CN114810594A - 真空泵及真空泵的复压方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种可靠性更高的真空泵。在本发明的真空泵中，气缸主体具有：进气口；筒状的内部空间，其经由上述进气口吸入气体；排气口，其将上述气体从上述内部空间经过排气通道向内部空间外排出；供油口，其向上述内部空间供给泵油；油池，其设置在上述内部空间的上方，能够收容上述排气口，存积与上述气体一同从上述排气口排出的上述泵油。转子机构将经由上述进气口抽吸的上述气体的容积形成于上述内部空间，并且将上述容积的上述气体输送至上述排气通道。除了上述排气通道之外还设置有孔路径，其从上述内部空间贯通至上述油池且比上述排气通道的孔径小。

Description

真空泵及真空泵的复压方法

技术领域

本发明涉及真空泵及真空泵的复压方法。

背景技术

作为有代表性的真空泵，有叶片式真空泵。该真空泵具有转子、在内部收容转子的气缸、使转子旋转的轴、以及与气缸内部的内周面滑动接触的多个叶片构件。这样的叶片构件通过转子的旋转而在气缸内部的内周面滑动，使气体(例如空气、水蒸气等)经由形成于气缸的进气口被抽吸至气缸内部，被抽吸的气体经由排气口被排出至气缸外(例如参照专利文献1)。

在此，在采用了压差供油方式的真空泵中，在转子旋转时，例如向气缸内部进行供油。例如在气缸内部的压力与气缸外的压力的差为规定值以上时，从油箱向气缸内部持续供油。

供给到气缸内部的油与被抽吸至气缸内部的气体一同被排出至气缸外，并在油箱中再次存积。然后，存积在油箱中的油再次被供给至气缸内部。在真空泵中重复进行该一系列的供油。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特表2008-545096号公报。

发明要解决的问题

在此，当真空泵的转子停止旋转时，例如通过设置在真空泵的泄漏路径使气缸内部压力恢复至大气压。但是，当需要持续很长时间才恢复压力时，气缸内部与气缸外的压力差也长时间维持在规定值以上的状态，直至该压力差达到规定的压力差为止，油持续地从油箱被供给至气缸内部。

当持续地进行该供油而导致向气缸内部供给了过量的油时，在使转子恢复旋转时，叶片构件对过量供给的非压缩性流体的油强制加压，叶片构件可能破损。

为了避免这种情况发生，也有如下技术：在真空泵增设能够迅速恢复压力的专用的复压机构。但是，这样的技术导致增加了专用的复压机构所需的部件数量，导致真空泵的MTBF(Mean Time Between Failure，平均无故障工作时间)减少，新增了使真空泵的可靠性降低的因素。

发明内容

鉴于如上的情况，本发明的目的在于提供一种可靠性更高的真空泵及真空泵的复压方法。

用于解决问题的方案

为了实现上述目的，本发明的一个方式涉及的真空泵具有气缸主体和转子机构。

上述气缸主体具有：进气口；筒状的内部空间，其经由上述进气口吸入气体；排气口，其将上述气体从上述内部空间经过排气通道向内部空间外排出；供油口，其向上述内部空间供给泵油；油池，其设置在上述内部空间的上方，收容上述排气口，并能够存积与上述气体一同从上述排气口排出的上述泵油。

上述转子机构在上述内部空间形成经由上述进气口抽吸的上述气体的容积，并且将上述容积的上述气体输送至上述排气通道，

除了上述排气通道之外，还设置有从上述内部空间贯通至上述油池且比上述排气通道的孔径小的孔路径。

这样的真空泵由于不需要在真空泵中增设专用的复压机构，可以抑制部件数量增加，可以得到可靠性更高的真空泵。

在上述真空泵中，上述孔路径也可以在上述气缸主体中与上述排气通道并列地设置在上述气缸主体内。

这样的真空泵由于通过在气缸主体与排气通道并列地设置的孔路径进行真空泵的复压，因此可以抑制部件数量增加，可以得到可靠性更高的真空泵。

在上述真空泵中，在驱动上述转子机构的原动力被供给至上述转子机构时，保持上述内部空间的压力比外部气压低，并且上述泵油填充在上述孔路径的至少一部分，也可以在供给至上述转子机构的上述原动力被切断时，上述孔路径打开，外部空气从上述气缸主体的外部经由上述孔路径流入上述内部空间。

这样的真空泵由于在驱动转子机构的原动力被供给至上述转子机构时，泵油填充在孔路径的至少一部分，在供给至转子机构的原动力被切断时，孔路径打开，进行真空泵的复压，因此可以抑制部件数量增加，得到可靠性更高的真空泵。

在上述真空泵中，还具有收容在上述油池的单向阀，其闭塞上述排气口，上述油池配置有上述单向阀，由从上述内部空间到达上述孔路径的底部和包围上述底部的壁部构成，当上述原动力被供给至上述转子机构时，上述泵油可以停留在上述底部，上述单向阀可以被上述泵油覆盖。

这样的真空泵由于泵油停留在油池，因此当驱动转子机构的原动力被供给至转子机构时，泵油可靠地填充在孔路径的至少一部分。

在上述真空泵中，上述转子机构也可以具有：转子，其收容在上述内部空间，绕相对于上述内部空间的中心轴偏心的轴心旋转；多个叶片构件，其通过上述转子的旋转从上述转子的外周面向上述内部空间的内周面突出，并且在与上述内周面滑动接触的同时绕上述轴心旋转。

在上述内周面中，设置有与上述内部空间连通的、上述孔路径的开口和上述排气通道的开口，上述孔路径的上述开口也可以设置在从上述多个叶片构件分别与上述排气通道的上述开口开始重叠的上述内周面的位置到上述转子与上述内周面最接近的上述内周面的位置之间。

这样的真空泵由于孔路径的开口设置在从多个叶片构件分别与排气通道的开口开始重叠的内周面的位置到转子与内周面最接近的内周面的位置之间，因此当驱动转子机构的原动力被供给至转子机构时，可靠地经过排气通道排气，泵油可靠地填充在孔路径的至少一部分。

在上述真空泵中，上述孔路径的上述开口也可以设置在从上述多个叶片构件分别开始经过上述排气通道的上述开口的上述内周面的位置到上述转子与上述内周面最接近的上述内周面的位置之间。

这样的真空泵由于孔路径的开口设置在多个叶片构件分别开始经过排气通道的开口的内周面的位置到转子与内周面最接近的内周面的位置之间，因此当驱动转子机构的原动力被供给至转子机构时，可靠地进行经过排气通道的排气，泵油更可靠地填充在孔路径的至少一部分。

在上述真空泵中，在上述气缸主体中，也可以在上述内周面与上述排气通道的上述开口之间设置有第一凹部，在上述内周面与上述孔路径的上述开口之间设置有第二凹部，上述第一凹部从上述内周面向上述气缸主体下陷，与上述排气通道的上述开口连通，上述第二凹部从上述内周面向上述气缸主体下陷，在上述中心轴的方向上与上述第一凹部并列，与上述孔路径的上述开口连通。

这样的真空泵由于设置了与孔路径的开口连通的第二凹部，因此当驱动转子机构的原动力被供给至转子机构时，泵油更可靠地填充在孔路径的至少一部分。

在上述真空泵中，上述孔路径的上述开口也可以设置在从上述多个叶片构件分别开始经过上述排气通道的上述开口的上述内周面的位置到上述多个叶片构件分别开始经过上述第一凹部的上述内周面的位置之间。

这样的真空泵由于孔路径的开口设置在从多个叶片构件分别开始经过排气通道的开口的内周面的位置到多个叶片构件分别开始经过第一凹部的内周面的位置之间，因此当驱动转子机构的原动力被供给至转子机构时，泵油更可靠地填充在孔路径的至少一部分。

在上述真空泵中，也可以在上述中心轴的方向上设置多个上述排气通道、在上述中心轴的方向上在上述多个排气通道的组的两侧设置上述孔路径。

这样的真空泵由于在中心轴的方向上设置多个排气通道、在中心轴的方向上在多个排气通道的组的两侧设置孔路径，因此当驱动转子机构的原动力被供给至转子机构时，泵油更可靠地填充在孔路径的至少一部分。

在上述真空泵中，还具有收容在上述油池内的单向阀，其闭塞上述排气口，上述孔路径也可以贯通上述单向阀，并设置在上述排气通道的内部。

这样的真空泵由于在单向阀附加设置孔路径，因此不需要在真空泵增设专用的复压机构，可以抑制部件数量增加，得到可靠性更高的真空泵。

为了实现上述目的，本发明的一个方式涉及的真空泵的复压方法，对上述真空泵的上述内部空间进行复压，除了上述排气通道之外，还形成有从上述内部空间贯通至上述油池且比上述排气通道的孔径小的孔路径，在将驱动上述转子机构的原动力供给至上述转子机构时，将上述泵油填充在上述孔路径的至少一部分来抑制外部空气流入上述内部空间，在将供给至上述转子机构的上述原动力切断之后，使上述外部空气经过上述孔路径流入上述内部空间。

这样的真空泵的复压方法不需要在真空泵中增设专用的复压机构，可以抑制部件数量增加。

发明效果

如上所述，根据本发明，可以提供一种可靠性更高的真空泵及真空泵的复压方法。

附图说明

图1为表示本实施方式的真空泵的一个例子的示意性剖视图。

图2为表示本实施方式的真空泵的一个例子的示意性立体图。

图3为表示本实施方式的真空泵的一个例子的示意性立体图。

图4为表示排气通道、孔路径以及凹部的配置关系的示意性俯视图。

图5为表示参考例涉及的真空泵的示意性剖视图。

图6为说明本实施方式的真空泵的工作的示意性剖视图。

图7为说明本实施方式的真空泵的工作的示意性剖视图。

图8为说明已填充在孔路径内的泵油随着转子机构的旋转而振动的现象的示意性剖视图。

图9的(a)为在参考例的真空泵中流道路线的主要部分的等效路线图；(b)为在本实施方式的真空泵中流道路线的主要部分的等效路线图。

图10为表示真空泵的变形例的示意性剖视图。

具体实施方式

以下，一边参照附图一边说明本发明的实施方式。在各附图中，有导入XYZ轴坐标的情况。此外，有对相同的构件或具有相同功能的构件标注相同的附图标记的情况，并在说明该构件后适当省略说明。

[真空泵的构造]

图1为表示本实施方式的真空泵的一个例子的示意性剖视图。在图1中，设转子机构20的轴心为X轴方向。在图1中，以虚线A为界，将虚线A的右侧作为真空泵1的Y-Z轴剖面，将左侧作为真空泵1的X-Z轴剖面。此外，设转子201旋转的方向为旋转方向R。

此外，在图1中，将转子201与内部空间103的内周面103s最接近的内周面103s的位置设为位置103H，将转子201与内周面103s最远离的内周面103s的位置设为位置103L。X轴方向与图中的中心轴103c或中心轴201c延伸的方向对应，Z轴方向与从位置103L朝向位置103H的方向对应，Y轴方向与和X轴方向及Z轴方向交差的方向(例如正交的方向)对应。

真空泵1为容积式油旋转泵。真空泵1具有气缸主体(外壳)10、转子机构20、驱动机构30、供油机构40、单向阀(排气阀)50以及壳体60。真空泵1作为真空槽(未图示)的排气机构发挥功能，从真空槽抽吸存在于真空槽的放电气体、原料气体以及残留气体等气体，使真空槽处于减压状态。通过控制装置80控制真空泵1。另外，作为本实施方式的真空泵，也可以将控制装置80包含在真空泵1中。例如，将驱动机构30作为三相感应电动机，由利用三相电磁开关的直接起动电路构成控制装置80。

气缸主体10具有进气口101、进气通道102、内部空间103、排气通道104、排气口105、孔路径106、油池107以及供油口108。在气缸主体10中，通过转子机构20，按照进气口101、进气通道102、转子201与内部空间103之间的间隙、排气通道104以及排气口105的顺序输送气体。将该气体被输送的方向设为气体输送方向。在气体输送方向上，进气口101侧为上游侧，排气口105侧为下游侧。

进气口101位于比转子机构20更靠上方的气缸主体10的上部。进气口101位于气缸主体10中气体输送方向的最上游。进气口101与气缸主体10的进气通道102连通。进气通道102在气体输送方向上位于进气口101的下游。例如，当以位置103H为起点时，进气通道102在旋转方向R上位于内部空间103的前方。此外，进气通道102在旋转方向R上位于位置103L的前方。此外，进气口101还与壳体60的进气通道601连通。经由进气口101和进气通道102，真空槽内的气体等被吸入气缸主体10的内部空间103。在真空泵1工作时，进气口101的压力比排气口105的压力低。

内部空间103为筒状的空间，例如在X轴方向延伸的圆筒状的空间。内部空间103与进气通道102连通。内部空间103在气体输送方向上位于进气通道102的下游。例如，当以位置103H为起点时，内部空间103在旋转方向R上位于进气通道102的后方。内部空间103收容转子机构20。在与内部空间103的中心轴103c正交的方向将内部空间103切断的情况下，内部空间103的内周面103s描绘出例如圆形的曲面。

在X轴方向延伸的内部空间103中，一个端部(例如图1中里侧的端部)被凸缘11闭塞，另一个端部(例如图1中近前侧的端部)被凸缘13(图2)闭塞。

此外，内部空间103的内周面103s具有转子201与内周面103s最接近的位置103H、以及转子201与内周面103s最远离的位置103L。位置103H为内部空间103的最上端，位置103L为内部空间103的最下端。在气体输送方向上，进气通道102位于比位置103L更靠上游处，进气口101位于进气通道102的更上游。

排气通道104位于比转子201的中心轴201c更靠上方的气缸主体10的上部。排气通道104在气体输送方向上位于比内部空间103更靠下游处。当以位置103H为起点时，排气通道104在旋转方向R上位于内部空间103的后方。此外，当以位置103L为基准时，排气通道104在旋转方向R上位于位置103L的后方。

排气通道104从内部空间103的内周面103s贯通至油池107的底部107b。在内部空间103的内周面103s设置有成为排气通道104的入口的开口1041。开口1041与内部空间103连通。此外，排气通道104在Y轴方向上例如与进气通道102的上部并列。在此，进气通道102的上部是指，在Z轴方向上比转子201更靠上方的进气通道102的部分。此外，排气通道104和进气通道102的上部分别在从位置103L朝向位置103H的方向(Z轴方向)上延伸。

排气口105经过排气通道104将气体从内部空间103向内部空间103的外部排出。排气口105位于比转子机构20更靠上方的气缸主体10的上部。排气口105在气体输送方向上位于比排气通道104更靠下游处。当以位置103H为起点时，排气口105在旋转方向R上位于内部空间103的后方。此外，当以位置103L为基准时，排气口105在旋转方向R上位于位置103L的后方。排气口105在气缸主体10中位于气体输送方向的最下游。排气口105在Y轴方向上与进气通道102的上部并列。排气口105被配置成与进气口101平行。在此，“平行”的意思是实质上的平行，包括完全的平行和从完全的平行些许偏离的误差范围。另外，排气口105被单向阀50闭塞。

此外，在气缸主体10中，除了排气通道104之外，还设置有比排气通道104的孔径小的孔路径106。孔路径106与排气通道104并列地设置在气缸主体10内。孔路径106在气体输送方向上位于比内部空间103更靠下游处。当以位置103H为起点时，孔路径106在旋转方向R上位于内部空间103的后方。此外，当以位置103L为基准时，孔路径106在旋转方向R上位于位置103L的后方。

孔路径106从内部空间103到达油池107的底部107b。孔路径106从内部空间103的内周面103s贯通至油池107的底部107b。在气缸主体10中，孔路径106的一个开口1061设置在内部空间103的内周面103s，另一个开口1062设置在油池107的底部107b。开口1062在底部107b与排气口105并列。另外，孔路径106既可以在Z轴方向上延伸成直线状，也可以在途中变形、弯曲。

油池107设置在内部空间103和转子机构20的上方。油池107在Y轴方向上例如与进气通道102的上部并列。油池107具有底部107b、壁部107w以及孔部107h。底部107b被配置成与中心轴201c平行。在底部107b设置有单向阀50、排气口105以及开口1062。壁部107w是在X-Y轴平面上成环状的壁，与底部107b连接设置，从底部107b向上方延伸，并环绕底部107b。孔部107h设置在壁部107w。

油池107收容排气口105、孔路径106的开口1062、以及单向阀50。此外，油池107能够存积与气体一同从排气口105排出的泵油(润滑油)90。

例如，当向转子机构20供给原动力时，泵油90停留在底部107b。在油池107中，泵油90形成覆盖单向阀50或孔路径106的程度的油层。存积在油池107中且成为剩余部分的泵油90从设置在壁部107w的孔部107h流出，存积在气缸主体10外的壳体60的内部的壳体下部。孔部107h距底部107b的高度被设定在停留在底部107b的油层的厚度以上。换言之，孔部107h位于比单向阀50的厚度更高的位置。另外，单向阀50被固定构件51固定在底部107b。

转子机构20被收容在内部空间103。转子机构20与气缸主体10的内周面103s协作，一边压缩从进气口101抽吸的气体一边将气体输送至排气通道104。例如，转子机构20在内部空间103形成经由进气口101抽吸的气体的容积，并且将该容积的气体输送至排气通道104。转子机构20具有转子201、多个叶片构件202以及轴203。

转子201为在X轴方向延伸的圆柱体。转子201的外径比内部空间103的内径小。由此，转子201的外周面201s隔着内部空间103与气缸主体10的内周面103s相向。转子201被轴支承在轴203。转子201以中心轴201c为中心，例如以1500rpm～1800rpm的转速旋转。

轴203为在X轴方向延伸的圆柱体。轴203的外径比转子201的外径小。轴203的中心轴与转子201的中心轴201c一致，转子201和轴203的中心轴201c相对于内部空间103的中心轴103c偏心。例如，中心轴201c与中心轴103c平行，但中心轴201c从内部空间103的中心轴103c向上方偏离。由此，转子201绕着相对于内部空间103的中心轴103c偏心的中心轴201c的轴心旋转。

另外，轴203的一个端部经由轴承构件12固定在凸缘11。轴203的另一个端部经由轴承构件(未图示)固定在配置在内部空间103的近前侧的凸缘13(图2)。

多个叶片构件202收纳在转子201设置的叶片槽204。叶片构件202例如由树脂复合材料构成。多个叶片槽204在旋转方向R周期地配置，各自的深度相同。多个叶片构件202分别在叶片槽204延伸的方向上延伸，并且在中心轴201c的方向上延伸。分别收容在多个叶片槽204的叶片构件202由于受到来自转子201的离心力而自由地从叶片槽204突出。

例如，当转子201向旋转方向R的方向旋转时，收纳在叶片槽204的多个叶片构件202分别利用转子201的离心力从外周面201s向内部空间103的内周面103s突出。然后，多个叶片构件202各自的顶端利用转子201的旋转与内周面103s接触，该顶端与内周面103s滑动接触且绕中心轴201c的轴心旋转。

当转子201旋转时，在多个叶片构件202各自接触的各滑动接触部位形成泵油90构成的油膜。该油膜成为叶片构件202的顶端与内周面103s之间的密封构件，通过在旋转方向R相邻的叶片构件202和位于相邻的叶片构件202之间的内周面103s和外周面201s形成的间隔空间保持气密。

此外，在位置103H、单向阀50以及油池107的底部107b形成的油膜保持间隔空间在最后的压缩时的气密。单向阀50在间隔空间的内部的压力为大气压以上时开阀，将内部的气体从排气口105向壳体60排气。在各间隔空间中，产生越靠近气体输送方向的下游侧压力越高的压力差，并反复进行转子机构20的进气、压缩以及排气。

典型地，驱动机构30为电动机。驱动机构30固定在凸缘11。驱动机构30向转子机构20的轴203供给在旋转方向R驱动转子201的原动力。由此，转子201和多个叶片构件202在内部空间103内以中心轴201c为中心旋转。

供油机构40具有循环管路401、冷却机构402、过滤器403以及单向阀404。冷却机构402设置在循环管路401的途中，过滤器403设置在循环管路401中冷却机构402的上游。单向阀404设置在循环管路401途中的任意位置。冷却机构402调节在内部空间103中被加热的泵油90的温度。过滤器403去除由转子机构20的旋转在泵油90中产生的金属粉、树脂粉等碎屑。

供油机构40在气缸主体10的外侧，利用压力差来抽吸在壳体60内的下部存积的泵油90，从供油口108向内部空间103供给泵油90。供油口108位于比位置103L更靠上游的内部空间103的内周面103s。

例如，当在因为转子201的旋转导致进气通道102减压的条件下，供油口108与进气通道102经过内部空间103连通时，泵油90利用进气通道102的压力与大气压的压力差从供油口108流入内部空间103。

壳体60收容气缸主体10、转子机构20、驱动机构30、供油机构40以及单向阀50。气缸主体10与壳体60之间的空间为大气压。在壳体60内的下部存积有泵油90。在壳体60设置的进气通道601中，经由真空管道、接头等连接有真空槽(未图示)。从排气口105排出的气体从壳体60的排气口602排出。

此外，为了消除真空泵1运转时产生的声音，在真空泵1设置有常设的极细的气镇管线70。气镇管线70的一个开口端701与内部空间103连通，另一个开口端702在壳体60内开放至大气。气镇管线70为在真空泵1中连续的路径。

此外，在真空泵1另外并列地设置有用于抑制水蒸气混入泵油90等的气镇管线(未图示)。为了抑制水蒸气混入，该管道的导通性能的值是气镇管线70的数倍以上。该另外设置的气镇管线作为真空泵的附加功能(可选项)使用。因为是附加功能，所以在真空泵的标准使用时(以额定排气能力使用时)常闭。该附加功能是以真空泵的使用者允许不达到额定排气能力的极限压力为前提，来用于抑制水蒸气混入。也就是说，为了使气镇管线70不影响真空泵的额定排气能力(额定极限压力)而发挥消音作用，气镇管线70的管道直径设为极细，也就是设为使真空泵1运转时流入气体量为少量。

另外，在真空泵1中，也可以设置有测量真空泵1外的压力和进气通道102的压力的压力传感器(未图示)。

图2为表示本实施方式的真空泵的一个例子的示意性立体图。在图2中，表示从斜上方观察真空泵1的油池107附近的状态。此外，如图2所示，X轴方向与转子201和轴203的中心轴201c平行。

在油池107中，在中心轴201c的方向(X轴方向)上设置多个排气口105。在图2的例子中，在中心轴201c的方向并列设置合计6个排气口105。此外，在油池107中，在中心轴201c的方向上设置多个与排气口105连通的排气通道104。

在油池107中，还在中心轴201c的方向上并列的多个排气口105的组的两侧设置一对开口1062。此外，在中心轴201c的方向上，在多个排气通道104的组的两侧设置有与开口1062连通的一对孔路径106。另外，不限于在油池107设置一对开口1062，也可以仅在多个排气口105的组的任一侧设置开口1062和孔路径106。

图3为表示本实施方式的真空泵的一个例子的示意性立体图。在图3中，表示从斜下方向上方观察真空泵1的内周面103s的状态。

在真空泵1的内周面103s中，也可以设置有与排气通道104的开口1041连通的槽状的凹部1045(第一凹部)。凹部1045在内周面103s与排气通道104的开口1041之间，从内周面103s向气缸主体10下陷。凹部1045在转子201的旋转方向R的方向上延伸。在中心轴201c的方向上设置多个凹部1045。

此外，在真空泵1的内周面103s中，也可以设置与孔路径106的开口1061连通的槽状的凹部1065(第二凹部)。凹部1065在内周面103s与孔路径106的开口1061之间，从内周面103s向气缸主体10下陷。凹部1065在中心轴201c的方向上与凹部1045并列。凹部1065在旋转方向R的方向上延伸。

图4为表示排气通道、孔路径以及凹部的配置关系的示意性俯视图。图4表示将真空泵1的内周面103s作为圆筒展开图的状态。

孔路径106的开口1061在旋转方向R上设置在排气通道104的开口1041的后方。通过将比开口1061的孔径更大孔径的开口1041设置在比开口1061更靠前方处，将被叶片构件202拢起的气体和泵油90优先经过排气通道104向气缸主体10外排出。另外，将经过排气通道104而没有排尽的泵油90，经过开口1061注入孔路径106。

此外，在凹部1045中，以开口1041的中心为基准，向旋转方向R的前方延伸得比向后方延伸得更长。在凹部1065中，以开口1061的中心为基准，向旋转方向R的前方延伸得比向后方延伸得更长。

例如，凹部1045的位置103H侧的端部1046与凹部1045的中心之间的距离，比凹部1045的端部1046相反侧的端部1047与凹部1045的中心之间的距离短。凹部1065的位置103H侧的端部1066与凹部1065的中心之间的距离，比凹部1065的端部1066相反侧的端部1067与凹部1045的中心之间的距离短。此外，凹部1045比凹部1065向旋转方向R的前方延伸得更长。

由此，被叶片构件202拢起的泵油90优先收集在与排气通道104连通的凹部1045，泵油90与气体一同经过排气通道104向气缸主体10外排出。

此外，凹部1065设置在中心轴201c的方向上并列的多个凹部1045的两侧。通过设置凹部1065，来将经过排气通道104而没有排尽的泵油90收集在凹部1065，更可靠地向孔路径106注入泵油90。另外，凹部1045、1065的平面形状不限于图示的长方形，也可以是长圆、椭圆。此外，多个端部1046和一对端部1066在中心轴201c方向既可以对齐，也可以不对齐。多个端部1047在中心轴201c方向既可以对齐，也可以不对齐。

为了有效地将被叶片构件202拢起的气体和泵油90经过排气通道104排出至气缸主体10外，孔路径106的开口1061配置在如下所示的区域1即可，更优选的是配置在区域2即可，进一步优选的是配置在区域3即可。

(区域1)

优选孔路径106的开口1061设置在从位置P1到转子201与内周面103s最接近的内周面103s的位置103H之间。此处，位置P1是指转子201在旋转方向R旋转时多个叶片构件202分别与排气通道104的开口1041开始重叠的内周面103s的位置。

通过在旋转方向R上将开口1061设置在比位置103H更靠前方处，转子机构20在旋转时在位置103H保持的油膜的压力均匀地维持在X轴上，从而防止由于存在孔路径106而导致气体贯通一部分油膜的现象(泵油90进入孔路径106，泵油90进入的压力的上升楔状地衰减，这样的气体贯通导致极限压力恶化的现象)导致向内部空间103不必要的泄漏。此外，在旋转方向R上开口1061部位不位于开口1041的前方，从而与孔路径106相比经过排气通道104的气体和泵油90能够优先排出。假设在旋转方向R上开口1061位于开口1041的前方，则在压缩的同时一些气体压力先作用于孔路径106而不是作用于单向阀50，结果构成了对气体的压缩不利的结构。

(区域2)

更优选孔路径106的开口1061设置在位置P2到位置103H之间。此处，位置P2是指多个叶片构件202分别开始经过排气通道104的开口1041的内周面103s的位置。

如果是这样的配置关系，在旋转方向R上开口1061位于开口1041的后方，更加确保通过排气通道104而不是通过孔路径106的气体和泵油90的优先排出。

(区域3)

进一步优选孔路径106的开口1061设置在位置P2到位置P3之间。此处，位置3是指多个叶片构件202分别开始经过凹部1045的内周面103s的位置。

通过这样的设置，以在区域1中说明的在位置103H保持的油膜的压力能够更均匀的维持在X轴上。为了起到减小因转子201旋转而产生的油膜的压力的效果，孔路径106的开口1061最好设置在远离位置103H的位置。由此，能够使在位置103H的油膜的能力保持最大，其中，位置103H是在最后的压缩中保持气密的部位。

此外，通过在叶片构件202到达位置P3以前设置开口1061，无需对剩余的泵油90经过不必要的压缩导入孔路径106，也不会产生动力损失、噪音，能够有效地将泵油90导入孔路径106。此外，由于开口1061位于比开口1041更靠后方处，因此其是暴露在下一个间隔空间(减压空间)的开始时间最晚的区域，由于对填充在孔路径106内的泵油90进行抽吸的时间也最短，也能够采用减少填充量即孔路径长度等的设计。

[真空泵的工作]

以图5所示参考例为例说明本实施方式涉及的真空泵的工作。在图5所示的真空泵5中未设置孔路径106。在真空泵5中，除了未设置孔路径106之外的结构与真空泵1相同。

在真空泵5中，驱动转子机构20的原动力被控制装置80供给至转子机构2，真空泵5开始工作。由此，转子机构20在旋转方向R旋转，使与进气通道601连通的真空槽(未图示)成为减压状态。

在转子机构20旋转时，通过在旋转方向R相邻的叶片构件202、气缸主体10的内周面103s以及转子201的外周面201s形成间隔空间。通过转子机构20将该空间向旋转方向R输送，来反复进行经由进气口101的进气、间隔空间引起的气体压缩、以及气体和润滑油的排出。内部空间103的压力保持比真空泵5外的外部气压低。另外，在本实施方式中，大气也称作外部空气，大气压也称作外部气压。此外，减压是指大气压以下，也称作负压或真空状态。

转子机构20的旋转所引起的减压，使供油机构40经由循环管路401和供油口108从壳体60的底部向内部空间103供给泵油90。例如，通过将真空泵5外的大气的压力与进气通道102的压力的差为50kPa以上作为供油条件而设定的单向阀404形成打开状态，从壳体60的底部向内部空间103自动供给泵油90。也就是说，当原动力被供给至转子机构20时，完成自动供油。

该泵油90与气体一同被间隔空间压缩、输送，与气体一同经由排气通道104和排气口105被排出至油池107。由于排气口105被单向阀50闭塞，在气体和泵油90被排出至油池107之后，气体和泵油90不会在排气通道104逆流。

之后，气体经过壳体60的排气口602被排出至真空泵5外。气体在进气口101中从上方向下方流动，与此相对，在排气口105中从下方向上方流动。即，在进气口101和排气口105中，气体的流向相反。

另一方面，泵油90存积在排气通道104上方的油池107中，停留在油池107的底部107b而覆盖单向阀50。例如，油池107内的泵油90的容积为50ml以上且200ml以下。孔部107h设置为使油池107内的泵油90的体积形成上述容积的程度。剩余部分的泵油90经由孔部107h下落至壳体60的底部。由此，泵油90再次存积在壳体60的底部。此外，若从最终的压缩位置时的间隔空间的容积的角度考虑，则油池107内的泵油90的容积优选为该间隔空间的容积的1/2以下。

接下来，当通过控制装置80使真空泵5停止时，转子机构20停止旋转。由此，真空泵5的气体抽吸以及气体和泵油90的排出停止。但是，由于单向阀50密封排气口105，因此外部空气和泵油90不能经过排气通道104进入内部空间103，内部空间103在一定期间内维持减压状态(真空状态)。此外，在进气口101附近设有未图示的单向阀的情况下，通过该单向阀工作，从而与真空槽的复压等无关地在一定期间内维持减压状态。为了阻止气化的泵油90向与进气通道601连通的未图示的真空槽逆流，通常设置该单向阀。

之后，真空泵5外的外部空气从气镇管线70的开口端702经过气镇管线70从气镇管线70的开口端701流入内部空间103，内部空间103恢复为大气压。另外，内部空间103中的大气压包括真空泵5外的大气压和比真空泵5外的大气压些许低的压力。

但是，在真空泵5工作时，需要进气通道102的压力到达目标真空度。也就是说，从气镇管线70导入的流入气体量以兼顾进气通道102的压力到达真空泵的额定极限压力以及消音効果的方式设定。例如，在真空泵5的进气口101附近设有上述未图示的单向阀的条件下，气体流入量设为复压至大气压的时间为大约15秒。

另外，气镇管线70的开口端701的直径为0.5mm。如果气镇管线70的导通性能设为复压时间为15秒，则管道直径可以是任何值。另外，如果在消音方面得到满意的效果，即使增减复压时间也无妨，为了形成更高的极限真空度，也可以延长其时间。

像这样，对于在气镇管线70内流通的外部空气，气镇管线70的流道阻力变大(导通性能值小)。其结果是复压无法瞬间执行，例如存在复压所需时间达到10秒以上且30秒以下的情况。

另一方面，当复压所需的时间像这样变长时，大气的压力与进气通道102的压力的差长时间维持在50kPa以上的状态。因此，只要该压力差为50kPa以上，就可以维持单向阀404的打开状态，并持续向内部空间103供给泵油90。

由于泵油90的供给量被设计成与额定旋转速度相应的流入量，因此被设计成以通过转子机构20的旋转而排出泵油90为前提的流入量。但是，转子机构20停止旋转导致泵油90的排出也停止，其结果是未排出的量变成过量供给并存积(蓄积)在内部空间103。因为该过量的供油，当向内部空间103供给的泵油90的容量(体积)超过最终的压缩位置的间隔空间的容积时，由于泵油90为非压缩性流体，因此在形成与供给的泵油90的体积相应的间隔空间之后，对包含叶片构件202的间隔空间的结构构件施加过量的应力。

也就是说，产生在真空泵5停止后利用控制装置80启动真空泵5时(再启动时)、在转子机构20开始旋转时施加过量的应力的现象。此时，存在叶片构件202变形或破损、向气缸主体10的内周面103s或凸缘11、13施加过量的压力的情况。特别是在控制装置80不带有软启动功能而是采用直接起动电路的情况下，由于启动初期额定转矩增加，所以该现象显著发生。

此外，即使向内部空间103供给的泵油90的容量没有达到最终的压缩位置的间隔空间的容积，每当叶片构件202经过排气通道104时，过量供给至内部空间103的泵油90会突然从排气口105排出。因此，存在单向阀50变形或破损的情况、以及转子机构20异常振动的情况。

像这样，在参考例中，由于向内部空间103供给过量的泵油90，存在发生叶片构件202的变形或破损、对内周面103s或凸缘11、13过量的压力负载、单向阀50的变形或破损、或转子机构20的异常振动的风险。

为了避免这样的参考例中发生的现象，有如下方法：例如，除气镇管线70之外，还在真空泵5中安装能够瞬间复压的专用的复压机构。例如，如果为上述未图示的气镇管线设置通电时关闭的电磁阀，将其作为与上述三相电磁开关的励磁线圈同步进行通电和电源的切断的电路，则能够在真空泵5被控制装置80停止(动力切断)的同时打开电磁阀，从而缩短内部空间103到达大气压的复压时间。但是，这样的复压机构必须由电磁阀、管道、接头、电线、控制电磁阀的控制电路等构成，导致真空泵的部件数量增加。其结果是导致真空泵的MTBF降低，因此真空泵的可靠性降低。

与此相对，在本实施方式中，采用以下的方法作为真空泵1的复压方法。在本实施方式中，作为对真空泵1的内部空间103进行复压的方法：除了排气通道104之外，在气缸主体10预先形成比排气通道104的孔径小的孔路径106，当向转子机构20供给使转子机构20驱动的原动力时，向孔路径106的至少一部分填充泵油90来抑制外部空气流入内部空间103，在切断向转子机构20供给的原动力之后，使外部空气经过孔路径106流入内部空间103，从而进行真空泵的复压。以下说明其详情。

图6的(a)、(b)和图7为说明本实施方式的真空泵的工作的示意性剖视图。在图6的(a)中，示出虚线A的右侧，在图6的(b)和图7中，示出孔路径106附近。

在本实施方式的真空泵1中，当驱动转子机构20的原动力被供给至转子机构20时，内部空间103的压力保持比外部气压的压力低，并且伴随转子机构20的旋转，气体和泵油90经过排气口105排出至油池107。其中，在真空泵1中，除了排气通道104之外，还在位置103H附近设置有孔路径106。

因此，在真空泵1工作时，保持内部空间103的压力比外部气压低，并且泵油90填充至孔路径106的至少一部分(图6的(b))。

例如，由于转子机构20的旋转，泵油90从排气口105排出，当泵油90停留在油池107的底部107b时，由于泵油90的自重，泵油90从开口1062流入孔路径106。或者，由于与孔路径106相通的间隔空间与大气压的压力差(间隔空间的压力＜大气压)，停留在底部107b的泵油90有时被从开口1062抽吸至孔路径106。或者，在转子机构20旋转时，经过排气通道104没有被排出油池107的剩余的泵油90有时从开口1061注入孔路径106。

像这样，在转子机构20旋转时，孔路径106的至少一部分被泵油90闭塞。也就是说，当原动力被供给至转子机构20时，对于外部空气而言，孔路径106的流道阻力变得比中空状态的孔路径106高。准确地说，实现了高的流道阻力，即除了在闭塞的泵油中扩散而移动的气体之外不会有气体通过的程度的流道阻力。由此，在转子机构20旋转时，外部空气不会经过孔路径106向逆流至部空间103，进气通道102维持期望的真空度，并且持续将气体和泵油90经过排气通道104和排气口105排出至油池107。换言之，在转子机构20旋转时，由于泵油90向孔路径106的供给量比排出量多，因此动态平衡的状态变成孔路径106的至少一部分被泵油90被闭塞的状态。

另一方面，当向转子机构20供给的原动力被切断时，由于内部空间103维持减压状态，因此停留在油池107的泵油90经过孔路径106被抽吸至内部空间103。特别是由于泵油90具有规定的粘性，因此孔路径106的上方的泵油90部分地被抽吸至内部空间103。其结果是孔路径106内的泵油90被抽吸至内部空间103，孔路径106变为中空状态而打开。换言之，原动力的切断使转子机构20停止，由于泵油90向孔路径106的供给量比排出量少，因此静态平衡的状态变成孔路径106的打开状态。

由此，外部空气从气缸主体10的外部经由孔路径106瞬间流入内部空间103，将内部空间103复压至大气压，该时间比使用气镇管线70复压的时间更短。在图7中，示出了外部空气从气缸主体10的外部经由开放的孔路径106流入内部空间103的情况。

例如，外部空气经过孔路径106，穿过位置103H处的内周面103s和转子201之间的间隙，或穿过内周面103s与叶片构件202之间，向内部空间103的整体扩散。真空泵1的复压所需时间为例如2秒以上且4秒以下(例如3秒)。

因此，在向转子机构20供给的原动力被切断之后，大气的压力与进气通道102的压力的差瞬间变得比50kPa小，单向阀404迅速从打开状态变为关闭状态。其结果是，在真空泵1中，抑制向内部空间103过量供给泵油90，防止叶片构件202的变形或破损、对内周面103s或凸缘11、13过量的压力负载、单向阀50的变形或破损、或转子机构20的异常振动。

此外，根据本实施方式的真空泵1，不需要专用的复压机构。孔路径106例如能够通过钻头加工等简单的机械加工而形成。由此，在真空泵1中，不会增加部件的数量，可以抑制真空泵1的MTBF的降低。由此，根据本实施方式，可以提供可靠性高的真空泵1。

此外，在真空泵1中，在转子机构20旋转时，当泵油90被叶片构件202沿着内周面103s拢起时，因为一般的泵油为牛顿流体，有时泵油90集中在内部空间103的两个侧面(X轴方向上的两个侧面侧)。在真空泵1中，由于孔路径106设置在多个排气通道104的组的两侧的至少一侧，因此泵油90高效地注入孔路径106。

另外，在真空泵1工作时，存填充在孔路径106内的泵油90的油面(上表面)90s随着转子机构20的旋转而上下振动的情况。

图8的(a)、(b)为说明在孔路径填充的泵油随着转子机构的旋转而振动的现象的示意性剖视图。

例如，在图8的(a)中，示出气体和泵油90经过排气通道104被排出至油池107的阶段以及最终的压缩时的状态，在图8的(b)中，示出了旋转方向R上的叶片构件202的位置比图8的(a)的状态更靠近前的状态。图8的(a)所示的间隔空间103a的容积比图8的(b)所示的间隔空间103b的容积小。另外，间隔空间103a、103b分别通过在旋转方向R相邻的叶片构件202、气缸主体10的内周面103s、转子201的外周面201s形成。

例如，图8的(a)所示的间隔空间103a内的压力因为气体或泵油90即将从排气口105排出而变为大气压以上。另一方面，图8的(b)所示的间隔空间103b内的压力因为在将气体或泵油90压缩成大气压的途中而处于比大气压低的减压状态。这样的现象在吸入真空泵的气体体积少的情况下产生。

因此，在图8的(b)的状态下，填充在孔路径106内的泵油90被抽吸至间隔空间103b，泵油90的油面90s下降至比开口1062的位置更靠下方处。然后，当转子机构20再次处于图8的(a)的状态时，间隔空间的压力上升(压力上升至大气压以上，上升至使单向阀50打开的程度的压力)，并且，填充在孔路径106内的泵油90被推向上方，油面90s回到原来的位置。像这样，填充在孔路径106内的泵油90的油面90s随着转子机构20的旋转而振动。

例如，转子机构20具有3个叶片构件202，在转子201的旋转速度为1700rpm时，叶片构件202以大约85次/秒的频率经过排气通道104。即，油面90s以大约85次/秒的周期上下振动。

在此，孔路径106的路径长度设计为比油面90s以大约85次/秒的周期振动的振动幅度(振动的最高位置与最低位置之间的距离)长。例如，在将额定旋转速度设为1的情况下，转子201的旋转速度(rpm)设计成在以1/100～1的范围的旋转速度运转的情况下孔路径被泵油90一直闭塞。因此，在真空泵1工作时，孔路径106被泵油90一直闭塞，避免外部空气经过孔路径106流入内部空间103。例如，当孔路径106的孔径(内径)为4mm以下时，孔路径106的路径长度设定为20mm以上。此外，孔路径106的孔径和路径长度也可以通过由在内部空间103和油池107两者为大气压的条件下的自油面90s重力滴下的方法确定，作为泵油90的油温为37±3℃的实施例，将滴下1L所需的时间设定为500sec到400sec的范围。

此外，当对用于在孔路径106闭塞的泵油90(闭塞油)进行考察时，闭塞油的上表面的压力固定为大气压。闭塞油的下表面的压力如上述那样变动。也就是说，与差压相对应的力即加速度作用于闭塞油。由于对闭塞油施加加速度，因此闭塞油开始具有速度的移动。该速度在孔路径106内壁与闭塞油之间基于剪切力产生粘性阻力，阻碍该移动。

也就是说，闭塞油发挥减震器那样的作用，在孔路径106内，差压带来的振动被闭塞油的粘性阻力吸収。由此，在真空泵1工作时，一直持续孔路径106被泵油90闭塞的状态，不易引起外部空气经过孔路径106流入内部空间103的现象。另外，对闭塞油一直施加重力加速度，伴随该重力加速度的移动导致闭塞油一直排出。因为主要从上方供给的泵油90超过该排出的量，所以闭塞油不会枯竭。

图9的(a)为在参考例的真空泵中流道路线的主要部分(关于单向阀50)的等效路线图。图9的(b)为在本实施方式的真空泵中流道路线的主要部分的等效路线图。在此，实线为气体的流道，虚线为泵油90的流道。另外，孔路径106部以虚线表示，也是气体的流道。此外，实线箭头表示气体流向，虚线箭头表示泵油90流向。

如图9的(a)所示，在参考例的真空泵5中，在内部空间103与油池107之间设置单向阀50，但在内部空间103与油池107之间不设置孔路径106。与此相对，在图9的(b)所示的本实施方式的真空泵1中，在内部空间103与油池107之间并列地设置经过孔路径106的流道和经过单向阀50的流道。

在孔路径106部存在闭塞油的状态下，由于不能使气体与该路径连通，因此图9的(a)和图9的(b)为相同的路线。但是，在除去了闭塞油的状态下能够使气体与孔路径连通，孔路径106为将单向阀50分流的路线。也就是说，当向转子机构20供给的原动力被切断时，孔路径106成为单向阀50的分流道线，成为排气口602的大气导入内部空间103的结构。

(变形例)

图10为表示真空泵的变形例的示意性剖视图。在图10中示出排气通道104附近。

在图10所示的真空泵中，在单向阀50附加设置孔路径116从而取代孔路径106。孔路径116为例如树脂制的筒状管。孔路径116具有内部空间103侧的开口端1161和油池107侧的开口端1162。孔路径116贯通单向阀50，向排气通道104的内部延伸。孔路径116位于排气通道104的中心部。

孔路径116的开口端1162既可以不从单向阀50突出，也可以从单向阀50些许突出。在开口端1162不从单向阀50突出的情况下，由单向阀50的上表面50u和开口端1162形成平端面。孔路径116的长度被设定为排气通道104的内径的1/2以下，或单向阀50的Y轴方向的长度的1/4以下。孔路径116的内径与孔路径106的孔径相同。

即使是这样的孔路径116，在转子机构20旋转时，覆盖单向阀50的上表面50u的泵油90也从开口端1162流入孔路径116的内部。由此，在转子机构20旋转时，在孔路径116的至少一部分充填泵油90，避免外部空气流入内部空间103。此外，在转子机构20停止旋转的情况下，填充在孔路径116内的泵油90被抽吸至内部空间103，孔路径116打开。由此，外部空气流入内部空间103，内部空间103恢复至大气压。

此外，因为在转子机构20旋转时单向阀50反复进行开闭动作，对单向阀50与孔路径116接合的部分施加开闭动作带来的应力。孔路径116的长度设定为排气通道104的内径的1/2以下或单向阀50的长度的1/4以下，如果孔路径116的材料为轻的树脂，则即使单向阀50反复进行开闭动作，对单向阀50与孔路径116接合的部分的负载(应力)也被降低。

此外，如果孔路径116的开口端1162不从单向阀50突出，则泵油90不会成为开口端1162的阻碍，泵油90从单向阀50的上表面50u有效地流入孔路径116。

此外，如果是在单向阀50附加设置孔路径116的结构，则能够与单向阀50一起简单地交换孔路径116。

孔路径116为单数也会发挥功能。在考虑异物引起的闭塞导致失去功能的情况下，优选设置多个孔路径116。从该观点出发，在单向阀50设置孔路径116与在气缸主体10设置多个孔路径106相比，从加工等制造方面来看更容易，所以可以说是更优选的方法。

孔路径106的数量、其直径、路径长度也可以使用泵油90的温度特性即运动粘度来决定。例如，对于在处于寒冷地区的真空泵从完全冷却的状态开始运转即冷启动时泵油90的油温、以及以冷启动开始启动后泵油90的温度升高而稳定的额定运转状态下的油温，通过如下方式确定的孔路径106的导通性能来决定：使冷启动时的导通性能C1与额定运转状态的导通性能C2之比(C1：C2)为1：4至1：7的范围。泵油90的运动粘度为如下特性：100℃：10.09(mm²/s)；40℃：68.22(mm²/s)，使用环境为10℃～30℃。通过设计成像这样对各温度下的运动粘度确定孔路径106的导通性能的真空泵，能够提供与真空泵的周围环境等无关的可靠性高的复压机构。

真空泵1与未图示的真空槽连通，如果是例如该真空槽是在转子机构20的动力被切断的同时立即恢复至大气压的结构，则不需要孔路径106。此外，存在于孔路径106的闭塞油通过粘性阻力使其振动衰减。因此，优选在不需要孔路径带来的复压功能并且不希望该损失的情况下，最好对真空泵1赋予容易闭塞路径的功能。具体地，可以考虑在孔路径的开口部设置螺丝槽而能够按照需要闭塞的结构。

以上，对本发明的实施方式进行了说明，但是本发明并不仅限于上述的实施方式，当然能够加以各种变更。各实施方式不限于独立的方式，在技术上能够尽可能地结合。

附图标记说明

1、5：真空泵

10：气缸主体

11、13：凸缘

12：轴承构件

20：转子机构

30：驱动机构

40：供油机构

50、404：单向阀

50u：上表面

51：固定构件

60：壳体

70：气镇管线

80：控制装置

90：泵油

90s：油面

101：进气口

102：进气通道

103：内部空间

103a、103b：间隔空间

103H、103L：位置

103c、201c：中心轴

103s：内周面

104、601：进气通道

105、602：排气口

106、116：孔路径

107：油池

107w：壁部

107b：底部

107h：孔部

108：供油口

201：转子

201s：外周面

202：叶片构件

203：轴

204：叶片槽

401：循环管路

402：冷却机构

403：过滤器

701、702、1166、1167：开口端

1041、1061、1062：开口

1045、1065：凹部

1046、1047、1066、1067：端部。

Claims (11)

1.一种真空泵，其具有气缸主体和转子机构，其中，

所述气缸主体具有：

进气口；

筒状的内部空间，其经由所述进气口吸入气体；

排气口，其将所述气体从所述内部空间经过排气通道向内部空间外排出；

供油口，其向所述内部空间供给泵油；以及

油池，其设置在所述内部空间的上方，收容所述排气口，能够存积与所述气体一同从所述排气口排出的所述泵油，

所述转子机构在所述内部空间形成经由所述进气口抽吸的所述气体的容积，并且将所述容积的所述气体输送至所述排气通道，

除了所述排气通道之外，还设置有孔路径，其从所述内部空间贯通至所述油池且比所述排气通道的孔径小。

2.根据权利要求1所述的真空泵，其中，

所述孔路径在所述气缸主体中与所述排气通道并列地设置在所述气缸主体内。

3.根据权利要求1或2所述的真空泵，其中，

当驱动所述转子机构的原动力被供给至所述转子机构时，所述内部空间的压力保持比外部气压低，并且所述泵油填充在所述孔路径的至少一部分，

当供给至所述转子机构的所述原动力被切断时，所述孔路径打开，外部空气从所述气缸主体的外部经由所述孔路径流入所述内部空间。

4.根据权利要求3所述的真空泵，其中，

还具有收容在所述油池的单向阀，其闭塞所述排气口，

所述油池配置有所述单向阀，所述油池由从所述内部空间到达所述孔路径的底部和包围所述底部的壁部构成，

当所述原动力被供给至所述转子机构时，所述泵油停留在所述底部，所述单向阀被所述泵油覆盖。

5.根据权利要求1、2或4所述的真空泵，其中，

所述转子机构具有：

转子，其收容在所述内部空间，绕相对于所述内部空间的中心轴偏心的轴心旋转；以及

多个叶片构件，其通过所述转子的旋转从所述转子的外周面向所述内部空间的内周面突出，一边与所述内周面滑动接触一边绕所述轴心旋转，

在所述内周面中，设置有与所述内部空间连通的、所述孔路径的开口和所述排气通道的开口，

所述孔路径的所述开口设置在从所述多个叶片构件分别与所述排气通道的所述开口开始重叠的所述内周面的位置到所述转子与所述内周面最接近的所述内周面的位置之间。

6.根据权利要求5所述的真空泵，其中，

所述孔路径的所述开口设置在从所述多个叶片构件分别开始经过所述排气通道的所述内周面的位置到所述转子与所述内周面最接近的所述内周面的位置之间。

7.根据权利要求5所述的真空泵，其中，

在所述气缸主体中，

在所述内周面与所述排气通道的所述开口之间设置有第一凹部，所述第一凹部从所述内周面向所述气缸主体下陷，与所述排气通道的所述开口连通；

在所述内周面与所述孔路径的所述开口之间设置有第二凹部，所述第二凹部从所述内周面向所述气缸主体下陷，在所述中心轴的方向上与所述第一凹部并列，与所述孔路径的所述开口连通。

8.根据权利要求7所述的真空泵，其中，

所述孔路径的所述开口设置在从所述多个叶片构件分别开始经过所述排气通道的所述开口的所述内周面的位置到所述多个叶片构件分别开始经过所述第一凹部的所述内周面的位置之间。

9.根据权利要求7或8所述的真空泵，其中，

在所述中心轴的方向上设置多个所述排气通道，

在所述中心轴的方向上在所述多个排气通道的组的两侧设置有所述孔路径。

10.根据权利要求1所述的真空泵，其中，

还具有收容在所述油池内的单向阀，其闭塞所述排气口，

所述孔路径贯通所述单向阀，设置在所述排气通道的内部。

11.一种真空泵的复压方法，对真空泵的内部进行复压，其中，

所述真空泵具有气缸主体和转子机构，

所述气缸主体具有：

进气口；

筒状的所述内部空间，其经由所述进气口吸入气体；

排气口，其将所述气体从所述内部空间经过排气通道向内部空间外排出；

供油口，其向所述内部空间供给泵油；以及

油池，其设置在所述内部空间的上方，收容所述排气口，能够存积与所述气体一同从所述排气口排出的所述泵油，

所述转子机构在所述内部空间形成经由所述进气口抽吸的所述气体的容积，并且将所述容积的所述气体输送至所述排气通道，

除了所述排气通道之外，还形成有孔路径，其从所述内部空间贯通至所述油池且比所述排气通道的孔径小，

当驱动所述转子机构的原动力被供给至所述转子机构时，所述泵油填充在所述孔路径的至少一部分来抑制外部空气流入所述内部空间，在供给至所述转子机构的所述原动力被切断之后，使所述外部空气经过所述孔路径流入所述内部空间。

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