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CN113446064A - 真空马达 - Google Patents

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Publication number
CN113446064A
CN113446064A CN202010231020.5A CN202010231020A CN113446064A CN 113446064 A CN113446064 A CN 113446064A CN 202010231020 A CN202010231020 A CN 202010231020A CN 113446064 A CN113446064 A CN 113446064A
Authority
CN
China
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vacuum motor
claw
cylinder
outer edge
edge surface
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN202010231020.5A
Other languages
English (en)
Inventor
顾崇诚
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Xinqiang Ningbo Semiconductor Equipment Manufacturing Co ltd
Original Assignee
Xinqiang Ningbo Semiconductor Equipment Manufacturing Co ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Xinqiang Ningbo Semiconductor Equipment Manufacturing Co ltd filed Critical Xinqiang Ningbo Semiconductor Equipment Manufacturing Co ltd
Priority to CN202010231020.5A priority Critical patent/CN113446064A/zh
Publication of CN113446064A publication Critical patent/CN113446064A/zh
Pending legal-status Critical Current

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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F01—MACHINES OR ENGINES IN GENERAL; ENGINE PLANTS IN GENERAL; STEAM ENGINES
    • F01C—ROTARY-PISTON OR OSCILLATING-PISTON MACHINES OR ENGINES
    • F01C1/00—Rotary-piston machines or engines
    • F01C1/08—Rotary-piston machines or engines of intermeshing engagement type, i.e. with engagement of co- operating members similar to that of toothed gearing
    • F01C1/12—Rotary-piston machines or engines of intermeshing engagement type, i.e. with engagement of co- operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F01—MACHINES OR ENGINES IN GENERAL; ENGINE PLANTS IN GENERAL; STEAM ENGINES
    • F01C—ROTARY-PISTON OR OSCILLATING-PISTON MACHINES OR ENGINES
    • F01C21/00—Component parts, details or accessories not provided for in groups F01C1/00 - F01C20/00
    • F01C21/08—Rotary pistons
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F01—MACHINES OR ENGINES IN GENERAL; ENGINE PLANTS IN GENERAL; STEAM ENGINES
    • F01C—ROTARY-PISTON OR OSCILLATING-PISTON MACHINES OR ENGINES
    • F01C21/00—Component parts, details or accessories not provided for in groups F01C1/00 - F01C20/00
    • F01C21/10—Outer members for co-operation with rotary pistons; Casings

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)

Abstract

本发明公开一种真空马达，包括基座与一真空马达转子组合，其中真空马达转子组合包括汽缸、隔板、汽缸与两爪形转子，两爪形转子设于汽缸，其中汽缸包括汽缸壁，两爪形转子皆包括爪部与凹陷部。凹陷部设于爪部并与汽缸壁形成闪避空间。隔板覆盖于汽缸与两爪形转子，以形成真空马达转子组合。

Description

真空马达
技术领域
本发明关于一种真空马达，特别是一种能与汽缸壁形成一闪避空间以改善爪形转子运转时气体异物沉积的真空马达。
背景技术
现有用于真空马达的爪形转子运转时，因为爪形转子的爪部与真空马达汽缸之间多为紧密配合，故两者间没有多余的空间可以容纳真空马达运转时空气中所夹杂的异物，而因为气流带动，这类异物大多会卡在爪部与真空马达汽缸壁之间，造成爪部被异物卡入而无法转动的情况发生，在使用上有改进的必要。
发明内容
本发明的主要目的是在提供一种能与汽缸壁形成一闪避空间以改善爪形转子运转时气体异物沉积的真空马达。
为达成上述的目的，本发明的真空马达，包括基座与一真空马达转子组合，其中真空马达转子组合包括汽缸、隔板、汽缸与两爪形转子，两爪形转子设于汽缸，其中汽缸包括汽缸壁，两爪形转子皆包括爪部与凹陷部。凹陷部设于爪部并与汽缸壁形成闪避空间。隔板覆盖于汽缸与两爪形转子，以形成真空马达转子组合。
在本发明的一实施例中，该爪部包括一第一外缘面以及一第二外缘面，该凹陷部设于该第一外缘面与该第二外缘面之间。
在本发明的一实施例中，该凹陷部包括一深度h，该深度h>0.1mm。
在本发明的一实施例中，该凹陷部包括一底面，其中该深度h为该底面与该汽缸壁间的距离。
在本发明的一实施例中，该第一外缘面以及该第二外缘面的面积分别占该爪部的爪面截面积的5％～50％。
在本发明的一实施例中，该第一外缘面以及该第二外缘面的面积分别占该爪部的爪面截面积的10％～30％。
在本发明的一实施例中，真空马达包括多个该真空马达转子组合，各真空马达转子组合是沿垂直方向层状排列，且位于最下层的真空马达转子组合连接基座。
通过本发明的凹陷部的设计，于爪形转子运转时，让异物不会被卡在爪部，且此设计能让凹陷部与汽缸壁形成可容纳异物沉积的一闪避空间，达到延长爪形转子运转时间的功效，并解决先前技术中沉积物卡住爪部让爪形转子无法正常运转的问题。
附图说明
图1A是本发明的真空马达的一实施例的立体图。
图1B是本发明的真空马达第一二实施例的示意图。
图2是本发明的真空马达转子组合的一实施例的俯视图。
图3A是本发明的爪形转子的一实施例的俯视图。
图3B是本发明的爪形转子的一实施例的立体图。
图3C是本发明的爪形转子的爪部的一实施例的局部放大示意图。
图4A是本发明的爪形转子设于汽缸的一实施例的俯视图。
图4B本发明的爪部设于汽缸的一实施例的局部放大示意图。
其中附图标记为：
爪形转子1 闪避空间S1
爪部10 第一外缘面11
第二外缘面12 凹陷部20
汽缸210 底面22
汽缸壁211 沉积物90
A处 B处
高度h 真空马达200
隔板220 真空马达转子组合230
基座240
具体实施方式
为让本发明的上述目的、特征和优点能更明显易懂，特举较佳具体实施例说明如下。以下请参考图1A、图1B与图2，关于本发明的的真空马达的一实施例的立体图、真空马达除去第一层真空马达转子组合的气缸与隔板的一实施例的示意图与俯视图。
如本申请和权利要求书中所示，除非上下文明确提示例外情形，“一”、“一个”、“一种”和/或“该”等词并非特指单数，也可包括复数。一般说来，术语“包括”与“包含”仅提示包括已明确标识的步骤和元素，而这些步骤和元素不构成一个排它性的罗列，方法或者设备也可能包含其他的步骤或元素。
如图1A与图2所示，本发明的真空马达200包括基座240与一个真空马达转子组合230。真空马达转子组合230包括汽缸210、隔板220与两个爪形转子1，其中爪形转子1设于汽缸210，隔板220覆盖汽缸210与两个爪形转子1而形成一真空马达转子组合230，其中汽缸210包括汽缸壁211，在本实施例中，汽缸210呈阿拉伯数字8的形状，两个爪形转子1容置于该汽缸210内，基座240与该汽缸210连接以便于真空马达200运转时将供应气体。
在另一实施例中，如图1B与图2所示，本发明的真空马达200包括基座240与多个真空马达转子组合230，其中各真空马达转子组合230是沿垂直方向层状排列，且位于最下层的该真空马达转子组合230连接该基座240，各该真空马达转子组合230包括汽缸210、隔板220与两个爪形转子1，其中爪形转子1设于汽缸210，隔板220覆盖汽缸210与两个爪形转子1以形成一真空马达转子组合230，其中汽缸210包括汽缸壁211，在本实施例中，汽缸210呈阿拉伯数字8的形状，两个爪形转子1容置于该汽缸210内，基座240与该汽缸210连接以便于真空马达200运转时将供应气体。
以下请一并参考图3A、图3B、图3C、图4A与图4B关于本发明的爪形转子的一实施例的俯视图、立体图、爪部的一实施例的局部放大示意图、爪形转子设于汽缸的一实施例的俯视图以及爪部设于汽缸的一实施例的局部放大示意图。
在本实施例中，本发明的两个爪形转子1皆包括爪部10与凹陷部20，其中凹陷部20设于爪部10并与该汽缸壁211形成一闪避空间S1，在本实施例中，本发明的爪部10更包括第一外缘面11以及第二外缘面12，凹陷部20设于第一外缘面11与第二外缘面12之间，当真空马达200运转带动本发明的爪形转子1相对汽缸210顺时针或逆时针转动时，沉积物90可被容纳于闪避空间S1，而不会被卡在第一外缘面11以及第二外缘面12而发生爪形转子1无法转动的情形，解决了先前技术所存在的问题。此外，通过凹陷部20的设计减少爪部10与沉积物90的接触面积，让沉积物90于真空马达200运转时不会卡在第一外缘面11或与第二外缘面12，使得爪形转子1运转顺畅。
凹陷部20包括深度h与底面22，其中如图3B所示，深度h为底面22与汽缸壁211间的距离，在此须注意的是，根据本发明的一具体实施例，凹陷部20是半圆型，深度h为2.5mm，通过此深度h让沉积物90可累积于闪避空间S1内，可延长真空马达200的运转时间，但本发明适用的深度h不以前述数值为限，只要深度h>0.1mm即可。此外，为了同时减少爪部10与汽缸壁211间的接触面积并维持真空马达200运转的气密性，第一外缘面11以及该第二外缘面12的面积分别占爪部10的爪面截面积的5％～50％，以便创造足够的爪形转子1转动运能与能容纳沉积物90的闪避空间S1。根据本发明之一较佳实施例，第一外缘面11以及该第二外缘面12的面积分别占爪部10的爪面截面积的10％～30％。
通过本发明的凹陷部20的设计，让凹陷部20与汽缸壁211形成可容纳沉积物90的一闪避空间S1，故当爪形转子1运转时，让沉积物90不会被卡在爪部10，而达到延长爪形转子1运转时间的功效，并解决先前技术中沉积物90卡住爪部10让爪形转子1无法正常运转的问题。
本发明无论就目的、手段及功效，均显示其迥异于现有技术的特征。惟应注意的是，上述诸多实施例是为了便于说明而举例，本发明所主张的保护范围自应以权利要求所述为准，而非仅限于上述实施例。

Claims (7)

1.一种真空马达，其特征在于，该真空马达包括：
一基座；
一真空马达转子组合，其中各该真空马达转子组合是沿垂直方向层状排列，且位于最下层的该真空马达转子组合连接该基座，该真空马达转子组合包括：一汽缸，其中该汽缸包括一汽缸壁；
两爪形转子，该两爪形转子设于该汽缸，该两爪形转子皆包括：
一爪部；
一凹陷部，设于该爪部并与该汽缸壁形成一闪避空间；以及
一隔板，覆盖于该汽缸与该两爪形转子，以形成该真空马达转子组合。
2.如权利要求1所述的真空马达，其特征在于，该爪部包括一第一外缘面以及一第二外缘面，该凹陷部设于该第一外缘面与该第二外缘面之间。
3.如权利要求2所述的真空马达，其特征在于，该凹陷部包括一深度h，该深度h>0.1mm。
4.如权利要求3所述的真空马达，其特征在于，该凹陷部包括一底面，其中该深度h为该底面与该汽缸壁间的距离。
5.如权利要求4所述的真空马达，其特征在于，该第一外缘面以及该第二外缘面的面积分别占该爪部的爪面截面积的5％～50％。
6.如权利要求5所述的真空马达，其特征在于，该第一外缘面以及该第二外缘面的面积分别占该爪部的爪面截面积的10％～30％。
7.如权利要求1所述的真空马达，其特征在于，该真空马达包括多个该真空马达转子组合，其中各该真空马达转子组合是沿垂直方向层状排列，且位于最下层的该真空马达转子组合连接该基座。
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Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2073324A (en) * 1980-03-17 1981-10-14 Worthington Compressors Inc Rotary gas-compressor
CN2811606Y (zh) * 2005-08-12 2006-08-30 杨蔚森 双转子叶片泵
CN101000052A (zh) * 2006-12-08 2007-07-18 聂如国 一种用于回转式容积泵的转子
CN101668950A (zh) * 2007-04-23 2010-03-10 爱德华兹有限公司 真空泵
CN201802623U (zh) * 2010-09-28 2011-04-20 北京曌越东方科技有限公司 同步气道无脉冲爪形干式无油真空泵
CN212690116U (zh) * 2020-03-27 2021-03-12 信强(宁波)半导体设备制造有限公司 真空马达

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2073324A (en) * 1980-03-17 1981-10-14 Worthington Compressors Inc Rotary gas-compressor
CN2811606Y (zh) * 2005-08-12 2006-08-30 杨蔚森 双转子叶片泵
CN101000052A (zh) * 2006-12-08 2007-07-18 聂如国 一种用于回转式容积泵的转子
CN101668950A (zh) * 2007-04-23 2010-03-10 爱德华兹有限公司 真空泵
CN201802623U (zh) * 2010-09-28 2011-04-20 北京曌越东方科技有限公司 同步气道无脉冲爪形干式无油真空泵
CN212690116U (zh) * 2020-03-27 2021-03-12 信强(宁波)半导体设备制造有限公司 真空马达

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