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CN114193329B - 一种磨片在线回收的浆液利用方法 - Google Patents

一种磨片在线回收的浆液利用方法 Download PDF

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CN114193329B CN202111501895.3A CN202111501895A CN114193329B CN 114193329 B CN114193329 B CN 114193329B CN 202111501895 A CN202111501895 A CN 202111501895A CN 114193329 B CN114193329 B CN 114193329B
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Abstract

本发明公开了一种磨片在线回收的浆液利用方法，其利用方法包括以下步骤：S1、首先启动隔膜泵从废砂浆缓冲罐内抽取一定量的废砂浆至总回收罐【RCV】，总回收罐【RCV】中废砂浆通过除铁锈装置【MGS】去除铁粉，将处理完的废液向分级调和桶【SEP】送液，分级调和桶【SEP】调和桶显示从总回收罐【RCV】收入废液的比重，通过离心机分级处理，将处理过的废液输送给再生调和桶【RMX】。本发明能够实现从回收过滤到混合配比实现全流程电气化自动化控制，创新式使用水分离装置将硅粉分离，过程各部分比重实时监控并自主调节，进而控制循环砂浆的粒径分布、铁粉、硅粉含量和比重，并实现砂浆的重复循环利用，最终达到提升品质，降低成本的目的。

Description

一种磨片在线回收的浆液利用方法
技术领域
本发明涉及砂浆循环系统的控制技术领域，具体为一种磨片在线回收的浆液利用方法。
背景技术
目前，硅片研磨过程是一种使用研磨砂(主要成分氧化铝、氧化硅)配合一定比例的助磨剂，然后配置成的新砂浆通过研磨机铸铁大盘相对运动的过程，研磨程中研磨砂颗粒在硅片起磨削作用，研磨砂颗粒棱角被磨平，颗粒变小或者破碎，并且一部分硅粉、铸铁铁粉乃至其他较大的杂质颗粒也携带进入废弃砂浆中。
原有的简易砂浆三轴过滤装置通过滤网以及强磁棒简易地将废弃砂浆中的较大的杂质颗粒和少部分铁粉去除，回收后的再生浆液仍较多杂质导致硅片表面硬划伤不良，在废砂浆循环使用到一定时间后，砂浆桶壁、流砂管路以及盘槽堆积较厚一层黑色硬块，主要成分为铁粉和硅粉，且随砂浆流动而掉落同样导致硅片表面硬划伤不良，对产品品质造成很大影响，同时从回收过滤到混合配比无法实现全流程电气化自动化控制，无法实现创新式使用水分离装置将硅粉分离，以及过程各部分比重实时监控并自主调节。
发明内容
本发明的目的在于提供一种磨片在线回收的浆液利用方法，以解决上述背景技术中提出的原有的简易砂浆三轴过滤装置通过滤网以及强磁棒简易地将废弃砂浆中的较大的杂质颗粒和少部分铁粉去除，回收后的再生浆液仍较多杂质导致硅片表面硬划伤不良，在废砂浆循环使用到一定时间后，砂浆桶壁、流砂管路以及盘槽堆积较厚一层黑色硬块，主要成分为铁粉和硅粉，且随砂浆流动而掉落同样导致硅片表面硬划伤不良，对产品品质造成很大影响，同时从回收过滤到混合配比无法实现全流程电气化自动化控制，无法实现创新式使用水分离装置将硅粉分离，以及过程各部分比重实时监控并自主调节的问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种磨片在线回收的浆液利用方法，浆液利用方法包括以下步骤：
S1、首先启动隔膜泵从废砂浆缓冲罐内抽取一定量的废砂浆至RCV废砂浆调和罐，RCV中废砂浆通过MGS装置去除铁粉，将处理完的废液向SEP调和桶送液，SEP调和桶显示从RCV废液桶收入废液的比重，通过离心机分级处理，将处理过的废液输送给RMX调和桶，RMX调和桶调整从SEP中精制分级后的回收砂浆液的比重，输送至过滤器，过滤装置启动，过滤SEP输出的回收砂浆，过滤完成，清洗滤布后开始分级，分级后比重低于目标值，返回到SEP调和桶中或比重调整不理想时返回到SEP调和桶，如无异常，导入旧液存储罐，旧液存储罐的回收砂导入RS-1调和桶，按设定比例助磨剂比砂浆添加助磨剂，维持比重至相应的范围要求，完成混合后可向RS-2成品桶送液。
S2、然后将袋装F0砂加入PWD存砂罐中，通过气泵将研磨砂导入NMX新液调和桶内部，新液调和桶NMX按照一定的比例调和，过程中进行补 正达到设定密度NMX新液调和桶将调和好的新液导入NS新液存储桶，NS根据RS-2成品桶的液位信号进行新液传输。
S3、最后将NS新液和RS-1回收液按照一定体积比例混合，达到设定的密度要求，通过气泵供给机台端，并通过循环泵在管道内循环，机台端打液机台端设置打液装置，打液装置以按键形式控制，打液装置连接到RS-2成品桶分流管路，打液端的砂浆桶增加液位控制线达到相应的液位，打液自动暂停，RS-2 不再继续供液。
优选的，所述RMX调和桶调整从SEP中精制分级后的回收砂浆液的比重范围要求为1.23-1.25g/cc。
优选的，所述新液调和桶NMX的比例为水：研磨砂：添加剂＝30L：10KG： 0.9L，且过程中进行补 正达到设定密度为1.23-1.25g/cc。
优选的，所述NS新液和RS-1回收液体积混合比例为1:1.3，且设定的密度要求为1.23-1.25g/cc。
优选的，所述MGS装置去除铁粉的工作原理为通过电磁铁进行吸附，且打液端的砂浆桶增加液位控制线为300L。
优选的，所述设定比例助磨剂比砂浆等于0.03：1，且维持比重至 1.25-1.27g/cc的范围要求。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：
本发明能够实现从回收过滤到混合配比实现全流程电气化自动化控制，创新式使用水分离装置将硅粉分离，过程各部分比重实时监控并自主调节，进而控制循环砂浆的粒径分布、铁粉、硅粉含量和比重，并实现砂浆的重复循环利用，最终达到提升品质，降低成本的目的。
附图说明
图1为本发明的磨片砂浆D50粒度参数图。
图2为本发明的磨片砂浆黏度参数图。
图3为本发明的循环系统工艺路径图。
图4为本发明的各组分砂浆缺陷率对比表。
图5为本发明的各组分砂浆综合成本对比表。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1-5，一种磨片在线回收的浆液利用方法，浆液利用方法包括以下步骤：
S1、首先启动隔膜泵从废砂浆缓冲罐内抽取一定量的废砂浆至RCV废砂浆调和罐，RCV中废砂浆通过MGS装置去除铁粉，将处理完的废液向SEP调和桶送液，SEP调和桶显示从RCV废液桶收入废液的比重，通过离心机分级处理，将处理过的废液输送给RMX调和桶，RMX调和桶调整从SEP中精制分级后的回收砂浆液的比重，输送至过滤器，过滤装置启动，过滤SEP输出的回收砂浆，过滤完成，清洗滤布后开始分级，分级后比重低于目标值，返回到SEP调和桶中或比重调整不理想时返回到SEP调和桶，如无异常，导入旧液存储罐，旧液存储罐的回收砂导入RS-1调和桶，按设定比例助磨剂比砂浆添加助磨剂，维持比重至相应的范围要求，完成混合后能够向RS-2成品桶送液。
S2、然后将袋装F0砂加入PWD存砂罐中，通过气泵将研磨砂导入NMX新液调和桶内部，新液调和桶NMX按照一定的比例调和，过程中进行补 正达到设定密度NMX新液调和桶将调和好的新液导入NS新液存储桶，NS根据RS-2成品桶的液位信号进行新液传输。
S3、最后将NS新液和RS-1回收液按照一定体积比例混合，达到设定的密度要求，通过气泵供给机台端，并通过循环泵在管道内循环，打液机台端设置打液装置，打液装置以按键形式控制，打液装置连接到RS-2成品桶分流管路，打液端的砂浆桶增加液位控制线达到相应的液位，打液自动暂停，RS-2不再继续供液，通过控制循环循环砂浆铁含量、比重、过滤去杂以及成品循环配比砂浆使用方式，实现砂浆循环重复利用，大幅度降低生产成本。
本实施例中：RMX调和桶调整从SEP中精制分级后的回收砂浆液的比重范围要求为1.23-1.25g/cc，可使回收的砂浆液的比例更加精确，提高了整体利用的效果。
本实施例中：新液调和桶NMX的比例为水：研磨砂：添加剂＝30L：10KG： 0.9L，且过程中进行补 正达到设定密度为1.23-1.25g/cc。
本实施例中：NS新液和RS-1回收液体积混合比例为1:1.3，且设定的密度要求为1.23-1.25g/cc。
本实施例中：MGS装置去除铁粉的工作原理为通过电磁铁进行吸附，且打液端的砂浆桶增加液位控制线为300L，能够对砂浆实现杂质分离，去除90％以上的铁粉和硅粉、过滤筛选大于一定粒径范围的杂质颗粒。
本实施例中：设定比例助磨剂比砂浆等于0.03：1，且维持比重至 1.25-1.27g/cc的范围要求，回收后的砂浆再次通过加入同比例助磨剂并调整比重，通过和一定比例的新砂配比形成循环配比砂浆，从而实现不间断地循环利用。
尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的装置人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的装置方案进行修改，或者对其中部分装置特征进行等同替换，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种磨片在线回收的浆液利用方法，其特征在于：浆液利用方法包括以下步骤：
S1、首先启动隔膜泵从废砂浆缓冲罐内抽取一定量的废砂浆至总回收罐（RCV），总回收罐（RCV）中废砂浆通过除铁锈装置（MGS）去除铁粉，将处理完的废液向分级调和桶（SEP）送液，分级调和桶（SEP）显示从总回收罐（RCV）收入废液的比重，通过离心机分级处理，将处理过的废液输送给再生调和桶（RMX），再生调和桶（RMX）调整从分级调和桶（SEP）中精制分级后的回收砂浆液的比重，输送至过滤器，过滤器启动，过滤分级调和桶（SEP）输出的回收砂浆，过滤完成，清洗滤布后开始分级，分级后比重低于目标值，返回到分级调和桶（SEP）中或比重调整不理想时返回到分级调和桶（SEP），如无异常，导入旧液存储罐，旧液存储罐的回收砂导入回收砂密度配比储存桶（RS-1），按设定比例助磨剂比砂浆添加助磨剂，维持比重至相应的范围要求，完成混合后能够向新旧砂混合成品桶（RS-2）送液；
S2、然后将袋装研磨砂（F0）加入存砂罐中，通过气泵将研磨砂导入新液调和桶内部，新液调和桶按照一定的比例调和，过程中进行补正达到设定密度，新液调和桶将调和好的新液导入新液存储桶（NS），新液存储桶（NS）根据新旧砂混合成品桶（RS-2）的液位信号进行新液传输；
S3、最后将新液存储桶（NS）新液和回收砂密度配比储存桶（RS-1）回收液按照一定体积比例混合，达到设定的密度要求，通过气泵供给机台端，并通过循环泵在管道内循环，机台端设置打液装置，打液装置以按键形式控制，打液装置连接到新旧砂混合成品桶（RS-2）分流管路，打液端的砂浆桶增加液位控制线达到相应的液位，打液自动暂停，新旧砂混合成品桶（RS-2）不再继续供液。
2.根据权利要求1所述的一种磨片在线回收的浆液利用方法，其特征在于：所述再生调和桶（RMX）调整从分级调和桶（SEP）中精制分级后的回收砂浆液的比重范围要求为1.23-1.25g/cc。
3.根据权利要求1所述的一种磨片在线回收的浆液利用方法，其特征在于：所述新液调和桶的比例为水：研磨砂：添加剂=30L：10KG：0.9L ，且过程中进行补正达到设定密度为1.23-1.25g/cc。
4.根据权利要求1所述的一种磨片在线回收的浆液利用方法，其特征在于：所述新液存储桶（NS）新液和回收砂密度配比储存桶（RS-1）回收液体积混合比例为1:1.3，且设定的密度要求为1.23-1.25g/cc。
5.根据权利要求1所述的一种磨片在线回收的浆液利用方法，其特征在于：所述除铁锈装置（MGS）去除铁粉的工作原理为通过电磁铁进行吸附，且打液端的砂浆桶增加液位控制线为300L。
6.根据权利要求1所述的一种磨片在线回收的浆液利用方法，其特征在于：所述设定比例助磨剂比砂浆等于0.03：1，且维持比重至1.25-1.27g/cc的范围要求。
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