[go: up one dir, main page]

CN114126807B - 非对称双末端执行器机器人臂 - Google Patents

非对称双末端执行器机器人臂 Download PDF

Info

Publication number
CN114126807B
CN114126807B CN202080052737.1A CN202080052737A CN114126807B CN 114126807 B CN114126807 B CN 114126807B CN 202080052737 A CN202080052737 A CN 202080052737A CN 114126807 B CN114126807 B CN 114126807B
Authority
CN
China
Prior art keywords
arm
end effector
forearm
upper arm
substrate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN202080052737.1A
Other languages
English (en)
Other versions
CN114126807A (zh
Inventor
S·威尔卡斯
M·霍塞克
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Persimmon Technologies Corp
Original Assignee
Persimmon Technologies Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Persimmon Technologies Corp filed Critical Persimmon Technologies Corp
Publication of CN114126807A publication Critical patent/CN114126807A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN114126807B publication Critical patent/CN114126807B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00—Programme-controlled manipulators
    • B25J9/02—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type
    • B25J9/04—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type by rotating at least one arm, excluding the head movement itself, e.g. cylindrical coordinate type or polar coordinate type
    • B25J9/041—Cylindrical coordinate type
    • B25J9/042—Cylindrical coordinate type comprising an articulated arm
    • B25J9/043—Cylindrical coordinate type comprising an articulated arm double selective compliance articulated robot arms [SCARA]
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
    • H01L21/68707—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a robot blade, or gripped by a gripper for conveyance
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J11/00—Manipulators not otherwise provided for
    • B25J11/0095—Manipulators transporting wafers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J15/00—Gripping heads and other end effectors
    • B25J15/0052—Gripping heads and other end effectors multiple gripper units or multiple end effectors
    • B25J15/0057—Gripping heads and other end effectors multiple gripper units or multiple end effectors mounted on a turret
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00—Programme-controlled manipulators
    • B25J9/0084—Programme-controlled manipulators comprising a plurality of manipulators
    • B25J9/0087—Dual arms
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00—Programme-controlled manipulators
    • B25J9/02—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00—Programme-controlled manipulators
    • B25J9/10—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements
    • B25J9/104—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements with cables, chains or ribbons
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00—Programme-controlled manipulators
    • B25J9/10—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements
    • B25J9/105—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements using eccentric means
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00—Programme-controlled manipulators
    • B25J9/16—Programme controls
    • B25J9/1679—Programme controls characterised by the tasks executed
    • B25J9/1682—Dual arm manipulator; Coordination of several manipulators
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
    • H01L21/67742—Mechanical parts of transfer devices
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67766—Mechanical parts of transfer devices

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Manipulator (AREA)

Abstract

一种装置包括具有电机和同轴驱动器轴的驱动器；具有第一臂和第二臂的臂组件；以及控制器。第一臂包括第一上臂、第一前臂、第一末端执行器和第一传动装置，其中第一传动装置包括非圆形滑轮，并且第一上臂和第一前臂具有不相等的有效长度。第二臂包括第二上臂、第二前臂、第二末端执行器和第二传动装置，其中第二上臂和第二前臂具有基本相等的有效长度。控制器被配置为引起驱动器使臂伸出和缩回以移动衬底保持区域上的上衬底和下衬底，使得臂组件和上衬底没有行进越过下衬底。

Description

非对称双末端执行器机器人臂
技术领域
示例性和非限制性实施例总体上涉及一种机器人，并且更具体地涉及一种具有非对称末端执行器的机器人臂，该末端执行器具有相对于彼此偏斜的衬底保持区域。
背景技术
用于制造半导体、LED、太阳能、MEMS、或其他装置的过程利用机器人技术和其他形式的自动化来将衬底和与衬底相关联的载体送至存储位置、处理位置或其他位置以及由这些位置送回。这种衬底的运送可以包括使用单个臂或多个臂移动个体衬底、衬底组，其中单个臂运送一个或多个衬底，或者多个臂每个运送一个或多个衬底。例如，与半导体制造相关联的大部分制造都是在真空环境中进行的，在这种环境中，覆盖区和体积都非常宝贵。此外，进行大部分自动化运送是为了在工作空间体积内获取衬底移动的最大效率。因此，需要提供如下的衬底运送自动化，其针对给定范围的运送应用，以最大移动效率来利用最小的覆盖区和工作空间体积。
发明内容
以下概述仅旨在作为示例。概述并非旨在限制权利要求的范围。
根据一个方面，示例实施例提供了一种装置，该装置包括：包括电机和同轴驱动器轴的驱动器；连接到同轴驱动器轴的臂组件，其中臂组件包括第一臂和第二臂；以及被配置为控制电机的控制器，其中第一臂包括连接到同轴驱动器轴中的第一同轴驱动器轴的第一上臂、连接到第一上臂的第一前臂、连接到第一前臂的第一末端执行器、以及用于使第一末端执行器在第一前臂上旋转的第一传动装置，其中第一传动装置包括至少一个非圆形滑轮，其中第一末端执行器包括第一衬底保持区域，其中第一上臂和第一前臂具有不相等的有效长度，其中第二臂包括连接到同轴驱动器轴中的第二同轴驱动器轴的第二上臂、连接到第二上臂的第二前臂、连接到第二前臂的第二末端执行器、以及用于使第二末端执行器在第二前臂上旋转的第二传动装置，其中第二末端执行器包括第二衬底保持区域，其中第二上臂和第二前臂具有基本相等的有效长度，其中控制器被配置为引起驱动器伸出和缩回臂以移动衬底保持区域上的上衬底和下衬底，使得臂组件和上衬底没有行进越过下衬底。
根据另一方面，提供了一种示例方法，该方法包括：将臂组件的第一臂在缩回位置与伸出位置之间伸出和缩回，其中第一臂连接到机器人驱动器的第一同轴驱动器轴，并且其中第一臂包括第一末端执行器，第一末端执行器具有第一衬底保持区域，第一衬底保持区域上具有下衬底；将臂组件的第二臂在缩回位置与伸出位置之间伸出和缩回，其中第二臂连接到机器人驱动器的第二同轴驱动器轴，并且其中第二臂包括第二末端执行器，第二末端执行器具有第二衬底保持区域，第二衬底保持区域上具有上衬底；以及控制第一臂和第二臂的伸出和缩回，使得在第一臂和第二臂在其相应缩回位置与伸出位置之间伸出和缩回期间，臂组件和上衬底不行进越过下衬底。
根据另一方面，示例实施例提供了一种机器可读的非暂态程序存储设备，有形地包含机器可执行的用于执行操作的指令程序，该操作包括：引起机器人驱动器移动臂组件的第一臂，同时第一臂在缩回位置与伸出位置之间伸出和缩回，其中第一臂连接到机器人驱动器的第一同轴驱动器轴，并且其中第一臂包括第一末端执行器，第一末端执行器具有第一衬底保持区域，第一衬底保持区域上具有下衬底；引起机器人驱动器移动臂组件的第二臂，同时第二臂在缩回位置与伸出位置之间伸出和缩回，其中第二臂连接到机器人驱动器的第二同轴驱动器轴，并且其中第二臂包括第二末端执行器，第二末端执行器具有第二衬底保持区域，第二衬底保持区域上具有上衬底；以及控制第一臂和第二臂的伸出和缩回，使得臂组件和上衬底没有行进越过下衬底。
附图说明
结合附图在以下描述中解释上述方面和其他特征，在附图中：
图1A是包括如本文所述的特征的装置的透视图；
图1B是图1A所示的装置的侧视图；
图2A-2C是示出图1A-1B所示的装置的臂中的一个臂的运动的透视图；
图3是臂组件的替代实施例的透视图；
图4是图3所示的臂组件的俯视图；
图5A-5C是示出图3-4所示的装置的臂中的第一臂的运动的透视图；
图6A-6C是示出图3-4所示的装置的臂中的第二臂的运动的透视图；
图7A是示出用于图3-4所示的装置的臂和衬底的连杆的位置的示意图；
图8A-8C是示出在缩回位置与伸出位置之间的图3-4和6A-6C所示的第二臂的伸出的示意图；
图9A-9C是示出在缩回位置与伸出位置之间的图3-4和5A-5C所示的第二臂的伸出的示意图；
图10A是臂组件的替代示例的俯视图；
图10B-10C是具有图10A所示的臂组件的机器人的示意性侧视图和截面图；
图10D-10E是类似于图10B-10C所示的机器人的替代示例的示意性侧视图和截面图；
图11A-11D是具有直末端执行器的图10A所示的示例的示意性平面俯视图，示出了在缩回位置与伸出位置之间的臂的伸出；
图12A-12D是具有L形末端执行器的类似于图10A和图11A-11D所示的示例的示意性平面俯视图，示出了在缩回位置与伸出位置之间的臂的伸出；
图13A-13D是具有一个L形末端执行器和一个直末端执行器的类似于图10A和图11A-11D所示的示例的示意性平面俯视图，示出了在缩回位置与伸出位置之间的臂的伸出；
图14A-14D是具有一个L形末端执行器和一个直末端执行器的类似于图10A和图11A-11D所示的示例的示意性平面俯视图，示出了在缩回位置与伸出位置之间的臂的伸出；
图15是具有一个直末端执行器和一个弯曲形状末端执行器的臂组件的替代示例的俯视图；
图16A-16D是图15所示的示例的示意性俯视图，示出了在缩回位置与伸出位置之间的臂的伸出；
图17是具有L形末端执行器的臂组件的替代示例的俯视图；
图18是具有图17所示的臂组件的机器人的示意性截面图；
图19是替代实施例的类似于图18的示意性截面图；
图20A-20D是具有直末端执行器的示例的示意性平面俯视图，示出了在缩回位置与伸出位置之间的臂的伸出；
图21A-21D是具有L形末端执行器的示例的示意性平面俯视图，示出了在缩回位置与伸出位置之间的臂的伸出；
图22A-22D是具有一个L形末端执行器和一个直末端执行器的示例的示意性平面俯视图，示出了在缩回位置与伸出位置之间的臂的伸出；
图23A-23D是具有一个L形末端执行器和一个直末端执行器的另一示例的示意性平面俯视图，示出了在缩回位置与伸出位置之间的臂的伸出；
图24是具有直末端执行器和单个上臂的臂组件的替代示例的俯视图；
图25A-25B是具有类似于图24所示的臂组件的机器人的示意性侧视图和截面图；
图26A-26B是具有图24所示的臂组件的机器人的示意性侧视图和截面图；
图27A-27D是具有直末端执行器的图24所示的臂组件的示意性平面俯视图，示出了在缩回位置与伸出位置之间的臂的伸出；
图28A-28D是具有L形末端执行器的类似于图24所示的臂组件的示意性平面俯视图，示出了在缩回位置与伸出位置之间的臂的伸出；
图29A-29D是具有一个L形末端执行器和一个直末端执行器的类似于图24所示的臂组件的示意性平面俯视图，示出了在缩回位置与伸出位置之间的臂的伸出；
图30A-30D是具有一个L形末端执行器和一个直末端执行器的类似于图29A-29D所示的臂组件的另一示例的示意性平面俯视图，示出了在缩回位置与伸出位置之间的臂的伸出；
图31是具有单个上臂、一个直末端执行器和一个L形末端执行器的臂组件的替代示例的俯视图，并且其中前臂在上臂上的不同有效长度处连接到单个上臂；
图32A-32B是具有图31所示的臂组件的机器人的示意性侧视图和截面图；
图33A-33D是具有单个上臂并且具有直末端执行器的类似于图31所示的臂组件的实施例的示意性平面俯视图，示出了在缩回位置与伸出位置之间的臂的伸出；
图34A-34D是具有单个上臂并且具有L形末端执行器的类似于图31所示的臂组件的实施例的示意性平面俯视图，示出了在缩回位置与伸出位置之间的臂的伸出；
图35A-35D是具有单个上臂并且具有一个L形末端执行器和一个直末端执行器的类似于图31所示的臂组件的实施例的示意性平面俯视图，示出了在缩回位置与伸出位置之间的臂的伸出；
图36A-36D是图31所示的臂组件的示意性俯视图，示出了在缩回位置与伸出位置之间的臂的伸出；
图37A-37B是机器人的示意性俯视图和侧视图；
图37C是图37A-37B所示的机器人的示意性截面图；
图38A-38I是示出图37A-37C所示的实施例的臂的各种位置的俯视图；以及
图39是类似于图37C的机器人的示意性截面图。
具体实施方式
参考图1A和1B，用于移动衬底的装置总体上以10示出并且在下文中称为“装置10”。装置10包括具有衬底运送装置或臂组件12(下文中称为“运送装置12”)的机器人，衬底运送装置或臂组件12被配置为在例如衬底处理室和负载锁之间运送衬底14a、14b。装置10还包括驱动单元16，该驱动单元16被配置为驱动运送装置12的臂和多个执行器，从而引起衬底的运送。例如，具有多个末端执行器的机器人在于2018年2月15日提交的题为“Material-Handling Robot With Multiple End-Effectors”的美国专利申请号15/897,374、现在的美国专利申请号10,580,682中有所描述，其通过引用整体并入本文。装置10可以包括或连接到控制器11。控制器11可以包括一个或多个处理器13和一个或多个存储器15。存储器15可以包括被配置为控制驱动单元16中的电机的运动的软件或计算机代码17，并且从驱动单元16或运送装置12中的传感器接收传感器信号。应当理解，本文中描述的所有实施例都连接到某种类型的控制器，诸如控制器11，以控制臂的运动，诸如围绕驱动单元16的中心轴线的旋转以及臂自身相对于驱动单元的中心轴线的伸出和缩回。在替代实施例中，也可以使用其他类型的驱动单元。
运送装置12包括多个臂，每个臂是能够经由驱动单元16伸出和旋转的。多个臂包括至少一个不等长连杆连杆机构或可由非圆形滑轮驱动的第一臂20。该示例中的不等长连杆连杆机构20包括具有第一有效长度的上臂和可旋转地连接到上臂的具有不同的第二有效长度的前臂。在该示例中，第二有效长度比第一有效长度短。上臂的有效长度在上臂在驱动单元16处的旋转的轴线与前臂在上臂上的旋转的轴线之间测量。前臂的有效长度在前臂在上臂上的旋转的轴线与末端执行器22在前臂上的旋转的轴线之间测量。非圆形滑轮和不等长连杆长度的示例在美国专利No.9,840,004中示出，该专利的全部内容通过引用并入本文。不等长连杆连杆机构20包括用于支撑下衬底14a的第一末端执行器22。
多个臂还包括至少一个等长连杆连杆机构或第二臂24。等长连杆连杆机构24包括用于支撑上衬底14b的第二末端执行器26。等长连杆连杆机构24可以包括一个或多个圆形滑轮而不是非圆形滑轮。该示例中的等长连杆连杆机构24包括具有第三有效长度的上臂和可旋转地连接到上臂的具有第四有效长度的前臂。在该示例中，第三有效长度与第四有效长度基本相同。因此，术语“等长连杆”连杆机构用于表示同一连杆机构中的上臂和前臂具有相同或基本相同的有效长度。
在该示例中，第一末端执行器22和第二末端执行器26是非对称的。因此，装置10可以被认为具有带有堆叠末端执行器的非对称双臂。如图1B所示，不等长连杆连杆机构20位于与地面或参考平面28相距距离D或更大的位置处。运送装置12的配置从给定的容纳直径提供最大径向范围。例如，具有不等长连杆长度的臂的机器人在于2015年10月6日颁发的题为“Robot Having Arm With Unequal Link Lengths”的美国专利号9,149,936中有描述，该专利的全部内容通过引用并入本文。
参考图2A-2C，运送装置12的初始位置是缩回配置，其中第二末端执行器26的一部分定位在第一末端执行器22(图2A)的一部分上方，使得上衬底14b被定位在下衬底14a上方。图2B示出了第一臂20从图2A的缩回位置移向图2C所示的伸出位置。在支撑下衬底14a的第一末端执行器22伸出后，不等长连杆连杆机构20(第一下臂)上的腕部30沿等长连杆连杆机构24(第二上臂)上的肩部40的一侧经过。在同一末端执行器的缩回期间会发生类似的运动。在支撑下衬底14a的第一末端执行器22完全伸出并且等长连杆连杆机构24(图2C)不移动时，等长连杆连杆机构24的行程长度允许腕部的限制和最大行程。
参考图3，还在总体上以112示出了用于衬底处理并且具有偏斜末端执行器的衬底运送装置并且在下文中称为“运送装置112”。该示例还可以包括如图1所示的控制器11，但是具有用于移动电机的合适的软件编程以提供在下面进一步描述的衬底的不超程(noover-travel)。该示例示出了具有偏斜末端执行器的非对称双臂示例。该示例可以用于提供一种如下的系统，其中运送装置112或上衬底114b的组件或材料均不越过下末端执行器或下衬底114a上方。
运送装置112包括第一下臂和第二上臂，该第一下臂包括具有第一末端执行器122的不等长连杆连杆机构120，该第二上臂包括等长连杆连杆机构124和第二末端执行器126。第一末端执行器122相对于第二末端执行器126是非对称的。第一末端执行器122具有也相对于第二末端执行器126的衬底保持区域偏斜的衬底保持区域。因此，在初始静止位置或缩回位置期间，并且还在下臂和上臂中的一个或两个的移动期间，可以防止上衬底114b被定位在下衬底114a上方。
图4示出了图3所示的运送装置112的俯视图。根据图3-4所示的示例，连杆机构的设计(相对于图1A-1B和图2A-2C的堆叠末端执行器中所示的连杆机构的设计)可以旋转以使第二末端执行器126上的上晶片(衬底114b)移动远离第一末端执行器122上的下晶片(衬底114a)。同样，根据图3-4所示的示例，等长连杆连杆机构124上的连杆的设计(相对于图1A-1B和图2A-2C的堆叠末端执行器中所示的等长连杆连杆机构上的连杆的设计)可以拉伸以将等长连杆连杆机构124的肘部定位在远离非等长连杆连杆机构120的腕部处。不等长连杆连杆机构120可以包括非圆形滑轮和带或带子。在一种类型的示例中，用于图3-4的示例的控制器中的用于控制驱动单元中的电机的软件可以与用于图1A-1B和2A-2C的示例的控制器中的软件相同。
还参考图5A，在静止或缩回位置，非对称且偏斜的末端执行器122、126的配置允许第二末端执行器126上的晶片(衬底114b)不在第一末端执行器122上的晶片(衬底114a)上方。还参考图5B，随着不等长连杆连杆机构120伸出，第一末端执行器122移动远离第二末端执行器126。还参考图5C，随着不等长连杆连杆机构120的进一步伸出，第一末端执行器122移动进一步远离第二末端执行器126。根据上臂和下臂的构造、末端执行器的形状和控制器11对电机的控制，该示例可以用于提供在具有第一末端执行器122的不等长连杆连杆机构120的伸出和缩回期间的任何时间点，运送装置112或上衬底114b的任何部分都不位于下衬底114a上方。
还参考图6A，在静止或缩回位置，非对称且偏斜的末端执行器的配置允许防止第二末端执行器126上的上晶片(衬底114b)行进越过第一末端执行器122(也参见图5A)上的下晶片(衬底114a)。还参考图6B，随着等长连杆连杆机构124伸出，第二末端执行器126远离第一末端执行器122移动。还参考图6C，随着等长连杆连杆机构124进一步朝向其完全伸出位置伸出，第二末端执行器126移动进一步远离第一末端执行器122。根据上臂和下臂的构造、末端执行器的形状和控制器11对电机的控制，该示例可以用于提供在具有第二末端执行器126的等长连杆连杆机构124的伸出和缩回期间的任何时间点，运送装置112或上衬底114b的任何部分都不位于下衬底114a或下末端执行器122的衬底保持区域的上方。
参考图7，运送装置112的示意性俯视图被示出为两个臂处于其缩回位置。不等长连杆连杆机构120可以包括非圆形滑轮并且随其移动。另一连杆机构124可以包括具有非圆形滑轮的等长连杆连杆机构或不等长连杆连杆机构。与图1A-1B所示的示例相比，末端执行器122、126的设计可以从径向取向旋转以在它们之间以及其相应肘部与腕部之间获取增加的净空。
参考图8A-8C，针对等长连杆连杆机构124的伸出，在初始阶段(图8A，缩回位置)，上衬底114b未定位在下衬底114a上方。如图8B所示，在上衬底114b伸出期间的连杆跨连杆位置中，末端执行器122、126的取向随着上衬底114b的中心沿直线的移动而改变。如图8C所示，在其中衬底114b处于伸出位置的最后阶段，末端执行器122、126相对于彼此的取向随着末端执行器126进一步伸出而恒定，并且上衬底114b的中心继续沿直线移动。在该示例中，当末端执行器的中心沿直线移动时，伸出的初始阶段使末端执行器126的取向发生变化，并且在最后伸出阶段，末端执行器126的取向保持不变，其中心继续沿直线移动。
还参考图9A-9C，针对不等长连杆连杆机构120的伸出，在初始阶段(图9A，缩回位置)，上衬底114b再次未定位在下衬底114a上方。如图9B所示，在末端执行器122被伸出的连杆上连杆位置中，末端执行器122、126的取向随着下衬底114a的中心沿直线的移动而相对于彼此改变。如图9C所示，在其中下衬底114a向其伸出位置移动的最后阶段，末端执行器122、126相对于彼此的取向是恒定的，并且下衬底114a的中心继续沿其直线移动。
如本文所述的特征可以设置有偏斜的双伸出臂配置。还参考图10A，示出了偏斜的双伸出臂配置的示例实施例。在该示例中，臂组件1012包括第一臂1014和第二臂1016。两个臂1014、1016连接到驱动器，诸如图10B和10C所示的驱动器16。驱动器16可以包括同轴驱动器轴1018、1020、1022、用于旋转驱动器轴的电机1024、1026、1028、以及垂直驱动器1030。第一臂1014具有上臂1030、前臂1032和被配置为支撑在其上的衬底A的末端执行器2034。第二臂1016具有上臂1036、前臂1038和被配置为支撑在其上的衬底B的末端执行器2040。臂1014、1016包括作为来自驱动器的传动装置的一部分的滑轮和带。图10B和10C示出了具有带和滑轮的传动装置的示例。图10B和10C还示出了臂1014'、1016'的连杆(上臂、前臂、末端执行器)的示例布置。图10D和10E示出了臂1014”、1016”的连杆(上臂、前臂、末端执行器)的示例布置的另一替代实施例。
参考图11A-11D，还示出了具有恒定腕部取向的臂组件的示例实施例的运动。在该示例中，包括了一种独立的伸出臂运动，以及3轴线的主轴、等长连杆几何形状的连杆机构1114、1116、和末端执行器在伸出和缩回期间的恒定取向。
参考图12A-12D，还示出了具有恒定腕部取向的臂组件的示例实施例的运动。在该示例中，包括独立的伸出臂运动、3轴线主轴、不等长连杆几何形状的连杆机构1214、1216、以及末端执行器在伸出和缩回期间的恒定取向。该示例包括总体上90度的L形末端执行器。一个或多个末端执行器可以具有大于或小于90度的弯曲或曲线，诸如图16A-16D所示的弯曲末端执行器。
参考图13A-13D，还示出了具有恒定腕部取向的臂组件的示例实施例的运动。在该示例中，包括独立的伸出臂运动、3轴线主轴、具有等长连杆的一个连杆机构1314和具有不等长连杆几何形状的另一个连杆机构1316、以及末端执行器在伸出和缩回期间的恒定取向。
参考图14A-14D，还示出了具有恒定腕部取向的臂组件的示例实施例的运动。在该示例中，包括独立的伸出臂、3轴线主轴、具有不等长连杆的一个连杆机构1414和具有等长连杆几何形状的另一连杆机构1416、以及末端执行器在伸出和缩回期间的恒定取向。
如本文所述的特征可以包括可变腕部取向。这由图15所示的示例说明。例如，可以提供具有以下各项的特征：
·独立的伸出臂运动、4轴线主轴、具有等长连杆几何形状的两个连杆机构、末端执行器在伸出和缩回期间的可变取向
·独立的伸出臂运动、4轴线主轴、具有不等长连杆几何形状的两个连杆机构、末端执行器在伸出和缩回期间的可变取向
·独立的伸出臂运动、4轴线主轴，等长连杆的一个连杆机构和不等长连杆几何形状的另一连杆机构(等长连杆的上连杆机构、不等长连杆的下连杆机构)、末端执行器在伸出和缩回期间的可变取向
参考图16A-16D，还示出了具有可变腕部取向的臂组件的示例实施例的运动。在该示例中，包括独立的伸出臂运动、4轴的主轴/驱动器、不等长连杆的一个连杆机构1614和等长连杆几何形状的另一连杆机构1616(不等长连杆上连杆机构、等长连杆下连杆机构)、末端执行器在伸出和缩回期间的可变取向。在该示例中，末端执行器在缩回位置没有径向指向。
如本文所述的特征可以包括耦合的双臂布置。这由图17所示的具有臂1714和1716的示例说明。图18示出了驱动器16到耦合的双臂布置的示例实施例的连接的示例，其中滑轮和带作为臂组件中的传动装置的一部分。图19示出了驱动器16到耦合的双臂布置的示例实施例的连接的另一示例，其中滑轮和带作为臂组件1714'和1716'中的传动装置的一部分。
耦合的双臂装置可以包括恒定腕部取向。图20A-20D示出了一个示例，该示例包括耦合的双臂(刚性连接的上臂、左肘和右肘、左前臂和右前臂)、3轴线主轴/驱动器、等长连杆几何形状的两个连杆机构2014、2016、以及在伸出和缩回期间末端执行器的恒定取向。图21A-21D示出了一个示例，该示例包括耦合的双臂(刚性连接的上臂)、3轴线主轴、具有不等长连杆几何形状的两个连杆机构2114、2116、以及末端执行器在伸出和缩回期间的恒定取向。图22A-22D示出了一个示例，该示例包括耦合的双臂(刚性连接的上臂)、3轴线主轴、具有等长连杆几何形状的一个连杆机构2214和具有不等长连杆几何形状的另一连杆机构2216、以及末端执行器在伸出和缩回期间的恒定取向。图23A-23D示出了一个示例，该示例包括耦合的双臂(刚性连接的上臂)、3轴的主轴、具有不等长连杆的一个连杆机构2314和具有等长连杆几何形状的另一连杆机构2316、以及末端执行器在伸出和缩回期间的恒定取向。
耦合的双臂装置可以包括可变腕部取向。示例包括：
·耦合的双臂(刚性连接的上臂、左右肘部、左右前臂)、3轴的主轴、具有等长连杆几何形状的两个连杆机构、末端执行器的可变取向
·耦合的双臂(刚性连接的上臂)、3轴的主轴、具有不等长连杆几何形状的两个连杆机构、末端执行器的可变取向
·耦合的双臂(刚性连接的上臂)、3轴的主轴、具有等长连杆的一个连杆机构和具有不等长连杆几何形状的另一连杆机构、末端执行器的可变取向
·耦合的双臂(刚性连接的上臂)、3轴的主轴、不等长连杆的一个连杆机构和等长连杆几何形状的另一连杆机构、末端执行器的可变取向
如本文所述的特征可以包括单上臂单肘部。图24中示出了具有臂2414和2416的示例。图25A、25B和26A、26B示出了驱动器16到耦合的双臂布置的示例实施例的连接的示例，其中滑轮和带作为臂组件中的传动装置的一部分，类似于图24。
单上臂单肘部布置可以包括恒定腕部取向。图27A-27D示出了一个示例，该示例包括具有公共肘部的臂(单个上臂、单个肘部、堆叠前臂)、3轴的主轴、具有等长连杆几何形状的两个连杆机构2714、2716、以及末端执行器在伸出和缩回期间的恒定取向。图28A-28D示出了一个示例，该示例包括具有公共肘部的臂(单个上臂、单个肘部、堆叠前臂)、3轴的主轴、具有不等长连杆几何形状的两个连杆机构2814、2816、以及末端执行器在伸出和缩回期间的恒定取向。图29A-29D示出了一个示例，该示例包括具有公共肘部的臂(单个上臂、单个肘部、堆叠前臂)、3轴的主轴、具有等长连杆的一个连杆机构2914和具有不等长连杆几何形状的另一连杆机构2916、以及末端执行器在伸出和缩回期间的恒定取向。图29A-29D示出了一个示例，该示例包括具有公共肘部的臂(单上臂、单个肘部、堆叠前臂)、3轴的主轴、具有不等长连杆的一个连杆机构3014和具有等长连杆几何形状的另一连杆机构3016、以及伸出和缩回期间末端执行器的恒定取向。
单上臂单肘部布置可以包括可变腕部取向。示例可以包括：
·具有公共肘部的臂(单上臂、单个肘部、堆叠前臂)、3轴的主轴、具有等长连杆几何形状的两个连杆机构、末端执行器的可变取向
·具有公共肘部的臂(单上臂、单个肘部、堆叠前臂)、3轴的主轴、具有不等长连杆几何形状的两个连杆机构、末端执行器的可变取向·具有公共肘部的臂(单上臂、单个肘部、堆叠前臂)、3轴的主轴、具有等长连杆的一个连杆机构和具有不等长连杆几何形状的另一连杆机构、末端执行器的可变取向
·具有公共肘部的臂(单上臂、单个肘部、堆叠前臂)、3轴的主轴、具有不等长连杆的一个连杆机构和具有等长连杆几何形状的另一连杆机构、末端执行器的可变取向
如本文所述的特征可以包括具有偏置肘部的单个上臂。在图31中示出了具有连杆机构3114和3116的示例。图32A、32B示出了驱动器16到具有偏置肘部布置的单上臂的示例实施例的连接的示例，其中滑轮和带作为臂组件中的传动装置的一部分。
具有偏置肘部布置的单个上臂可以包括恒定腕部取向。图33A-33D示出了一个示例，该示例包括具有偏置肘部的臂(单个上臂、两个肘关节)、3轴的主轴、等长连杆几何形状的两个连杆机构3314、3316、在伸出和缩回期间末端执行器的恒定取向。图34A-34D示出了一个示例，该示例包括具有偏置肘部的臂(单个上臂、两个肘关节)、3轴的主轴、具有不等长连杆几何形状的两个连杆机构3414、3416、末端执行器在伸出和缩回期间的恒定取向。图35A-35D示出了一个示例，该示例包括具有偏置肘部的臂(单个上臂、两个肘关节)、3轴的主轴、具有等长连杆的一个连杆机构3514和具有不等长连杆几何形状的另一连杆机构3516、末端执行器在伸出和缩回期间的恒定取向。图36A-36D示出了一个示例，该示例包括具有偏置肘部的臂(单个上臂、两个肘关节)、3轴的主轴、具有不等长连杆的一个连杆机构3614和具有等长连杆几何形状的另一连杆机构3616、末端执行器在伸出和缩回期间的恒定取向。
具有偏置肘部布置的单个上臂可以包括可变腕部取向。示例可以包括：
·具有偏置肘部的臂(单上臂、两个肘关节)、3轴的主轴、具有等长连杆几何形状的两个连杆机构、末端执行器的可变取向
·具有偏置肘部的臂(单上臂、两个肘关节)、3轴的主轴、具有不等长连杆几何形状的两个连杆机构、末端执行器的可变取向
·具有偏置肘部的臂(单上臂，两个肘关节)、3轴的主轴、具有等长连杆的一个连杆机构和具有不等长连杆几何形状的另一连杆机构、末端执行器的可变取向
·具有偏置肘部的臂(单上臂，两个肘关节)、3轴的主轴、具有不等长连杆的一个连杆机构和具有等长连杆几何形状的另一连杆机构、末端执行器的可变取向
根据一个示例，可以提供一种装置，该装置包括：驱动器，包括电机和同轴驱动器轴；臂组件，连接到同轴驱动器轴，其中臂组件包括第一臂和第二臂；以及控制器，被配置为控制电机，其中第一臂包括连接到同轴驱动器轴中的第一同轴驱动器轴的第一上臂、连接到第一上臂的第一前臂、连接到第一前臂的第一末端执行器、以及用于使第一末端执行器在第一前臂上旋转的第一传动装置，其中第一传动装置包括至少一个非圆形滑轮，其中第一末端执行器包括第一衬底保持区域，其中第一上臂和第一前臂具有不相等的有效长度，其中第二臂包括连接到同轴驱动器轴中的第二同轴驱动器轴的第二上臂、连接到第二上臂的第二前臂、连接到第二前臂的第二末端执行器、以及用于使第二末端执行器在第二前臂上旋转的第二传动装置，其中第二末端执行器包括第二衬底保持区域，其中第二上臂和第二前臂具有基本相等的有效长度，其中控制器被配置为引起驱动器使臂伸出和缩回以移动衬底保持区域上的上衬底和下衬底，使得臂组件和上衬底没有行进越过下衬底。有效长度是每个连杆的相对端处的枢轴位置的相应轴线之间的长度。
控制器可以被配置为在控制器引起另一臂伸出和缩回的同时将具有上衬底的臂保持在相对于驱动器的静止位置。控制器可以被配置为在控制器引起另一个臂伸出和缩回的同时将具有下衬底的臂保持在相对于驱动器的静止位置。第二传动装置可以包括不是非圆形滑轮的滑轮。第一末端执行器可以具有基本弯曲形状并且第二末端执行器具有基本直形状。第一上臂的有效长度可以长于第一前臂的有效长度。在第一臂和第二臂的缩回位置，第二末端执行器可以部分地位于第一末端执行器上方，第二前臂可以部分地位于第一前臂和第一末端执行器上方，并且第一末端执行器可以部分地位于第二上臂上方。控制器、第一臂和第二臂的结构、以及传动装置可以被配置为限制第一臂和第二臂相对于彼此的运动，以针对末端执行器的所有位置防止臂组件和上衬底行进越过下衬底。
可以提供一种示例方法，该方法包括：将臂组件的第一臂在缩回位置与伸出位置之间伸出和缩回，其中第一臂连接到机器人驱动器的第一同轴驱动器轴，并且其中第一臂包括第一末端执行器，第一末端执行器具有第一衬底保持区域，第一衬底保持区域上具有下衬底；将臂组件的第二臂在缩回位置与伸出位置之间伸出和缩回，其中第二臂连接到机器人驱动器的第二同轴驱动器轴，并且其中第二臂包括第二末端执行器，第二末端执行器具有第二衬底保持区域，第二衬底保持区域上具有上衬底；以及控制第一臂和第二臂的伸出和缩回，使得在第一臂和第二臂在其相应缩回位置与伸出位置之间的伸出和缩回期间，臂组件和上衬底没有行进越过下衬底。
第一臂可以包括连接到第一同轴驱动器轴的第一上臂、连接到第一上臂的第一前臂、连接到第一前臂的第一末端执行器、以及用于在第一前臂上旋转第一末端执行器的第一传动装置，其中第一传动装置包括至少一个非圆形滑轮，其中第一上臂和第一前臂具有不相等的有效长度，其中方法包括在第一上臂被第一同轴驱动器轴旋转时，第一传动装置引起第一末端执行器在第一前臂上旋转。第二臂可以包括连接到第二同轴驱动器轴的第二上臂、连接到第二上臂的第二前臂、连接到第二前臂的第二末端执行器、以及用于使第二末端执行器在第二前臂上旋转的第二传动装置，其中第二上臂和第二前臂具有基本相等的有效长度，并且其中方法包括在第二上臂被第二同轴驱动器轴旋转时，第二传动装置引起第二末端执行器在第二前臂上旋转，其中第二传动装置包括不是非圆形滑轮的滑轮。对第一臂和第二臂的伸出和缩回的控制可以包括在控制器引起第一臂伸出和缩回的同时，控制器将第二臂保持在相对于机器人驱动器的静止位置。对第一臂和第二臂的伸出和缩回的控制可以包括在控制器引起第二臂伸出和缩回的同时，控制器将第一臂保持在相对于机器人驱动器的静止位置。第一末端执行器可以具有基本弯曲的形状并且第二末端执行器可以具有基本直的形状。第一臂可以包括第一上臂和第一前臂，其中第一上臂的有效长度长于第一前臂的有效长度，其中第二臂包括第二上臂和第二前臂，其中第二上臂的有效长度长于第二前臂的有效长度。在第一臂和第二臂的缩回位置，第二末端执行器可以部分地位于第一末端执行器上方，第二前臂可以部分地位于第一前臂和第一末端执行器上方，并且第一末端执行器可以部分地位于第二上臂上方。对第一臂和第二臂的伸出和缩回的控制可以包括控制器，第一臂和第二臂的结构、以及臂中的传动装置限制第一臂和第二臂相对于彼此的运动，以针对末端执行器的所有位置防止臂组件和上衬底越过下衬底的行进。
一个示例可以提供一种机器可读的非暂态程序存储设备，有形地包含机器可执行的用于执行操作的指令程序，该操作包括：引起机器人驱动器移动臂组件的第一臂，同时第一臂在缩回位置与伸出位置之间伸出和缩回，其中第一臂连接到机器人驱动器的第一同轴驱动器轴，并且其中第一臂包括第一末端执行器，第一末端执行器具有第一衬底保持区域，第一衬底保持区域上具有下衬底；引起机器人驱动器移动臂组件的第二臂，同时第二臂在缩回位置与伸出位置之间伸出和缩回，其中第二臂连接到机器人驱动器的第二同轴驱动器轴，并且其中第二臂包括第二末端执行器，第二末端执行器具有第二衬底保持区域，第二衬底保持区域上具有上衬底；以及控制第一臂和第二臂的伸出和缩回，使得臂组件和上衬底不行进越过下衬底。
第一臂可以包括连接到第一同轴驱动器轴的第一上臂、连接到第一上臂的第一前臂、连接到第一前臂的第一末端执行器、以及用于在第一前臂上旋转第一末端执行器的第一传动装置，其中第一传动装置包括至少一个非圆形滑轮，其中第一上臂和第一前臂具有不相等的有效长度，其中操作包括在第一上臂被第一同轴驱动器轴旋转时，引起第一传动装置使第一末端执行器在第一前臂上旋转。第二臂可以包括连接到第二同轴驱动器轴的第二上臂、连接到第二上臂的第二前臂、连接到第二前臂的第二末端执行器、以及用于在第二前臂上旋转第二末端执行器的第二传动装置，其中第二上臂和第二前臂具有基本相等的有效长度，并且其中操作包括在第二上臂被第二同轴驱动器轴旋转时，引起第二传动装置使第二末端执行器在第二前臂上旋转，其中第二传动装置包括不是非圆形滑轮的滑轮。
可以提供一个示例实施例，该示例实施例包括：用于将臂组件的第一臂在缩回位置与伸出位置之间伸出和缩回的装置，其中第一臂连接到机器人驱动器的第一同轴驱动器轴，并且其中第一臂包括第一末端执行器，第一末端执行器具有第一衬底保持区域，第一衬底保持区域上具有下衬底；用于将臂组件的第二臂在缩回位置与伸出位置之间伸出和缩回的装置，其中第二臂连接到机器人驱动器的第二同轴驱动器轴，并且其中第二臂包括第二末端执行器，第二末端执行器具有第二衬底保持区域，第二衬底保持区域上具有上衬底；以及用于控制第一臂和第二臂的伸出和缩回的装置，使得在第一臂和第二臂在其相应缩回位置与伸出位置之间的伸出和缩回期间，臂组件和上衬底不行进越过下衬底。
可以提供一个示例实施例，该示例实施例包括：被配置为引起机器人驱动器移动臂组件的第一臂的电路系统，同时使第一臂在缩回位置与伸出位置之间伸出和缩回，其中第一臂连接到机器人驱动器的第一同轴驱动器轴，并且其中第一臂包括第一末端执行器，第一末端执行器具有第一衬底保持区域，第一衬底保持区域上具有下衬底；被配置为引起机器人驱动器移动臂组件的第二臂的电路系统，同时使第二臂在缩回位置与伸出位置之间伸出和缩回，其中第二臂连接到机器人驱动器的第二同轴驱动器轴，并且其中第二臂包括第二末端执行器，第二末端执行器具有第二衬底保持区域，第二衬底保持区域上具有上衬底；以及被配置为控制第一臂和第二臂的伸出和缩回的电路系统，使得臂组件和上衬底不行进越过下衬底。
一个示例实施例可以提供一种装置，该装置包括至少一个处理器；以及包括计算机程序代码的至少一个非暂态存储器，该至少一个存储器和计算机程序代码被配置为与至少一个处理器一起引起该装置：引起机器人驱动器移动臂组件的第一臂，同时使第一臂在缩回位置与伸出位置之间伸出和缩回，其中第一臂连接到机器人驱动器的第一同轴驱动器轴，并且其中第一臂包括第一末端执行器，第一末端执行器具有第一衬底保持区域，第一衬底保持区域上具有下衬底；引起机器人驱动器移动臂组件的第二臂，同时第二臂在缩回位置与伸出位置之间伸出和缩回，其中第二臂连接到机器人驱动器的第二同轴驱动器轴，并且其中第二臂包括第二末端执行器，第二末端执行器具有第二衬底保持区域，第二衬底保持区域上具有上衬底；以及控制第一臂和第二臂的伸出和缩回，使得臂组件和上衬底不行进越过下衬底。
另外的示例实施例可以提供具有两个连杆机构的机器人，两个连杆可以如上所述独立地伸出并且此外可以能够独立地旋转。两个连杆机构的独立旋转的附加能力可以允许臂在具有堆叠末端执行器的配置(这在需要快速材料交换时可能是有利的)与具有偏斜末端执行器的配置(这从材料污染的角度来看可能是有利的)之间转变。此外，两个连杆机构的独立旋转的附加能力可以提高生产力(系统吞吐量)，因为其中一个连杆机构可以在另一连杆机构完成当前工作站(当前位置)的操作之前朝向下一工作站(或其他目的地)旋转。
机器人驱动单元可以包括四轴的主轴，诸如与上述实施例相比的一个附加运动轴；以提供被配置为致动机械臂的四个同轴驱动器轴。机器人臂可以具有与上述基本相同架构的两个连杆机构，但是它们可以彼此独立地旋转。
还参考图37A-37C，示出了具有机器人的示例实施例，该机器人包括机器人驱动单元和机器人臂。机器人驱动单元可以由带有电机的主轴组成，电机被配置为驱动四个同轴轴T1、T2、T3和T4(从最外层轴到最内层轴的顺序)。如果需要，驱动单元还可以包括垂直提升机构(图37A-37C中未示出)，诸如由一个或多个线性导轨轴承布置和电机驱动的滚珠丝杠组成，被配置为在垂直方向上向上或向下提升主轴。
机械臂可以由右连杆机构3714和左连杆机构3716组成。右连杆机构3714可以包括右上臂3730、右前臂3732和具有末端执行器3740的腕部组件。右上臂3730可以连接到轴T3。右前臂可以经由旋转关节(肘关节)耦合到上臂，并且由轴T4使用传动布置致动。传动布置可以包括可以附接到轴T4的肩部滑轮、可以附接到右前臂A的第一肘部滑轮、以及可以在两个滑轮之间传递运动的带子、带或缆线。具有末端执行器3740的腕部组件可以经由另一旋转关节(腕关节)耦合到右前臂并且由另一传动布置旋转地约束。传动布置可以包括可以附接到右上臂的第二肘部滑轮、可以附接到具有末端执行器的腕部组件的腕轮、以及可以连接两个滑轮的带子、带或缆线。
右前臂的关节到关节长度可以等于右上臂的关节到关节长度。轴T4与右前臂之间的传动布置可以被配置为使得当轴T4保持静止并且轴T3旋转时腕关节沿基本直线的径向线(穿过同轴驱动器轴的旋转轴线)移动。为了实现这一点，肩部滑轮和第一肘部滑轮可以是圆形的，并且肩部滑轮的有效直径可以选择为第一肘部滑轮的有效直径的两倍。右上臂A与具有末端执行器的腕部组件之间的传动布置的传动比可以被配置为使得具有末端执行器的腕部组件的取向在该运动期间保持基本恒定。为了实现这一点，第二肩部滑轮和腕部滑轮可以是圆形的，并且腕部滑轮的有效直径可以选择为第二肘部滑轮的有效直径的两倍。
替代地，右前臂的关节到关节长度可以不等于右上臂的关节到关节长度。例如，右前臂的关节到关节长度可以比右上臂的关节到关节长度短或长。轴T4与右前臂之间的传动布置可以被配置为使得当轴T4保持静止并且轴T3旋转时腕关节沿基本直线的线(平行于穿过同轴驱动器轴的旋转轴线的线)移动。为了实现这一点，传动布置的至少一个滑轮可以具有非圆形轮廓。此外，右上臂与具有末端执行器的腕部组件之间的传动布置的传动比可以被配置为使得具有末端执行器的腕部组件的取向在该运动期间保持基本恒定。为了实现这一点，传动布置的至少一个滑轮可以具有非圆形轮廓。
左连杆机构3716可以由左上臂3736、左前臂3738和具有末端执行器3741的腕部组件组成。左上臂3736可以附接到轴T1。左前臂3738可以经由旋转关节(肘关节)耦合到上臂。具有末端执行器3741的腕部组件可以经由另一旋转关节(腕关节)耦合到前臂3738。
左前臂的关节到关节长度可以小于左上臂的关节到关节长度。特别地，可以方便地选择左前臂的长度，使得腕关节可以通过右连杆机构3714的肩关节，从而实现垂直紧凑的臂包。左前臂可以由轴T2使用传动布置致动。传动布置可以包括可以附接到轴T2的肩部滑轮、可以附接到左前臂的第一肘部滑轮、以及可以在两个滑轮之间传递运动的带子、带或缆线。两个滑轮中的至少一个可以具有非圆形轮廓以提供可变的(取决于位置的)传动比。具有末端执行器3741的腕部组件可以由另一传动布置旋转地约束。传动布置可以包括可以附接到上臂3736的第二肘部滑轮、可以附接到具有末端执行器3741的腕部组件的腕部滑轮、以及可以耦合两个滑轮的带子、带或缆线。同样，两个滑轮中的至少一个可以具有非圆形轮廓以提供可变的(取决于位置的)传动比。
轴T2与左前臂3738之间的传动布置可以被配置为使得当轴T2保持静止并且轴T1旋转时腕关节沿基本直线的线运动(平行于穿过同轴驱动器轴的旋转轴线的线)移动。这可以经由传动布置中的两个滑轮中的至少一个滑轮的非圆形轮廓来实现。左上臂3736与具有末端执行器3741的腕部组件之间的传动装置布置的传动比可以被配置为使得具有末端执行器3741的腕部组件的取向在该运动期间保持基本恒定。同样，这可以经由传动布置中的两个滑轮中的至少一个滑轮的非圆形轮廓来实现。
机器人驱动单元的T1、T2、T3和T4轴可以旋转，使得末端执行器3740和末端执行器3741可以访问各种工作站。
为了使整个机械臂旋转，所有驱动器轴(即，T1、T2、T3和T4)需要在臂的期望旋转方向上移动相同的量。为了使右连杆机构独立旋转，驱动器轴T3和T4需要在臂的期望旋转方向上移动相同的量。同样，为了使左连杆机构独立旋转，驱动器轴T1和T2需要在臂的期望旋转方向上移动相同的量。
独立旋转两个连杆机构的能力可以允许臂在具有堆叠末端执行器的配置(参见图38A)(这在需要快速材料交换时可能是有利的)与具有偏斜末端执行器的配置(参见图38B)(这从材料污染的角度来看可能是有利的)之间转变。
还参考图38D-38I，图38D-38I示出了在不同位置、取向和相对运动处的图38A-38C的臂。为了使末端执行器3740沿基本直线的路径从缩回位置伸出到工作站，轴T4可以保持静止并且轴T3可以在逆时针方向上旋转。为了使末端执行器3741沿基本直线的路径从缩回位置伸出到工作站，轴T2可以保持静止并且轴T1可以在顺时针方向上旋转。
上述操作可以用于从/向工作站拾取/放置材料。一个末端执行器的拾取操作和另一末端执行器的放置操作的序列可以用于在工作站处快速交换材料(快速交换操作)。例如，末端执行器3740可以伸出到工作站、拾取材料和缩回。可以携带另一块材料的末端执行器3741然后可以伸出到同一站、放置材料和缩回。
独立旋转两个连杆机构的能力(参见图38A-38B)可以进一步提高生产力(系统吞吐量)，因为连杆机构中的一个连杆机构可以在另一连杆机构完成当前工作站(当前位置)处的操作之前朝向下一工作站(或其他目的地)旋转。例如，考虑快速交换操作的上述示例，在左连杆机构3716完成放置操作之前，右连杆机构3714可以开始朝向下一工作站(或其他目的地)旋转。
还参考图39，在另一示例性实施例中，驱动器轴T4与右前臂之间的传动布置可以再次包括可以附接到轴T4的肩部滑轮、可以附接到右前臂的第一肘部滑轮、以及可以在两个滑轮之间传递运动的带子、带或缆线。然而，与图37-38的实施例不同，两个滑轮可以具有传统的圆形轮廓，具有任何恒定的与位置无关的传动比。例如，两个滑轮可以具有相同的有效直径，从而产生1:1的传动比。具有末端执行器3740的腕部组件可以由另一传动布置旋转地约束，该传动布置可以与实施例1的传动布置相同。
类似地，驱动器轴T2与左前臂之间的传动布置可以再次包括可以附接到轴T2的肩部滑轮、可以附接到左前臂的第一肘部滑轮、以及可以在两个滑轮之间传递运动的带子、带或缆线。然而，与图37-38的实施例相反，两个滑轮可以具有传统的圆形轮廓，从而产生恒定的与位置无关的传动比。例如，两个滑轮可以具有相同的有效直径，从而产生1:1的传动比。替代地，可以使用任何合适的传动比。具有末端执行器3741的腕部组件可以由另一传动布置旋转地约束，该传动布置可以与实施例1的传动布置相同。
由于驱动器轴T4与右前臂之间的传动布置可以具有任何恒定的与位置无关的传动比，例如1:1传动比，肩带轮和因此肩关节可以具有更小的直径。较小的肩关节可以为左前臂提供更多空间，从而实现左前臂的较大关节到关节长度，这又可以提供末端执行器3741的更长伸出。
为了使整个机械臂旋转，所有驱动器轴(即，T1、T2、T3和T4)需要在臂的期望旋转方向上移动相同的量。为了使右连杆机构独立旋转，驱动器轴T3和T4需要在臂的期望旋转方向上移动相同的量。同样，为了使左连杆机构独立旋转，驱动器轴T1和T2需要在臂的期望旋转方向上移动相同的量。这与图37-38的实施例的情况相同。
为了使末端执行器3740沿预定义路径(诸如直线径向路径)从缩回位置伸出到工作站，驱动器轴T3和T4可以分别在逆时针和顺时针方向上以协调方式旋转。右连杆机构3714的逆运动方程可以用于根据右末端执行器3740的位置确定驱动器轴T3和T4的取向。右末端执行器3740可以以类似方式通过向后旋转驱动器轴T3和T4而缩回。
在左上臂和左前臂具有相同的关节到关节长度并且肩部滑轮和第一肘部滑轮具有相同的有效直径的特殊情况下，通过以同步方式将驱动器轴T3和T4沿相反方向旋转相同量，末端执行器可以沿直线径向路径伸出和缩回。
为了使末端执行器3741沿预定义路径(诸如直线径向路径)从缩回位置伸出到工作站，驱动器轴T1和T2可以分别在顺时针和逆时针方向上以协调方式旋转。左连杆机构的逆运动方程可以用于根据左末端执行器3741的位置确定驱动器轴T1和T2的取向。左末端执行器3741可以以类似方式通过向后旋转驱动器轴T1和T2而缩回。
图37C和图39的实施例之间的主要功能差异可以概括如下：在图37C的实施例中，臂的每个连杆机构可以通过旋转单个驱动器轴而缩回和伸出。这是可能的，因为前臂与对应驱动器轴之间的传动布置被配置为根据对应上臂的角位置自动控制前臂的角位置。这不是图39的实施例的情况，其中需要致动上臂和前臂的驱动器轴的协调旋转。然而，在图39的实施例中，肩部滑轮并且因此肩部关节可以具有更小的直径。较小的肩关节可以为左前臂提供更多空间，从而实现左前臂的较大关节到关节长度，这又可以提供末端执行器3741的更长伸出。
虽然上述实施例的描述示出了附接到轴T3的右上臂和耦合到轴T4(最内侧的轴)的右前臂，但右上臂可以附接到轴T4(最内侧的轴)并且右前臂可以耦合到轴T3。类似地，虽然左上臂被示出为附接到轴T1(最外侧的轴)并且左前臂被示出为耦合到轴T2，但左上臂可以附接到轴T2并且左前臂可以耦合到轴T1(最外侧的轴)。替代地，臂的连杆机构的连杆可以以任何合适的方式连接到驱动单元的轴。
应当注意，可以组合以上示例实施例的特征。例如，右连杆机构可以根据图37C的实施例配置，并且左连杆机构可以根据图39的实施例配置，或者右连杆机构可以根据图39的实施例配置，并且左连杆机构可以根据图37C的实施例配置。
此外，臂可以被设计为上述示例性实施例的镜像，即，作为右连杆机构A的一部分的上述机构可以用在臂的左连杆机构中，并且作为左连杆机构的一部分的上述机构可以用在臂的右连杆机构中。
替代地，上述示例实施例的特征可以以任何合适的布置和它们的组合来利用。
应当理解，前述描述仅是说明性的。本领域技术人员可以设计各种替代和修改。例如，各种从属权利要求中记载的特征可以以任何合适的组合彼此组合。此外，来自上述不同实施例的特征可以选择性地组合成新的实施例。因此，本说明书意在包括落入所附权利要求范围内的所有这些替代、修改和变化。

Claims (20)

1.一种输送装置，包括：
驱动器，包括电机和同轴驱动器轴；
臂组件，连接到所述同轴驱动器轴，其中所述臂组件包括第一臂和第二臂；以及
控制器，被配置为控制所述电机，
其中所述第一臂包括连接到所述同轴驱动器轴中的第一同轴驱动器轴的第一上臂、连接到所述第一上臂的第一前臂、连接到所述第一前臂的第一末端执行器、以及用于使所述第一末端执行器在所述第一前臂上旋转的第一传动装置，其中所述第一传动装置包括至少一个非圆形滑轮，其中所述第一末端执行器包括第一衬底保持区域，其中所述第一上臂和所述第一前臂具有不相等的有效长度，
其中所述第二臂包括连接到所述同轴驱动器轴中的第二同轴驱动器轴的第二上臂、连接到所述第二上臂的第二前臂、连接到所述第二前臂的第二末端执行器、以及用于使所述第二末端执行器在所述第二前臂上旋转的第二传动装置，其中所述第二末端执行器包括第二衬底保持区域，其中所述第二上臂和所述第二前臂具有基本相等的有效长度，
其中所述第一末端执行器相对于所述第二末端执行器偏斜，使得所述第一末端执行器和所述第二末端执行器是非对称的，
其中所述控制器被配置为引起所述驱动器使所述臂伸出和缩回以移动在衬底保持区域上的上衬底和下衬底，使得所述臂组件和所述上衬底不行进越过所述下衬底。
2.根据权利要求1所述的装置，其中所述控制器被配置为在所述控制器引起一个臂伸出和缩回的同时将具有所述上衬底的另一个臂保持在相对于所述驱动器的静止位置。
3.根据权利要求2所述的装置，其中所述控制器被配置为在所述控制器引起一个臂伸出和缩回的同时将具有所述下衬底的另一个臂保持在相对于所述驱动器的静止位置。
4.根据权利要求1所述的装置，其中所述第二传动装置包括不是非圆形滑轮的滑轮。
5.根据权利要求1所述的装置，其中所述第一末端执行器具有基本上弯曲的形状并且所述第二末端执行器具有基本上直的形状。
6.根据权利要求1所述的装置，其中所述第一上臂的所述有效长度长于所述第一前臂的所述有效长度。
7.根据权利要求1所述的装置，其中在所述第一臂和所述第二臂的缩回位置，所述第二末端执行器部分地位于所述第一末端执行器上方，所述第二前臂部分地位于所述第一前臂和所述第一末端执行器之上，并且所述第一末端执行器部分地位于所述第二上臂之上。
8.根据权利要求1所述的装置，其中所述控制器、所述第一臂和所述第二臂的结构、以及所述传动装置被配置为限制所述第一臂和所述第二臂相对于彼此的运动，以针对所述末端执行器的所有位置防止所述臂组件和所述上衬底行进越过所述下衬底。
9.一种输送方法，包括：
使臂组件的第一臂在缩回位置与伸出位置之间伸出和缩回，其中所述第一臂连接到机器人驱动器的第一同轴驱动器轴，并且其中所述第一臂包括第一末端执行器，所述第一末端执行器具有第一衬底保持区域，在所述第一衬底保持区域上具有下衬底；
将臂组件的第二臂在缩回位置与伸出位置之间伸出和缩回，其中所述第二臂连接到所述机器人驱动器的第二同轴驱动器轴，并且其中所述第二臂包括第二末端执行器，所述第二末端执行器具有第二衬底保持区域，在所述第二衬底保持区域上具有上衬底，所述第一末端执行器相对于所述第二末端执行器偏斜，使得所述第一末端执行器和所述第二末端执行器是非对称的；以及
控制所述第一臂和所述第二臂的伸出和缩回，使得在所述第一臂和所述第二臂在其相应缩回位置与伸出位置之间伸出和缩回期间，所述臂组件和所述上衬底不行进越过所述下衬底。
10.根据权利要求9所述的方法，其中所述第一臂包括连接到所述第一同轴驱动器轴的第一上臂、连接到所述第一上臂的第一前臂、连接到所述第一前臂的第一末端执行器、以及用于使所述第一末端执行器在所述第一前臂上旋转的第一传动装置，其中所述第一传动装置包括至少一个非圆形滑轮，其中所述第一上臂和所述第一前臂具有不相等的有效长度，其中所述方法包括在所述第一上臂被所述第一同轴驱动器轴旋转时，所述第一传动装置引起所述第一末端执行器在所述第一前臂上旋转。
11.根据权利要求10所述的方法，其中所述第二臂包括连接到所述第二同轴驱动器轴的第二上臂、连接到所述第二上臂的第二前臂、连接到所述第二前臂的第二末端执行器、以及用于使所述第二末端执行器在所述第二前臂上旋转的第二传动装置，其中所述第二上臂和所述第二前臂具有基本相等的有效长度，并且其中所述方法包括在所述第二上臂被所述第二同轴驱动器轴旋转时，所述第二传动装置引起所述第二末端执行器在所述第二前臂上旋转，其中所述第二传动装置包括不是非圆形滑轮的滑轮。
12.根据权利要求9所述的方法，其中对所述第一臂和所述第二臂的伸出和缩回的控制包括：在控制器引起所述第一臂伸出和缩回的同时，所述控制器将所述第二臂保持在相对于所述机器人驱动器的静止位置。
13.根据权利要求12所述的方法，其中对所述第一臂和所述第二臂的伸出和缩回的控制包括：在所述控制器引起所述第二臂伸出和缩回的同时，所述控制器将所述第一臂保持在相对于所述机器人驱动器的静止位置。
14.根据权利要求9所述的方法，其中所述第一末端执行器具有基本上弯曲的形状并且所述第二末端执行器具有基本上直的形状。
15.根据权利要求9所述的方法，其中所述第一臂包括第一上臂和第一前臂，其中所述第一上臂的有效长度长于所述第一前臂的有效长度，其中所述第二臂包括第二上臂和第二前臂，其中所述第二上臂的有效长度长于所述第二前臂的有效长度。
16.根据权利要求15所述的方法，其中在所述第一臂和所述第二臂的缩回位置，所述第二末端执行器部分地位于所述第一末端执行器上方，所述第二前臂部分地位于所述第一前臂和所述第一末端执行器上方，并且所述第一末端执行器部分地位于所述第二上臂上方。
17.根据权利要求9所述的方法，其中对所述第一臂和所述第二臂的伸出和缩回的控制包括：控制器、所述第一臂和所述第二臂的结构、以及所述臂中的传动装置限制所述第一臂和所述第二臂相对于彼此的运动，以针对所述末端执行器的所有位置防止所述臂组件和所述上衬底行进越过所述下衬底。
18.一种机器可读的非暂态程序存储设备，有形地包含所述机器可执行的用于执行操作的指令程序，所述操作包括：
引起机器人驱动器通过使第一臂在缩回位置与伸出位置之间伸出和缩回来移动臂组件的所述第一臂，其中所述第一臂连接到所述机器人驱动器的第一同轴驱动器轴，并且其中所述第一臂包括第一末端执行器，所述第一末端执行器具有第一衬底保持区域，在所述第一衬底保持区域上具有下衬底；
引起所述机器人驱动器通过使第二臂在缩回位置与伸出位置之间伸出和缩回来移动所述臂组件的所述第二臂，其中所述第二臂连接到所述机器人驱动器的第二同轴驱动器轴，并且其中所述第二臂包括第二末端执行器，所述第二末端执行器具有第二衬底保持区域，在所述第二衬底保持区域上具有上衬底，所述第一末端执行器相对于所述第二末端执行器偏斜，使得所述第一末端执行器和所述第二末端执行器是非对称的；以及
控制所述第一臂和所述第二臂的伸出和缩回，使得所述臂组件和所述上衬底不行进越过所述下衬底。
19.根据权利要求18所述的非暂态程序存储设备，其中所述第一臂包括连接到所述第一同轴驱动器轴的第一上臂、连接到所述第一上臂的第一前臂、连接到所述第一前臂的第一末端执行器、以及用于使所述第一末端执行器在所述第一前臂上旋转的第一传动装置，其中所述第一传动装置包括至少一个非圆形滑轮，其中所述第一上臂和所述第一前臂具有不相等的有效长度，其中所述操作包括在所述第一上臂被所述第一同轴驱动器轴旋转时，引起所述第一传动装置使所述第一末端执行器在所述第一前臂上旋转。
20.根据权利要求19所述的非暂态程序存储设备，其中所述第二臂包括连接到所述第二同轴驱动器轴的第二上臂、连接到所述第二上臂的第二前臂、连接到所述第二前臂的第二末端执行器、以及用于使所述第二末端执行器在所述第二前臂上旋转的第二传动装置，其中所述第二上臂和所述第二前臂具有基本相等的有效长度，并且其中所述操作包括在所述第二上臂被所述第二同轴驱动器轴旋转时，引起所述第二传动装置使所述第二末端执行器在所述第二前臂上旋转，其中所述第二传动装置包括不是非圆形滑轮的滑轮。
CN202080052737.1A 2019-05-21 2020-05-21 非对称双末端执行器机器人臂 Active CN114126807B (zh)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US201962850783P 2019-05-21 2019-05-21
US62/850,783 2019-05-21
PCT/US2020/033942 WO2020237019A1 (en) 2019-05-21 2020-05-21 Asymmetric dual end effector robot arm

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN114126807A CN114126807A (zh) 2022-03-01
CN114126807B true CN114126807B (zh) 2024-10-11

Family

ID=73456128

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202080052737.1A Active CN114126807B (zh) 2019-05-21 2020-05-21 非对称双末端执行器机器人臂

Country Status (5)

Country Link
US (1) US11735466B2 (zh)
JP (1) JP7638906B2 (zh)
KR (1) KR20220012304A (zh)
CN (1) CN114126807B (zh)
WO (1) WO2020237019A1 (zh)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115360131A (zh) * 2022-09-23 2022-11-18 盛吉盛半导体技术(上海)有限公司 晶圆转移装置

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6485250B2 (en) * 1998-12-30 2002-11-26 Brooks Automation Inc. Substrate transport apparatus with multiple arms on a common axis of rotation
US6578893B2 (en) 2000-10-02 2003-06-17 Ajs Automation, Inc. Apparatus and methods for handling semiconductor wafers
US8777547B2 (en) * 2009-01-11 2014-07-15 Applied Materials, Inc. Systems, apparatus and methods for transporting substrates
US9623555B2 (en) 2010-11-10 2017-04-18 Brooks Automation, Inc. Dual arm robot
JP2013131543A (ja) 2011-12-20 2013-07-04 Tokyo Electron Ltd 基板処理装置
US9190306B2 (en) * 2012-11-30 2015-11-17 Lam Research Corporation Dual arm vacuum robot
WO2014113364A1 (en) * 2013-01-18 2014-07-24 Persimmon Technologies, Corp. Robot having arm with unequal link lengths
US9149936B2 (en) 2013-01-18 2015-10-06 Persimmon Technologies, Corp. Robot having arm with unequal link lengths
US10224232B2 (en) * 2013-01-18 2019-03-05 Persimmon Technologies Corporation Robot having two arms with unequal link lengths
KR102075827B1 (ko) 2014-10-10 2020-02-10 가와사끼 쥬고교 가부시끼 가이샤 기판 반송 로봇 및 그 운전 방법
KR102451144B1 (ko) 2015-02-06 2022-10-05 퍼시몬 테크놀로지스 코포레이션 동등하지 않은 링크 길이를 가진 아암을 구비한 로봇
KR102774952B1 (ko) * 2015-03-12 2025-03-04 퍼시몬 테크놀로지스 코포레이션 이송 장치
KR101916211B1 (ko) * 2015-12-07 2018-11-07 주식회사 케이씨텍 화학 기계적 연마 장치 및 그 방법
KR20240095478A (ko) 2017-02-15 2024-06-25 퍼시몬 테크놀로지스 코포레이션 다수의 엔드-이펙터로써 재료를 핸들링하는 장치

Also Published As

Publication number Publication date
CN114126807A (zh) 2022-03-01
US11735466B2 (en) 2023-08-22
JP7638906B2 (ja) 2025-03-04
JP2022533693A (ja) 2022-07-25
WO2020237019A1 (en) 2020-11-26
US20200373191A1 (en) 2020-11-26
KR20220012304A (ko) 2022-02-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US12263587B2 (en) Dual arm robot
US11787042B2 (en) Robot having arm with end effector having bend portion
US20230347505A1 (en) Robot With Slaved End Effector Motion
US12011829B2 (en) Substrate transport with unequal number of drive shafts and arm links
JP2018137453A (ja) 機械的スイッチ機構を利用する複数の可動アームを有する基板搬送装置
US20240170322A1 (en) Material Handling Robot
CN114126807B (zh) 非对称双末端执行器机器人臂
JP2025027063A (ja) 非対称のデュアルエンドエフェクタロボットアームを有する装置及び関連する方法
JP2023535881A (ja) 複数の半独立型アームを有するマテリアルハンドリングロボット
KR102789165B1 (ko) 비대칭 듀얼 엔드 이펙터 로봇 아암
JP2000243809A (ja) 多関節ロボット装置
KR20250049433A (ko) 비대칭 듀얼 엔드 이펙터 로봇 아암

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant