CN112780947A - 气体混合输出系统及方法 - Google Patents
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Abstract
一种气体混合输出系统包括供应多种气体的多个气体供应单元、气体稳压装置及气体缓冲单元，其中气体供应单元用以供应多种气体，且混合成混合气体；气体稳压装置连通于该多个气体供应单元，且调控混合气体在预设压力范围；气体缓冲单元连通于气体稳压装置，且回授混合气体的输出流量值及输出压力值至气体供应单元，使气体供应单元调节来自气体供应单元的混合气体的流量；气体稳压装置监测混合气体的压力值；当混合气体的压力值超出预设压力范围时，气体稳压装置开始动作，使混合气体的压力值回归预设压力范围。一种气体混合输出方法亦在此揭露。
Description
技术领域
本发明与气体混合系统有关；特别是指一种气体混合输出系统及方法。
背景技术
在高科技领域中，需要利用浓度稳定的混合气体，用以制造高科技产品零部件(例如，半导体晶片、显示装置、触控面板等)。这类浓度稳定的混合气体通常以固定压力及固定流量的方式供应至上述高科技产品零部件的制造机台。
举例来说，半导体制程针对混合气体的浓度精度有严苛要求，混合气体的浓度精度需达设定值±0.0N％才能符合标准。以4％H2/96％N2为例，混合气体的浓度精度需符合4％±0.12％混合精度，方能供应予半导体制程使用。
一般而言，气体混合系统系利用质量流量控制器(MFC)控制纯气体的输出流量及压力；然而，由于MFC的机械结构限制，其一次侧及二次侧的压力差值必须在15-20psi，方能稳定气体的质量流量控制，因此传统的气体混合系统必须设一混合下限流量，以确保MFC准确控制气体流量。传统的气体混合系统可在300LPM以下进行气体混合，其在气体混合槽的下游处设置有开度固定或半固定式装置，如背压阀或限流孔，以维持MFC一次侧及二次侧的压力差值。然而，当设备气体流量提升且使用过程中流量变化极大50～1000LPM时，这类传统的气体混合系统无法提供稳定混合气体的浓度精度，即若所需的混合气体的流量大幅度地变动时，则超出传统的气体混合系统的固定开度之背压阀的调控能力范围，以致混合气体的浓度精度等相关参数失衡，无法符合上述制造机台的使用需求。
综上可知，现有的气体混合输出系统及方法仍有待改良，以改善传统气体混合输出系统及方法所存在的诸多问题。
发明内容
有鉴于此，本发明之目的在于提供一种气体混合输出系统及方法，其利用气体稳压装置依据所需的混合气体的流量调整气体稳压装置的开度，以维持气体供应单元于一次侧及二次侧的压力差值位于一预设范围内，确保气体供应单元正常运作，准确控制气体的浓度及流量，进而维持混合气体的浓度精度。
缘以达成上述目的，本发明提供的一种气体混合输出系统包括多个气体供应单元、一气体稳压装置以及一气体缓冲单元；该多种气体供应单元用以供应多种气体，且该多种气体系混合成一混合气体；该气体稳压装置连通于该多个气体供应单元，用以调控该混合气体在一预设压力范围；该气体缓冲单元连通于该气体稳压装置，用以回授该混合气体的一输出流量值及一输出压力值至该多个气体供应单元，使该多个气体供应单元依据该输出流量值及该输出压力值调节来自该多个气体供应单元的该混合气体的流量；其中，该气体稳压装置包括一气体压力计及一压力控制器，该气体压力计系用以监测该混合气体的压力值，且该压力控制器系用以控制该混合气体的压力值；该压力控制器系通信连接于该气体压力计；当来自该多个气体供应单元的该混合气体的流量产生变化，且该气体压力计监测来自该多个气体供应单元的该混合气体的压力值超出该预设压力范围时，该压力控制器从该气体压力计接收一第一调控讯号，且该压力控制器根据该第一调控讯号开始动作，使该混合气体的压力值回归该预设压力范围。
本发明的另一目的是提供一种气体混合输出方法，其包括至少以下步骤：
提供多种气体；
混合该多种气体成一混合气体；
利用一气体稳压装置，调控该混合气体在一预设压力范围，该气体稳压装置连通于该多个气体供应单元；以及
利用一气体缓冲单元，回授该混合气体的一输出流量值及一输出压力值至该多个气体供应单元，使该多个气体供应单元依据该输出流量值及该输出压力值调节来自该多个气体供应单元的该混合气体的流量，该气体缓冲单元连通于该气体稳压装置；
其中，该气体稳压装置包括一气体压力计及一压力控制器，该气体压力计系用以监测该混合气体的压力值，且该压力控制器系用以控制该混合气体的压力值；该压力控制器系通信连接于该气体压力计；当来自该多个气体供应单元的该混合气体的流量产生变化，且该气体压力计监测来自该多个气体供应单元的该混合气体的压力值超出该预设压力范围时，该压力控制器从该气体压力计接收一第一调控讯号，且该压力控制器根据该第一调控讯号开始动作，使该混合气体的压力值回归该预设压力范围。
本发明之效果在于，利用气体稳压装置依据所需的混合气体的流量调整气体稳压装置的开度，以维持气体供应单元在一次侧及二次侧的压力差值位于一预设范围内，确保气体供应单元正常运作，准确控制气体的浓度及流量，进而维持混合气体的浓度精度。
附图说明
图1为本发明一优选实施例的气体混合输出系统的示意图；
图2为本发明一优选实施例的气体混合输出方法的流程图。
具体实施方式
为能更清楚地说明本发明，兹举一优选实施例并配合附图详细说明如后。请参图1所示，图1为本发明一优选实施例的气体混合输出系统1的示意图，其中气体混合输出系统1仅以第一气体及第二气体为例说明，但不以此为限制；实务上，本发明所提供的气体混合输出系统1可用于混合多种气体，以形成混合气体。在图1中，气体混合输出系统1包括多个气体供应单元、气体混合装置30、气体稳压装置40及气体缓冲单元50。
在本发明实施例中，多个气体供应单元用以供应多种气体；举例来说，多个气体供应单元包括第一气体供应单元10及第二气体供应单元20，其中第一气体供应单元10供应第一气体，而第二气体供应单元20供应第二气体。
第一气体供应单元10包括第一气体压力计12及第一气体质量流量控制器(MFC)14，而第二气体供应单元20包括第二气体压力计22及第二气体质量流量控制器(MFC)24。在本发明实施例中，第一气体压力计12系用以测量第一气体的气压值，而第一气体质量流量控制器(MFC)14系用以控制第一气体的流量值。在本发明实施例中，第二气体压力计22系用以测量第二气体的气压值，而第二气体质量流量控制器(MFC)24系用以控制第二气体的流量值。
气体混合装置30连通于第一气体供应单元10及第二气体供应单元20，使第一气体及第二气体在气体混合装置30内混合成一混合气体。在本发明实施例中，第一气体供应单元10的第一气体质量流量控制器(MFC)14及第二气体供应单元20的第二气体质量流量控制器(MFC)24系分别连通于气体混合装置30。在本发明实施例中，第一气体在第一气体质量流量控制器(MFC)14的第一侧14a及第二侧14b具有第一压力差值，且第一压力差值在15-20psi以内时，第一气体质量流量控制器(MFC)14对于第一气体具有最佳的流量调控能力；第二气体在第二气体质量流量控制器(MFC)24的第一侧24a及第二侧24b具有第二压力差值，且第二压力差值在15-20psi以内时，第二气体质量流量控制器(MFC)24对于第二气体具有最佳的流量调控能力。整体来说，当第一压力差值及第二压力差值皆在15-20psi以内时，第一气体质量流量控制器(MFC)14及第二气体质量流量控制器(MFC)24可精确地调控第一气体及第二气体的流量及混合气体的浓度精度。在本发明实施例中，第一气体在第一气体质量流量控制器(MFC)14的第一侧14a具有压力值为110psi，而第二气体在第二气体质量流量控制器(MFC)24的第一侧24a具有压力值为110psi。
气体稳压装置40连通于气体混合装置30，用以调控混合气体在预设压力范围。在本发明实施例中，气体稳压装置40系设置于气体混合装置30与气体缓冲单元50之间，且连通于气体混合装置30与气体缓冲单元50。在本发明另一实施例中，气体稳压装置40系设置于气体供应单元10、20与气体混合装置30之间，且连通于气体供应单元10、20与气体混合装置30。在本发明实施例中，气体稳压装置40包括气体压力计42及压力控制器44，其中气体压力计42系用以监测混合气体的压力值，而压力控制器44系用以控制混合气体的压力值。在本发明实施例中，压力控制器44系通信连接于气体压力计42；当气体压力计42监测出混合气体的压力值超出预设压力范围时，气体压力计42传递第一调控讯号至压力控制器44，且压力控制器44根据第一调控讯号开始动作，使混合气体的压力值回归预设压力范围。在本发明实施例中，当来自气体供应单元10、20的混合气体的流量产生变化，且气体压力计42监测来自气体供应单元10、20的混合气体的压力值超出预设压力范围(例如90～95psi)时，压力控制器44与气体压力计42循环回授且调节混合气体的压力值，直到混合气体的压力值回归且维持在该预设压力范围。
在本发明实施例中，当混合气体在气体供应单元10、20的流量变大时，压力控制器44的开度随之变大，使混合气体在第一气体质量流量控制器(MFC)14的第一侧14a及第二侧14b、第二气体质量流量控制器(MFC)24的第一侧24a及第二侧24b的压力差值保持在预定范围内(例如：预定范围为15-20psi)。当混合气体在气体供应单元10、20的流量变小时，压力控制器44的开度随之变小，使混合气体在第一气体质量流量控制器(MFC)14的第一侧14a及第二侧14b、第二气体质量流量控制器(MFC)24的第一侧24a及第二侧24b的压力差值保持在预定范围(例如：预定范围为15-20psi)内。举例来说，假设混合气体的预设压力范围为90～95psi，当气体压力计42监测出混合气体的压力值超出90～95psi时，则气体压力计42传递第一调控讯号至压力控制器44，且压力控制器44根据第一调控讯号开始动作，使混合气体的压力值回到90～95psi。在本发明实施例中，气体稳压装置40可调控混合气体的压力值，使第一气体在第一气体质量流量控制器(MFC)14的第一压力差值在15-20psi内，且第二气体在第二气体质量流量控制器(MFC)24的第二压力差值在15-20psi内。
另一方面，当混合气体的流量变大时，气体稳压装置40会自动扩大开度，避免混合气体的气压值累积在第一气体质量流量控制器(MFC)14及第二气体质量流量控制器(MFC)24二次侧的位置。反之，当混合气体的流量变小时，气体稳压装置40会自动缩小开度，以维持第一气体质量流量控制器(MFC)14及第二气体质量流量控制器(MFC)24二次侧的气体的压力值为90～95psi，使第一压力差值及第二压力差值保持在15-20psi，进而使第一气体质量流量控制器(MFC)14及第二气体质量流量控制器(MFC)24能准确地控制第一气体及第二气体的流量及混合气体的浓度精度。在本发明实施例中，压力控制器44包括质量流量控制器(MFC)、自动背压调控器(BPR)或压力控制阀(PCV)。
气体缓冲单元50连通于气体稳压装置40，用以调控混合气体的输出流量值及输出压力值。气体缓冲单元50通信连接至第一气体供应单元10及第二气体供应单元20；当气体缓冲单元50输出的混合气体的输出压力值大于或小于一输出预设值时，气体缓冲单元50传递第二调控讯号至第一气体供应单元10及第二气体供应单元20中的至少一个，第一气体供应单元10及第二气体供应单元20中的至少一个根据第二调控讯号调控第一气体及第二气体中的至少一种的输出流量。在本发明实施例中，气体缓冲单元50具有气体压力计52，用以测量气体缓冲单元50内的混合气体压力值。
详言之，第一气体质量流量控制器(MFC)14及第二气体质量流量控制器(MFC)24之第一气体及第二气体的流量系依据气体缓冲单元50内气体压力的变化作为控制条件。当气体缓冲单元50内气体的压力产生变化时，气体缓冲单元50发送讯号至一自动控制器(未图示)，再藉由自动控制器下指令，以自动调整第一气体质量流量控制器(MFC)14及第二气体质量流量控制器(MFC)24之第一气体及第二气体的流量。举例来说，藉由上述操作方法，可使气体缓冲单元50之混合气体压力值维持在75～85psi内。在本发明实施例中，若气体缓冲单元50之混合气体压力值小于设定值(如80psi)，则第一气体质量流量控制器(MFC)14及第二气体质量流量控制器(MFC)24之第一气体及第二气体的流量增加；反之，若气体缓冲单元50之混合气体压力值大于设定值(如80psi)，则第一气体质量流量控制器(MFC)14及第二气体质量流量控制器(MFC)24之第一气体及第二气体的流量减少。在本发明实施例中，气体缓冲单元50系连通于制造机台M，以提供预定浓度及预定流量的混合气体至制造机台M；制造机台M例如可为半导体制造机台。
请参考图2，图2为本发明一优选实施例的气体混合输出方法的流程图。本发明实施例所提供的气体混合输出方法，至少包括以下步骤：
步骤S02，提供多种气体；
步骤S04，混合该多种气体成混合气体；
步骤S06，利用气体稳压装置40，调控混合气体在预设压力范围，；
步骤S08，利用气体缓冲单元50，回授混合气体的输出流量值及输出压力值至供应该多种气体的多个气体供应单元10、20，使该多个气体供应单元10、20依据输出流量值及输出压力值调节来自气体供应单元10、20的混合气体的流量。在本发明实施例中，气体缓冲单元50连通于气体稳压装置40。
在本发明实施例中，气体稳压装置40包括气体压力计42及压力控制器44，气体压力计42系用以监测混合气体的压力值，且压力控制器44系用以控制混合气体的压力值。压力控制器44系通信连接于气体压力计42。当来自气体供应单元10、20的混合气体的流量产生变化，且该气体压力计42监测来自气体供应单元10、20的混合气体的压力值超出该预设压力范围时，压力控制器44从气体压力计42接收第一调控讯号，且压力控制器44根据第一调控讯号开始动作，使混合气体的压力值回归预设压力范围。在本发明实施例中，气体压力计42可发出第一调控讯号，且直接传递至压力控制器44；在实务上，气体压力计42可发出一数值监测讯号至一可程序化逻辑控制器(Programmable Logic Controller,PLC)(未图示)，再由可程序化逻辑控制器发出第一调控讯号至压力控制器44。
在本发明实施例中，多种气体系分别由多个气体供应单元提供；举例来说，多个气体供应单元包括第一气体供应单元10及第二气体供应单元20，其中第一气体供应单元10供应第一气体，而第二气体供应单元20供应第二气体。
第一气体供应单元10包括第一气体压力计12及第一气体质量流量控制器(MFC)14，而第二气体供应单元20包括第二气体压力计22及第二气体质量流量控制器(MFC)24。在本发明实施例中，第一气体压力计12系用以测量第一气体的气压值，而第一气体质量流量控制器(MFC)14系用以控制第一气体的流量值。在本发明实施例中，第二气体压力计22系用以测量第二气体的气压值，而第二气体质量流量控制器(MFC)24系用以控制第二气体的流量值。
气体混合装置30连通于第一气体供应单元10及第二气体供应单元20，使第一气体及第二气体于气体混合装置30内混合成一混合气体。在本发明实施例中，第一气体供应单元10的第一气体质量流量控制器(MFC)14及第二气体供应单元20的第二气体质量流量控制器(MFC)24系分别连通于气体混合装置30。在本发明实施例中，第一气体在第一气体质量流量控制器(MFC)14的第一侧14a及第二侧14b具有第一压力差值，且第一压力差值在15-20psi以内时，第一气体质量流量控制器(MFC)14对于第一气体具有最佳的流量调控能力；第二气体在第二气体质量流量控制器(MFC)24的第一侧24a及第二侧24b具有第二压力差值，且第二压力差值在15-20psi以内时，第二气体质量流量控制器(MFC)24对于第二气体具有最佳的流量调控能力。整体来说，当第一压力差值及第二压力差值皆在15-20psi以内时，第一气体质量流量控制器(MFC)14及第二气体质量流量控制器(MFC)24可精确地调控第一气体及第二气体的流量及混合气体的浓度精度。在本发明实施例中，第一气体在第一气体质量流量控制器(MFC)14的第一侧14a具有压力值为110psi，而第二气体在第二气体质量流量控制器(MFC)24的第一侧24a具有压力值为110psi。
气体稳压装置40连通于气体混合装置30，用以调控混合气体在预设压力范围。在本发明实施例中，气体稳压装置40系设置于气体混合装置30与气体缓冲单元50之间，且连通于气体混合装置30与气体缓冲单元50。在本发明另一实施例中，气体稳压装置40系设置于气体供应单元10、20与气体混合装置30之间，且连通于气体供应单元10、20与气体混合装置30。在本发明实施例中，气体稳压装置40包括气体压力计42及压力控制器44，其中气体压力计42系用以监测混合气体的压力值，而压力控制器44系用以控制混合气体的压力值。在本发明实施例中，压力控制器44系通信连接于气体压力计42；当气体压力计42监测出混合气体的压力值超出预设压力范围时，气体压力计42传递第一调控讯号至压力控制器44，且压力控制器44根据第一调控讯号开始动作，使混合气体的压力值回归预设压力范围。
在本发明实施例中，当混合气体在气体供应单元10、20的流量变大时，压力控制器44的开度随之变大，使混合气体在第一气体质量流量控制器(MFC)14的第一侧14a及第二侧14b、第二气体质量流量控制器(MFC)24的第一侧24a及第二侧24b的压力差值保持在预定范围内(例如：预定范围为15-20psi)。当混合气体在气体供应单元10、20的流量变小时，压力控制器44的开度随之变小，使混合气体在第一气体质量流量控制器(MFC)14的第一侧14a及第二侧14b、第二气体质量流量控制器(MFC)24的第一侧24a及第二侧24b的压力差值保持在预定范围(例如：预定范围为15-20psi)内。举例来说，假设混合气体的预设压力范围为90～95psi，当气体压力计42监测出混合气体的压力值超出90～95psi时，则气体压力计42传递第一调控讯号至压力控制器44，且压力控制器44根据第一调控讯号开始动作，使混合气体的压力值回到90～95psi。在本发明实施例中，气体稳压装置40可调控混合气体的压力值，使第一气体在第一气体质量流量控制器(MFC)14的第一压力差值15-20psi范围内，且第二气体在第二气体质量流量控制器(MFC)24的第二压力差值15-20psi范围内。
另一方面，当混合气体的流量变大时，气体稳压装置40会自动扩大开度，避免混合气体的气压值累积在第一气体质量流量控制器(MFC)14及第二气体质量流量控制器(MFC)24二次侧的位置。反之，当混合气体的流量变小时，气体稳压装置40会自动缩小开度，以维持第一气体质量流量控制器(MFC)14及第二气体质量流量控制器(MFC)24二次侧的气体的压力值为90～95psi，使第一压力差值及第二压力差值保持在15-20psi，进而使第一气体质量流量控制器(MFC)14及第二气体质量流量控制器(MFC)24能准确地控制第一气体及第二气体的流量及混合气体的浓度精度。在本发明实施例中，压力控制器44包括质量流量控制器(MFC)、自动背压调控器(BPR)或压力控制阀(PCV)。在本发明实施例中，当来自气体供应单元10、20的混合气体的流量产生变化，且气体压力计42监测来自气体供应单元10、20的混合气体的压力值超出预设压力范围(例如90～95psi)时，压力控制器44与气体压力计42循环回授且调节混合气体的压力值，直到混合气体的压力值回归且维持在该预设压力范围。
气体缓冲单元50连通于气体稳压装置40，用以调控混合气体的输出流量值及输出压力值。气体缓冲单元50通信连接至第一气体供应单元10及第二气体供应单元20；当气体缓冲单元50输出的混合气体的输出压力值大于或小于一输出预设值时，气体缓冲单元50传递第二调控讯号至第一气体供应单元10及第二气体供应单元20中的至少一个，第一气体供应单元10及第二气体供应单元20中的至少一个根据第二调控讯号调控第一气体及第二气体中的至少一种的输出流量。
详言之，第一气体质量流量控制器(MFC)14及第二气体质量流量控制器(MFC)24之第一气体及第二气体的流量系依据气体缓冲单元50内气体压力的变化作为控制条件。当气体缓冲单元50内气体的压力产生变化时，气体缓冲单元50发送讯号至一自动控制器(未图示)，再藉由自动控制器下指令，以自动调整第一气体质量流量控制器(MFC)14及第二气体质量流量控制器(MFC)24之第一气体及第二气体的流量。举例来说，藉由上述操作方法，可使气体缓冲单元50之混合气体压力值维持在75～85psi内。在本发明实施例中，若气体缓冲单元50之混合气体压力值小于设定值(如80psi)，则第一气体质量流量控制器(MFC)14及第二气体质量流量控制器(MFC)24之第一气体及第二气体的流量增加；反之，若气体缓冲单元50之混合气体压力值大于设定值(如80psi)，则第一气体质量流量控制器(MFC)14及第二气体质量流量控制器(MFC)24之第一气体及第二气体的流量减少。在本发明实施例中，气体缓冲单元50系连通于制造机台M，以提供预定浓度及预定流量的混合气体至制造机台M；制造机台M例如可为半导体制造机台。
藉由本发明实施例的设计，本发明实施例所提供的气体混合输出系统及气体混合输出方法，其利用气体稳压装置依据所需的混合气体的流量调整气体稳压装置的开度，以维持气体供应单元于一次侧及二次侧的压力差值位于一预设范围内，确保气体供应单元正常运作，准确控制气体的浓度及流量，进而维持混合气体的浓度精度。
以上所述仅为本发明优选可行实施例而已，举凡应用本发明说明书及申请专利范围所为之等效变化，理应包含在本发明之专利范围内。
附图标记说明
1气体混合输出系统
10第一气体供应单元
12第一气体压力计 14第一气体质量流量控制器(MFC)
14a第一侧 14b第二侧
20第二气体供应单元
22第二气体压力计 24第二气体质量流量控制器(MFC)
24a第一侧 24b第二侧
30气体混合装置
40气体稳压装置
42气体压力计 44压力控制器
50气体缓冲单元
52气体压力计
M制造机台
S02、S04、S06、S08步骤
Claims (14)
1.一种气体混合输出系统，包括：
多个气体供应单元，用以供应多种气体，且所述多种气体系混合成一混合气体；
一气体稳压装置，连通于所述多个气体供应单元，用以调控所述混合气体在一预设压力范围；以及
一气体缓冲单元，连通于所述气体稳压装置，用以回授所述混合气体的一输出流量值及一输出压力值至所述多个气体供应单元，使所述多个气体供应单元依据所述输出流量值及所述输出压力值调节来自所述多个气体供应单元的所述混合气体的流量；
其中，所述气体稳压装置包括一气体压力计及一压力控制器，所述气体压力计系用以监测所述混合气体的压力值，且所述压力控制器系用以控制所述混合气体的压力值；所述压力控制器系通信连接于所述气体压力计；当来自所述多个气体供应单元的所述混合气体的流量产生变化，且所述气体压力计监测来自所述多个气体供应单元的所述混合气体的压力值超出所述预设压力范围时，所述压力控制器从所述气体压力计接收一第一调控讯号，且所述压力控制器根据所述第一调控讯号开始动作，使所述混合气体的压力值回归所述预设压力范围。
2.如权利要求1所述的气体混合输出系统，其中，包括一气体混合装置，连通于所述多个气体供应单元，使所述多种气体在所述气体混合装置内混合成所述混合气体。
3.如权利要求2所述的气体混合输出系统，其中，所述气体稳压装置系设置于所述气体混合装置与所述气体缓冲单元之间，且连通于所述气体混合装置与所述气体缓冲单元。
4.如权利要求2所述的气体混合输出系统，其中，所述气体稳压装置系设置于所述多个气体供应单元与所述气体混合装置之间，且连通于所述多个气体供应单元与所述气体混合装置。
5.如权利要求1所述的气体混合输出系统，其中，当所述混合气体在所述多个气体供应单元的流量变大时，所述压力控制器的开度随之变大，使所述混合气体在所述多个气体供应单元的一次侧及二次侧的压力差值保持在一预定范围内；当所述混合气体在所述多个气体供应单元的流量变小时，所述压力控制器的开度随之变小，使所述混合气体在所述多个气体供应单元的一次侧及二次侧的压力差值保持在所述预定范围内。
6.如权利要求1所述的气体混合输出系统，其中，所述气体缓冲单元通信连接至所述多个气体供应单元，当所述气体缓冲单元输出的所述混合气体的所述输出压力值大于或小于一输出预设值时，所述气体缓冲单元传递一第二调控讯号至所述多个气体供应单元中的至少一个，使所述多个气体供应单元中的至少一个根据所述第二调控讯号调控所述多种气体中的至少一种的输出流量。
7.如权利要求1所述的气体混合输出系统，其中，当来自所述多个气体供应单元的所述混合气体的流量产生变化，且所述气体压力计监测来自所述多个气体供应单元的所述混合气体的压力值超出所述预设压力范围时，所述压力控制器与所述气体压力计循环回授且调节所述混合气体的压力值，直到所述混合气体的压力值回归且维持在所述预设压力范围。
8.一种气体混合输出方法，包括：
提供多种气体；
混合所述多种气体成一混合气体；
利用一气体稳压装置，调控所述混合气体在一预设压力范围；以及
利用一气体缓冲单元，回授所述混合气体的一输出流量值及一输出压力值至供应所述多种气体的多个气体供应单元，使所述多个气体供应单元依据所述输出流量值及所述输出压力值调节来自所述多个气体供应单元的所述混合气体的流量，所述气体缓冲单元连通于所述气体稳压装置；
其中，所述气体稳压装置包括一气体压力计及一压力控制器，所述气体压力计系用以监测所述混合气体的压力值，且所述压力控制器系用以控制所述混合气体的压力值；所述压力控制器系通信连接于所述气体压力计；当来自所述多个气体供应单元的所述混合气体的流量产生变化，且所述气体压力计监测来自所述多个气体供应单元的所述混合气体的压力值超出所述预设压力范围时，所述压力控制器从所述气体压力计接收一第一调控讯号，且所述压力控制器根据所述第一调控讯号开始动作，使所述混合气体的压力值回归所述预设压力范围。
9.如权利要求8所述的气体混合输出方法，其中，包括一气体混合装置，连通于所述多个气体供应单元，使所述多种气体于所述气体混合装置内混合成所述混合气体。
10.如权利要求9所述的气体混合输出方法，其中，所述气体稳压装置系设置于所述气体混合装置与所述气体缓冲单元之间，且连通于所述气体混合装置与所述气体缓冲单元。
11.如权利要求9所述的气体混合输出方法，其中，所述气体稳压装置系设置于所述多个气体供应单元与所述气体混合装置之间，且连通于所述多个气体供应单元与所述气体混合装置。
12.如权利要求10所述的气体混合输出方法，其中，当所述混合气体在所述多个气体供应单元的流量变大时，所述压力控制器的开度随之变大，使所述混合气体在所述多个气体供应单元的一次侧及二次侧的压力差值保持在一预定范围内；当所述混合气体在所述多个气体供应单元的流量变小时，所述压力控制器的开度随之变小，使所述混合气体在所述多个气体供应单元的一次侧及二次侧的压力差值保持在所述预定范围内。
13.如权利要求8所述的气体混合输出方法，其中，所述气体缓冲单元通信连接至多个气体供应单元，所述多个气体供应单元分别提供所述多种气体；当所述气体缓冲单元输出的所述混合气体的所述输出压力值大于或小于一输出预设值时，所述气体缓冲单元传递一第二调控讯号至所述多个气体供应单元中的至少一个，使所述多个气体供应单元中的至少一个根据所述第二调控讯号调控所述多种气体中中的至少一种的输出流量。
14.如权利要求8所述的气体混合输出方法，其中，当来自所述多个气体供应单元的所述混合气体的流量产生变化，且所述气体压力计监测来自所述多个气体供应单元的所述混合气体的压力值超出所述预设压力范围时，所述压力控制器与所述气体压力计循环回授且调节所述混合气体的压力值，直到所述混合气体的压力值回归且维持在所述预设压力范围。
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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