CN113486801B - 感测装置 - Google Patents

Abstract

一种感测装置，包括感测结构层、第一绝缘层、第二绝缘层、第一遮光图案、第二遮光图案以及多个微透镜。感测结构层包括多个感测元件。第一绝缘层位于感测结构层上且具有第一开口，第一开口包括第一纵向开口以及第一横向开口。第二绝缘层位于第一绝缘层上且具有第二开口，第二开口包括第二纵向开口以及第二横向开口。第一遮光图案位于感测结构层上且与第一开口以及第二开口对应的设置，其中第一遮光图案包括色阻堆叠。第二遮光图案以及多个微透镜位于第二绝缘层上。

Description

感测装置

技术领域

本发明涉及一种感测装置，且特别涉及一种指纹感测装置。

背景技术

目前配备有生物识别系统(例如指纹或虹膜)的便携式电子装置朝向全屏幕或超窄边框发展的趋势，因此，近年来屏下光学感测器被应用于便携式电子装置中。上述的屏下光学感测器为将微型光学成像装置设置于便携式电子装置的屏幕下方，通过屏幕的部分透光区域获取按压于屏幕上方的物体的图像。以屏下指纹感测器为例，其一般包括有感测结构层以及设置于其上方的光机结构层，其中光机结构层由于具有微透镜而须设计有一定厚度以作为焦距，使得光机结构层包括有多层彼此堆叠的厚膜结构；然而，此厚膜结构自身具有较大的应力，使得指纹感测器于形成后产生翘曲的问题，其对于后续例如对指纹感测器进行切割或与显示面板粘合等工艺将带来不利的影响。

发明内容

本发明提供一种感测装置，其可解决因设置有多层结构而产生翘曲的问题。

本发明的感测装置包括感测结构层、第一绝缘层、第二绝缘层、第一遮光图案、第二遮光图案以及多个微透镜。感测结构层位于基板上且包括多个感测元件。第一绝缘层位于感测结构层上且具有第一开口，其中第一开口包括第一纵向开口以及第一横向开口。第二绝缘层位于第一绝缘层上且具有第二开口，其中第二开口包括第二纵向开口以及第二横向开口。第一遮光图案位于感测结构层上且与第一开口以及第二开口对应的设置，其中第一遮光图案包括色阻堆叠。第二遮光图案位于第二绝缘层上且定义出光通过区域。多个微透镜位于光通过区域中。第一纵向开口与第二纵向开口沿基板的法线方向于基板上的投影不重叠，且第一横向开口与第二横向开口沿基板的法线方向于基板上的投影不重叠。

在本发明的一实施例中，上述的第一遮光图案形成于第一开口以及第二开口中。

在本发明的一实施例中，上述的部分的第一遮光图案形成于第一开口中，且部分的第二绝缘层形成于第二开口中。

在本发明的一实施例中，上述的第一开口以及第二开口与多个感测元件沿基板的法线方向于基板上的投影不重叠。

在本发明的一实施例中，上述的色阻堆叠的穿透率小于30％。

在本发明的一实施例中，上述的色阻堆叠包括彼此堆叠的第一色阻以及第二色阻，其中第一色阻与第二色阻之间具有不同的颜色。

在本发明的一实施例中，上述的色阻堆叠包括彼此堆叠的第一色阻、第二色阻以及第三色阻，其中第一色阻、第二色阻与第三色阻之间具有不同的颜色。

在本发明的一实施例中，上述的感测装置还包括第三绝缘层、第三遮光图案、第四绝缘层、第四遮光图案以及滤光层。第三绝缘层位于感测结构层与第一绝缘层之间。第三遮光图案位于第三绝缘层上。第四绝缘层位于第三绝缘层上且覆盖第三遮光图案。第四遮光图案位于第四绝缘层上。滤光层位于第四绝缘层上且覆盖第四遮光图案。

基于上述，本发明的感测装置通过使至少两层有机层设置有包括纵向开口以及横向开口的多个开口，其中相邻的有机层具有的纵向开口(以及横向开口)彼此沿基板的法线方向于基板上的投影不重叠，且使第一遮光图案与多个开口对应的设置，借此可减少原先未经图案化的多层有机层的应力，以达到应力分散的效果，从而避免本实施例的感测装置因设置有多层结构而产生翘曲的问题。

附图说明

图1A为本发明的第一实施例的感测装置的俯视示意图。

图1B为依据图1A的剖线A1-A1’的感测装置的剖面示意图。

图2A为本发明的第二实施例的感测装置的俯视示意图。

图2B为依据图2A的剖线A2-A2’的感测装置的剖面示意图。

图3为本发明的一实施例的电子装置的剖面示意图。

附图标记说明：

10：电子装置

100、200：感测装置

1000：显示面板

n：法线方向

A1-A1’、A2-A2’：剖线

BM1、BM2、BM3、BM4：遮光图案

BP1、BP2：无机层

F：手指

FG：框胶

FL：滤光层

GL：闸间绝缘层

L1：照明光束

L2：感测光束

LE：发光结构

LR1、LR2、LR3：光通过区域

ML：微透镜

O、OP1、OP2：开口

OP11、OP21：纵向开口

OP12、OP22：横向开口

PL1、PL2、PL3、PL4、PL5：有机层

SB：基板

SC：感测元件

SC1：第一电极

SC2：感光层

SC3：第二电极

SE：感测结构层

具体实施方式

图1A为本发明的第一实施例的感测装置的俯视示意图。图1B为依据图1A的剖线A1-A1’的感测装置的剖面示意图。

请同时参照图1A以及图1B，本实施例的感测装置100包括基板SB、感测结构层SE、有机层PL2、遮光图案BM1、有机层PL3、遮光图案BM2、滤光层FL、有机层PL4、有机层PL5、遮光图案BM3、遮光图案BM4以及多个微透镜ML。

在一些实施例中，基板SB可为柔性基板或刚性基板。在一些实施例中，感测结构层SE可包括以下的构件，但需注意本发明不以此为限。感测结构层SE可例如包括多个感测元件SC、扫描线(未示出)以及读取线(未示出)。另外，感测结构层SE还可包括电源供应线(未示出)等走线，本发明不以此为限。值得一提的是，基板SB与感测结构层SE之间可例如设置有缓冲层(未示出)。缓冲层的材料可为氧化硅、氮化硅、或上述至少二种材料的堆叠层，本发明不以此为限。

在一些实施例中，本实施例的感测装置100可还包括主动元件(未示出)。主动元件例如位于基板SB上，且例如包括栅极、半导体层、源极以及漏极。栅极例如与半导体层对应的设置，且两者之间设置有闸间绝缘层GL。源极以及漏极设置于闸间绝缘层GL上且与半导体层部分地接触。扫描线可与主动元件的源极电性连接，且读取线可与主动元件的漏极电性连接，以读取感测元件SC感测到的信号。在本实施例中，主动元件为所属领域中技术人员所周知的任一种底部栅极型薄膜晶体管。然而，本实施例虽然是以底部栅极型薄膜晶体管为例，但本发明不限于此。在其他实施例中，主动元件也可以是顶部栅极型薄膜晶体管或是其它合适类型的薄膜晶体管。

多个感测元件SC例如位于基板SB上，且各自包括第一电极SC1、感光层SC2以及第二电极SC3。第一电极SC1、感光层SC2以及第二电极SC3例如以此顺序按序堆叠于基板SB上。在一些实施例中，第二电极SC3的面积大于感光层SC2的面积，且第一电极SC1与第二电极SC3的轮廓可局部重叠。在一些实施例中，第一电极SC1与第二电极SC3可包括透光的导电材料或不透光的导电材料，其视感测装置100的用途而定。在本实施例中，感测装置100可作为屏下指纹感测器来使用，因此，来自外界的光(例如经指纹反射的光)会穿过第二电极SC3而入射至感光层SC2，基于此，第二电极SC3是使用透光的导电材料制作。感光层SC2具有将光能转换为电能的特性，以实现光学感测的功能。在一些实施例中，感光层SC2的材料可包括富硅材料，其可为富硅氧化物、富硅氮化物、富硅氮氧化物、富硅碳化物、富硅碳氧化物、氢化富硅氧化物、氢化富硅氮化物、氢化富硅碳化物或其他合适的材料或上述材料的组合。

在一些实施例中，感测结构层SE还包括有机层PL1。有机层PL1例如位于感测元件SC的第一电极SC1上。在一些实施例中，有机层PL1具有暴露出感测元件SC的第一电极SC1的开口O，其中感光层SC2位于开口O中接触第一电极SC1，且第二电极SC3设置于有机层PL1且与感光层SC2接触。有机层PL1的形成方法例如是利用旋转涂布法形成。有机层PL1的材料例如是有机绝缘材料，其可为聚亚酰胺、聚酯、苯并环丁烯(benzocyclobutene，BCB)、聚甲基丙烯酸甲酯(polymethylmethacrylate，PMMA)、聚乙烯苯酚(poly(4-vinylphenol)，PVP)、聚乙烯醇(polyvinyl alcohol，PVA)、聚四氟乙烯(polytetrafluoroethene，PTFE)、六甲基二硅氧烷(hexamethyldisiloxane，HMDSO)或上述至少二种材料的堆叠层，但本发明不以此为限。在本实施例中，有机层PL1为单层结构，但本发明不以此为限。在其他的实施例中，有机层PL1可为多层结构。

有机层PL2例如位于有机层PL1上且覆盖感测元件SC的第二电极SC3。有机层PL2的形成方法例如是利用旋转涂布法形成。有机层PL2的材料例如是有机绝缘材料，其可为聚亚酰胺、聚酯、苯并环丁烯、聚甲基丙烯酸甲酯、聚乙烯苯酚、聚乙烯醇、聚四氟乙烯、六甲基二硅氧烷或上述至少二种材料的堆叠层，但本发明不以此为限。在本实施例中，有机层PL2为单层结构，但本发明不以此为限。在其他的实施例中，有机层PL2可为多层结构。

在一些实施例中，本实施例的感测装置100可还包括无机层BP1。在后续的遮光图案BM1选用与有机层PL2附着力不佳的材料的情况时，可通过设置无机层BP1于有机层PL2上使遮光图案BM1设置于无机层BP1上，如本实施例所例示出，但需注意本发明不以此为限。在另一些实施例中，若遮光图案BM1选用与有机层PL2附着力强的材料，则可不设置无机层BP1。本实施例的无机层BP1例如位于有机层PL2上。无机层BP1的形成方法例如是利用物理气相沉积法或化学气相沉积法而形成。在本实施例中，无机层BP1的材料可为氧化硅、氮化硅、氮氧化硅、或上述至少二种材料的堆叠层，但本发明不以此为限。在本实施例中，无机层BP1为单层结构，但本发明不以此为限。在其他的实施例中，无机层BP1可为多层结构。

遮光图案BM1例如位于有机层PL2上。在一些实施例中，在设置有无机层BP1的情况下，遮光图案BM1位于无机层BP1上。遮光图案BM1例如用以定义出光通过区域LR1，详细地说，遮光图案BM1的材料包括遮光及/或反射材料，其可为金属、合金、前述材料的氮化物、前述材料的氧化物、前述材料的氮氧化物、或是其它合适的遮光及/或反射材料。在一些实施例中，遮光图案BM1的材料可为钼、氧化钼或其堆叠层。基于此，未设置有遮光图案BM1的区域即可定义出光通过区域LR1。遮光图案BM1的设置可有效地避免杂散光入射至多个感测元件SC，以避免杂散光影响感测结果。在本实施例中，光通过区域LR1与每一感测元件SC对应的设置，以使感测元件SC可将穿过光通过区域LR1的外界的光转换为对应的电信号。另外，在一些实施例中，设置有遮光图案BM1的区域可用于遮蔽主动元件(附图未示出)。详细地说，遮光图案BM1可例如位于主动元件的上方且至少遮蔽主动元件的半导体层，借此以避免来自外界的光照射至半导体层，从而避免主动元件产生漏电的情况。遮光图案BM1的形成方法例如是首先利用溅镀法或其他方法形成遮光图案材料层(未示出)。接着，于遮光图案材料层上形成图案化光刻胶材料层(未示出)。之后，以图案化光刻胶层为掩模，对遮光图案材料层进行蚀刻工艺，以形成遮光图案BM1。

有机层PL3例如位于有机层PL2上且覆盖遮光图案BM1。在一些实施例中，在设置有无机层BP1的情况下，有机层PL3位于无机层BP1上。有机层PL3的形成方法例如是利用旋转涂布法形成。有机层PL3的材料例如是有机绝缘材料，其可为聚亚酰胺、聚酯、苯并环丁烯、聚甲基丙烯酸甲酯、聚乙烯苯酚、聚乙烯醇、聚四氟乙烯、六甲基二硅氧烷或上述至少二种材料的堆叠层，但本发明不以此为限。在本实施例中，有机层PL3为单层结构，但本发明不以此为限。在其他的实施例中，有机层PL3可为多层结构。

在一些实施例中，本实施例的感测装置100可还包括无机层BP2。在后续的遮光图案BM2选用与有机层PL3附着力不佳的材料的情况时，可通过设置无机层BP2于有机层PL3上使遮光图案BM2设置于无机层BP2上，如本实施例所例示出，但需注意本发明不以此为限。在另一些实施例中，若遮光图案BM2选用与有机层PL3附着力强的材料，则可不设置无机层BP2。本实施例的无机层BP2例如位于有机层PL3上。无机层BP2的形成方法例如是利用物理气相沉积法或化学气相沉积法而形成。在一些实施例中，无机层BP2的材料可为氧化硅、氮化硅、氮氧化硅、或上述至少二种材料的堆叠层。在本实施例中，无机层BP2的材料为氮化硅。在本实施例中，无机层BP2为单层结构，但本发明不以此为限。在其他的实施例中，无机层BP2可为多层结构。

遮光图案BM2例如位于有机层PL3上。在一些实施例中，在设置有无机层BP2的情况下，遮光图案BM2位于无机层BP2上。遮光图案BM2例如用以定义出光通过区域LR2，详细地说，遮光图案BM2的材料包括遮光及/或反射材料，其可为金属、合金、前述材料的氮化物、前述材料的氧化物、前述材料的氮氧化物、或是其它合适的遮光及/或反射材料。在一些实施例中，遮光图案BM2的材料可为钼、氧化钼或其堆叠层。基于此，未设置有遮光图案BM2的区域即可定义出光通过区域LR2。遮光图案BM2的设置可有效地避免杂散光入射至多个感测元件SC，以避免杂散光影响感测结果。在本实施例中，光通过区域LR2与光通过区域LR1对应的设置，即，与感测元件SC对应的设置，以使感测元件SC可将穿过光通过区域LR2与光通过区域LR1的外界的光转换为对应的电信号。遮光图案BM2的形成方法例如是首先利用溅镀法或其他方法形成遮光图案材料层(未示出)。接着，于遮光图案材料层上形成图案化光刻胶材料层(未示出)。之后，以图案化光刻胶层为掩模，对遮光图案材料层进行蚀刻工艺，以形成遮光图案BM2。

滤光层FL例如位于有机层PL3上且覆盖遮光图案BM2。在一些实施例中，在设置有无机层BP2的情况下，滤光层FL位于无机层BP2上。滤光层FL可例如提供滤光的技术效果。详细地说，在本实施例中，滤光层FL可为红外线截止(IR-cut)滤光层。即，当本实施例的感测元件SC将来自外界的可见光转换成电信号时，通常会一并将肉眼无法视得的红外光转换成电信号，使得当电信号转换成影像显示时，显示出来的影像易受到红外光而有失真或是色散的情形发生。基于此，本实施例通过滤光层FL的设置可避免此问题产生。然而，本发明不以此为限，当本实施例的感测元件SC是将来自外界的红外光转换成电信号时，则本实施例的滤光层FL可为红外线通过(IR pass)滤光层。另外，在其他的实施例中，滤光层FL也可以是其他种类的滤光层，以具有防伪的效果。

有机层PL4例如位于滤光层FL上且具有第一开口OP1。有机层PL4的形成方法例如是首先利用旋转涂布法形成有机图案材料层(未示出)。接着，于有机图案材料层上形成图案化光刻胶材料层(未示出)。之后，以图案化光刻胶层为掩模，对有机图案材料层进行蚀刻工艺。有机层PL4的材料例如是有机绝缘材料，其可为聚亚酰胺、聚酯、苯并环丁烯、聚甲基丙烯酸甲酯、聚乙烯苯酚、聚乙烯醇、聚四氟乙烯、六甲基二硅氧烷或上述至少二种材料的堆叠层，但本发明不以此为限。在本实施例中，有机层PL4为单层结构，但本发明不以此为限。在其他的实施例中，有机层PL4可为多层结构。在本实施例中，有机层PL4具有的第一开口OP1包括多个第一纵向开口OP11以及多个第一横向开口OP12，其中第一纵向开口OP11的延伸方向与第一横向开口OP12的延伸方向彼此交错。另外，第一开口OP1沿基板SB的法线方向n于基板SB上的投影与感测元件SC沿基板SB的法线方向n于基板SB上的投影完全不重叠。

遮光图案BM3例如位于滤光层FL上。在本实施例中，一部分的遮光图案BM3与有机层PL4的第一开口OP1对应的设置，且另一部分的遮光图案BM3位于有机层PL4上。上述与第一开口OP1对应设置的遮光图案BM3例如填入于第一开口OP1中，使其可有效地防止杂散光行经第一开口OP1而入射至多个感测元件SC，以避免杂散光影响感测结果。再者，由于第一开口OP1沿基板SB的法线方向n于基板SB上的投影与感测元件SC沿基板SB的法线方向n于基板SB上的投影完全不重叠，填入于第一开口OP1中的遮光图案BM3可避免干扰来自外界的光(例如经指纹反射的光)行进至感测元件SC。在一些实施例中，遮光图案BM3包括色阻堆叠，即，包括至少两个彼此堆叠且具有不同颜色的色阻。举例而言，遮光图案BM3可包括彼此堆叠的第一色阻以及第二色阻，其中第一色阻与第二色阻之间具有不同的颜色。或者，遮光图案BM3可包括彼此堆叠的第一色阻、第二色阻以及第三色阻，其中第一色阻、第二色阻与第三色阻之间具有不同的颜色。上述的颜色可为红色、蓝色、绿色或其他颜色。遮光图案BM3包括的色阻堆叠由于具有上述的结构而使其的穿透率可小于30％，借此以达到避免杂散光影响感测结果的效果。另外，与遮光图案BM3的材料选用黑色金属或黑色树脂的情况相比，使遮光图案BM3由彼此堆叠的色阻组成可具有工艺便利的效果。值得一提的是，在其他的实施例中，遮光图案BM3亦可包括黑色金属或黑色树脂，以达到上述的效果。

有机层PL5例如位于有机层PL4上且具有第二开口OP2。有机层PL5的形成方法例如是首先利用旋转涂布法形成有机图案材料层(未示出)。接着，于有机图案材料层上形成图案化光刻胶材料层(未示出)。之后，以图案化光刻胶层为掩模，对有机图案材料层进行蚀刻工艺。有机层PL5的材料例如是有机绝缘材料，其可为聚亚酰胺、聚酯、苯并环丁烯、聚甲基丙烯酸甲酯、聚乙烯苯酚、聚乙烯醇、聚四氟乙烯、六甲基二硅氧烷或上述至少二种材料的堆叠层，但本发明不以此为限。在本实施例中，有机层PL5为单层结构，但本发明不以此为限。在其他的实施例中，有机层PL5可为多层结构。在本实施例中，有机层PL5具有的第二开口OP2包括多个第二纵向开口OP21以及多个第二横向开口OP22，其中第二纵向开口OP21的延伸方向与第二横向开口OP22的延伸方向彼此交错。在本实施例中，上述的位于有机层PL4上的另一部分遮光图案BM3与第二开口OP2对应的设置，即，填入于第二开口OP2中，使其可有效地防止杂散光行经第二开口OP2而入射至多个感测元件SC，以避免杂散光影响感测结果。另外，第二开口OP2沿基板SB的法线方向n于基板SB上的投影与感测元件SC沿基板SB的法线方向n于基板SB上的投影完全不重叠，使得填入于第二开口OP2中的遮光图案BM3可避免干扰来自外界的光(例如经指纹反射的光)行进至感测元件SC。

在一些实施例中，有机层PL4具有的第一纵向开口OP11的延伸方向与有机层PL5具有的第二纵向开口OP21的延伸方向实质上平行。另外，在一些实施例中，第一纵向开口OP11与第二纵向开口OP21沿基板SB的法线方向n于基板SB上的投影不重叠。基于上述第一纵向开口OP11与第二纵向开口OP21之间的设置关系，第一纵向开口OP11与第二纵向开口OP21沿基板SB的法线方向n于基板SB上的投影会彼此错位排列，借此可减少原先未经图案化的多层有机层的应力，以达到应力分散的效果，从而避免本实施例的感测装置100因设置有多层结构而产生翘曲的问题。

类似地，在一些实施例中，有机层PL4具有的第一横向开口OP12的延伸方向与有机层PL5具有的第二横向开口OP22的延伸方向实质上平行。另外，在一些实施例中，第一横向开口OP12与第二横向开口OP22沿基板SB的法线方向n于基板SB上的投影不重叠。基于上述第一横向开口OP12与第二横向开口OP22之间的设置关系，第一横向开口OP12与第二横向开口OP22沿基板SB的法线方向n于基板SB上的投影会彼此错位排列，借此亦可减少原先未经图案化的多层有机层的应力，以达到应力分散的效果，从而避免本实施例的感测装置100因设置有多层结构而产生翘曲的问题。

遮光图案BM4例如位于有机层PL5上，且用以定义出光通过区域LR3。详细地说，遮光图案BM4的材料包括遮光及/或反射材料，其可为金属、合金、前述材料的氮化物、前述材料的氧化物、前述材料的氮氧化物、或是其它合适的遮光及/或反射材料。在一些实施例中，遮光图案BM4的材料可为钼、氧化钼或其堆叠层。基于此，未设置有遮光图案BM4的区域即可定义出光通过区域LR3。遮光图案BM4的设置可有效地避免杂散光入射至多个感测元件SC，以避免杂散光影响感测结果。在本实施例中，光通过区域LR3与光通过区域LR2对应的设置，即，与感测元件SC对应的设置，以使感测元件SC可将穿过光通过区域LR3、光通过区域LR2与光通过区域LR1的外界的光转换为对应的电信号。遮光图案BM4的形成方法例如是首先利用溅镀法或其他方法形成遮光图案材料层(未示出)。接着，于遮光图案材料层上形成图案化光刻胶材料层(未示出)。之后，以图案化光刻胶层为掩模，对遮光图案材料层进行蚀刻工艺，以形成遮光图案BM4。在一些实施例中，遮光图案BM4与有机层PL5之间可设置有无机层(未示出)，但本发明不以此为限。

多个微透镜ML例如位于有机层PL5上且设置于第三光通过区域LR3中。详细地说，多个微透镜ML位于由遮光图案BM3定义出的第三光通过区域LR3中，且与多个感测元件SC对应的设置。举例而言，多个微透镜ML以阵列的方式排列，且具有穿过其中心的中心轴(未示出)。在一些实施例中，第一光通过区域LR1与第二光通过区域LR2亦具有穿过其中心的中心轴(未示出)，其中每一微透镜ML的中心轴可与第一光通过区域LR1以及第二光通过区域LR2中的一者的中心轴对位，但本发明不以此为限。基于此，多个微透镜ML可用于更进一步提升光利用率的效果，以增加准直光的入射量，提高影像对比；并可降低散射光或折射光所导致的漏光及混光的问题。在一些实施例中，多个微透镜ML可为对称双凸透镜、非对称双凸透镜、平凸透镜或凹凸透镜，本发明不以此为限。另外，多个微透镜ML的每一者或多者会与一个感测元件SC对应的设置，但本发明不以此为限。

基于上述，本实施例通过使至少两层有机层设置有包括纵向开口以及横向开口的多个开口，其中相邻的有机层具有的纵向开口(以及横向开口)彼此沿基板的法线方向于基板上的投影不重叠，且使第一遮光图案与多个开口对应的设置，借此可减少原先未经图案化的多层有机层的应力，以达到应力分散的效果，从而避免本实施例的感测装置因设置有多层结构而产生翘曲的问题。再者，本实施例亦在与上述的多个开口的对应区域设置有由色阻堆叠的遮光图案，除了工艺便利外，亦可借此以遮蔽来自外界的大角度的光(例如斜向光)且避免产生漏光的现象，而提升光的信噪比以取得更清晰的影像。

图2A为本发明的第二实施例的感测装置的俯视示意图。图2B为依据图2A的剖线A2-A2’的感测装置的剖面示意图。在此必须说明的是，图2A与图2B示出的实施例各自沿用图1A与图1B的实施例的元件标号与部分内容，其中采用相同或近似的标号来表示相同或近似的元件，并且省略了相同技术内容的说明。关于省略部分的说明可参考前述实施例描述与效果，下述实施例不再重复赘述，而图2A与图2B示出的实施例中至少一部分未省略的描述可参阅后续内容。

请同时参照图2A与图2B，本实施例的感测装置200与前述实施例的感测装置100的主要差异在于：一部分的遮光图案BM3与有机层PL4的第一开口OP1对应的设置，且另一部分的遮光图案BM3被有机层PL4所覆盖。在本实施例中，上述与第一开口OP1对应设置的遮光图案BM3填入于第一开口OP1中，且覆盖另一部分的遮光图案BM3的有机层PL4将填入于有机层PL5具有的第二开口OP2中。

基于此，本实施例亦通过使至少两层有机层设置有包括纵向开口以及横向开口的多个开口，其中相邻的有机层具有的纵向开口(以及横向开口)彼此沿基板的法线方向于基板上的投影不重叠，且使第一遮光图案与多个开口对应的设置，借此可减少原先未经图案化的多层有机层的应力，以达到应力分散的效果，从而避免本实施例的感测装置因设置有多层结构而产生翘曲的问题。

图3为本发明的一实施例的电子装置的剖面示意图。

请参照图3，图3示出一种电子装置10。在一些实施例中，电子装置10可为一种屏下指纹识别装置，其例如是智能手机、平板电脑、笔记本电脑或触控型显示装置等电子装置。本实施例的电子装置10例如包括显示面板1000以及感测装置100，其中显示面板1000与感测装置100可通过框胶FG粘合，本发明不以此为限。显示面板1000例如适于通过其具有的发光结构LE提供照明光束L1至手指F，而后经其反射出感测光束L2。在本实施例中，显示面板1000为有机发光二极管(organic light-emitting diode；OLED)显示面板，但本发明不以此为限。在其他的实施例中，显示面板1000亦可为液晶显示面板或其他适当的显示面板。感测装置100例如设置于显示面板1000的下方，以接收由手指F所反射的感测光束L2，借此进行指纹识别。

综上所述，本发明的感测装置通过使至少两层有机层设置有包括纵向开口以及横向开口的多个开口，其中相邻的有机层具有的纵向开口(以及横向开口)彼此沿基板的法线方向于基板上的投影不重叠，且使第一遮光图案与多个开口对应的设置，借此可减少原先未经图案化的多层有机层的应力，以达到应力分散的效果，从而避免本发明的感测装置因设置有多层结构而产生翘曲的问题。再者，本发明的感测装置亦在与上述的多个开口的对应区域设置有由色阻堆叠的遮光图案，除了工艺便利外，亦可借此以遮蔽来自外界的大角度的光(例如斜向光)且避免产生漏光的现象，而提升光的信噪比以取得更清晰的影像。

Claims (8)

1.一种感测装置，包括：

感测结构层，位于基板上，包括多个感测元件；

第一绝缘层，位于所述感测结构层上且具有第一开口，其中所述第一开口包括第一纵向开口以及第一横向开口；

第二绝缘层，位于所述第一绝缘层上且具有第二开口，其中所述第二开口包括第二纵向开口以及第二横向开口；

第一遮光图案，位于所述感测结构层上且与所述第一开口以及所述第二开口对应的设置，其中所述第一遮光图案包括色阻堆叠；

第二遮光图案，位于所述第二绝缘层上且定义出光通过区域；以及

多个微透镜，位于所述光通过区域中，

其中所述第一纵向开口与所述第二纵向开口沿所述基板的法线方向于所述基板上的投影不重叠，且所述第一横向开口与所述第二横向开口沿所述基板的法线方向于所述基板上的投影不重叠。

2.如权利要求1所述的感测装置，其中所述第一遮光图案形成于所述第一开口以及所述第二开口中。

3.如权利要求1所述的感测装置，其中部分的所述第一遮光图案形成于所述第一开口中，且部分的所述第二绝缘层形成于所述第二开口中。

4.如权利要求1所述的感测装置，其中所述第一开口以及所述第二开口与所述多个感测元件沿所述基板的法线方向于所述基板上的投影不重叠。

5.如权利要求1所述的感测装置，其中所述色阻堆叠的穿透率小于30％。

6.如权利要求1所述的感测装置，其中所述色阻堆叠包括彼此堆叠的第一色阻以及第二色阻，其中所述第一色阻与所述第二色阻之间具有不同的颜色。

7.如权利要求1所述的感测装置，其中所述色阻堆叠包括彼此堆叠的第一色阻、第二色阻以及第三色阻，其中所述第一色阻、所述第二色阻与所述第三色阻之间具有不同的颜色。

8.如权利要求1所述的感测装置，其还包括：

第三绝缘层，位于所述感测结构层与所述第一绝缘层之间；

第三遮光图案，位于所述第三绝缘层上；

第四绝缘层，位于所述第三绝缘层上且覆盖所述第三遮光图案；

第四遮光图案，位于所述第四绝缘层上；以及

滤光层，位于所述第四绝缘层上且覆盖所述第四遮光图案。

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