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CN114157158A - 一种多组复合高频高压静电电源 - Google Patents

一种多组复合高频高压静电电源 Download PDF

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CN114157158A
CN114157158A CN202111466952.9A CN202111466952A CN114157158A CN 114157158 A CN114157158 A CN 114157158A CN 202111466952 A CN202111466952 A CN 202111466952A CN 114157158 A CN114157158 A CN 114157158A
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CN
China
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voltage
electronic switch
circuit
bridge
frequency
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魏志明
郭英豪
马明强
樊星
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XIANGYANG JIUDING HAOTIAN ENVIRONMENTAL PROTECTION EQUIPMENT CO Ltd
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XIANGYANG JIUDING HAOTIAN ENVIRONMENTAL PROTECTION EQUIPMENT CO Ltd
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Abstract

本发明提供一种多组复合高频高压静电电源，其通过多组复合技术与高频电源技术相结合，直接通过调节母线电压，降低输出的峰值电压电流，通过脉冲控制谐振逆变电路工作输出脉冲电流，同时两组串联谐振逆变电路协同工作，提高脉冲电流的脉冲频率，就得到了多组复合高频高压静电电源。本发明降低了单个脉冲电压电流幅值，提升总脉冲个数，解决高频电源都在特殊工况的应用问题，提升高频电源的适应能力。

Description

一种多组复合高频高压静电电源
技术领域
本发明属于电源技术领域，具体涉及一种多组复合高频高压静电电源，其适用于宽带电压幅度的静电除尘器的高频高压静电除尘电源。
背景技术
传统的高频高压静电电源由于采用高频的脉冲输出，具有输出波形稳定，平均电压高，体积小重量轻等优点。
传统的高频高压静电电源大多采用的是高频串联谐振逆变电路，在面对电场负载变化范围大、频繁产生火花放电的工况时，通常只能通过不断的降低工作频率，来避免负载火花放电的产生，这样就使得电源工作在较低的频率，偏离了设计的工作点，导致变压器的阻抗降低、电能转换效率下降。进一步地，由于采用的是高频串联谐振逆变电路，发生火花放电时会直接影响谐振，通常会使电源开关器件工作在硬开关状态，非常危险。传统的高频高压静电电源，在应对这种工况时，只能通过调频来调压，由于调频调节的只是逆变器的频率，母线电压值并不会改变，实际变压器输出峰值电压电流不变，调节的仅仅只是平均电压，对放电情况并不会有很大改善。为了适应频繁放电的恶劣工况，只能一味的降低设备的运行频率，通常频率都会降得很低，导致电源工作在低频状态，脱离了设计的工作点，降低了电源的效率，进而降低了注入负载的功率，降低了实际的除尘效率。
发明内容
针对现有技术的不足，本发明提出了一种多组复合高频高压静电电源，其将多组复合与高频电源技术相结合，解决高频电源在特殊工况的应用问题，可以扩宽高频电源的应用场景，大幅提升高频电源的可靠性和适应能力。
依据本发明的技术方案，提供一种多组复合高频高压静电电源，其通过多组复合技术与高频电源技术相结合，直接通过调节母线电压，降低输出的峰值电压电流，通过脉冲控制谐振逆变电路工作输出脉冲电流，同时两组串联谐振逆变电路协同工作，提高脉冲电流的脉冲频率，就得到了多组复合高频高压静电电源。
本发明的多组复合高频高压静电电源采用全控整流电路、电子开关全桥电路、串联谐振逆变电路和整流桥，其中电子开关全桥电路与电容电感构成的串联谐振逆变电路，通过脉冲控制谐振逆变电路工作输出脉冲电流，同时两组串联谐振逆变电路协同工作，提高脉冲电流的脉冲频率，就得到了幅值可调的高频高压电源。
进一步地，一种多组复合高频高压静电电源采用12个晶闸管构成2组全控整流电路，整流输出的幅值可调，经过滤波母线电容滤波后接全桥IGBT与电容电感构成串联谐振逆变电路，同样的全桥串联谐振逆变电路四组并联，协同工作，提高逆变器输出电流的脉冲频率，就得到了8组16路可调幅的高频高压电源。
优选地，其包括两路复合高频高压静电电源，第一路复合高频高压静电电源包括全控整流电路DB1和C1组成的工频滤波电路、第一电子开关全桥电路、第二电子开关全桥电路、第一串联谐振逆变电路和第二串联谐振逆变电路以及整流桥DB2和整流桥DB3，第二路复合高频高压静电电源包括全控整流电路DB4和C4组成的工频滤波电路、第三电子开关全桥电路、第四电子开关全桥电路、第三串联谐振逆变电路和第四串联谐振逆变电路以及整流桥DB5和整流桥DB6。
优选地，全控整流电路DB1，用于将交流电整流得到幅值可调的直流；第一电子开关全桥电路，用于将第一母线电压的直流电进行逆变，得到脉动的直流电；第二电子开关全桥电路，用于将第二母线电压的直流电进行逆变，得到与第一电子开关全桥电路相位相差180°的脉动的直流电；第一串联谐振逆变电路，用于与第一电子开关全桥电路相结合产生谐振，得到宽度一定的脉冲电压；第二串联谐振逆变电路，用于与第二电子开关全桥电路相结合产生谐振，得到与第一串联谐振逆变电路相位相差180°的脉冲电压；整流桥，用于将第一变压器输出的高压交流电整流成高压直流电，供负载使用。
更优选地，全控整流电路DB4，用于将交流电整流得到幅值可调的直流；第三电子开关全桥电路，用于将第二母线电压的直流电进行逆变，得到脉动的直流电；第四电子开关全桥电路，用于将第二母线电压的直流电进行逆变，得到与第三电子开关全桥电路相位相差180°的脉动的直流电；第三串联谐振逆变电路，用于与第三电子开关全桥电路相结合产生谐振，得到宽度一定的脉冲电压；第四串联谐振逆变电路，用于与第四电子开关全桥电路相结合产生谐振，得到与第一串联谐振逆变电路相位相差180°的脉冲电压；整流桥DB5和整流桥DB6，用于将第二变压器输出的高压交流电整流成高压直流电，供负载使用。
进一步地，全控整流电路DB1和DB2一侧连接电网输入端，输出幅值可调的直流电压，经母线电容C1和C4滤波后形成平滑的母线电压为后级逆变器提供可靠的能量。
更进一步地，IGBTA、IGBTa、IGBTB、IGBTb构成的第一电子开关全桥电路，共集电极端连接母线电容的正极，共发射极端连接母线电容负极，交流输出端与串联的C2、L1、T1上端原边绕组并联；IGBTC、IGBTc、IGBTD、IGBTd构成的第二电子开关全桥电路，共集电极端连接母线电容的正极，共发射极端连接母线电容负极，交流输出端与串联的C3、L2、T1下端原边绕组并联。
其中，IGBTE、IGBTe、IGBTF、IGBTf构成的第三电子开关全桥电路，共集电极端连接母线电容的正极，共发射极端连接母线电容负极，交流输出端与串联的C5、L3、T2下端原边绕组并联；IGBTG、IGBTg、IGBTH、IGBTh构成的第四电子开关全桥电路，共集电极端连接母线电容的正极，共发射极端连接母线电容负极，交流输出端与串联的C6、L4、T2下端原边绕组并联。
进一步地，T1的上端副边绕组与DB2整流桥输入端并联，T1的下端副边绕组与DB3整流桥输入端并联；T2的上端副边绕组与DB5整流桥输入端并联，T2的下端副边绕组与DB6整流桥输入端并联。
与现有技术相比较，本发明多组复合高频高压静电电源的技术优势及有益效果在于：
1、本发明采用12个晶闸管构成2组全控整流电路，整流输出的幅值可调，经过滤波母线电容滤波后，接全桥IGBT与电容电感构成串联谐振逆变电路，同样的全桥串联谐振逆变电路四组并联，协同工作，提高逆变器输出电流的脉冲频率，就得到了8组16路可调幅的高频高压电源。
2、本发明的一种多组复合高频高压静电电源，通过使用8组16路逆变方式，大大提升逆变输出脉冲频率，配合前端可控硅全控整流电路，调节母线电压，有效的降低了除尘电源输出电压电流的峰值；
3、采用本发明的电路结构，降低了放电的可能性，增加了总的输出功率，提升高频电源应对复杂工况的适应性。
4、本发明实现了幅值和频率可调，可以应对特殊工况，适应性很强，拓展拓宽高频电源的应用场景，大幅提升高频电源的可靠性和适应能力。
附图说明
图1为依据本发明的多组复合高频高压静电电源电路示意图。
图2为图1中的多组复合高频高压静电电源电路中的IGBT触发顺序示意图。
图3为应用图1所示多组复合高频高压静电电源的电捕焦油器的安装图。
图4是图3所示电捕焦油器的结构示意图。
附图标记：31-控制柜，32-高压电源，33-电捕焦油器，40-蒸汽加热管，41-筒体，42-均气导流装置，43-阳极系统，44-阴极系统，45-冲洗系统，46-平台爬梯。
具体实施方式
下面结合附图和实施范例，进一步阐述本发明。在下面的详细描述中，只通过说明的方式描述了本发明的某些示范性实施例。毋庸置疑，本领域的普通技术人员可以认识到，在不偏离本发明的精神和范围的情况下，可以用各种不同的方式对所描述的实施例进行修正。因此，附图和描述在本质上是说明性的，而不是用于限制权利要求的保护范围。
本发明提供一种多组复合高频高压静电电源，通过多组复合技术与高频电源技术相结合，解决高频电源在特殊工况的应用问题，可以扩宽高频电源的应用场景，大幅提升高频电源的可靠性和适应能力。本发明的一种多组复合高频高压静电电源，直接从母线电压入手，通过调节母线电压，降低输出的峰值电压电流，其对放电情况有很明显的改善作用，同时保证高频电源工作在设计的工作点，使电源工作在最佳工作状态的同时适应各种工况。
具体地，本发明多组复合高频高压静电电源，其采用全控整流电路、电子开关全桥电路(IGBT全桥)、串联谐振逆变电路和整流桥，其中IGBT全桥与电容电感构成的串联谐振逆变电路，通过脉冲控制谐振逆变电路工作输出脉冲电流，同时两组串联谐振逆变电路协同工作，提高脉冲电流的脉冲频率，就得到了幅值可调的高频高压电源。进一步地，本发明采用12个晶闸管构成2组全控整流电路，整流输出的幅值可调，经过滤波母线电容滤波后接全桥IGBT与电容电感构成串联谐振逆变电路，同样的全桥串联谐振逆变电路四组并联，协同工作，提高逆变器输出电流的脉冲频率，就得到了8组16路可调幅的高频高压电源。
本发明的一种多组复合高频高压静电电源，通过使用8组16路逆变方式，大大提升逆变输出脉冲频率，配合前端可控硅全控整流电路，调节母线电压，有效的降低了除尘电源输出电压电流的峰值，降低了放电的可能性，增加了总的输出功率，提升高频电源应对复杂工况的适应性。
详细地，本发明的一种多组复合高频高压静电电源，其包括两路复合高频高压静电电源，第一路复合高频高压静电电源包括全控整流电路DB1和C1组成的工频滤波电路、第一电子开关全桥电路、第二电子开关全桥电路、第一串联谐振逆变电路和第二串联谐振逆变电路以及整流桥DB2和整流桥DB3，第二路复合高频高压静电电源包括全控整流电路DB4和C4组成的工频滤波电路、第三电子开关全桥电路、第四电子开关全桥电路、第三串联谐振逆变电路和第四串联谐振逆变电路以及整流桥DB5和整流桥DB6，其中：
全控整流电路DB1，用于将交流电整流得到幅值可调的直流；
第一电子开关全桥电路，用于将第一母线电压的直流电进行逆变，得到脉动的直流电；
第二电子开关全桥电路，用于将第二母线电压的直流电进行逆变，得到与第一电子开关全桥电路相位相差180°的脉动的直流电；
第一串联谐振逆变电路，用于与第一电子开关全桥电路相结合产生谐振，得到宽度一定的脉冲电压；
第二串联谐振逆变电路，用于与第二电子开关全桥电路相结合产生谐振，得到与第一串联谐振逆变电路相位相差180°的脉冲电压；
整流桥，用于将第一变压器输出的高压交流电整流成高压直流电，供负载使用。
全控整流电路DB4，用于将交流电整流得到幅值可调的直流；
第三电子开关全桥电路，用于将第二母线电压的直流电进行逆变，得到脉动的直流电；
第四电子开关全桥电路，用于将第二母线电压的直流电进行逆变，得到与第三电子开关全桥电路相位相差180°的脉动的直流电；
第三串联谐振逆变电路，用于与第三电子开关全桥电路相结合产生谐振，得到宽度一定的脉冲电压；
第四串联谐振逆变电路，用于与第四电子开关全桥电路相结合产生谐振，得到与第一串联谐振逆变电路相位相差180°的脉冲电压；
整流桥DB5和整流桥DB6，用于将第二变压器输出的高压交流电整流成高压直流电，供负载使用。
优选地，全控整流电路DB1一侧接入三相工况电网A1、B1、C1相线端，全控整流电路DB1另一侧连接经过电容C1组成的工频滤波电路。全控整流电路DB4一侧接入三相工况电网A2、B2、C2相线端，全控整流电路DB4另一侧连接经过电容C4组成的工频滤波电路。
进一步地，第一电子开关全桥电路和第二电子开关全桥电路为对称连接结构，并且第一电子开关全桥电路和第二电子开关全桥电路的结构及组成类似；第三电子开关全桥电路和第四电子开关全桥电路为对称连接结构，并且第三电子开关全桥电路和第四电子开关全桥电路的结构及组成类似。
其中第一电子开关全桥电路由IGBTA、IGBTa、IGBTB、IGBTb构成的互补对称结构全桥电路，第二电子开关全桥电路IGBTC、IGBTc、IGBTD、IGBTd构成的互补对称结构全桥电路。第一电子开关全桥电路的共集电极端连接母线电压的正极，共发射极端连接母线电压负极，交流输出端与串联的C2、L1、T1上端原边绕组并联。
优选地，第二电子开关全桥电路的共集电极端连接母线电压的正极，共发射极端连接母线电压负极，交流输出端与串联的C3、L2、T1下端原边绕组并联，T1的上端副边绕组与DB2输入端并联，T1的下端副边绕组与整流桥DB3输入端并联，整流桥DB2、整流桥DB3构成的整流桥输出端并联后作为电源的输出。
第三电子开关全桥电路由IGBTE、IGBTe、IGBTF、IGBTf构成的互补对称结构全桥电路，第四电子开关全桥电路IGBTG、IGBTg、IGBTH、IGBTh构成的互补对称结构全桥电路。第三电子开关全桥电路的共集电极端连接母线电压的正极，共发射极端连接母线电压负极，交流输出端与串联的C5、L3、T2上端原边绕组并联。
优选地，第四电子开关全桥电路的共集电极端连接母线电压的正极，共发射极端连接母线电压负极，交流输出端与串联的C5、L3、T2下端原边绕组并联，T2的上端副边绕组与DB5输入端并联，T2的下端副边绕组与整流桥DB6输入端并联，整流桥DB5、整流桥DB6构成的整流桥输出端并联后作为电源的输出。
下面结合附图来进一步说明本发明多组复合高频高压静电电源，如图1所示的多组复合高频高压静电电源，其包括两组全控整流电路DB1和DB2、两组滤波电容C1和C4、第一电子开关全桥电路、第二电子开关全桥电路、第三电子开关全桥电路、第四电子开关全桥电路、第一串联谐振逆变电路、第二串联谐振逆变电路、第三串联谐振逆变电路、第四串联谐振逆变电路，其中全控整流电路DB1和DB2用于将交流电整流得到幅值可调的直流；滤波母线电容C1和C4用于将全控整流电路DB1和DB2输出的直流电平滑处理，得到平滑的母线电压。第一电子开关全桥电路用于将母线电容C1的直流电进行逆变，得到脉动的直流电；第二电子开关全桥电路用于将母线电容C1的直流电进行逆变，得到与第一电子开关全桥电路相位相差180°的脉动的直流电；第三电子开关全桥电路用于将母线电容C4的直流电进行逆变，得到与第一电子开关全桥电路相位相差90°的脉动的直流电；第四电子开关全桥电路用于将母线电容C4的直流电进行逆变，得到与第一电子开关全桥电路相位相差270°的脉动的直流电。第一串联谐振逆变电路用于与第一电子开关全桥电路相结合产生谐振，得到宽度一定的脉冲电压；第二串联谐振逆变电路用于与第二电子开关全桥电路相结合产生谐振，得到与第一串联谐振逆变电路相位相差180°的脉冲电压；第三串联谐振逆变电路用于与第三电子开关全桥电路相结合产生谐振，得到与第一串联谐振逆变电路相位相差90°的脉冲电压；第四串联谐振逆变电路用于与第四电子开关全桥电路相结合产生谐振，得到与第一串联谐振逆变电路相位相差270°的脉冲电压；整流桥用于将变压器输出的高压交流电整流成高压直流电，供负载使用。
如图2所示的多组复合高频高压静电电源的IGBT触发顺序，其中第一电子开关全桥电路由IGBTA、IGBTa、IGBTB、IGBTb构成，IGBTA的发射极与IGBTa的集电极相串联得到全桥电路的左臂，IGBTB的发射极与IGBTb的集电极相串联得到全桥电路的右臂，串联的左臂右臂再并联得到第一电子开关全桥电路。
第二电子开关全桥电路由IGBTC、IGBTc、IGBTD、IGBTd构成，IGBTC的发射极与IGBTc的集电极相串联得到全桥电路的左臂，IGBTD的发射极与IGBTd的集电极相串联得到全桥电路的右臂，串联的左臂右臂再并联得到第二电子开关全桥电路。
第三电子开关全桥电路由IGBTE、IGBTe、IGBTF、IGBTf构成，IGBTE的发射极与IGBTe的集电极相串联得到全桥电路的左臂，IGBTF的发射极与IGBTf的集电极相串联得到全桥电路的右臂，串联的左臂右臂再并联得到第三电子开关全桥电路。
第四电子开关全桥电路由IGBTG、IGBTg、IGBTH、IGBTh构成，IGBTG的发射极与IGBTg的集电极相串联得到全桥电路的左臂，IGBTH的发射极与IGBTh的集电极相串联得到全桥电路的右臂，串联的左臂右臂再并联得到第四电子开关全桥电路。
第一串联谐振逆变电路由C2、L1、T1上端原边绕组相构成，C2、L1与T1上端原边绕组依次串联形成第一串联谐振逆变电路；
第二串联谐振逆变电路由C3、L2、T1下端原边绕组相构成，C3、L2、T1下端原边绕组依次串联形成第二串联谐振逆变电路；
第三串联谐振逆变电路由C5、L3、T2下端原边绕组相构成，C5、L3、T2下端原边绕组依次串联形成第三串联谐振逆变电路；
第四串联谐振逆变电路由C6、L4、T2下端原边绕组相构成，C6、L4、T2下端原边绕组依次串联形成第四串联谐振逆变电路。
更进一步地，整流桥由DB2、DB3、DB5、DB6构成，DB2的输入端与T1上端副边绕组相并联，DB3的输入端与T1下端副边绕组相并联，DB5的输入端与T2上端副边绕组相并联，DB6的输入端与T2下端副边绕组相并联，DB2、DB3、DB5、DB6的输出端相互并联形成整流桥。
进一步地，全控整流电路DB1一侧连接电网输入端，输出幅值可调的直流电压，经滤波母线电容C1滤波后形成平滑的母线电压为后级逆变器提供可靠的能量。IGBTA、IGBTa、IGBTB、IGBTb构成的第一电子开关全桥电路，共集电极端连接滤波母线电容的正极，共发射极端连接滤波母线电容负极，交流输出端与串联的C2、L1、T1上端原边绕组并联，同样的IGBTC、IGBTc、IGBTD、IGBTd构成的第二电子开关全桥电路，共集电极端连接滤波母线电容的正极，共发射极端连接滤波母线电容负极，交流输出端与串联的C3、L2、T1下端原边绕组并联，T1的上端副边绕组与DB2整流桥输入端并联，T1的下端副边绕组与DB3整流桥输入端并联，DB2、DB3整流桥输出端并联后作为电源的输出。下部分同理，在实际使用过程中可根据需要选择是否投入第二路设备，组网灵活。
由此，本发明的一种多组复合高频高压静电电源，实现了幅值和频率可调，可以应对特殊工况，适应性很强。
图3为应用图1所示多组复合高频高压静电电源的电捕焦油器的安装图。图4是图3所示电捕焦油器的结构示意图。
如图3和图4所示，高压电源23应用在电捕焦油器上，具体地通过室内布置的控制柜31，控制输入电源经高压电源32，输出高压直流电流，经高压电缆输送给电捕焦油器33中的阴极系统。在电场力的作用下，途经电场的煤气完成正负物质的分离，实现焦油的捕集。如图3和图4所示的电捕焦油器33包括一个直筒形筒体41，内设蜂窝状的阳极系统43；一套通过框架固定的导线作为阴极系统44，高压电源32布置于设备顶部，设备各层配备有平台爬梯46，确保操作者的安全。另外还有仪表、控制供电和输电等辅助设备。上吊架、下吊架及调节装置用来确保每根电晕极线位于每个电场空间的中心。为防止绝缘子表面结露，在绝缘箱中设置了电加热保护。电捕焦油器顶部设有冲洗系统45，用于定期清除粘附于阳极和阴极上的焦油、粉尘。均气导流装置42是影响本设备除尘效率的主要因素之一，这就要求必须使设备内部流场的均匀性达到设计的效果，避免产生速度场、压力场的分布不均匀而导致收集焦油效率大大降低和设备运行阻力增加等情况；为保证捕集到的焦油有足够的流动性，设备底部设置了蒸汽加热管40，有效促进焦油排出。
以上仅是本发明的优选实施方式，本发明的保护范围并不仅局限于上述实施例，凡属于本发明思路下的技术方案均属于本发明的保护范围。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理前提下的若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

Claims (10)

1.一种多组复合高频高压静电电源，其特征在于，其通过多组复合技术与高频电源技术相结合，直接通过调节母线电压，降低输出的峰值电压电流，通过脉冲控制谐振逆变电路工作输出脉冲电流，同时两组串联谐振逆变电路协同工作，提高脉冲电流的脉冲频率，就得到了多组复合高频高压静电电源。
2.根据权利要求1所述一种多组复合高频高压静电电源，其特征在于，其采用全控整流电路、电子开关全桥电路、串联谐振逆变电路和整流桥，其中电子开关全桥电路与电容电感构成的串联谐振逆变电路，通过脉冲控制谐振逆变电路工作输出脉冲电流，同时两组串联谐振逆变电路协同工作，提高脉冲电流的脉冲频率，就得到了幅值可调的高频高压电源。
3.根据权利要求1或2所述一种多组复合高频高压静电电源，其特征在于，其采用12个晶闸管构成2组全控整流电路，整流输出的幅值可调，经过滤波母线电容滤波后接全桥IGBT与电容电感构成串联谐振逆变电路，同样的全桥串联谐振逆变电路四组并联，协同工作，提高逆变器输出电流的脉冲频率，就得到了8组16路可调幅的高频高压电源。
4.根据权利要求1或2所述一种多组复合高频高压静电电源，其特征在于，其包括两路复合高频高压静电电源，第一路复合高频高压静电电源包括全控整流电路DB1和C1组成的工频滤波电路、第一电子开关全桥电路、第二电子开关全桥电路、第一串联谐振逆变电路和第二串联谐振逆变电路以及整流桥DB2和整流桥DB3，第二路复合高频高压静电电源包括全控整流电路DB4和C4组成的工频滤波电路、第三电子开关全桥电路、第四电子开关全桥电路、第三串联谐振逆变电路和第四串联谐振逆变电路以及整流桥DB5和整流桥DB6。
5.根据权利要求4所述一种多组复合高频高压静电电源，其特征在于，全控整流电路DB1，用于将交流电整流得到幅值可调的直流；
第一电子开关全桥电路，用于将第一母线电压的直流电进行逆变，得到脉动的直流电；
第二电子开关全桥电路，用于将第二母线电压的直流电进行逆变，得到与第一电子开关全桥电路相位相差180°的脉动的直流电；
第一串联谐振逆变电路，用于与第一电子开关全桥电路相结合产生谐振，得到宽度一定的脉冲电压；
第二串联谐振逆变电路，用于与第二电子开关全桥电路相结合产生谐振，得到与第一串联谐振逆变电路相位相差180°的脉冲电压；
整流桥，用于将第一变压器输出的高压交流电整流成高压直流电，供负载使用。
6.根据权利要求4所述一种多组复合高频高压静电电源，其特征在于，全控整流电路DB4，用于将交流电整流得到幅值可调的直流；
第三电子开关全桥电路，用于将第二母线电压的直流电进行逆变，得到脉动的直流电；
第四电子开关全桥电路，用于将第二母线电压的直流电进行逆变，得到与第三电子开关全桥电路相位相差180°的脉动的直流电；
第三串联谐振逆变电路，用于与第三电子开关全桥电路相结合产生谐振，得到宽度一定的脉冲电压；
第四串联谐振逆变电路，用于与第四电子开关全桥电路相结合产生谐振，得到与第一串联谐振逆变电路相位相差180°的脉冲电压；
整流桥DB5和整流桥DB6，用于将第二变压器输出的高压交流电整流成高压直流电，供负载使用。
7.根据权利要求5或6所述一种多组复合高频高压静电电源，其特征在于，全控整流电路DB1和DB2一侧连接电网输入端，输出幅值可调的直流电压，经母线电容C1和C4滤波后形成平滑的母线电压为后级逆变器提供可靠的能量。
8.根据权利要求7所述一种多组复合高频高压静电电源，其特征在于，IGBTA、IGBTa、IGBTB、IGBTb构成的第一电子开关全桥电路，共集电极端连接母线电容的正极，共发射极端连接母线电容负极，交流输出端与串联的C2、L1、T1上端原边绕组并联；IGBTC、IGBTc、IGBTD、IGBTd构成的第二电子开关全桥电路，共集电极端连接母线电容的正极，共发射极端连接母线电容负极，交流输出端与串联的C3、L2、T1下端原边绕组并联。
9.根据权利要求8所述一种多组复合高频高压静电电源，其特征在于，IGBTE、IGBTe、IGBTF、IGBTf构成的第三电子开关全桥电路，共集电极端连接母线电容的正极，共发射极端连接母线电容负极，交流输出端与串联的C5、L3、T2下端原边绕组并联；IGBTG、IGBTg、IGBTH、IGBTh构成的第四电子开关全桥电路，共集电极端连接母线电容的正极，共发射极端连接母线电容负极，交流输出端与串联的C6、L4、T2下端原边绕组并联。
10.根据权利要求9所述一种多组复合高频高压静电电源，其特征在于，T1的上端副边绕组与DB2整流桥输入端并联，T1的下端副边绕组与DB3整流桥输入端并联；T2的上端副边绕组与DB5整流桥输入端并联，T2的下端副边绕组与DB6整流桥输入端并联。
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