CN115014427A - 基于设计数据测量部件载体的物理特性 - Google Patents

Abstract

本发明涉及基于设计数据测量部件载体的物理特性。一种部件载体(10)包括至少一个电隔离层(12)和位于该电隔离层(12)上的至少一个导电层(14)。一种用于测量部件载体(10)的物理特性(24)的方法包括：在部件载体(10)上确定多个测量区域(72)；在每个测量区域(72)中确定测量点(26)；以及在每个测量点(26)处执行物理特性(24)的测量，其中，多个测量区域(72)中的至少一个和/或测量点(26)基于部件载体(10)的设计数据(64)来确定，使得测量区域(72)中的至少一个和/或测量点(26)处于具有在设计数据(64)中可获得的至少一个预定义特征的位置。

Description

基于设计数据测量部件载体的物理特性

技术领域

本发明涉及用于测量部件载体的物理特性的方法、计算机程序、计算机可读介质和系统。

背景技术

电子部件和电气部件可以与部件载体电力地和机械地互连，该部件载体可以由一个或多个电隔离层和布置在这些电隔离层上及其之间的一个或多个导电层制成。可以将导电层构造和/或图案化用于生成导电路径。不同层的导电路径可以与通孔即导电柱电力地互连，这些通孔大致正交于层对准并且/或者突出穿过一个或多个电隔离层。

通常，部件载体是通过在隔离层上电镀诸如铜的金属并在以这种方式生成的导电层中蚀刻结构而制造的。所得的中间产物可以被附连在一起并以这种方式再次处理。可以通过在电镀之前穿过中间产物钻孔来制造通孔，然后在所述电镀期间可以用金属填充所生成的孔。

在电镀期间生产并通过蚀刻部分地减少的导电层的厚度是非常重要的过程参数，其必须被控制和检查。通常，这通过在部件载体的专用点处进行厚度测量来完成，其中能够确保没有通孔或空腔干扰测量过程。

发明内容

更一般地，可能必须在部件载体的生产期间检查和控制其他过程参数和/或物理特性，诸如例如隔离层的厚度、导电路径的宽度、通孔直径、空腔的深度。

本发明的目的是使部件载体的物理特性的测量自动化、加速并改进。

此目的由独立权利要求的主题实现。根据从属权利要求和以下描述，另外的示例性实施例是显然的。

本发明的第一方面涉及一种用于测量部件载体的物理特性的方法，该部件载体包括至少一个电隔离层和该电隔离层上的至少一个导电层。物理特性可以为能够被测量的部件载体的特性，诸如电隔离层和/或导电层的各部分的厚度、宽度或深度。作为示例，物理特性可以为导电层的厚度。

部件载体可以被设计用于电力地和/或机械地互连电子部件和/或电气部件，诸如电阻器、电容器、电感器、晶体管、集成电路等。可以将导电图案分成导电路径，这些导电路径可以与不同层之间的通孔互连。部件载体可以为电路板。

可以通过将金属电镀到电隔离层上来形成导电层。可以通过蚀刻来形成导电层的图案。可以通过穿过部件载体钻孔并将金属电镀到孔中来形成通孔。

根据本发明的一个实施例，该方法包括：在部件载体上确定多个测量区域；在每个测量区域中确定测量点；以及在每个测量点处执行 (或至少命令)物理特性的测量。该方法可以由评价设备自动地执行，该评价设备控制和/或命令执行测量的测量设备。

测量区域可以为在部件载体的侧面上的区域和/或区。测量区域可以分布在部件载体四处，使得能够在大致均匀地分布的测量点处执行测量。这可以意味着测量区域被选取，使得能够选取测量点，使得它们具有大于最小距离且小于最大距离的距离。

多个测量区域中的至少一个和/或测量点基于部件载体的设计数据来确定，使得测量区域中的至少一个和/或测量点处于具有在设计数据中可获得的至少一个预定义特征的位置。

可以基于部件载体的设计数据确定测量区域中的一个、一些或全部，使得测量区域处于具有在设计数据中可获得和/或编码的至少一个预定义特征的位置。

设计数据可以为对部件载体的设计进行编码的数据。例如，设计数据可以对电隔离层和/或导电层的数目和/或厚度进行编码和/或描述。特别地，设计数据可以对导电层的图案和/或结构进行编码和/或描述。这可以意味着在设计数据中对存在金属材料的区域和/或已从导电层蚀刻掉金属材料的区域进行编码和/或描述。设计数据可以包括点和/或CAD数据，这些点和/或CAD数据定义在导电层中存在金属材料的区与在导电层中不存在金属材料的区之间的边缘。

设计数据可以对穿过部件载体的通孔和/或钻孔进行描述和/或编码。通孔和/或钻孔可以通过其位置、深度、延长部和/或直径来编码和 /或描述。

此外，设计数据可以对在部件载体中哪里存在空腔描述和/或编码。此类空腔可以被适配用于收容电气部件和/或电子部件。设计数据可以包括定义空腔的各面的点和/或CAD数据。

可以用设计数据自动地制造部件载体。可以将设计数据输入到电镀设备中，该电镀设备然后将如设计数据中定义的厚度的金属层电镀到电隔离层上。可以将设计数据输入到蚀刻设备中，该蚀刻设备然后将金属层蚀刻成图案和/或结构，使得如设计数据中定义的那样生成导电层。可以将设计数据输入到钻孔设备中，该钻孔设备如设计数据中定义的那样穿过部件载体钻孔。可以将设计数据输入到锯切设备中以便生成空腔，诸如设计数据中定义的。

例如，当在设计数据中对部件载体的整体延长部进行编码和/或描述时，可以根据设计数据确定测量区域。例如，测量区域的数目可以为固定的，并且测量区域可以分布在部件载体的侧面之上。

替换地和附加地，可以基于部件载体的设计数据确定测量点，使得测量点处于具有在设计数据中可获得和/或编码的至少一个预定义特征的位置。

当测量区域被确定时，在每个测量区域中搜索测量点。测量点可以具有在设计数据中可获得和/或编码的至少一个预定义特征。这样的预定义特征可以为在部件载体上存在金属材料、不存在钻孔、不存在空腔等的地方。还可能的是，这样的预定义特征可以为存在钻孔和/或空腔。通常，预定义特征可以为部件载体的特性，其中可以在不干扰部件载体的其他特性的情况下执行测量。

作为示例，当导电层的厚度测量是用该方法执行的测量时，至少一个预定义特征包括存在金属材料并且在金属材料下方不存在通孔的区域。

评价设备可以在相应的测量区域中扫描设计数据，而无论是否存在具有至少一个预定义特征的位置和/或区域。当找到这样的位置时，可以将此位置用作测量点。

最后，在测量点处执行测量。评价设备可以控制和/或命令测量设备将传感器移动到测量点并在每个测量点处执行测量。为此，测量设备可以包括附连有传感器的臂或更一般地移动装置。

根据本发明的一个实施例，该方法还包括：当在测量区域中未找到具有至少一个预定义特征的测量点时，延长测量区域并在经延长的测量区域中确定测量点。可能的是，在测量区域中扫描测量点期间，未找到存在设计数据中可获得的所有至少一个预定义特征的位置和/或区。然后，测量区域可以通过增加其尺寸来延长。例如，测量区域可以为矩形，并且矩形的各边可以为细长的。作为另一示例，测量区域可以为圆形，并且圆形的直径可以延长。

根据本发明的一个实施例，在每个测量区域中确定多个测量点。这些测量点中的每一个均可以具有至少一个预定义特征。然后可以在这些测量点中的每一个处进行测量。以这样的方式，能够将测量区域中的测量结果相互进行比较。

根据本发明的一个实施例，部件载体具有矩形形状。可以将测量区域放置在部件载体的拐角中并且/或者可以将测量区域放置在部件载体的中心中。所有这些测量点处的测量结果可以代表完整部件载体的物理特性。通常，测量区域可以均匀地分布在部件载体之上。

根据本发明的一个实施例，测量区域具有矩形形状。这样的形状可以容易地与设计数据中的点相交，以便确定设计数据的哪一个部分对相应的测量区域来说相关。然而，诸如圆形形状的其他形状也是可能的。

根据本发明的一个实施例，设计数据对以下各项中的至少一个进行编码：由电隔离层上的导电层的各部分提供的导电区域的延长部；导电层的层厚度；穿过部件载体的至少一些层的钻孔的位置。如上已经提及的，设计数据还可以被用于自动地制造部件载体。

根据本发明的一个实施例，物理特性是部件载体的层厚度。测量可以为层厚度测量。层厚度可以为表面层和/或其他导电层如在表面层下面的层的层厚度。利用此类测量，可以确定是否已在电隔离层上电镀了足够的金属材料和/或导电层的电导率是否足够高。

根据本发明的一个实施例，以非破坏性方式执行测量。例如，测量可以基于涡电流测量、电感测量和x射线测量中的至少一个。对应传感器可以由测量设备提供。

根据本发明的一个实施例，在设计数据中可获得和/或编码的预定义特征是例如围绕测量点的导电层的一部分，该部分具有大于最小区域的区域。在测量区域中扫描设计数据期间，可以搜索导电层的具有至少具体区域的区域。这样的区域可以保证能够执行厚度测量的均匀厚度。

根据本发明的一个实施例，在设计数据中可获得和/或编码的预定义特征是部件载体的例如围绕测量点的区和/或区域，该区没有钻孔和/ 或没有通孔。钻孔和/或通孔可能干扰钻孔和/或通孔上方的导电层的区域的厚度测量。必须注意，不容易通过目视检查找到没有钻孔和/或没有通孔的区域，因为导电层可以覆盖此类特征。在这里，该方法可以显著地改进由技术人员进行的测量。

根据本发明的一个实施例，该方法还包括：确定部件载体的定向点，其中，相对于定向点确定测量点。测量设备可以包括用于确定部件载体的拐角或其他定向点的装置。

根据本发明的一个实施例，该方法还包括：通过扫描部件载体的至少一部分来确定部件载体的标识符；以及根据标识符确定设计数据。标识符可以为在部件载体上提供的计算机可读代码。此标识符可以用测量设备的扫描仪来扫描。评价设备可以被适配用于确定具有相应的标识符的部件载体的设计数据。例如，可以根据标识符和/或根据存储标识符的查找表确定到设计数据的链接。

根据本发明的一个实施例，测量多个同样地设计的部件载体的物理特性，其中，在针对多个部件载体执行测量之前针对多个部件载体确定测量点。可能的是用该方法处理多个同样地设计的部件载体。在这种情况下，可以仅一次确定设计数据和/或测量区域和/或测量点，并且可以在相同的测量点处针对每个部件载体执行测量。这可以节省评价设备的计算能力并且/或者可以提高该方法的速度。

根据本发明的一个实施例，该方法还包括：当测量点处的物理特性的测量在预定义边界之外时，将部件载体评定为有故障的。该方法可以被用于区分具有所期望的物理特性即在期望的边界内的部件载体和具有在这些边界之外并然后被认为是有故障的物理特性的部件载体。例如，导电层的厚度在至少一个测量点中比最小厚度薄或比最大厚度厚的部件载体可以被认为是有故障的。

根据本发明的一个实施例，从进一步制造中自动地移除被评定为有故障的部件载体。可以进一步制造所测量的物理特性停留在边界内的部件载体。可以从自动制造中移除其他部件载体。例如，输送机设备或机器人可以将评定为无故障的部件载体输送到下一制造设备，然而可以将评定为有故障的部件载体输送到它们可以由技术人员检查的地方。

本发明的另一个方面涉及一种用于测量部件载体的物理特性的计算机程序，该计算机程序当正由处理器执行时，适于执行上述和下述方法的步骤。计算机可读介质可以为硬盘、USB(通用串行总线)存储设备、RAM(随机存取存储器)、ROM(只读存储器)、EPROM(可擦除可编程只读存储器)或闪速存储器。计算机可读介质还可以为数据通信网络，例如因特网，其允许下载程序代码。通常，计算机可读介质可以为非暂时性介质或暂时性介质。

本发明的另一个方面可以为一种计算机可读介质，其中存储了这样的计算机程序。例如，评价设备可以包括在其中执行计算机程序的处理器和在其中存储计算机程序的存储器。

本发明的另一个方面涉及一种用于测量部件载体的物理特性的测量系统。该测量系统可以为制造系统的一部分，该制造系统还可以包括电镀设备、蚀刻设备和钻孔设备中的至少一个。该制造系统还可以包括用于在这些设备之间输送部件载体的输送机系统。

根据本发明的一个实施例，该测量系统包括：评价设备，该评价设备用于在部件载体上确定多个测量区域；用于在每个测量区域中确定测量点；和测量设备，该测量设备用于执行物理特性的测量。多个测量区域中的至少一个和/或测量点基于部件载体的设计数据来确定，使得测量区域中的至少一个和/或测量点处于具有在设计数据中可获得的至少一个预定义特征的位置。

根据本发明的一个实施例，该测量设备包括用于确定部件载体的物理特性的特性传感器，该特性传感器可由诸如移动臂的移动装置移动。如以上所提及的，可以以非破坏性方式和/或用以上提及的相应的传感器执行测量。

根据本发明的一个实施例，该测量设备包括：工作台，该工作台用于放置部件载体；和对准装置，该对准装置用于在工作台上对准部件载体；以及位置传感器，该位置传感器用于确定部件载体的定向点。

必须理解，如在上文中并在下文中描述的方法的特征可以为如在上文中并在下文中描述的计算机程序、计算机可读介质和制造系统的特征，并且反之亦然。

本发明的这些和其他方面将从在下文中描述的实施例中显而易见，并且参考在下文中描述的实施例被阐明。

附图说明

在下面，参考附图更详细地描述本发明的实施例。

图1示出部件载体的示意性横截面视图。

图2示意性地示出根据本发明的一个实施例的具有测量系统的制造系统。

图3示出根据本发明的一个实施例的到用于测量系统的测量设备上的示意性顶视图。

图4示出图示根据本发明的一个实施例的方法的流程图。

图5A至图5E示出图示在根据本发明的一个实施例的方法中使用的测量区域和设计数据的图。

附图中使用的附图标记及其含义被以摘要形式列举在附图标记的列表中。原则上，在图中相同的部分设有相同的附图标记。

具体实施方式

图1示出部件载体10的横截面视图，该部件载体由以下各项组成：电隔离层12，其可以由塑料材料制成；和导电层14，其可以由诸如铜的金属材料制成。导电层14和电隔离层12被构造。导电层14被图案化和/或构造为形成导电路径16。不同层14的导电路径16可以与通孔 18(即穿过一个或多个电隔离层12的用金属材料填充的孔20)互连。此外，电隔离层12和/或导电层14中的一个或多个可以被构造为具有空腔22。

导电层14的形成和构造可以通过电镀和/或蚀刻来完成。电隔离层12的构造可以通过钻孔和/或锯切来完成。

部件载体10(其也可以被视为电路板)可以被用于机械地和电力地互连电气部件和电子部件，这些电气部件和电子部件可以被焊接和/ 或以其他方式附连到部件载体10。

为了测试部件载体10的生产过程是否成功，可以测量部件载体 10的具体物理特性24、24a、24b、24c，诸如层厚度24a、空腔22的深度24b、导电路径的宽度24c等。这不限于部件载体10的表面层，而且可以针对内层做这个。一个层堆叠并且我们将测量铜层的厚度。许多其他物理特性是可能的，并且只出于示例的目的列举先前的物理特性。然而，为了测量这些特性，在部件载体上找到能够最准确地进行这些测量的地方可以是有益的，因为测量可能受到部件载体10的其他部分干扰。例如，用于金属层12的层厚度24a的良好测量位置即位置26可以是有益的，因为在那里，通过通孔18对测量的干扰是不可能的。

图2示意性地示出制造系统28，其中能够自动地执行这样的测量以便通过系统28控制过程流程。

制造系统28包括电镀设备30、蚀刻设备32、钻孔设备34、锯切设备36、测量设备38和输送机系统40。并非所有这些设备都需要为制造系统28的一部分。利用设备28、30、32、34、36，能够制造部件载体10，诸如图1所示的部件载体。利用测量设备38，能够进行这些如以上所提及的用于检查部件载体10的物理特性24的测量。输送机系统40被适配用于在制造过程的不同阶段中在不同设备28-38之间自动地输送部件载体10。

制造系统28包括控制系统42，该控制系统可以包括中央部件44 和本地部件46，诸如测量设备38的控制器46a。控制器46a任选地中央部件44和测量设备38可以形成制造系统28的测量子系统48。

图3示出用于测量子系统48和制造系统28的测量设备38的顶视图。测量设备38具有输送机系统40可以将部件载体10放置到上面的工作台50。对准装置52(例如推动器)可以使部件载体10相对于移动装置53(诸如臂)对准，该移动装置被适配用于如通过箭头所指示的那样将部件载体上方的特性传感器54移动到期望的测量位置26。特性传感器54可以为非破坏性传感器，其例如基于涡电流测量、电感测量和/或x射线测量来执行测量。

测量设备38可以包括位置传感器56，其被适配用于确定部件载体10的定向点58，诸如拐角。定向点58可以被用于找到已由测量设备38确定的测量点26。例如，位置传感器56可以执行用于确定定向点58的超声距离测量。

此外，测量设备38可以包括用于扫描设置在部件载体10上的标识符62的扫描仪60。由标识符62提供的机器可读代码可以被用于标识部件载体10的类型和/或设计，据此确定测量点26。

图4示出图示可以由制造系统28自动地执行的方法的流程图。

在步骤S10中，制造部件载体10。电隔离层12可以由输送机系统40输送到电镀设备30中，该电镀设备将一个或两个导电层14电镀到电隔离层12上。输送机系统40将部件载体10的已形成的部分输送到电镀设备32，该电镀设备然后将经电镀的导电层14构造和/或构图成导电路径16。可能的是，钻孔20和/或空腔22以前由部分地制造的部件载体10以前由输送机系统40输送到的钻孔设备34和/或锯切设备 36形成。可以重复步骤S12中的不同生产步骤若干次，直到已形成完整部件载体10为止。

为了制造部件载体10，使用设计数据64。设计数据64可以被存储在数据库中和/或在文件中，例如在控制系统的中央部件44中，并且可以被分发到本地部件46，这些本地部件可以经由通信网络控制制造设备30-36。

可以将以下步骤S12和S14视为用于测量部件载体10的物理特性 24的测量方法。该测量方法可以由测量设备38的控制器46a任选地与制造系统28的中央部件44一起执行。可以将执行该方法的控制器46a 和中央部件44的各部分和/或模块视为评价设备66。

图5A至图5E示出部件载体10和在如将在下面描述的方法期间生成的具体数据。如图5A所示，部件载体10具有矩形形状。定向点 58可以为部件载体10的预定拐角，该定向点58可以由位置传感器56 标识。

图5B示出可以借助于定向点58针对部件载体10确定坐标系X、 Y。利用此坐标系X、Y，还可以定义部件载体10的中心68。如图5C 所示，基于坐标系X、Y能够选择部件载体10的拐角中的Y区域70，能够定义哪些区域被用于定义，诸如矩形测量区域72。

如图5D所示，这些测量区域72可以比区域70小并且/或者可以延长到较大的测量区域74，如将在下面描述的。还可能的是，在部件载体10的中心68处定义另一个测量区域72(其也可以延长)。

在图5E中，附加地图示了设计数据64以及部件载体10。

设计数据64可以对导电层14的图案和/或结构76进行编码。此外，设计数据64可以对钻孔20的位置78和空腔22的位置80进行编码。在上面并在下面列举了被编码到设计数据64中的信息的进一步示例，诸如由电隔离层12上的导电层14的各部分提供的导电区域的延长部、导电层14的层厚度和/或穿过部件载体10的导电层14和/或电隔离层12中的至少一些的钻孔20的位置。

返回到图4，在步骤S12中，根据设计数据64确定测量区域72 和在这些测量区域72内部的测量点26。例如，测量区域72可以通过首先在拐角中确定区域70并然后通过在区域70内部确定较小的测量区域72来确定。这可以通过评价设计数据66来完成，使得根据设计数据64将测量区域72定位为具有至少一个预定义特征。

例如，当相应的部件载体10已到达测量设备38时，可以针对每一部件载体10执行步骤S12。例如，测量设备38可以通过用扫描仪 60扫描部件载体10的至少一部分来确定部件载体10的标识符62。然后可以根据标识符62确定设计数据64。例如，用于多种不同类型的部件载体10的设计数据64可以被存储在例如由中央部件44提供的数据库中。根据标识符62，可以确定部件载体10的类型，并且由此可以收集这种类型的设计数据64并将其发送到评价设备74。

还可能的是，在针对多个部件载体10执行测量之前针对多个同样地设计的部件载体10一次确定测量区域72和测量点26。例如，可以针对具体类型的部件载体10定制测量设备38或者只针对已到达测量设备38的具体类型的第一部件载体10执行计算。在这种情况下，可以相对于该类型的部件载体10将测量区域72和测量点26存储在评价设备66中。

可以以以下方式确定部件载体10上的测量区域72：

评价设备66可以根据设计数据64确定部件载体10的外形和尺寸。例如，部件载体10具有带具体边界长度的矩形形状。根据部件载体10的外形和尺寸，评价设备66确定测量区域72的位置，这些测量区域例如被放置在部件载体10的拐角中并且/或者测量区域72被放置在部件载体10的中心(参见图5A至图5D)。

测量区域72可以具有相同的形状，诸如矩形形状，并且/或者可以具有相同的尺寸。可以将测量区域72的边界长度选取为介于部件载体10的边界长度的10％和20％之间。例如，测量区域72的边界长度可以为10cm×10cm。此外，可以将拐角处的测量区域72定位为到部件载体10的边界具有具体距离，诸如5cm。

可以以以下方式确定测量区域72中的每个测量点26：

通常，可以根据与测量区域72相关联的部件载体10的设计数据 64确定每个测量区域72中的测量点26，使得测量点26处于具有在设计数据64中可获得的至少一个预定义特征的位置。

设计数据64包括关于部件载体10的相应部分和/或部件的位置的信息。例如，导电层14的结构66的布局可以包括定义结构66的边界的点和线。此外，钻孔和/或要锯切的空腔的位置和/或延长部可以被存储在设计数据中。关于位置的这种信息可以被用于确定在设计数据64 中定义的部分和/或部件是否在测量区域72中。

测量区域72中的部分和/或部件然后可以由评价设备66针对预定义特征进行扫描。可以选择预定义特征，使得具体测量被促进和/或从那里的预定义特征中受益。

例如，在设计数据64中可获得的预定义特征可以为围绕电位测量点26的导电层14的一部分。预定义特征可以为外导电层14的具有大于最小区域的区域的一部分。这样的最小区域可以为尺寸12mm×19 mm的矩形区域。

作为另一个示例，在设计数据64中可获得的预定义特征可以为部件载体10的围绕电位测量点26的区，该区没有钻孔20和/或没有通孔 18。例如，预定义特征可以为部件载体10的在最小区域下面没有钻孔 20和/或通孔18的区，例如如以上所提及的。

然后可以选择测量点26作为已在设计数据64中找到所有预定义特征的位置和/或点。

可能的是在每个测量区域72中确定多个测量点26。可能的是然后将所有这些测量点26稍后用于测量。还可能的是从多个(潜在)测量点26中选择一个测量点26，这很可能产生最好测量。例如，这样的测量点26可以具有导电层14的在下面没有钻孔20和/或通孔18的最大区域。

当在具有期望的预定义特征的测量区域72中未找到测量点26时，可以延长测量区域72，从而产生延长的测量区域74，并且可以在经延长的测量区域74中搜索测量点26。例如，可以将测量区域72的边界长度放大具体倍数，诸如1.5。可能的是重复测量区域72的延长部，直到找到测量点26为止。

在步骤S16中，用测量设备38执行对每个测量点26处的物理特性24的测量。为此，可能必须通过输送机系统40将部件载体10输送到测量设备38的工作台50上。部件载体10可以由对准装置52对准。可以确定部件载体10的定向点58，使得相对于定向点58确定测量点26。

特性传感器54被移动到测量点26并在那里执行测量。如已经提及的，可以以非破坏性方式执行测量。例如，当测量是表面层厚度测量时，该测量可以基于涡电流测量、电感测量和x射线测量中的至少一个。在这种情况下，物理特性可以为部件载体10的表面层14的表面层厚度25a。测量可以被存储在测量数据82中，该测量数据可以被用于进一步控制制造过程。

例如，测量数据82可以被用于质量检查用制造系统28生产的部件载体10。

为此，在步骤S16中，判定了应该如何进一步处理部件载体10。当测量点26处的物理特性24的测量在预定义边界之外时，可以将部件载体10评定为有故障的。例如，仅具有在预定义边界内的表面层厚度25a的部件载体10可以由输送机系统40输送到另一个生产步骤。

否则，可以将被评定为有故障的部件载体10从进一步制造中自动地移除。在这种情况下，输送机系统40可以将已被评定为有故障的相应的部件载体10输送到能够人工地检查或丢弃它的地方。

虽然已在附图和前面的描述中详细地图示和描述了本发明，但是此类图示和描述将被认为是说明性或示例性的，而不是限制性的；本发明不限于所公开的实施例。根据对附图、公开内容和所附权利要求的研究，所公开的实施例的其他变型能够由本领域的技术人员并通过实践所要求保护的发明来理解和实现。在权利要求中，单词“包括”不排除其他元件或步骤，并且不定冠词“一”或“一个”不排除多个。单个处理器或控制器或其他单元可以履行权利要求中记载的若干项目的功能。在相互相同的从属权利要求中记载某些措施的唯一事实不表明这些措施的组合不能用于处于优势。不应该将权利要求中的任何附图标记解释为限制范围。

附图标记的列表

10 部件载体

12 电隔离层

14 导电层

16 导电路径

18 通孔

20 孔

22 空腔

24 物理特性

24a 层厚度

24b 深度

24c 宽度

26 测量位置

28 制造系统

30 电镀设备

32 蚀刻设备

34 钻孔设备

36 锯切设备

38 测量设备

40 输送机系统

42 控制系统

44 中央部件

46 本地部件

46a 测量设备的控制器

48 测量系统

50 工作台

52 对准装置

53 移动装置

54 特性传感器

56 位置传感器

58 定向点

60 扫描仪

62 标识符

64 设计数据

66 评价设备

68 中心

X、Y 坐标系的轴线

70 部件载体上的区域

72 测量区域

74 延长的测量区域

76 结构

78 钻孔的位置

80 空腔的位置

82 测量数据。

Claims (16)

1.一种用于测量部件载体(10)的物理特性(24)的方法，所述部件载体(10)包括至少一个电隔离层(12)和在所述电隔离层(12)上的至少一个导电层(14)，

所述方法包括：

在所述部件载体(10)上确定多个测量区域(72)；

在每个测量区域(72)中确定测量点(26)；

在每个测量点(26)处执行所述物理特性(24)的测量；

其中，基于所述部件载体(10)的设计数据(64)来确定所述多个测量区域(72)中的至少一个和/或所述测量点(26)，使得所述测量区域(72)中的所述至少一个和/或所述测量点(26)处于具有在所述设计数据(64)中可获得的至少一个预定义特征的位置。

2.根据权利要求1所述的方法，

其中，在每个测量区域(72)中确定多个测量点(26)。

3.根据权利要求1所述的方法，

其中，所述设计数据(64)对以下中的至少一个进行编码：

由在电隔离层(12)上的导电层(14)的各部分提供的导电区域的延长部；

导电层(14)的层厚度；

穿过所述部件载体(10)的所述导电层(14)和/或所述电隔离层(12)中的至少一些的钻孔(20)的位置。

4.根据权利要求1所述的方法，

其中，所述物理特性是所述部件载体(10)的层厚度(25a)；

其中，所述测量是层厚度测量。

5.根据权利要求1所述的方法，

其中，以非破坏性方式执行所述测量。

6.根据权利要求1所述的方法，

其中，在所述设计数据(64)中可获得的预定义特征是导电层(14)的一部分，所述部分具有大于最小区域的区域。

7.根据权利要求1所述的方法，

其中，在所述设计数据(64)中可获得的预定义特征是所述部件载体(10)的没有钻孔(20)和/或没有通孔(18)的区。

8.根据权利要求1所述的方法，还包括：

确定所述部件载体(10)的定向点(58)，其中，相对于所述定向点(58)来确定所述测量点(26)。

9.根据权利要求1所述的方法，还包括：

通过扫描所述部件载体(10)的至少一部分来确定所述部件载体(10)的标识符(62)；

根据所述标识符(62)来确定所述设计数据。

10.根据权利要求1所述的方法，

其中，测量多个同样地设计的部件载体(10)的物理特性(24)；

其中，在针对所述多个部件载体(10)执行所述测量之前，针对所述多个部件载体(10)来确定所述测量点(26)。

11.根据权利要求1所述的方法，还包括：

当在测量点(26)处的所述物理特性(24)的所述测量在预定义边界之外时，将所述部件载体(10)评定为有故障的；

从进一步制造中自动地移除被评定为有故障的部件载体(10)。

12.一种用于测量部件载体(10)的物理特性(24)的计算机程序，当由处理器执行时，所述计算机程序适于执行根据权利要求1所述的方法的步骤。

13.一种计算机可读介质，在所述计算机可读介质中存储根据权利要求12所述的计算机程序。

14.一种用于测量部件载体(10)的物理特性(24)的测量系统(48)，其中，所述测量系统包括：

评价设备(66)，所述评价设备(66)用于在所述部件载体(10)上确定多个测量区域(72)；用于在每个测量区域(72)中确定测量点(26)；以及

测量设备(38)，所述测量设备(38)用于执行所述物理特性的所述测量；

其中，基于所述部件载体(10)的设计数据(64)来确定所述多个测量区域(72)中的至少一个和/或所述测量点(26)，使得所述测量区域(72)中的所述至少一个和/或所述测量点(26)处于具有在所述设计数据(64)中可获得的至少一个预定义特征的位置。

15.根据权利要求14所述的测量系统(48)，

其中，所述测量设备(38)包括用于确定所述部件载体(10)的所述物理特性(24)的特性传感器(54)，该特性传感器(54)可由移动装置(53)移动。

16.根据权利要求14所述的测量系统(48)，

其中，所述测量设备(38)包括：工作台(50)，所述工作台用于放置所述部件载体(10)；对准装置(52)，所述对准装置(52)用于在所述工作台(50)上对准所述部件载体(10)；以及位置传感器(56)，所述位置传感器(56)用于确定所述部件载体(10)的定向点(58)。

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