CN115483126B - 一种用于将基板传送机器人在真空室内行走的行走机器人 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种用于使基板传送机器人在真空室内行走的行走机器人，包括：升降部，其位于密封真空室内部的壳体的外侧下部区域，上端与在壳体下部区域形成的真空室通孔密封连接，将形成有中空的升降驱动轴在真空室通孔内上下运动；行走臂平台，其包括第1_1结合孔、第1_2结合孔和第1_3结合孔；第1行走臂部包括第1_1行走连杆臂及第1_2行走连杆臂；第2行走臂部包括第2_1行走连杆臂及第2_2行走连杆臂；传送机器人结合部，其第2前端区域可旋转地结合到第1_2行走连杆臂的第1_2另一前端区域，第2另一前端区域可旋转地结合到第2_2行走连杆臂的第2_2另一前端区域，在第2中央区域形成有带中空的旋转驱动轴密封结合到用于传送基板的基板传送机器人的旋转驱动电机。

Description

一种用于将基板传送机器人在真空室内行走的行走机器人

技术领域

本发明涉及一种行走机器人，更具体地，涉及一种用于在真空室中使基板传送机器人行走的行走机器人，所述基板传送机器人在基板处理装置中的真空室传送基板。

背景技术

通常，半导体器件用晶片、显示装置用玻璃基板或薄膜太阳能电池用玻璃基板等基板通过对基板实施各种工艺来制备。此时，基板在为每个工艺提供最佳条件的基板处理装置中装载以进行处理。

目前，为了提高生产率，已经开发并使用可共同处理基板的集群（cluster）式基板处理装置。

集群式基板处理装置包括存储基板的负载锁定室、用于传送基板的传送室、以及用于执行每个工艺的多个工艺室。

另外，用于传送基板的基板传送机器人设置于真空状态的传送室，并可以将基板从负载锁定室传送到传送室、将基板从传送室传送到负载锁定室、在传送室之间传送基板，或传送基板以将其引入和引出到传送室中。

近来，为了应对基板的大型化，提高基板处理能力，正在研究将可在一个工艺室中处理两个基板的结构或四个工艺室以相等间隔设置于传送室的八边形结构改变为工艺室设置于传送室的基板传送路径两侧的四边形结构等。

尤其，当将两个基板设置于一个工艺室时，对应于相对于每个基板的位置的偏移，在四边形结构中，为了对应于各个工艺室的安装位置，可能不可避免地伴随着相对于基板传送机器人的位置移动。

为此，已经提出一种在传送室中设置诸如轨道之类的传送路径且使得传送机器人在传送路径上行走的方法。

然而，当传送室内设置诸如轨道之类的传送路径时，由于需要在传送室内设置用于形成传送路径的结构，然后在该结构的上部设置基板传送机器人，因此不仅难以设置基板传送机器人，而且事后对基板传送机器人进行维护也很困难。

现有技术文献

（专利文献1）KR10-2019-0072373A

（专利文献2）KR10-2012-0024021A

发明内容

本发明的目的在于解决所有上述问题。

本发明的另一目的在于提供一种用于将基板传送机器人在真空室内行走的行走机器人。

本发明的另一目的还在于可容易地设置用于使基板传送机器人在真空室中行走的行走机器人。

本发明的另一目的还在于可便于维护用于使设置在真空室中的基板传送机器人行走的行走机器人。

本发明的另一目的还在于提供一种可在保持真空室的真空状态的同时使基板传送机器人行走的行走机器人。

为了实现上述本发明的目的并实现后述的本发明的特征效果，本发明的特征结构如下。

根据本发明的一实施例，提供一种用于使基板传送机器人在真空室的内部行走的行走机器人，其特征在于，包括：升降部，其位于密封真空室的内部的壳体的外侧的下部区域，上端与在所述壳体的下部区域中形成的真空室通孔密封结合，使形成有中空的升降驱动轴在所述真空室通孔上下运动；行走臂平台，其包括：第1_1结合孔、其在第1中央区域被形成有与所述升降驱动轴的中空对应的第1_1通孔的第1_1卡止件分为第1_1上部空间和第1_1下部空间，并且所述第1_1上部空间被第1_1盖子密封；第1_2结合孔，其在第1一前端区域被形成有第1_2通孔的第1_2卡止件分为第1_2上部空间和第1_2下部空间，并且所述第1_2下部空间被第1_2盖子密封；和第1_3结合孔，其在第1另一前端区域被形成有第1_3通孔的第1_3卡止件分为第1_3上部空间和第1_3下部空间，并且所述第1_3下部空间被第1_3盖子密封，并且引入所述第1_1下部空间的所述升降驱动轴固定结合到所述第1_1卡止件；第1行走臂部，其包括：第1_1行走连杆臂，其在密封的内部空间设有第1行走驱动电机和与所述第1行走驱动电机联动将转速降低至1/2的第1减速机，与所述第1减速机联动的形成有中空的第1_1驱动轴和与所述第1_1驱动轴联动的第1_1输出轴密封设置于第1_1一前端区域，与所述第1行走驱动电机联动的形成有中空的第1_2驱动轴和与所述第1_2驱动轴联动的第1_2输出轴密封设置于第1_1另一前端区域，所述第1_1输出轴固定结合至第1_1连接件，所述第1_1连接件引入所述行走臂平台的所述第1_2上部空间中并固定结合至所述第1_2卡止件；以及第1_2行走连杆臂，其第1_2一前端区域固定结合至所述第1_1行走连杆臂的所述第1_2输出轴；第2行走臂部，其包括：第2_1行走连杆臂，其在密封的内部空间设有第2行走驱动电机和与所述第2行走驱动电机联动将转速降低至1/2的第2减速机，与所述第2减速机联动的形成有中空的第2_1驱动轴和与所述第2_1驱动轴联动的第2_1输出轴密封设置于第2_1一前端区域，与所述第2行走驱动电机联动的形成有中空的第2_2驱动轴和与所述第2_2驱动轴联动的第2_2输出轴密封设置于第2_1另一前端区域，所述第2_1输出轴固定结合至第1_2连接件，所述第1_2连接件引入所述行走臂平台的所述第1_3上部空间中并固定结合至所述第1_3卡止件；以及第2_2行走连杆臂，其第2_2一前端区域固定结合至所述第2_1行走连杆臂的所述第2_2输出轴；以及传送机器人结合部，其第2一前端区域可旋转地结合到所述第1_2行走连杆臂的第1_2另一前端区域，第2另一前端区域可旋转地结合到所述第2_2行走连杆臂的第2_2另一前端区域，在第2中央区域形成有带中空的旋转驱动轴密封结合到用于传送基板的基板传送机器人的旋转驱动电机。

所述传送机器人结合部还可以包括柔顺件，其在所述第2一前端区域至所述第2另一前端区域中的任意一个前端区域中，响应于外力，在所述传送机器人结合部内改变所述第1_2行走连杆臂的所述第1_2另一前端区域可旋转地结合的位置至所述第2_2行走连杆臂的所述第2_2另一前端区域可旋转地结合的位置中的任意一个位置。

所述柔顺件可以包括：滑动件，其在所述第2一前端区域至所述第2另一前端区域中的任意一个前端区域内部沿所述传送机器人结合部的纵向滑动，并且可旋转地结合到所述第1_2行走连杆臂的所述第1_2另一前端区域至所述2_2行走连杆臂的所述第2_2另一前端区域中的任意一个；和弹性件，其分别形成于所述第2一前端区域至所述第2另一前端区域中任意一个的前端区域内部的所述滑动件的两侧滑动路径上。

所述行走臂平台还可以包括：第1布线孔，其连接所述第1_1上部空间与所述第1_2下部空间；和第2布线孔，其连接所述第1_1上部空间与所述第1_3下部空间。

所述行走臂平台还可以包括：第1_1布线孔和第1_2布线孔，其分别在所述行走臂平台的主体的一侧面连接所述第1_1上部空间；第2_1布线孔，其在所述行走臂平台的主体的一侧面连接所述第1_2下部空间；第2_2布线孔，其在所述行走臂平台的主体的一侧面连接所述第1_3下部空间；第1密封盖子，其在所述行走臂平台的主体的一侧面密封所述第1_1布线孔和所述第2_1布线孔；和第2密封盖子，其在所述行走臂平台的主体的一侧面密封所述第1_2布线孔和所述第2_2布线孔。

所述升降部除了使所述升降驱动轴进行上下运动之外，还可以执行使所述升降驱动轴进行旋转运动的操作。

所述行走机器人还可以包括用于所述第1行走驱动电机工作的第1布线和用于所述第2行走驱动电机工作的第2布线，所述第1布线通过所述升降驱动轴和所述第1_1驱动轴的中空引入所述第1行走驱动电机，以在所述真空室的内部空间被密封，所述第2布线分别通过升降驱动轴和所述第2_1驱动轴的中空引入所述第2行走驱动电机，以在所述真空室的内部空间被密封。

在所述行走机器人中，当将所述行走臂平台的纵向中心线与所述第1_1行走连杆臂的纵向中心线相交的位置称为第1_1接触点，将所述行走臂平台的纵向中心线与所述第2_1行走连杆臂的纵向中心线相交的位置称为第1_2接触点，将所述第1_1行走连杆臂的纵向中心线与所述第1_2行走连杆臂的纵向中心线相交的位置称为第2_1接触点，将所述第2_1行走连杆臂的纵向中心线与所述第2_2行走连杆臂的纵向中心线相交的位置称为第2_2接触点，将所述第1_2行走连杆臂的纵向中心线与所述传送机器人结合部的纵向中心线相交的位置称为第3_1接触点，将所述第2_2行走连杆臂的纵向中心线与所述传送机器人结合部的纵向中心线相交的位置称为第3_2接触点时，使所述第1_1接触点与所述第1_2接触点之间的距离和所述第3_1接触点与所述第3_2接触点之间的距离相等，使所述第1_1接触点与所述第2_1接触点之间的距离、所述第2_1接触点与所述第3_1接触点之间的距离、所述第1_2接触点与所述第2_2接触点之间的距离、和所述第2_2接触点与所述第3_2接触点之间的距离相等，使在所述第1_1接触点处所述行走臂平台与所述第1_1行走连杆臂之间的角度与所述第1_2接触点处的所述行走臂平台与所述第2_1行走连杆臂构成的角度的绝对值相等，使在所述第2_1接触点处所述第1_1行走连杆臂与所述第1_2行走连杆臂构成的角度与所述第2_2接触点处的所述第2_1行走连杆臂与所述第2_2行走连杆臂之间的角度的绝对值相等，使在所述第3_1接触点处所述第1_2行走连杆臂与所述传送机器人结合部构成的角度与在所述第3_2接触点处所述第2_2行走连杆臂与所述传送机器人结合部构成的角度的绝对值相等。

所述第1行走驱动电机和所述第2行走驱动电机可以以相同的方式运行，但旋转方向相反。

所述基板传送机器人可以包括：传送臂平台，其形成有：第2_1结合孔，其在第2中央区域被形成有与所述传送机器人结合部的所述旋转驱动电机的所述旋转驱动轴的中空对应的第2_1通孔的第2_1卡止件分为第2_1上部空间和第2_1下部空间，并且所述第2_1上部空间被第2_1盖子密封；第2_2结合孔，其在第3一前端区域被形成有第2_2通孔的第2_2卡止件分为第2_2上部空间和第2_2下部空间，并且所述第2_2下部空间被第2_2盖子密封；和第2_3结合孔，其在第3另一前端区域被形成有第2_3通孔的第2_3卡止件分为第2_3上部空间和第2_3下部空间，并且所述第2_3下部空间被第2_3盖子密封，并且包括用于连杆结合的第1_1叶片和第1_2叶片的连杆连接件固定结合到前方区域，所述前方为为了将基板传送到与所述真空室结合的工艺室而配置所述基板传送机器人的状态下所述工艺室所处的方向，引入所述第2_1下部空间中的所述旋转驱动电机的所述旋转驱动轴固定结合到所述第2_1卡止件；第1传送臂部，其包括：第1_1传送连杆臂，其在密封的内部空间设有第1传送驱动电机和与所述第1传送驱动电机联动将转速降低至1/2的第3减速机，与所述第3减速机联动的形成有中空的第3_1驱动轴和与所述第3_1驱动轴联动的第3_1输出轴密封设置于第3_1一前端区域，与所述第1传送驱动电机联动的形成有中空的第3_2驱动轴和与所述第3_2驱动轴联动的第3_2输出轴密封设置于第3_1另一前端区域，所述第3_1输出轴固定结合至第2_1连接件，所述第2_1连接件引入所述传送臂平台的所述第2_2上部空间中并固定结合至所述第2_2卡止件；第1_2传送连杆臂，其第3_2一前端区域通过第1固定结合轴固定结合至所述第1_1传送连杆臂的所述第3_2输出轴；第1共用连杆臂，其第4中央区域可旋转地结合到所述第1固定结合轴；第1_1辅助连杆臂，其平行于所述第1_1传送连杆臂，第3_4一前端区域可旋转地结合到所述传送臂平台的所述连杆连接件的所述第1_1叶片，第3_4另一前端区域可旋转地结合到所述第1共用连杆臂的第3_3一前端区域；第1_2辅助连杆臂，其平行于所述第1_2传送连杆臂，第3_5一前端区域可旋转地结合到所述第1共用连杆臂的第3_3另一前端区域；第1_3辅助连杆臂，其平行于所述第1共用连杆臂，第3_6一前端区域可旋转地结合到所述第1_2辅助连杆臂的第3_5另一前端区域，第3_6另一前端区域可旋转地结合到所述第1_2传送连杆臂的第3_2另一前端区域；和第1末端执行器，其固定到所述第1_3辅助连杆臂的所述第3_6另一前端区域以支撑所述基板；以及第2传送臂部，其包括：第2_1传送连杆臂，其在密封的内部空间设有第2传送驱动电机和与所述第2传送驱动电机联动将转速降低至1/2的第4减速机，与所述第4减速机联动的形成有中空的第4_1驱动轴和与所述第4_1驱动轴联动的第4_1输出轴密封设置于第4_1一前端区域，与所述第2传送驱动电机联动的形成有中空的第4_2驱动轴和与所述第4_2驱动轴联动的第4_2输出轴密封设置于第4_1另一前端区域，所述第4_1输出轴固定结合至第2_2连接件，所述第2_2连接件引入所述传送臂平台的所述第2_3上部空间中并固定结合至所述第2_3卡止件；第2_2传送连杆臂，其第4_2一前端区域通过所述第2固定结合轴固定结合至所述第2_1传送连杆臂的所述第4_2输出轴；第2共用连杆臂，其第5中央区域可旋转地结合到所述第2固定结合轴；第2_1辅助连杆臂，其平行于所述第2_1传送连杆臂，第4_4一前端区域可旋转地结合到所述传送臂平台的所述连杆连接件的所述第1_2叶片，第4_4另一前端区域可旋转地结合到所述第2共用连杆臂的第4_3一前端区域；第2_2辅助连杆臂，其平行于所述第2_2传送连杆臂，第4_5一前端区域可旋转地结合到所述第2共用连杆臂的第4_3另一前端区域；第2_3辅助连杆臂，其平行于所述第2共用连杆臂，第4_6一前端区域可旋转地结合到所述第2_2辅助连杆臂的第4_5另一前端区域，第4_6另一前端区域可旋转地结合到所述第2_2传送连杆臂的第4_2另一前端区域；和第2末端执行器，其固定到所述第2_3辅助连杆臂的所述第4_6另一前端区域以支撑所述基板。

所述第1传送臂部的所述第1_1传送连杆臂的所述第3_1另一前端区域可以位于所述传送臂平台的前方区域，所述第2传送臂部的所述第2_1传送连杆臂的所述第4_1另一前端区域可以位于所述传送臂平台的后方区域。

可设置成所述第2固定结合轴的高度高于所述第1固定结合轴的高度，以使得所述第1末端执行器和所述第2末端执行器在同一路径上位于不同的高度。

所述第2共用连杆臂可以包括对应于所述第2固定结合轴的高度且形成有用于引入所述第2固定结合轴的中空的中空管，包括所述第4_3一前端区域的第2_1叶片固定结合到所述中空管的下部区域，包括所述第4_3另一前端区域的第2_2叶片固定结合到所述中空管的上部区域，所述第4_3一前端区域和所述4_3另一前端区域以所述中空管的中心轴为基准对称。

所述传送臂平台还可以包括：第3布线孔，其连接所述第2_1上部空间与所述第2_2下部空间；和第4布线孔，其连接所述第2_1上部空间与所述第2_3下部空间。

所述传送臂平台还可以包括：第3_1布线孔和第3_2布线孔，其分别在所述传送臂平台的主体的一侧面连接所述第2_1上部空间；第4_1布线孔，其在所述传送臂平台的主体的一侧面连接所述第2_2下部空间；第4_2布线孔，其在所述传送臂平台的主体的一侧面连接所述第2_3下部空间；第3密封盖子，其在所述传送臂平台的主体的一侧面密封所述第3_1布线孔和所述第4_1布线孔；和第4密封盖子，其在所述传送臂平台的主体的一侧面密封所述第3_2布线孔和所述第4_2布线孔。

还可以包括用于所述第1传送驱动电机工作的第3布线和用于所述第2传送驱动电机工作的第4布线，所述第3布线分别通过所述升降驱动轴、所述第1_1驱动轴、第1_2驱动轴、所述旋转驱动轴和所述第3_1驱动轴的中空引入所述第1传送驱动电机中，从而在所述真空室的内部空间被密封，所述第4布线分别通过所述升降驱动轴、所述第2_1驱动轴、第2_2驱动轴、所述旋转驱动轴和所述第4_1驱动轴的中空引入所述第2传送驱动电机中，从而在所述真空室的内部空间被密封。

本发明可以通过在真空室内设置行走机器人，使得用于在真空室内传送基板的基板传送机器人行走。

另外，在本发明中，将行走机器人形成为连杆臂结构，可以容易地将行走机器人设置在真空室中，无需设置用于生成传送路径的单独结构。

另外，在本发明中，由于无需安装用于生成传送路径的单独结构而安装形成为连杆臂结构的行走机器人，因此行走机器人的维护很容易。

此外，在本发明中，通过将行走机器人的驱动部形成为密封结构，并在行走机器人内部形成用于操作驱动部的布线，可以提前防止污染源并保持真空室的真空状态。

附图说明

用于描述本发明实施例的以下附图仅为本发明实施例的一部分，并且本发明所属领域的普通技术人员（以下称为“普通技术人员”）可以基于这些附图获得其他附图，而无需进行任何创造性工作。

图1为根据本发明一实施例的设有行走机器人的集群式基板处理装置的一例子的示意图。

图2为根据本发明一实施例的设有行走机器人的集群式基板处理装置的另一例子的示意图。

图3a和图3b为根据本发明一实施例的行走机器人的示意图。

图4a至图4c为根据本发明一实施例的行走机器人的行走臂平台的示意图。

图5为根据本发明一实施例的行走机器人的第1_1行走连杆臂的示意图。

图6为根据本发明一实施例的行走机器人的柔顺件的示意图。

图7为根据本发明一实施例的行走机器人的连杆臂的示意图。

图8a和图8b为根据本发明一实施例的与行走机器人结合的基板传送机器人的示意图。

图9a和图9b为根据本发明一实施例的与行走机器人结合的基板传送机器人的传送臂平台的示意图。

图10为根据本发明一实施例的与行走机器人结合的基板传送机器人的第3_1传送连杆臂的示意图。

图11为根据本发明一实施例的与行走机器人结合的基板传送机器人的第3_1传送连杆臂与第3_2传送连杆臂的连接部分的示意图。

附图标记说明

1000：行走机器人100：升降部

210：行走臂平台220：第1行走臂部

230：第1_1行走连杆臂240：第1_2行走连杆臂

250：第2行走臂部260：第2_1行走连杆臂

270：第2_2行走连杆臂280：传送机器人结合部。

具体实施方式

以下本发明的详细描述参见附图，所述附图以说明方式示出了可以实施本发明的具体实施例，以阐明本发明的目的、技术方案和优点。对这些实施例进行了充分详细的描述，以使本领域技术人员能够实施本发明。

在下文中，将参照作为示例的示出可实施本发明的特定实施例的附图来详细描述本发明。对这些实施例进行了充分详细的描述，以使本领域技术人员能够实施本发明。应当理解，本发明的各种实施例尽管不同但不必相互排斥。例如，本文记载的特定形状、结构及特性在一个实施例中在不超出本发明的精神及范围的前提下可通过其他实施例实现。并且，应当理解，所公开的每个实施例中各组件的位置或配置可在不超出本发明的精神及范围的前提下变更。因此，后述的详细说明并不用于限定本发明，只要能够进行适当的说明，本发明的范围应根据与其权利要求保护范围等同的所有范围和所附的权利要求保护范围而被限定。附图中类似的附图标记在多个方面指示相同或类似的功能。

为了使本领域普通技术人员能够容易地实施本发明，下面将参考附图详细描述本发明的优选实施例。

图1和图2为根据本发明一实施例的设有行走机器人的集群式基板处理装置的示意图。

图1涉及一种基板处理装置，其在作为八边形结构的传送室的真空室VC中设有四个工艺室PC1、PC2、PC3、PC4，每个工艺室可以设置两个基板S1、S2，行走机器人1000固定设置于真空室VC中的特定位置P1处，为了对应于根据每个工艺室中两个基板的位置的偏移，使得用于传送基板的基板传送机器人行走。

作为一例，行走机器人1000在为了对应于特定工艺室PC1中的第1基板S1位置，使基板传送机器人行走以将其位于第1位置P2的状态下，通过旋转基板传送机器人来使基板传送机器人面对第1基板S1位置，从而可以使基板传送机器人在第1基板位置装载基板或从第1基板位置卸载基板。

另外，行走机器人1000在为了对应于特定工艺室PC1中的第2基板S2位置，使基板传送机器人行走以将其位于第2位置P3的状态下，通过旋转基板传送机器人来使基板传送机器人面对第2基板S2位置，从而可以使基板传送机器人在第2基板位置装载基板或从第2基板位置卸载基板。

此外，图2涉及一种基板处理装置，其在作为四边形结构的传送室的真空室VC两侧分别设有两个工艺室PC1、PC2、PC3、PC4，每个工艺室可以设置两个基板，行走机器人1000固定设置于真空室VC中的特定位置P1处，使基板传送机器人行走以对应于每个工艺室的位置和每个工艺室中两个基板的位置。

作为一例，行走机器人1000在为了对应于第1工艺室VC1中的第1基板S1位置，使基板传送机器人行走以将其位于第1位置P2的状态下，通过旋转基板传送机器人来使基板传送机器人面对第1基板位置，从而可以使基板传送机器人在第1基板位置装载基板或从第1基板位置卸载基板。

另外，行走机器人1000在为了对应于第2工艺室PC2中的第2基板S2位置，使基板传送机器人行走以将其位于第2位置P5的状态下，通过旋转基板传送机器人来使基板传送机器人面对第2基板位置，从而可以使基板传送机器人在第2基板位置装载基板或从第2基板位置卸载基板。

所述图1和图2示例性地描述了八边形结构和四边形结构的基板处理装置，但本发明不限于此，在根据本发明一实施例的行走机器人1000固定并设置在各种结构的真空室中特定位置的状态下，可以使基板传送机器人在各种设定路径中行走。此外，根据本发明的一实施例的行走机器人1000可以在所设置的位置进行旋转操作，结合行走机器人1000的旋转角度、基板传送机器人的行走位置和基板传送机器人的旋转角度，为基板传送机器人设置各种行走路径。

图3a和图3b为根据本发明一实施例的行走机器人1000的示意图。

参见图3a和图3b，行走机器人1000可以包括升降部100和机器人主体200，所述机器人主体200结合到升降部100上部并与基板传送机器人结合。

首先，升降部100可以位于密封真空室内部的壳体VC外侧下部区域，上端与在壳体VC下部区域中形成的真空室通孔密封连接，将形成有中空的升降驱动轴101在真空室通孔内上下运动。由此，行走机器人1000可以通过调整基板传送机器人2000的上下位置，将基板传送机器人2000定位在适当的高度以在工艺室等中装载或卸载基板。

另外，除了使升降驱动轴101进行上下运动之外，升降部100还可以执行使升降驱动轴101进行旋转运动的操作。由此，行走机器人1000可以根据升降部100的旋转角度使基板传送机器人2000在各个方向上行走。

接下来，机器人主体200可以包括：与升降部100结合的行走臂平台210；相互对称地与行走臂平台210结合的第1行走臂部220和第2行走臂部250；以及与第1行走臂部220和第2行走臂部250结合且支撑用于传送基板的基板传送机器人2000的传送机器人结合部280，通过第1行走臂部220和第2行走臂部250的操作使传送机器人结合部280前后移动，可以使基板传送机器人2000在真空室内行走。

由此，行走机器人1000在固定于真空室内特定位置的状态下，通过第1行走臂部220和第2行走臂部250的操作使传送机器人结合部280前后移动，使得结合到传送机器人结合部280的基板传送机器人2000行走以将基板传送机器人200定位在所设定的位置，即用于装载或卸载基板的工艺室等，并且通过升降部100的上下运动来调整基板传送机器人2000在高度方向上的位置，使得基板传送机器人2000可以在工艺室等中装载或卸载基板。

下面将更详细地描述根据本发明一实施例的行走机器人1000。

首先，行走臂平台210可以结合至升降部100。

此时，参见图4a至图4b，行走臂平台210可以包括形成于第1中央区域的第1_1结合孔211、形成于第1一前端区域的第1_2结合孔212和形成于第1另一前端区域的第1_3结合孔213。

第1_1结合孔211可以在第1中央区域被形成有与升降部100的升降驱动轴101的中空对应的第1_1通孔的第1_1卡止件分为第1_1上部空间211_1和第1_1下部空间211-2，并第1_1上部空间211_1被第1_1盖子214密封。

并且，第1_2结合孔212可以在第1一前端区域被形成有第1_2通孔的第1_2卡止件分为第1_2上部空间212_1和第1_2下部空间212_2，并第1_2下部空间212_2被第1_2盖子215密封。

另外，第1_3结合孔213可以在第1另一前端区域被形成有第1_3通孔的第1_3卡止件分为第1_3上部空间213_1和第1_3下部空间213_2，并第1_3下部空间213_3被第1_3盖子216密封。

此外，行走臂平台210可以结合到升降部100，具体地，可以使升降部100的升降驱动轴101插入第1_1结合孔211的第1_1下部空间211_2中，使得升降驱动轴101固定地结合到第1_1卡止件。此时，当将升降驱动轴101与第1_1卡止件固定结合时，可以通过增加O形环或垫圈等密封件来提高固定结合区域的密封性能。增加诸如O形环或垫圈之类的密封件的构造可同样适用于稍后描述的其他结合部，因此以下描述中不再赘述。

由此，从升降驱动轴101的中空的外部环境可以在第1_1结合孔211从真空室内部的真空环境密封。

在另一方面，可以在行走臂平台210中形成布线孔，所述布线孔用于将通过升降部100的升降驱动轴101的中空引入的布线引入到第1行走臂部220和第2行走臂部250中。

即，可以形成第1_1布线孔h11和第1_2布线孔h12，其分别在行走臂平台210主体的一侧面连接第1_1上部空间211_1，并且可以形成第2_1布线孔h21和第2_2布线孔h22，所述第2_1布线孔h21在行走臂平台210主体的一侧面连接第1_2下部空间212_2，所述第2_2布线孔h22在行走臂平台210主体的一侧面连接第1_3下部空间213_2。

另外，为了密封布线孔，可以设置第1密封盖子217和第2密封盖子218，所述第1密封盖子217在行走臂平台210主体的一侧面密封第1_1布线孔h11和第2_1布线孔h21，所述第2密封盖子218在行走臂平台210主体的一侧面密封第1_2布线孔h12和所述第2_2布线孔h22。

此外，参见图4c，可以在行走臂平台210的内部形成布线孔，所述布线孔用于将通过升降部100的升降驱动轴101引入的布线引入到第1行走臂部220和第2行走臂部250中。

即，通过在行走臂平台210的主体内部形成将第1_1上部空间211_1与第1_2下部空间212_2连接的第1布线孔h3和将第1_1上部空间211_1与第1_3下部空间213_2连接的第2布线孔h4，可以密封行走臂平台210的内部，而无需单独的密封件。

接下来，第1行走臂部220的第1_1行走连杆臂230可以结合到行走臂平台210的第1_2结合孔212，并且第2行走臂部250的第2_1行走连杆臂260可以结合到行走臂平台210的第1_3结合孔213。

此时，参见图5，第1行走臂部220的第1_1行走连杆臂230具有密封的内部空间，在密封的内部空间可以设有第1行走驱动电机231和与第1行走驱动电机231联动将转速降低至1/2的第1减速机232。

另外，与第1减速机232联动的形成有中空的第1_1驱动轴233和与第1_1驱动轴233联动的第1_1输出轴234可以密封设置于第1_1行走连杆臂230的第1_1一前端区域，并且与第1行走驱动电机231联动的形成有中空的第1_2驱动轴236和与第1_2驱动轴236联动的第1_2输出轴237可以密封设置于第1_1行走连杆臂230的第1_1另一前端区域。此时，第1行走驱动电机231与第1减速机232之间的联动、第1减速机232与第1_1驱动轴233之间的联动、第1行走驱动电机231与第1_2驱动轴236之间的联动可以分别采用滑轮方式进行，但本发明不限于此，可以采用用于传递旋转力的各种方法，例如齿轮方法等。另外，第1_1驱动轴233和第1_1输出轴234、第1_2驱动轴236和第1_2输出轴237也可以分别形成为具有相同减速比的减速机。另外，第1_1输出轴234和第1_2输出轴237的旋转方向可以彼此相反。并且，在第1行走臂部220的第1_1行走连杆臂230的第1_1一前端区域中设置的第1_1输出轴234可以引入行走臂平台210的第1_2结合孔212的第1_2上部空间212_1中并固定结合至第1_2卡止件。

此时，第1_1连接件235可用于第1_1输出轴234和第1_2卡止件的结合，第1_1连接件235为管状轴，其长度在行走臂平台210和第1_1行走连杆臂230的结合位置处延伸第1_1输出轴234和第1_2卡止件之间的距离，第1_1连接件235的两端可以分别固定地结合到第1_1输出轴234和第1_2卡止件。

并且，第2行走臂部250的第2_2行走连杆臂270可以与参照图5描述的第1行走臂部220的第1_1行走连杆臂230类似地构成。

即，第2行走臂部250的第2_1行走连杆臂260具有密封的内部空间，在密封的内部空间可以设有第2行走驱动电机和与第2行走驱动电机联动将转速降低至1/2的第2减速机。

另外，与第2减速机联动的形成有中空的第2_1驱动轴和与第2_1驱动轴联动的第2_1输出轴可以密封设置于第2_1行走连杆臂260的第2_1一前端区域，并且与第2行走驱动电机联动的形成有中空的第2_2驱动轴和与第2_2驱动轴联动的第2_2输出轴可以密封设置于第2_1行走连杆臂260的第2_1另一前端区域。此时，第2行走驱动电机与第2减速机之间的联动、第2减速机与第2_1驱动轴之间的联动、第2行走驱动电机与第2_2驱动轴之间的联动可以分别采用滑轮方式进行，但本发明不限于此，可以采用用于传递旋转力的各种方法，例如齿轮方法等。另外，第2_1驱动轴和第2_1输出轴、第2_2驱动轴和第2_2输出轴也可以分别形成为具有相同减速比的减速机。另外，第2_1输出轴和第2_2输出轴的旋转方向可以彼此相反。

并且，在第2行走臂部250的第2_1行走连杆臂260的第2_1一前端区域中设置的第2_1输出轴可以引入行走臂平台210的第1_3结合孔213的第1_3上部空间中并固定结合至第1_3卡止件。

此时，第1_2连接件可用于第1_2输出轴237和第1_3卡止件的结合，第1_2连接件为管状轴，其长度在行走臂平台210和第2_1行走连杆臂260的结合位置处延伸第2_1输出轴和第1_3卡止件之间的距离，第1_2连接件的两端可以分别固定地结合到第2_1输出轴和第1_3卡止件。

接下来，第1_2行走连杆臂240的第1_2一前端区域可以固定地结合到第1行走臂部220的第1_1行走连杆臂230的第1_2输出轴237，第2_2行走连杆臂270的第2_2一前端区域可以固定地结合到第2行走臂部250的第2_1行走连杆臂260的第2_2输出轴237。

此时，连接件可用于第1_2输出轴237和第1_2一前端区域的结合，连接件238为管状轴，其长度在第1_1行走连杆臂230和第1_2行走连杆臂240的结合位置处延伸第1_2输出轴237和第1_2一前端区域的结合区域之间的距离，连接件238的两端可以分别固定地结合到第1_2输出轴237和第1_2一前端区域的结合区域。另外，连接件可用于第2_2输出轴237和第2_2一前端区域的结合，连接件为管状轴，其长度在第2_1行走连杆臂260和第2_2行走连杆臂270的结合位置处延伸第2_2输出轴和第2_2一前端区域的结合区域之间的距离，连接件的两端可以分别固定地结合到第2_2输出轴和第2_2一前端区域的结合区域。

接下来，传送机器人结合部280可以结合至第1_2行走连杆臂240和第2_2行走连杆臂270。

即，传送机器人结合部280的第2一前端区域可旋转地结合到第1_2行走连杆臂240的第1_2另一前端区域，传送机器人结合部280的第2另一前端区域可旋转地结合到第2_2行走连杆臂270的第2_2另一前端区域。

另外，包括带中空的旋转驱动轴281的旋转驱动电机可以形成为密封到传送机器人结合部280的第2中央区域，用于传送基板的基板传送机器人2000可以密封结合到带中空的旋转驱动轴281。

此外，在传送机器人结合部280的第2一前端至第2另一前端中的任意一个前端中，可以形成有柔顺件282，其响应于外力，在传送机器人结合部280内改变第1_2行走连杆臂240的第1_2另一前端区域可旋转地结合的位置至第2_2行走连杆臂270的第2_2另一前端区域可旋转地结合的位置中的任意一个位置。

此时，参见图6，柔顺件282可以包括：滑动件283，其在第2一前端区域至第2另一前端区域中的任意一个前端区域内部沿传送机器人结合部280的纵向滑动，并可旋转地结合到第1_2行走连杆臂240的所述第1_2另一前端区域至2_2行走连杆臂270的第2_2另一前端区域中的任意一个；和弹性件284，其分别形成于第2一前端至第2另一前端中任意一个的前端内部的滑动件283的两侧滑动路径上。然而，除了使用弹性件的构造之外，还可以以各种方式实现根据本发明的柔顺件282，例如使用液压的圆柱形状等。

在另一方面，参见图7，当将行走臂平台210的纵向中心线与第1_1行走连杆臂230的纵向中心线相交的位置称为第1_1接触点C1，将行走臂平台210的纵向中心线与第2_1行走连杆臂260的纵向中心线相交的位置称为第1_2接触点C2，将第1_1行走连杆臂230的纵向中心线与第1_2行走连杆臂240的纵向中心线相交的位置称为第2_1接触点C3，将第2_1行走连杆臂260的纵向中心线与第2_2行走连杆臂270的纵向中心线相交的位置称为第2_2接触点C4，将第1_2行走连杆臂的纵向中心线与传送机器人结合部280的纵向中心线相交的位置称为第3_1接触点C5，将第2_2行走连杆臂270的纵向中心线与传送机器人结合部280的纵向中心线相交的位置称为第3_2接触点C6时，使第1_1接触点C1与第1_2接触点C2之间的距离和第3_1接触点C5与第3_2接触点C6之间的距离相等。另外，使第1_1接触点C1与第2_1接触点C3之间的距离、第2_1接触点C3与第3_1接触点C5之间的距离、第1_2接触点C2与第2_2接触点C5之间的距离和第2_2接触点C4与第3_2接触点C6之间的距离相等。

此外，使第1_1接触点C1处的行走臂平台210与第1_1行走连杆臂230之间的角度与第1_2接触点C2处的行走臂平台210与第2_1行走连杆臂260之间的角度的绝对值相等，使第2_1接触点C3处的第1_1行走连杆臂230与第1_2行走连杆臂240之间的角度与第2_2接触点C4处的第2_1行走连杆臂260与第2_2行走连杆臂270之间的角度的绝对值相等，使第3_1接触点C5处的第1_2行走连杆臂240与传送机器人结合部280之间的角度与第3_2接触点C6处的第2_2行走连杆臂270与传送机器人结合部280之间的角度的绝对值相等。

由此，行走机器人1000可以在直线区域使被传送机器人结合部280支撑的基板传送机器人2000前后行走。

此时，第1_1行走连杆臂230中设置的第1行走驱动电机231和第2_1行走连杆臂260中设置的第2行走驱动电机可以以相同的方式运行，但以相反的方向旋转。

另外，在行走机器人1000内部的密封空间中还可以分别设置用于操作第1行走驱动电机231的第1布线和用于操作第2行走驱动电机的第2布线。

此时，第1布线可以通过升降驱动轴101和第1_1驱动轴的每个中空引入第1行走驱动电机231中以从真空室的内部空间密封，第2布线可以通过升降驱动轴101和第2_1驱动轴的每个中空引入第2行走驱动电机中以从所述真空室的内部空间密封。在另一方面，第1布线和第2布线可以分别从升降驱动轴101通过行走臂平台210中形成的布线孔分支到第1行走臂部220和第2行走臂部250。

接下来，下面将描述对应于根据本发明的一实施例的行走机器人1000的基板传送机器人2000。

参见图8a和图8b，基板传送机器人2000可以包括：传送臂平台2100，其与行走机器人1000的传送机器人结合部280结合；以及第1传送臂部2200和第2传送臂部2300，其与传送臂平台2100结合，第1传送臂部2200和第2传送臂部2300可以分别与用于支撑基板的第1末端执行器2400和第2末端执行器结合。

由此，基板传送机器人2000通过行走机器人1000的第1行走臂部220和第2行走臂部250的操作在真空室内行走以定位在特定位置，或另外通过行走机器人1000的升降部100的旋转运动定位在特定位置，并且在第1末端执行器2400或第2末端执行器2500通过升降部100的上下运动定位在基板的装载或卸载位置的状态下，第1末端执行器2400或第2末端执行器2500可以通过第1行走臂部220或第2行走臂部250的操作来装载或卸载基板。

首先，参见图9a和图9b，传送臂平台2100可以包括形成于第2中央区域的第2_1结合孔2110、形成于第3一前端区域的第2_2结合孔2120和形成于第3另一前端区域的第2_3结合孔2130。传送臂平台2100可以具有与行走机器人1000的行走臂平台210类似的构造。

第2_1结合孔2110可以在第3中央区域被形成有与传送机器人结合部280的旋转驱动电机的旋转驱动轴281的中空对应的第2_1通孔的第2_1卡止件分为第2_1上部空间和第2_1下部空间，并第2_1上部空间被第2_1盖子密封。

并且，第2_2结合孔2120可以在第3一前端区域被形成有第2_2通孔的第2_2卡止件分为第2_2上部空间和第2_2下部空间，并第2_2下部空间被第2_2盖子密封。

另外，第2_3结合孔2130可以在第3另一前端区域被形成有第2_3通孔的第2_3卡止件分为第2_3上部空间和第2_3下部空间，并第2_3下部空间被第2_3盖子密封。

并且，在传送臂平台2100中，包括用于连杆结合的第1_1叶片2191和第2_1叶片2192的连杆连接件2190可以固定结合到前方区域。此时，前方可以为在基板传送机器人2000被定位成将基板传送到与真空室结合的工艺室的状态下工艺室所处的方向。

另外，传送臂平台2100可以结合到行走机器人1000，具体地，行走机器人1000的旋转驱动电机的旋转驱动轴281可以引入到第2_1结合孔2110的第2_1下部空间中，使得旋转驱动轴281固定地结合到第2_1卡止件。此时，当将旋转驱动轴281与第2_1卡止件固定结合时，可以通过增加O形环或垫圈等密封件来提高固定结合区域的密封性能。增加诸如O形环或垫圈之类的密封件的构造可同样适用于稍后描述的其他结合部，因此以下描述中不再赘述。

由此，从旋转驱动轴281的中空的外部环境可以在第2_1结合孔2110从真空室内部的真空环境密封。

在另一方面，可以在传送臂平台2100中形成布线孔，所述布线孔用于将通过行走机器人1000的旋转驱动轴281的中空引入的布线引入到第1传送臂部2200和第2传送臂部2300中。

即，可以在传送臂平台2100本体的一侧面形成分别用于连接第2_1上部空间的第3_1布线孔h110和第3_2布线孔h120，在传送臂平台2100本体的一侧面形成用于连接第2_2下部空间的第4_1布线孔h210，并且在传送臂平台2100本体的一侧面形成用于连接第2_3下部空间的第4_2布线孔h220。

另外，为了密封布线孔，可以设置第3密封盖子2170和第4密封盖子2180，所述第3密封盖子2170在传送臂平台2100主体的一侧面密封第3_1布线孔h110和第4_1布线孔h210，所述第4密封盖子2180在传送臂平台2100主体的一侧面密封第3_2布线孔h120和第4_2布线孔h220。

另外，也可以在传送臂平台2100的内部形成布线孔，所述布线孔用于将通过行走机器人1000的旋转驱动轴281引入的布线引入到第1传送臂部2200和第2传送臂部2300中。

即，通过在传送臂平台2100的内部形成将第2_1上部空间与第2_2下部空间212_2连接的第3布线孔和将第2_1上部空间与第2_3下部空间连接的第4布线孔，可以密封传送臂平台2100的内部，而无需单独的密封件。

接下来，第1传送臂部2200的第1_1传送连杆臂2210可以结合到传送臂平台2100的第2_2结合孔212，并且第2传送臂部2300的第2_1传送连杆臂2310可以结合到传送臂平台2100的第2_3结合孔2130。

此时，参见图10，第1行走臂部220的第1_1行走连杆臂230具有密封的内部空间，在密封的内部空间可以设有第1行走驱动电机231和与第1行走驱动电机231联动将转速降低至1/2的第1减速机232。

另外，与第3减速机2212联动的形成有中空的第3_1驱动轴2213和与第3_1驱动轴2213联动的第3_1输出轴2214可以密封设置于第1_1传送连杆臂2210的第3_1一前端区域，并且与第1传送驱动电机2211联动的形成有中空的第3_2驱动轴2216和与第3_2驱动轴2216联动的第3_2输出轴2217可以密封设置于第1_1传送连杆臂2210的第3_1另一前端区域。此时，第1传送驱动电机2211与第3减速机2212之间的联动、第3减速机2212与第3_1驱动轴2213之间的联动、第1传送驱动电机2211与第3_2驱动轴2216之间的联动可以分别采用滑轮方式进行，但本发明不限于此，可以采用用于传递旋转力的各种方法，例如齿轮方法等。另外，第3_1驱动轴2213和第3_1输出轴2214、第3_2驱动轴2216和第3_2输出轴2217也可以分别形成为具有相同减速比的减速机。另外，第3_1输出轴2214和第3_2输出轴2217的旋转方向可以彼此相反。

并且，第1传送臂部2200的第1_1行走连杆臂230的第3_1一前端区域中设置的第3_1输出轴2214可以引入传送臂平台2100的第2_2结合孔2120的第2_2上部空间中并固定结合至第2_2卡止件。

此时，第2_1连接件2215可用于第3_1输出轴2214和第2_2卡止件的结合，第2_1连接件2215为管状轴，其长度在传送臂平台2100和第1_1传送连杆臂2210的结合位置处延伸第3_1输出轴2214和第2_2卡止件之间的距离，第2_1连接件2215的两端可以分别固定地结合到第3_1输出轴2214和第2_2卡止件。

并且，第1_2传送连杆臂2220的第3_2一前端区域可以固定地结合到第1传送臂部2200的第1_1传送连杆臂2210的第3_2输出轴2217。

此时，第1固定结合轴2218可用于第3_2输出轴2217和第3_2一前端区域的结合，第1固定结合轴2218为管状轴，其长度在第1_1传送连杆臂2210和第1_2传送连杆臂2220的结合位置处延伸第3_2输出轴2217和第3_2一前端区域的结合区域之间的距离，第1固定结合轴2218的两端可以分别固定地结合到第3_2输出轴2217和第3_2一前端区域的结合区域。

另外，第1共用连杆臂2230可以设置于第3_2输出轴2217和第3_2一前端区域的结合区域。

即，参见图11，第1共用连杆臂2230的第4中央区域可旋转地结合到将第3_2输出轴2217与第3_2一前端区域结合的第1固定结合轴2218。

并且，第1传送臂部2200可以包括第1_1辅助连杆臂2240，第1_1辅助连杆臂2240平行于第1_1传送连杆臂2210，第3_4一前端区域可旋转地结合到传送臂平台2100的连杆连接件2190的第1_1叶片2191，第3_4另一前端区域可旋转地结合到第1共用连杆臂2230的第3_3一前端区域。

另外，第1传送臂部2200可以包括第1_2辅助连杆臂2250，第1_2辅助连杆臂2250平行于第1_2传送连杆臂2220，第3_5一前端区域可旋转地结合到第1共用连杆臂2230的第3_3前端区域。

另外，第1传送臂部2200可以包括第1_3辅助连杆臂2260，第1_3辅助连杆臂2260平行于第1共用连杆臂2230，第3_6一前端区域可旋转地结合到第1_2辅助连杆臂2250的第3_5另一前端区域，第3_6另一前端区域可旋转地结合到第1_2传送连杆臂2220的第3_2另一前端区域。

此外，第1传送臂部2200可以包括第1末端执行器2400，第1末端执行器2400固定到第1_3辅助连杆臂2260的第3_6另一前端区域以支撑基板。

如上所述构造的第1传送臂部2200使得第1末端执行器2400能够根据第1传送驱动电机2211的操作通过每个传送臂和辅助臂在直线上前后移动，因此可以在通过第1末端执行器2400设定的位置处装载或卸载基板。

在另一方面，第2传送臂部2300可以与第1传送臂部2200类似地构造，可以设置于传送臂平台2100以围绕传送臂平台2100的中央区域彼此对称。

即，第2传送臂部2300的第2_1传送连杆臂2310具有密封的内部空间，在密封的内部空间中可以设有第2传送驱动电机和与第2传送驱动电机联动以将转速降低至1/2的第4减速机。

另外，与第4减速机联动的形成有中空的第4_1驱动轴和与第4_1驱动轴联动的第4_1输出轴可以密封设置于第2_1传送连杆臂2310的第4_1一前端区域，并且与第2传送驱动电机联动的形成有中空的第4_2驱动轴和与第4_2驱动轴联动的第4_2输出轴可以密封设置于第2_1传送连杆臂2310的第4_1另一前端区域。此时，第2传送驱动电机与第4减速机之间的联动、第4减速机与第4_1驱动轴之间的联动、第2传送驱动电机与第4_2驱动轴之间的联动可以分别采用滑轮方式进行，但本发明不限于此，可以采用用于传递旋转力的各种方法，例如齿轮方法等。另外，第4_1驱动轴和第4_1输出轴、第4_2驱动轴和第4_2输出轴也可以分别形成为具有相同减速比的减速机。另外，第4_1输出轴和第4_2输出轴的旋转方向可以彼此相反。

并且，第2传送臂部2300的第2_1传送连杆臂2310的第4_1一前端区域中设置的第4_1输出轴可以引入传送臂平台2100的第2_3结合孔2130的第2_3上部空间中并固定结合至第2_3卡止件。

此时，第2_2连接件可用于第4_1输出轴和第2_3卡止件的结合，第2_2连接件为管状轴，其长度在传送臂平台2100和第2_1传送连杆臂2310的结合位置处延伸第4_1输出轴和第2_3卡止件之间的距离，第2_2连接件的两端可以分别固定地结合到第4_1输出轴和第2_3卡止件。

并且，第2_2传送连杆臂2320的第4_2一前端区域可以固定地结合到第2传送臂部2300的第2_1传送连杆臂2310的第4_2输出轴。

另外，第2固定结合轴可用于第4_2输出轴和第4_2一前端区域的结合，第2固定结合轴为管状轴，其长度在第2_1传送连杆臂2310和第2_2传送连杆臂2320的结合位置处延伸第4_2输出轴和第4_2一前端区域的结合区域之间的距离，第2固定结合轴的两端可以分别固定地结合到第4_2输出轴和第4_2一前端区域的结合区域。

另外，第2共用连杆臂2330可以设置于第4_2输出轴和第4_2一前端区域的结合区域。

即，第2共用连杆臂2330的第5中央区域可旋转地结合到将第4_2输出轴与第4_2一前端区域结合的第2固定结合轴。

并且，第2传送臂部2300可以包括第2_1辅助连杆臂2340，第2_1辅助连杆臂2340平行于第2_1传送连杆臂2310，第4_4一前端区域可旋转地结合到传送臂平台2100的连杆连接件2190的第1_2叶片2192，第4_4另一前端区域可旋转地结合到第2共用连杆臂2330的第4_3一前端区域。

另外，第2传送臂部2300可以包括第2_2辅助连杆臂2350，第2_2辅助连杆臂2350平行于第2_2传送连杆臂2320，第4_5前端区域可旋转地结合到第2共用连杆臂2330的第4_3一前端区域。

另外，第2传送臂部2300可以包括第2_3辅助连杆臂2360，第2_3辅助连杆臂2360平行于第2共用连杆臂2330，第4_6一前端区域可旋转地结合到第2_2辅助连杆臂2350的第4_5另一前端区域，第4_6另一前端区域可旋转地结合到第2_2传送连杆臂2320的第4_2另一前端区域。

此外，第2传送臂部2300可以包括第2末端执行器2500，第2末端执行器2500固定到第2_3辅助连杆臂2360的第4_6另一前端区域以支撑基板。

如上所述构造的第2传送臂部2300使得第2末端执行器2500能够根据第2传送驱动电机的操作通过每个传送臂和辅助臂在直线上前后移动，因此可以在通过第2末端执行器2500设定的位置处装载或卸载基板。

此时，第1传送臂部2200的第1_1传送连杆臂2210的第3_1另一前端区域和第2传送臂部2300的第2_1传送连杆臂2310的第4_1另一前端区域可以相同地定位在传送臂平台2100的前方区域或后方区域中。

另外，与此不同，第1传送臂部2200的第1_1传送连杆臂2210的第3_1另一前端区域可以定位在传送臂平台2100的前方区域中，而第2传送臂部2300的第2_1传送连杆臂2310的第4_1另一前端区域可以定位在传送臂平台2100的后方区域中。

并且，将第2传送臂部2300的第2_1传送连杆臂2310与第2_2传送连杆臂2320连接的第2固定结合轴的高度可以高于将第1传送臂部2200的第1_1传送连杆臂2210与第1_2传送连杆臂2220连接的第1固定结合轴2218的高度，使得第1传送臂部2200的第1末端执行器2400和第2传送臂部2300的第2末端执行器2500位于同一路径上的不同高度处。

另外，可旋转地结合到将第1传送臂部2200的第2_1传送连杆臂2310与第2_2传送连杆臂2320连接的第2固定结合轴的第2共用连杆臂2330包括对应于第2固定结合轴的高度并形成有用于引入第2固定结合轴的中空的中空管，包括第4_3一前端区域的第2_1叶片固定地结合到所述中空管的下部区域，包括第4_3另一前端区域的第2_2叶片固定地结合到所述中空管的上部区域，第4_3一前端区域和第4_3另一前端区域可以形成为以所述中空管的中心轴为基准对称。

另外，在基板传送机器人2000内部的密封空间中还可以分别设置用于操作第1传送驱动电机2211的第3布线和用于操作第2传送驱动电机的第4布线。

此时，第3布线可以通过升降部100的升降驱动轴101、行走机器人1000的第1_1驱动轴233、第1_2驱动轴236、旋转驱动轴281、基板传送机器人2000的第3_1驱动轴2213中的每一个的中空引入到第1行走驱动电机231中，以与真空室的内部空间密封，而第2布线可以通过升降部100的升降驱动轴101、行走机器人1000的第2_1驱动轴、第2_2驱动轴、旋转驱动轴281、基板传送机器人2000的第4_1驱动轴中的每一个的中空引入到第2行走驱动电机中，以与真空室的内部空间密封。在另一方面，第3布线和第4布线可以分别从旋转驱动轴281通过传送臂平台2100中形成的布线孔分支到第1传送臂部2200和第2传送臂部2300。

在另一方面，尽管上面已经描述了由行走机器人1000支撑的基板传送机器人的特征配置，但本发明不限于上述基板传送机器人，将可在真空室内传送基板的任何类型的基板传送机器人与行走机器人组合，可以执行由行走机器人在真空室内进行的基板传送机器人的走行和由基板传送机器人在真空室内进行的基板传送。

此外，尽管上面已经描述了基板的传送，但同样可以应用于在基板上执行工艺所需的掩模的传送。

在上文中，已经参考诸如具体组件等的特定事项以及有限的实施例和附图描述了本发明，但这仅有助于更全面地理解本发明，而本发明不限于上述实施例，本发明所属领域的普通技术人员可以根据这些描述设计出各种修改和变化。

因此，本发明的精神不应限于上述实施例，除下述权利要求外，凡与这些权利要求等效或等同的修改，均应包含在本发明的精神范围内。

Claims (16)

1.一种用于使基板传送机器人在真空室的内部行走的行走机器人，其特征在于，包括：

升降部，其位于密封真空室的内部的壳体的外侧的下部区域，上端与在所述壳体的下部区域中形成的真空室通孔密封结合，使形成有中空的升降驱动轴在所述真空室通孔上下运动；

行走臂平台，其包括：第1_1结合孔、其在第1中央区域被形成有与所述升降驱动轴的中空对应的第1_1通孔的第1_1卡止件分为第1_1上部空间和第1_1下部空间，并且所述第1_1上部空间被第1_1盖子密封；第1_2结合孔，其在第1一前端区域被形成有第1_2通孔的第1_2卡止件分为第1_2上部空间和第1_2下部空间，并且所述第1_2下部空间被第1_2盖子密封；和第1_3结合孔，其在第1另一前端区域被形成有第1_3通孔的第1_3卡止件分为第1_3上部空间和第1_3下部空间，并且所述第1_3下部空间被第1_3盖子密封，并且引入所述第1_1下部空间的所述升降驱动轴固定结合到所述第1_1卡止件；

第1行走臂部，其包括：第1_1行走连杆臂，其在密封的内部空间设有第1行走驱动电机和与所述第1行走驱动电机联动将转速降低至1/2的第1减速机，与所述第1减速机联动的形成有中空的第1_1驱动轴和与所述第1_1驱动轴联动的第1_1输出轴密封设置于第1_1一前端区域，与所述第1行走驱动电机联动的形成有中空的第1_2驱动轴和与所述第1_2驱动轴联动的第1_2输出轴密封设置于第1_1另一前端区域，所述第1_1输出轴固定结合至第1_1连接件，所述第1_1连接件引入所述行走臂平台的所述第1_2上部空间中并固定结合至所述第1_2卡止件；以及第1_2行走连杆臂，其第1_2一前端区域固定结合至所述第1_1行走连杆臂的所述第1_2输出轴；

第2行走臂部，其包括：第2_1行走连杆臂，其在密封的内部空间设有第2行走驱动电机和与所述第2行走驱动电机联动将转速降低至1/2的第2减速机，与所述第2减速机联动的形成有中空的第2_1驱动轴和与所述第2_1驱动轴联动的第2_1输出轴密封设置于第2_1一前端区域，与所述第2行走驱动电机联动的形成有中空的第2_2驱动轴和与所述第2_2驱动轴联动的第2_2输出轴密封设置于第2_1另一前端区域，所述第2_1输出轴固定结合至第1_2连接件，所述第1_2连接件引入所述行走臂平台的所述第1_3上部空间中并固定结合至所述第1_3卡止件；以及第2_2行走连杆臂，其第2_2一前端区域固定结合至所述第2_1行走连杆臂的所述第2_2输出轴；以及

传送机器人结合部，其第2一前端区域可旋转地结合到所述第1_2行走连杆臂的第1_2另一前端区域，第2另一前端区域可旋转地结合到所述第2_2行走连杆臂的第2_2另一前端区域，在第2中央区域形成有带中空的旋转驱动轴密封结合到用于传送基板的基板传送机器人的旋转驱动电机。

2.根据权利要求1所述的行走机器人，其特征在于，所述传送机器人结合部还包括：

柔顺件，其在所述第2一前端区域至所述第2另一前端区域中的任意一个前端区域中，响应于外力，在所述传送机器人结合部内改变所述第1_2行走连杆臂的所述第1_2另一前端区域可旋转地结合的位置至所述第2_2行走连杆臂的所述第2_2另一前端区域可旋转地结合的位置中的任意一个位置。

3.根据权利要求2所述的行走机器人，其特征在于，所述柔顺件包括：

滑动件，其在所述第2一前端区域至所述第2另一前端区域中的任意一个前端区域内部沿所述传送机器人结合部的纵向滑动，并且可旋转地结合到所述第1_2行走连杆臂的所述第1_2另一前端区域至所述2_2行走连杆臂的所述第2_2另一前端区域中的任意一个；和

弹性件，其分别形成于所述第2一前端区域至所述第2另一前端区域中任意一个的前端区域内部的所述滑动件的两侧滑动路径上。

4.根据权利要求1所述的行走机器人，其特征在于，所述行走臂平台还包括：

第1布线孔，其连接所述第1_1上部空间与所述第1_2下部空间；和

第2布线孔，其连接所述第1_1上部空间与所述第1_3下部空间。

5.根据权利要求1所述的行走机器人，其特征在于，所述行走臂平台还包括：

第1_1布线孔和第1_2布线孔，其分别在所述行走臂平台的主体的一侧面连接所述第1_1上部空间；

第2_1布线孔，其在所述行走臂平台的主体的一侧面连接所述第1_2下部空间；

第2_2布线孔，其在所述行走臂平台的主体的一侧面连接所述第1_3下部空间；

第1密封盖子，其在所述行走臂平台的主体的一侧面密封所述第1_1布线孔和所述第2_1布线孔；和

第2密封盖子，其在所述行走臂平台的主体的一侧面密封所述第1_2布线孔和所述第2_2布线孔。

6.根据权利要求1所述的行走机器人，其特征在于：

所述升降部除了使所述升降驱动轴进行上下运动之外，还执行使所述升降驱动轴进行旋转运动的操作。

7.根据权利要求1所述的行走机器人，其特征在于：

还包括用于所述第1行走驱动电机工作的第1布线和用于所述第2行走驱动电机工作的第2布线，

所述第1布线通过所述升降驱动轴和所述第1_1驱动轴的中空引入所述第1行走驱动电机，以在所述真空室的内部空间被密封，

所述第2布线分别通过升降驱动轴和所述第2_1驱动轴的中空引入所述第2行走驱动电机，以在所述真空室的内部空间被密封。

8.根据权利要求1所述的行走机器人，其特征在于：

当将所述行走臂平台的纵向中心线与所述第1_1行走连杆臂的纵向中心线相交的位置称为第1_1接触点，将所述行走臂平台的纵向中心线与所述第2_1行走连杆臂的纵向中心线相交的位置称为第1_2接触点，将所述第1_1行走连杆臂的纵向中心线与所述第1_2行走连杆臂的纵向中心线相交的位置称为第2_1接触点，将所述第2_1行走连杆臂的纵向中心线与所述第2_2行走连杆臂的纵向中心线相交的位置称为第2_2接触点，将所述第1_2行走连杆臂的纵向中心线与所述传送机器人结合部的纵向中心线相交的位置称为第3_1接触点，将所述第2_2行走连杆臂的纵向中心线与所述传送机器人结合部的纵向中心线相交的位置称为第3_2接触点时，

使所述第1_1接触点与所述第1_2接触点之间的距离和所述第3_1接触点与所述第3_2接触点之间的距离相等，使所述第1_1接触点与所述第2_1接触点之间的距离、所述第2_1接触点与所述第3_1接触点之间的距离、所述第1_2接触点与所述第2_2接触点之间的距离、和所述第2_2接触点与所述第3_2接触点之间的距离相等，

使在所述第1_1接触点处所述行走臂平台与所述第1_1行走连杆臂之间的角度与所述第1_2接触点处的所述行走臂平台与所述第2_1行走连杆臂构成的角度的绝对值相等，使在所述第2_1接触点处所述第1_1行走连杆臂与所述第1_2行走连杆臂构成的角度与所述第2_2接触点处的所述第2_1行走连杆臂与所述第2_2行走连杆臂之间的角度的绝对值相等，使在所述第3_1接触点处所述第1_2行走连杆臂与所述传送机器人结合部构成的角度与在所述第3_2接触点处所述第2_2行走连杆臂与所述传送机器人结合部构成的角度的绝对值相等。

9.根据权利要求1所述的行走机器人，其特征在于：

所述第1行走驱动电机和所述第2行走驱动电机以相同的方式运行，但旋转方向相反。

10.根据权利要求1所述的行走机器人，其特征在于，所述基板传送机器人包括：

传送臂平台，其形成有：第2_1结合孔，其在第3中央区域被形成有与所述传送机器人结合部的所述旋转驱动电机的所述旋转驱动轴的中空对应的第2_1通孔的第2_1卡止件分为第2_1上部空间和第2_1下部空间，并且所述第2_1上部空间被第2_1盖子密封；第2_2结合孔，其在第3一前端区域被形成有第2_2通孔的第2_2卡止件分为第2_2上部空间和第2_2下部空间，并且所述第2_2下部空间被第2_2盖子密封；和第2_3结合孔，其在第3另一前端区域被形成有第2_3通孔的第2_3卡止件分为第2_3上部空间和第2_3下部空间，并且所述第2_3下部空间被第2_3盖子密封，并且包括用于连杆结合的第1_1叶片和第1_2叶片的连杆连接件固定结合到前方区域，所述前方为为了将基板传送到与所述真空室结合的工艺室而配置所述基板传送机器人的状态下所述工艺室所处的方向，引入所述第2_1下部空间中的所述旋转驱动电机的所述旋转驱动轴固定结合到所述第2_1卡止件；

第1传送臂部，其包括：第1_1传送连杆臂，其在密封的内部空间设有第1传送驱动电机和与所述第1传送驱动电机联动将转速降低至1/2的第3减速机，与所述第3减速机联动的形成有中空的第3_1驱动轴和与所述第3_1驱动轴联动的第3_1输出轴密封设置于第3_1一前端区域，与所述第1传送驱动电机联动的形成有中空的第3_2驱动轴和与所述第3_2驱动轴联动的第3_2输出轴密封设置于第3_1另一前端区域，所述第3_1输出轴固定结合至第2_1连接件，所述第2_1连接件引入所述传送臂平台的所述第2_2上部空间中并固定结合至所述第2_2卡止件；第1_2传送连杆臂，其第3_2一前端区域通过第1固定结合轴固定结合至所述第1_1传送连杆臂的所述第3_2输出轴；第1共用连杆臂，其第4中央区域可旋转地结合到所述第1固定结合轴；第1_1辅助连杆臂，其平行于所述第1_1传送连杆臂，第3_4一前端区域可旋转地结合到所述传送臂平台的所述连杆连接件的所述第1_1叶片，第3_4另一前端区域可旋转地结合到所述第1共用连杆臂的第3_3一前端区域；第1_2辅助连杆臂，其平行于所述第1_2传送连杆臂，第3_5一前端区域可旋转地结合到所述第1共用连杆臂的第3_3另一前端区域；第1_3辅助连杆臂，其平行于所述第1共用连杆臂，第3_6一前端区域可旋转地结合到所述第1_2辅助连杆臂的第3_5另一前端区域，第3_6另一前端区域可旋转地结合到所述第1_2传送连杆臂的第3_2另一前端区域；和第1末端执行器，其固定到所述第1_3辅助连杆臂的所述第3_6另一前端区域以支撑所述基板；以及

第2传送臂部，其包括：第2_1传送连杆臂，其在密封的内部空间设有第2传送驱动电机和与所述第2传送驱动电机联动将转速降低至1/2的第4减速机，与所述第4减速机联动的形成有中空的第4_1驱动轴和与所述第4_1驱动轴联动的第4_1输出轴密封设置于第4_1一前端区域，与所述第2传送驱动电机联动的形成有中空的第4_2驱动轴和与所述第4_2驱动轴联动的第4_2输出轴密封设置于第4_1另一前端区域，所述第4_1输出轴固定结合至第2_2连接件，所述第2_2连接件引入所述传送臂平台的所述第2_3上部空间中并固定结合至所述第2_3卡止件；第2_2传送连杆臂，其第4_2一前端区域通过第2固定结合轴固定结合至所述第2_1传送连杆臂的所述第4_2输出轴；第2共用连杆臂，其第5中央区域可旋转地结合到所述第2固定结合轴；第2_1辅助连杆臂，其平行于所述第2_1传送连杆臂，第4_4一前端区域可旋转地结合到所述传送臂平台的所述连杆连接件的所述第1_2叶片，第4_4另一前端区域可旋转地结合到所述第2共用连杆臂的第4_3一前端区域；第2_2辅助连杆臂，其平行于所述第2_2传送连杆臂，第4_5一前端区域可旋转地结合到所述第2共用连杆臂的第4_3另一前端区域；第2_3辅助连杆臂，其平行于所述第2共用连杆臂，第4_6一前端区域可旋转地结合到所述第2_2辅助连杆臂的第4_5另一前端区域，第4_6另一前端区域可旋转地结合到所述第2_2传送连杆臂的第4_2另一前端区域；和第2末端执行器，其固定到所述第2_3辅助连杆臂的所述第4_6另一前端区域以支撑所述基板。

11.根据权利要求10所述的行走机器人，其特征在于：

所述第1传送臂部的所述第1_1传送连杆臂的所述第3_1另一前端区域位于所述传送臂平台的前方区域，所述第2传送臂部的所述第2_1传送连杆臂的所述第4_1另一前端区域位于所述传送臂平台的后方区域。

12.根据权利要求10所述的行走机器人，其特征在于：

设置成所述第2固定结合轴的高度高于所述第1固定结合轴的高度，以使得所述第1末端执行器和所述第2末端执行器在同一路径上位于不同的高度。

13.根据权利要求10所述的行走机器人，其特征在于：

所述第2共用连杆臂包括对应于所述第2固定结合轴的高度且形成有用于引入所述第2固定结合轴的中空的中空管，包括所述第4_3一前端区域的第2_1叶片固定结合到所述中空管的下部区域，包括所述第4_3另一前端区域的第2_2叶片固定结合到所述中空管的上部区域，从所述中空管的中心轴观看时，所述第4_3一前端区域和所述4_3另一前端区域以所述中空管的中心轴的每一侧为基准对称。

14.根据权利要求10所述的行走机器人，其特征在于，所述传送臂平台还包括：

第3布线孔，其连接所述第2_1上部空间与所述第2_2下部空间；和

第4布线孔，其连接所述第2_1上部空间与所述第2_3下部空间。

15.根据权利要求10所述的行走机器人，其特征在于，所述传送臂平台还包括：

第3_1布线孔和第3_2布线孔，其分别在所述传送臂平台的主体的一侧面连接所述第2_1上部空间；

第4_1布线孔，其在所述传送臂平台的主体的一侧面连接所述第2_2下部空间；

第4_2布线孔，其在所述传送臂平台的主体的一侧面连接所述第2_3下部空间；

第3密封盖子，其在所述传送臂平台的主体的一侧面密封所述第3_1布线孔和所述第4_1布线孔；和

第4密封盖子，其在所述传送臂平台的主体的一侧面密封所述第3_2布线孔和所述第4_2布线孔。

16.根据权利要求10所述的行走机器人，其特征在于：

还包括用于所述第1传送驱动电机工作的第3布线和用于所述第2传送驱动电机工作的第4布线，

所述第3布线分别通过所述升降驱动轴、所述第1_1驱动轴、第1_2驱动轴、所述旋转驱动轴和所述第3_1驱动轴的中空引入所述第1传送驱动电机中，从而在所述真空室的内部空间被密封，

所述第4布线分别通过所述升降驱动轴、所述第2_1驱动轴、第2_2驱动轴、所述旋转驱动轴和所述第4_1驱动轴的中空引入所述第2传送驱动电机中，从而在所述真空室的内部空间被密封。