封性；由实施例1与对比例5对比可知，无融平处理，所得焊接孔洞的表面粗糙不平整，会导致焊接强度，明显下降；由实施例1与对比例6对比可知，采用氩弧焊接易燃金属合金靶材组件，会导致靶材组件表面产生飞溅，无法达到焊接要求。

综上所述，本发明提供的激光焊接方法，将激光对焦点置于靶材组件的内部，同时进行多次高功率轰击，进而将大功率逸散能量形成的细小气泡排出，将熔融金属形成的褶皱融平，从而得到平整光滑、表面无氧化层的焊接孔洞，有利于提高焊接结合点的焊接强度与密封性，焊接强度可达302MPa，密封性良好，可满足作为靶材组件的使用要求。

以上所述仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，所属技术领域的技术人员应该明了，任何属于本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，均落在本发明的保护范围和公开范围之内。

Claims (10)

1.一种含易燃金属靶材组件的激光焊接方法，其特征在于，所述激光焊接方法包括如下步骤：

(1)将激光对焦于含易燃金属靶材组件焊接缝的0.4-0.6mm深度处进行第一轰击，形成水滴状孔洞；

(2)步骤(1)所得水滴状孔洞经第二轰击、第三轰击、第四轰击以及融平处理，得到焊接孔洞；

(3)采用焊丝熔融填充步骤(2)所得焊接孔洞至焊丝高于焊接孔洞的边沿，然后进行抛平处理，得到所述含易燃金属靶材组件。

2.根据权利要求1所述的激光焊接方法，其特征在于，步骤(1)所述含易燃金属靶材组件包括易燃金属靶材组件或易燃金属合金靶材组件；

优选地，所述易燃金属靶材组件中易燃金属包括锌、镁或铝中的任意一种；

优选地，所述易燃金属合金靶材组件中易燃金属合金包括镁、钛、锡或锌中的至少两种的组合。

3.根据权利要求2所述的激光焊接方法，其特征在于，所述易燃金属的激光熔融功率为30-60W；

优选地，所述易燃金属合金的激光熔融功率为30-60W。

4.根据权利要求3所述的激光焊接方法，其特征在于，步骤(1)所述第一轰击的功率为易燃金属合金的激光熔融功率的390-410％；

优选地，步骤(1)所述第一轰击在保护性气氛中进行，所述保护性气氛包括氩气。

5.根据权利要求1-4任一项所述的激光焊接方法，其特征在于，步骤(1)所述水滴状孔洞的深度为1.8-2.2mm。

6.根据权利要求3-5任一项所述的激光焊接方法，其特征在于，步骤(2)所述第二轰击的功率为第一轰击的功率的73-77％；

优选地，步骤(2)所述第三轰击的功率为第一轰击的功率的48-52％；

优选地，步骤(2)所述第四轰击的功率为易燃金属合金的激光熔融功率的99-101％。

7.根据权利要求3-6任一项所述的激光焊接方法，其特征在于，步骤(2)所述融平处理的功率为易燃金属合金的激光熔融功率的68-72％。

8.根据权利要求1-7任一项所述的激光焊接方法，其特征在于，步骤(3)所述焊丝的材质与所述含易燃金属靶材组件所含易燃金属相同；

优选地，步骤(3)所述熔融填充的方式包括堆叠熔融填充；

优选地，步骤(3)所述焊丝高于焊接孔洞的边沿0.5-2mm。

9.根据权利要求1-8任一项所述的激光焊接方法，其特征在于，步骤(3)所述抛平处理的步骤包括：将高于焊接孔洞边沿的凸起修整至焊丝与焊接孔洞的边沿齐平。

10.根据权利要求1-9任一项所述的激光焊接方法，其特征在于，所述激光焊接方法包括如下步骤：

(1)将激光对焦于含易燃金属靶材组件焊接缝的0.4-0.6mm深度处，在保护性气氛中进行第一轰击，形成1.8-2.2mm深度的水滴状孔洞；

所述含易燃金属靶材组件包括易燃金属靶材组件或易燃金属合金靶材组件；所述易燃金属靶材组件中易燃金属包括锌、镁或铝中的任意一种；所述易燃金属合金靶材组件中易燃金属合金包括镁、钛、锡或锌中的至少两种的组合；所述易燃金属的激光熔融功率为30-60W；所述易燃金属合金的激光熔融功率为30-60W；所述第一轰击的功率为易燃金属合金的激光熔融功率的390-410％；

(2)步骤(1)所得水滴状孔洞经第二轰击、第三轰击、第四轰击以及融平处理，得到焊接孔洞；

所述第二轰击的功率为第一轰击的功率的73-77％；所述第三轰击的功率为第一轰击的功率的48-52％；所述第四轰击的功率为易燃金属合金的激光熔融功率的99-101％；所述融平处理的功率为易燃金属合金的激光熔融功率的68-72％；

(3)采用焊丝堆叠熔融填充步骤(2)所得焊接孔洞至焊丝高于焊接孔洞的边沿0.5-2mm，然后将高于焊接孔洞边沿的凸起修整至焊丝与焊接孔洞的边沿齐平，得到所述含易燃金属靶材组件。

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