CN113904521B - 多级电渗微泵 - Google Patents

Abstract

本发明属于电渗微泵技术领域，本发明提出了一种多级电渗微泵，包括外壳，多个第一多孔电极，多个第二多孔电极，多个多孔介质薄膜，第一引导件和第二引导件，外壳内形成腔体，外壳上设有第一电接口、第二电接口、进液口和出液口，第一多孔电极、多孔介质薄膜和第二多孔电极组成电渗驱动模块沿轴向布置在腔体内，腔体通过外壳上的流道与进液口和出液口连通，第一引导件装配在外壳上，第一多孔电极通过第一引导件与第一电接口电连接；第二引导件装配在外壳上，第二多孔电极通过第二引导件与第二电接口电连接，实现了泵内外电的互连和流体的互通。上述结构可以使多级电渗微泵结构更加紧凑、体积更小，还可以使多级电渗微泵封装更可靠。

Description

多级电渗微泵

技术领域

本发明属于电渗微泵技术领域，具体涉及一种多级电渗微泵。

背景技术

本部分提供的仅仅是与本公开相关的背景信息，其并不必然是现有技术。

在微观尺度下，微/纳米通道内流体会在通道内壁面形成一层特有的电双层结构，当沿微/纳米通道加载电压时，该电双层会在电场力驱动下进行滑移，并在流体粘性作用下拖拽周边流体向前流动形成电渗流。电渗微泵就是利用这一现象实现流体主动输运的微流体驱动装置，为了增大微流体驱动流量，微泵多采用多孔介质薄膜来作为驱动源产生电渗流。这种多孔介质薄膜上集成有大量并联设置的微/纳米通道，可以大大提升流量。

但是，传统多孔介质薄膜电渗微泵在10V以下低电压驱动下每分钟所获得的流量往往只能达到几十到几百微升量级，难以满足高流量流体输运需求，比如胰岛素等大分子药物输运。提高驱动电压是提升电渗流量的常用方法之一，但是高电压会破坏药物分子结构，还容易在电极表面产生电解反应形成气泡和电解副产物，给人体造成危险。增大多孔介质薄膜电渗驱动的有效面积是另一种常用方法，比如增大多孔介质薄膜上微/纳米通道的有效孔密度，或将多个多孔介质薄膜并联设置来增大电渗驱动的有效面积，但是前一种方法得到的薄膜强度会变弱，在微泵组装时容易破碎，而且高密度微/纳米通道制备难度非常大，后一种方法会增大微泵泵体体积，不仅不利于微泵泵体的微型化集成，也会增大流体引出和电引出的难度。

发明内容

本发明的目的是至少解决现有技术中电渗微泵结构不够紧凑的问题，该目的是通过以下技术方案实现的：

本发明提出了一种多级电渗微泵，包括：

外壳，所述外壳内形成腔体，所述外壳上设有第一电接口、第二电接口、进液口和出液口，所述第一电接口用于连接电源的一个电极，所述第二电接口用于连接电源的另一个电极；

多个第一多孔电极，各所述第一多孔电极沿所述腔体的轴向方向间隔布置；

多个第二多孔电极，所述第二多孔电极设于所述腔体内且位于两个相邻的所述第一多孔电极之间，所述第二多孔电极与所述第一多孔电极间隔设置，所述第一多孔电极和所述第二多孔电极将所述腔体分隔成多个流体腔，相邻两所述流体腔中的一个与所述进液口连通，另一个与所述出液口连通；

多个多孔介质薄膜，所述多孔介质薄膜以一一对应的方式设于所述第一多孔电极的轴向一端和所述第二多孔电极的轴向一端；

第一引导件，所述第一引导件装配在所述外壳上，所述第一多孔电极通过所述第一引导件与所述第一电接口电连接；

第二引导件，所述第二引导件装配在所述外壳上，所述第二多孔电极通过所述第二引导件与所述第二电接口电连接。

本发明提出的多级电渗微泵通过在外壳上集成设置第一引导件和第二引导件连接电源的正负极，并且集成流体进出通道，每个电渗微泵的正负电极分别电连接第一引导件和第二引导件，将电渗微泵的流体入口和出口分别连通到流体进出口通道，实现泵内外电的互连和流体的互通。这样通过外壳上集成的导线和流体通道实现泵内高密度并联电极和流体进出口的转接，不仅可以使多级电渗微泵结构更加紧凑、体积更小，还可以使多级电渗微泵封装更可靠。

另外，根据本发明的多级电渗微泵，还可具有如下附加的技术特征：

在本发明的一些实施例中，所述外壳包括泵壳基座、第一转接盖板和第二转接盖板，所述泵壳基座上设有所述腔体，所述第一转接盖板盖设于所述泵壳基座的开口端，所述第二转接盖板与所述第一转接盖板连接，所述引导件夹设于所述第一转接盖板和所述第二转接盖板之间，所述第一转接盖板和所述第二转接盖板之间形成流道，所述流体腔通过所述流道与所述进液口或者所述出液口连通。

在本发明的一些实施例中，所述流道包括第一流道和第二流道，所述第一流道与所述进液口连通，所述第二流道与所述出液口连通，所述第一转接盖板设有多个通孔，所述通孔以一一对应的方式与所述流体腔连通，所述第一流道通过部分所述通孔与用于进液的所述流体腔连通，所述第二流道通过另一部分所述通孔与用于出液的所述流体腔连通。

在本发明的一些实施例中，所述第一引导件包括第一电极引线和多个第二电极引线，所述第一电极引线嵌设于所述第一转接盖板和所述第二转接盖板之间，所述第二电极引线嵌设于所述第一转接盖板和所述第二转接盖板之间，所述第二电极引线以一一对应的方式与所述第一多孔电极电连接，所述第二电极引线通过所述第一电极引线与所述第一电接口电连接，所述第二引导件包括第三电极引线和多个第四电极引线，所述第三电极引线嵌设于所述第一转接盖板和所述第二转接盖板之间，所述第四电极引线以一一对应的方式与所述第二多孔电极电连接，所述第四电极引线通过所述第三电极引线与所述第二电接口电连接。

在本发明的一些实施例中，所述泵壳基座的内壁上设有多个第一卡槽，所述第一转接盖板朝向所述泵壳基座的一端设有多个第二卡槽，所述第二卡槽的位置与所述第一卡槽的位置相对应，所述第一多孔电极插设于所述第一卡槽和所述第二卡槽中，所述第二多孔电极插设于所述第一卡槽和所述第二卡槽中。

在本发明的一些实施例中，所述第一电极引线和所述第三电极引线均为金属片型结构，所述第一电极引线和所述第三电极引线均沿所述外壳的轴向方向设置，所述第二电极引线和所述第四电极引线均为金属丝结构。

在本发明的一些实施例中，所述第一转接盖板上设有多个引线孔，所述引线孔位于所述第二卡槽内，所述引线孔用于供所述第二电极引线和所述第四电极引线穿过。

在本发明的一些实施例中，所述腔体呈长方体形，所述第一多孔电极、所述第二多孔电极和所述多孔介质薄膜的径向截面均呈矩形。

在本发明的一些实施例中，所述第一流道和所述第二流道均沿所述外壳的轴向方向设置。

在本发明的一些实施例中，所述多级电渗微泵还包括设于所述多孔介质薄膜和所述第一多孔电极之间以及所述多孔介质薄膜和所述第二多孔电极之间的连接胶。

附图说明

通过阅读下文优选实施方式的详细描述，各种其他的优点和益处对于本领域普通技术人员将变得清楚明了。附图仅用于示出优选实施方式的目的，而并不认为是对本发明的限制。而且在整个附图中，用相同的附图标记表示相同的部件。在附图中：

图1示出了根据本发明实施例的多级电渗微泵的结构示意图；

图2示出了根据本发明实施例的多级电渗微泵的第一分解结构图（俯视-泵壳基座与转接盖板分解示意图）；

图3示出了根据本发明实施例的多级电渗微泵的第二分解结构图（仰视-泵壳基座与转接盖板分解示意图）；

图4示出了根据本发明实施例的多级电渗微泵的第三分解结构图（俯视-第一转接盖板与第二转接盖板分解示意图）；

图5示出了根据本发明实施例的多级电渗微泵的第四分解结构图（仰视-第一转接盖板与第二转接盖板分解示意图）；

图6示出了根据本发明实施例的多级电渗微泵的第五分解结构图（俯视-第一转接盖板、第二转接盖板与泵壳基座分解示意图）；

图7示出了根据本发明实施例的多级电渗微泵的第六分解结构图（仰视-第一转接盖板、第二转接盖板与泵壳基座分解示意图）；

图8示出了根据本发明实施例的多级电渗微泵的泵壳基座的结构示意图；

图9示出了根据本发明实施例的多级电渗微泵的多孔电极的结构示意图；

图10示出了根据本发明实施例的多级电渗微泵的多孔电极与多孔介质薄膜的装配示意图；

图11示出了根据本发明实施例的多级电渗微泵的电引出与流体引出原理示意图。

附图中各标记表示如下：

10：腔体、11：第一电接口、12：第二电接口、13：进液口、14：出液口、15：第一多孔电极、16：第二多孔电极、17：流体腔、18：多孔介质薄膜、19：泵壳基座、20：第一转接盖板、21：第二转接盖板、22：第一流道、23：第二流道、24：通孔、25：第一电极引线、26：第二电极引线、27：第三电极引线、28：第四电极引线、29：第一卡槽、30：第二卡槽、31：引线孔。

具体实施方式

下面将参照附图更详细地描述本公开的示例性实施方式。虽然附图中显示了本公开的示例性实施方式，然而应当理解，可以以各种形式实现本公开而不应被这里阐述的实施方式所限制。相反，提供这些实施方式是为了能够更透彻地理解本公开，并且能够将本公开的范围完整的传达给本领域的技术人员。

应理解的是，文中使用的术语仅出于描述特定示例实施方式的目的，而无意于进行限制。除非上下文另外明确地指出，否则如文中使用的单数形式“一”、“一个”以及“所述”也可以表示包括复数形式。术语“包括”、“包含”、“含有”以及“具有”是包含性的，并且因此指明所陈述的特征、步骤、操作、元件和/或部件的存在，但并不排除存在或者添加一个或多个其它特征、步骤、操作、元件、部件、和/或它们的组合。文中描述的方法步骤、过程、以及操作不解释为必须要求它们以所描述或说明的特定顺序执行，除非明确指出执行顺序。还应当理解，可以使用另外或者替代的步骤。

尽管可以在文中使用术语、第二、第三等来描述多个元件、部件、区域、层和/或部段，但是，这些元件、部件、区域、层和/或部段不应被这些术语所限制。这些术语可以仅用来将一个元件、部件、区域、层或部段与另一区域、层或部段区分开。除非上下文明确地指出，否则诸如“”、“第二”之类的术语以及其它数字术语在文中使用时并不暗示顺序或者次序。因此，以下讨论的元件、部件、区域、层或部段在不脱离示例实施方式的教导的情况下可以被称作第二元件、部件、区域、层或部段。

为了便于描述，可以在文中使用空间相对关系术语来描述如图中示出的一个元件或者特征相对于另一元件或者特征的关系，这些相对关系术语例如为“内部”、“外部”、“内侧”、“侧”、“下面”、“下方”、“上面”、“上方”等。这种空间相对关系术语意于包括除图中描绘的方位之外的在使用或者操作中装置的不同方位。例如，如果在图中的装置翻转，那么描述为“在其它元件或者特征下面”或者“在其它元件或者特征下方”的元件将随后定向为“在其它元件或者特征上面”或者“在其它元件或者特征上方”。因此，示例术语“在……下方”可以包括在上和在下的方位。装置可以另外定向（旋转90度或者在其它方向）并且文中使用的空间相对关系描述符相应地进行解释。

如图1至11所示，所述轴向均为图1中箭头A所指方向，本发明提出了一种多级电渗微泵，包括：

外壳，外壳内形成腔体10，外壳上设有第一电接口11、第二电接口12、进液口13和出液口14，第一电接口11用于连接电源的一个电极，第二电接口12用于连接电源的另一个电极；

多个第一多孔电极15，各第一多孔电极15沿腔体10的轴向方向间隔布置；

多个第二多孔电极16，第二多孔电极16设于腔体10内位于两个相邻的第一多孔电极15之间，第二多孔电极16与第一多孔电极15间隔设置，第一多孔电极15和第二多孔电极16将腔体10分隔成多个流体腔17，相邻的两个流体腔17中的一个与进液口13连通，另一个与出液口14连通；

多个多孔介质薄膜18，多孔介质薄膜18以一一对应的方式设于第一多孔电极15的轴向一端和第二多孔电极16的轴向一端；

第一引导件，第一引导件装配在外壳上，第一多孔电极15通过第一引导件与第一电接口11电连接；

第二引导件，第二引导件装配在外壳上，第二多孔电极16通过第二引导件与第二电接口12电连接。

需要说明的是，多孔介质薄膜18可选择不限于聚碳酸酯、或聚酰亚胺、或聚对苯二甲酸乙二醇酯、或聚酯、或聚四氟乙烯、或石英玻璃、或陶瓷等材料，通过激光刻蚀、或径迹刻蚀、或湿法刻蚀或等工艺来制备，薄膜孔道尺寸可优选几十个纳米到几个微米，薄膜厚度可优选几个微米到几百个微米；

其中，多孔电极可选择不限于不锈钢、或铜、或钛、或金、或铂、或合金等材料，通过金属线编织、或金属薄片机械冲压、或金属薄片激光钻孔等工艺来制备。

多孔电极还可以选择玻璃、或陶瓷等材料制备的多孔薄片进行电镀或溅射或沉积上述金属薄膜来制备，优选地镀膜金属选择铂或金。

为了增加电极耐腐蚀性和长期稳定性，其中选择不锈钢、或铜、或钛等活性较高的金属来制备电极时，可以通过电镀等工艺在电极表面修饰一层铂或金做涂层。

其中，多孔电极的孔道尺寸不小于多孔介质薄膜18孔道尺寸，优选地多孔电极孔道尺寸可以设计为多孔介质薄膜18孔道尺寸的3-5倍，以使电极在多孔介质薄膜18孔道产生均匀分布电场的同时，可以尽可能地减小多孔电极对电渗流流动的局部阻力影响。

多孔电极具有适当的厚度，以保证在微泵组装、微泵泵送流体流过时不会发生形变，确保在多孔介质薄膜18的孔道内产生平行、均匀分布、强度稳定的电场，获得稳定驱动力的电渗流；优选地，多孔电极厚度选择在0.5-2mm范围内。

优选地，多孔介质薄膜18可以直接固定在多孔电极的一侧，利用多孔电极来支撑、固定多孔介质薄膜18，使其不易随流体流动而发生形变、或振动、或漂移等，以让多孔介质薄膜18产生稳定的电渗流；可选择地，多孔介质薄膜18可以通过硅橡胶、或环氧树脂等胶粘剂，在多孔电极的一侧进行胶粘固定；这样也方便多孔介质薄膜18在泵壳内进行精准对准组装和固定。

其中，第一引导件和第二引导件用于将多孔电极与外部电源进行电互连，第一引导件和第二引导件可以与多孔电极采用同种材料、同种工艺进行同步制作，也可以选择采用一根金属丝通过超声焊接、或电阻点焊、或锡焊等工艺与多孔电极连接；

以四级并联集成为例，四个多孔介质薄膜18固定在多孔电极上，并排设置，在其下游还设置一个多孔电极；按图11所示从左至右顺序，第一、第三、第五多孔电极加载正电势V+，第二、第四多孔电极加载负电势V-；以四个多孔介质薄膜18为分界面，可以在腔体10内形成五个区域；若所驱动流体在多孔介质薄膜18孔道壁面zeta电势为负时，按图示从左至右顺序，第一、第三、第五区域（加载正电势V+的流体侧）为流体入口，第二、第四区域（加载负电势V-的流体侧）为流体出口，由此在紧凑的微腔道内形成并联电渗驱动来提高微泵流量。按照上述四级驱动原理，本发明提供的电渗微泵装置还可以集成不少于两级的并联驱动形式。

本发明提出的多级电渗微泵通过在外壳上集成设置第一引导件和第二引导件连接电源的正负极，并且集成流体进出通道，每个电渗微泵的正负电极分别电连接第一引导件和第二引导件，将电渗微泵的流体入口和出口分别连通到流体进出口通道，实现泵内外电的互连和流体的互通。这样通过外壳上集成的导线和流体通道实现泵内高密度并联电极和流体进出口的转接，不仅可以使多级电渗微泵结构更加紧凑、体积更小，还可以使多级电渗微泵封装更可靠。

在本发明的一些实施例中，外壳包括泵壳基座19、第一转接盖板20和第二转接盖板21，泵壳基座19上设有腔体10，第一转接盖板20盖设于泵壳基座19的开口端，第二转接盖板21与第一转接盖板20连接，引导件夹设于第一转接盖板20和第二转接盖板21之间，第一转接盖板20和第二转接盖板21之间形成流道，流体腔17通过流道与进液口13或者出液口14连通。

需要说明的是，第一转接盖板20与泵壳基座19可选择通过表面金属化热压键合、或胶粘等方式进行密封。

在本发明的一些实施例中，流道包括第一流道22和第二流道23，第一流道22与进液口13连通，第二流道23与出液口14连通，第一转接盖板20设有多个通孔24，通孔24以一一对应的方式与流体腔17连通，第一流道22通过部分通孔24与用于进液的流体腔17连通，第二流道23通过另一部分通孔24与用于出液的流体腔17连通。该流道可通过机械或激光或刻蚀等工艺来制备。

在本发明的一些实施例中，第一引导件包括第一电极引线25和多个第二电极引线26，第一电极引线25嵌设于第一转接盖板20和第二转接盖板21之间，第二电极引线26嵌设于第一转接盖板20和第二转接盖板21之间，第二电极引线26以一一对应的方式与第一多孔电极15电连接，第二电极引线26通过第一电极引线25与第一电接口11电连接，第二引导件包括第三电极引线27和多个第四电极引线28，第三电极引线27嵌设于第一转接盖板20和第二转接盖板21之间，第四电极引线28以一一对应的方式与第二多孔电极16电连接，第四电极引线28通过第三电极引线27与第二电接口12电连接。

在本发明的一些实施例中，泵壳基座19的内壁上设有多个第一卡槽29，第一转接盖板20朝向泵壳基座19的一端设有多个第二卡槽30，第二卡槽30的位置与第一卡槽29的位置相对应，第一多孔电极15插设于第一卡槽29和第二卡槽30中，第二多孔电极16插设于第一卡槽29和第二卡槽30中。

可以理解的是，其中，第一卡槽29和第二卡槽30均等间距设置，用于放置、固定多孔电极与多孔介质薄膜18集成而成的电渗微驱动模块，电渗微驱动模块放置在凹槽中后，凹槽内空隙采用硅橡胶、或环氧树脂等胶粘剂进行填充，一方面固定电渗微驱动模块，另一方面密封空隙防止驱动液体从凹槽空隙泄漏；

另外，电渗微驱动模块在外壳的凹槽内组装好后，在下游末端还需要再设置一个多孔电极，以在所有多孔介质薄膜18两侧均设置有多孔电极，以在多孔介质薄膜18的孔道内形成驱动电场；

其中，泵壳基座19上的第一凹槽可以选择机械切削、或激光刻蚀、或3D打印等工艺加工制造而成，优选地可以选择石英玻璃、或陶瓷、或聚四氟乙烯、或聚甲基丙烯酸甲酯等材料来制备。

第一转接盖板20上相邻的引线孔31不设置在同一端，以使第一转接盖板20上的两个电极引线之间保持一定间距；

其中，第一转接盖板20的下侧面的第二卡槽30的两侧不接触、靠近第一转接盖板20的中间位置，设置不接触的通孔24作为流体入口和出口，与上层薄盖板下侧面设置的第一通道和第二通道进行连通实现流体进出腔体10。

在本发明的一些实施例中，第一电极引线25和第三电极引线27均为金属片型结构，第一电极引线25和第三电极引线27均沿外壳的轴向方向设置，第二电极引线26和第四电极引线28均为金属丝结构。

第一转接盖板20上设有多个引线孔31，引线孔31位于第二卡槽30内，引线孔31用于供第二电极引线26和第四电极引线28穿过。

具体地，第二转接盖板21的下侧表面集成第一电极引线25和第三电极引线27，可优选采用金属沉积、或溅射、或电镀等工艺镀膜形成，也可以直接通过胶粘的方式将金属丝或金属薄片固定形成；第二电极引线26和第四电极引线28穿过第一转接盖板20的引线孔31进入第二转接盖板21盖板的下侧表面金属引线端与其接触，通过先填充导电胶或金属焊料来实现二者电接触，而后再在第二转接盖板21的凹槽内填充硅橡胶、或环氧树脂等胶粘剂盖在泵壳基座19上，与泵壳基座19内的电渗微驱动模块精密对准后进行密封。

第二电极引线26和第四电极引线28可以与多孔电极采用同种材料、同种工艺进行同步制作，也可以选择采用一根金属丝通过超声焊接、或电阻点焊、或锡焊等工艺与多孔电极连接。

在本发明的一些实施例中，腔体10呈长方体形，第一多孔电极15、第二多孔电极16和多孔介质薄膜18的径向截面均呈矩形。

需要说明的是，腔体10的横截面可以设计成矩形槽或圆形槽或椭圆形槽，泵壳基座19还可以设计成不限于长方体、或圆柱体、或蛇形折叠结构、或螺旋圆环结构等，以满足不同场景应用需求。

在本发明的一些实施例中，第一流道22和第二流道23均沿外壳的轴向方向设置，使得流道。

在本发明的一些实施例中，多级电渗微泵还包括设于多孔介质薄膜18和第一多孔电极15之间以及多孔介质薄膜18和第二多孔电极16之间的连接胶，以加强连接的可靠性。

以上，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以权利要求的保护范围为准。

Claims (9)

1.一种多级电渗微泵，其特征在于，包括：

外壳，所述外壳内形成腔体，所述外壳上设有第一电接口、第二电接口、进液口和出液口，所述第一电接口用于连接电源的一个电极，所述第二电接口用于连接电源的另一个电极；

多个第一多孔电极，各所述第一多孔电极沿所述腔体的轴向方向间隔布置；

多个第二多孔电极，所述第二多孔电极设于所述腔体内且位于两个相邻的所述第一多孔电极之间，所述第二多孔电极与所述第一多孔电极间隔设置，所述第一多孔电极和所述第二多孔电极将所述腔体分隔成多个流体腔，相邻两所述流体腔中的一个与所述进液口连通，另一个与所述出液口连通；

多个多孔介质薄膜，所述多孔介质薄膜以一一对应的方式设于所述第一多孔电极的轴向一端和所述第二多孔电极的轴向一端；

第一引导件，所述第一引导件装配在所述外壳上，所述第一多孔电极通过所述第一引导件与所述第一电接口电连接；

第二引导件，所述第二引导件装配在所述外壳上，所述第二多孔电极通过所述第二引导件与所述第二电接口电连接；

所述外壳上设有流道，所述流体腔通过所述流道与所述进液口或者所述出液口连通；

所述外壳包括泵壳基座、第一转接盖板和第二转接盖板，所述泵壳基座上设有所述腔体，所述第一转接盖板盖设于所述泵壳基座的开口端，所述第二转接盖板与所述第一转接盖板连接，所述第一引导件和所述第二引导件夹设于所述第一转接盖板和所述第二转接盖板之间，所述第一转接盖板和所述第二转接盖板之间形成有所述流道，所述流体腔通过所述流道与所述进液口或者所述出液口连通。

2.根据权利要求1所述的多级电渗微泵，其特征在于，所述流道包括第一流道和第二流道，所述第一流道与所述进液口连通，所述第二流道与所述出液口连通，所述第一转接盖板设有多个通孔，所述通孔以一一对应的方式与所述流体腔连通，所述第一流道通过部分所述通孔与用于进液的所述流体腔连通，所述第二流道通过另一部分所述通孔与用于出液的所述流体腔连通。

3.根据权利要求1所述的多级电渗微泵，其特征在于，所述第一引导件包括第一电极引线和多个第二电极引线，所述第一电极引线嵌设于所述第一转接盖板和所述第二转接盖板之间，所述第二电极引线嵌设于所述第一转接盖板和所述第二转接盖板之间，所述第二电极引线以一一对应的方式与所述第一多孔电极电连接，所述第二电极引线通过所述第一电极引线与所述第一电接口电连接，所述第二引导件包括第三电极引线和多个第四电极引线，所述第三电极引线嵌设于所述第一转接盖板和所述第二转接盖板之间，所述第四电极引线以一一对应的方式与所述第二多孔电极电连接，所述第四电极引线通过所述第三电极引线与所述第二电接口电连接。

4.根据权利要求3所述的多级电渗微泵，其特征在于，所述泵壳基座的内壁上设有多个第一卡槽，所述第一转接盖板朝向所述泵壳基座的一端设有多个第二卡槽，所述第二卡槽的位置与所述第一卡槽的位置相对应，所述第一多孔电极插设于所述第一卡槽和所述第二卡槽中，所述第二多孔电极插设于所述第一卡槽和所述第二卡槽中。

5.根据权利要求3所述的多级电渗微泵，其特征在于，所述第一电极引线和所述第三电极引线均为金属片型结构，所述第一电极引线和所述第三电极引线均沿所述外壳的轴向方向设置，所述第二电极引线和所述第四电极引线均为金属丝结构。

6.根据权利要求4所述的多级电渗微泵，其特征在于，所述第一转接盖板上设有多个引线孔，所述引线孔位于所述第二卡槽内，所述引线孔用于供所述第二电极引线和所述第四电极引线穿过。

7.根据权利要求1所述的多级电渗微泵，其特征在于，所述腔体呈长方体形，所述第一多孔电极、所述第二多孔电极和所述多孔介质薄膜的径向截面均呈矩形。

8.根据权利要求2所述的多级电渗微泵，其特征在于，所述第一流道和所述第二流道均沿所述外壳的轴向方向设置。

9.根据权利要求1至8任一项所述的多级电渗微泵，其特征在于，所述多级电渗微泵还包括设于所述多孔介质薄膜和所述第一多孔电极之间以及所述多孔介质薄膜和所述第二多孔电极之间的连接胶。

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