CN112447763A - 一种显示面板及显示器 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种显示面板,包括:金属电极;钝化层,设置于所述金属电极之上,且所述钝化层上设置有贯通至所述金属电极的过孔;偶联层,设置于所述钝化层和通过所述过孔暴露的所述金属电极之上;透明电极层,设置于所述偶联层之上。本发明通过在金属电极、钝化层与透明电极层之间添加了一层偶联层,使得该偶联层与金属电极、钝化层与透明电极层之间均产生键结,从而增大了金属电极与透明电极层、钝化层与透明电极层之间的附着力,从而有效解决了因低温制程导致的钝化层疏松的问题,从而改善了钝化层阻挡水氧的效果,使得薄膜晶体管的阈值电压不会产生负向漂移的现象,从而改善了显示效果。
Description
技术领域
本发明属于显示技术领域,具体涉及一种显示面板及显示器。
背景技术
随着信息技术的发展,人们对显示装置的需求得到了快速的增长。为了满足这种需求,以液晶显示装置(LCD,Liquid Crystal Display)、等离子体显示器(PDP,PlasmaDisplay Panel)、有机发光显示装置(OLED,Organic Light Emitting Diode)为代表的显示装置都得到了迅猛地发展。
有机发光显示装置具备自发光、高亮度、宽视角、高对比度、可挠曲、低能耗等特性,因此受到广泛的关注,并作为新一代的显示方式,已开始逐渐取代传统液晶显示装置,被广泛应用在手机屏幕、电脑显示器、全彩电视机等领域。有机电致发光器件与传统的液晶显示器不同,其无需背光源,直接在玻璃基板上设置非常薄的有机材料涂层,当有电流通过时,这些有机材料涂层就会发光。为了实现OLED显示器的全彩化,目前有三种技术,分别是三原色发光法、彩色滤光片(CF,Color Filter)法和色转换法,目前市场上的大尺寸OLED显示器主推的技术为白色有机发光二极管(WOLED,White Organic light Emitting Diode)搭配传统彩色滤光片,彩色滤光片法的原理是让发光层发出白光,再使用彩色滤光片将白色光变成R(Red)光、G(Green)光、B(Blue)光,以实现全彩显示。
但是,目前为了保护有机发光显示装置中的薄膜晶体管中较为脆弱的主动层,在制备完成薄膜晶体管后,会在低温条件下制备一层钝化层,用以保护薄膜晶体管的主动层,而低温条件下所形成的钝化层会影响水氧阻挡效果,从而影响显示效果。
发明内容
为了解决现有技术中存在的上述问题,本发明提供了一种显示面板及显示器。本发明要解决的技术问题通过以下技术方案实现:
一种显示面板,包括:
金属电极;
钝化层,设置于所述金属电极之上,且所述钝化层上设置有贯通至所述金属电极的过孔;
偶联层,设置于所述钝化层和通过所述过孔暴露的所述金属电极之上;
透明电极层,设置于所述偶联层之上。
在本发明的一个实施例中,所述金属电极包括源极和/或漏极。
在本发明的一个实施例中,所述钝化层的材料包括SiNx和/或SiOx。
在本发明的一个实施例中,所述偶联层包括硅烷偶联剂。
在本发明的一个实施例中,所述透明电极层包括ITO电极层。
在本发明的一个实施例中,还包括主动层,设置于所述金属电极和所述钝化层之下。
在本发明的一个实施例中,所述主动层的材料包括IGZO。
在本发明的一个实施例中,还包括基板、栅极、栅极绝缘层,所述栅极和所述栅极绝缘层依次设置于所述基板和所述主动层之间。
在本发明的一个实施例中,所述栅极绝缘层的材料包括SiO2。
本发明一个实施例还提供一种显示器,包括如上述任一项实施例所述的显示面板。
本发明的有益效果:
本发明通过在金属电极、钝化层与透明电极层之间添加了一层偶联层,使得该偶联层与金属电极、钝化层与透明电极层之间均产生键结,从而增大了金属电极与透明电极层、钝化层与透明电极层之间的附着力,从而有效解决了因低温制程导致的钝化层疏松的问题,从而改善了钝化层阻挡水氧的效果,使得薄膜晶体管的阈值电压不会产生负向漂移的现象,从而改善了显示效果。
以下将结合附图及实施例对本发明做进一步详细说明。
附图说明
图1为本发明实施例提供的一种显示面板的结构示意图;
图2为本发明实施例提供的一种硅烷偶联剂分子式的示意图;
图3为本发明实施例提供的另一种显示面板的结构示意图。
附图标记说明:
金属电极-101;钝化层-102;过孔-103;偶联层-104;透明电极层-105;主动层-106;栅极绝缘层-107;栅极-108;基板-109。
具体实施方式
下面结合具体实施例对本发明做进一步详细的描述,但本发明的实施方式不限于此。
实施例一
薄膜晶体管(TFT,Thin Film Transistor)是当今平板显示装置中的关键核心部件之一,薄膜晶体管对显示器件的工作性能具有十分重要的作用。薄膜晶体管是场效应晶体管的种类之一,其核心结构主要包括在基板上沉积的各种不同的薄膜,如提供电子传输沟道的主动层(Active Layer)、介电层和金属电极层。其中主动层(IGZO)活化后不能再经过高温制程,因为会产生氧空缺使得IGZO变成导体。目前为了保护主动层,在制备完成薄膜晶体管后,会在低温条件下制备一层钝化层,目前钝化层的制备一般是采用200~220度的低温制程制备而成,而由于低温制程工艺的限制,会使得钝化层较为疏松,并且钝化层一般为无机薄膜材料,由于无机薄膜材料不具有延展性,因此导致钝化层阻挡水氧的效果不佳,从而会引起薄膜晶体管的阈值电压产生负向漂移的问题,而阈值电压的负向漂移会导致薄膜晶体管失效,而最终影响显示效果。另外由于贯通钝化层的过孔一般是通过干法刻蚀方法制备而成,而干法刻蚀方法容易形成锯齿结构,使得钝化层表面粗糙,之后会导致过孔内形成的透明电极层与钝化层之间附着力不佳的问题,从而使得透明电极层易于从钝化层上剥离。
基于上述原因,本实施例提供了一种显示面板,请参见图1,图1为本发明实施例提供的一种显示面板的结构示意图,该显示面板包括金属电极101、钝化层102、偶联层104和透明电极层105,其中,钝化层102设置于金属电极之上,并且在钝化层102上设置有贯通至金属电极101的过孔103,偶联层104设置于钝化层102和通过过孔103暴露的金属电极101之上,同时透明电极层105设置于偶联层104之上。
具体地,本实施例的偶联层104具体可以为一种具有双官能基的结构,偶联层104可在无机物质和有机物质的界面之间架起“分子桥”,把两种性质悬殊的材料连接在一起,从而增强介于偶联层104两侧的结构之间的粘接强度,因此本实施例通过在钝化层102和透明电极层105之间设置一层偶联层104,使得本实施例的偶联层104不仅可以与钝化层102产生氢键或化学键结,同时偶联层104还可以与透明电极层105之间产生氢键或化学键结,通过偶联层104在钝化层102与透明电极层105之间架起“分子桥”,增强了钝化层102与透明电极层105之间的附着力,另外偶联层104还能够填补钝化层102表面的微孔结构,从而进一步增强了钝化层102与透明电极层105之间的附着力,有效解决了钝化层102要同时兼顾满足低温制程与阻挡水氧能力所面临的材料选择受限制的问题,同时避免了因低温制程导致的钝化层102疏松的问题,使得钝化层102能够有效的起到阻挡外界水氧的效果,从而改善了薄膜晶体管的阈值电压产生负向漂移现象的问题,由此改善了显示面板的显示效果。
另外,本实施例在钝化层102和通过过孔103暴露的金属电极101之间设置一层偶联层,使得本实施例的偶联层104不仅可以与金属电极101产生氢键或化学键结,同时偶联层104还可以与透明电极层105之间产生氢键或化学键结,增强了金属电极101与透明电极层105之间的附着力,使得金属电极101与透明电极层105能够紧密连接,从而避免了透明电极层105易于从金属电极101上脱落的问题,进一步地保证了显示面板的显示效果。
另外,本实施例的显示面板其它结构属于本领域的公知常识,其制备和位置均与本领域常规的方式相同,因此对于其它结构本实施例不再赘述。
实施例二
为了更好的对实施例一的显示面板进行说明,本实施例在上述实施例的基础上对显示面板的具体结构进行具体说明。
目前在钝化层的制作工艺中,一般都是以沉积方法(例如化学气相沉积(CVD,Chemical Vapor Deposition))制备而成,因为TFT基板不能承受较高的退火温度,所以钝化层的沉积制程必须在相对低温下进行。因此,为了解决在低温制程中导致的钝化层阻挡水氧效果差的问题,请参见图2,本实施例将偶联层104选择为硅烷偶联剂(Y-R-Si(OR)3),并将Y-R-记为X,硅烷偶联剂中的硅烷氧基遇水会产生分解变成硅烷醇羟基,硅烷偶联剂中的-X基团经氧电浆作用后形成-OH基,上述所形成的基团与无机界面进行氢结合性的吸附,随后通过对无机材料进行干燥处理,则会发生脱水缩合反应,形成坚固的化学键。
请参见图1,因此在钝化层102上通过干法刻蚀工艺形成过孔103后,可以使用喷涂工艺先在钝化层102上涂布一层硅烷偶联剂,之后再在硅烷偶联剂上沉积透明导电层105,硅烷偶联剂与金属电极101、钝化层102、透明导电层105均会发生化学反应,因此通过硅烷偶联剂在金属电极101与透明导电层105的界面之间、钝化层102与透明导电层105的界面之间架起“分子桥”,把金属电极101与透明导电层105、钝化层102与透明导电层105连接在一起,从而增强了金属电极101与透明导电层105、钝化层102与透明导电层105之间的附着力。本实施例通过硅烷偶联剂增强了钝化层102与透明导电层105之间的附着力,同时还通过硅烷偶联剂填补了钝化层102表面的微孔结构,避免了因低温制程导致的钝化层102疏松的问题,使得钝化层102能够有效的起到阻挡外界水氧的效果,改善了薄膜晶体管的阈值电压产生负向漂移现象的问题,由此改善了显示面板的显示效果。另外,本实施例还通过硅烷偶联剂增强了金属电极101与透明导电层105之间的附着力,从而避免了透明电极层105易于从钝化层102上脱落的问题,进一步地保证了显示面板的显示效果。
进一步地,本实施例的硅烷偶联剂中的硅烷氧基团遇水而产生分解变成硅烷醇羟基,硅烷偶联剂的X基团经氧电浆作用后形成OH基,其与无机界面进行氢结合性的吸附,随后通过对无机材料进行干燥处理,发生脱水缩合反应,从而形成坚固的化学键。
进一步地,本实施例的硅烷偶联剂的厚度可以为1nm-10nm,因为若硅烷偶联剂的厚度小于1nm,则不能达到增强金属电极101与透明导电层105、钝化层102与透明导电层105之间的附着力,同时也不能使钝化层102起到阻挡外界水氧的效果,若硅烷偶联剂的厚度大于10nm,则硅烷偶联剂会存在材料裂解的风险,从而也不能达到增强金属电极101与透明导电层105、钝化层102与透明导电层105之间的附着力,同时硅烷偶联剂过厚时会增加制备成本。
进一步地,本实施例的金属电极101包括源极和/或漏极。其中,源极为起集电作用的电极,漏极为起发射作用的电极。本实施例在源极与透明电极层、漏极与透明电极层之间添加一层硅烷偶联剂,从而增强了源极与透明电极层、漏极与透明电极层之间的附着力,避免了透明电极层易于从源极和漏极上剥落的问题。
进一步地,本实施例钝化层102的材料例如可以包括SiNx和/或SiOx。SiNx和SiOx可以有效避免H扩散到主动层上,从而起到保护作用。另外,硅烷偶联剂能够与SiNx和SiOx之间形成坚固的化学键,同时还能有效填补SiNx和SiOx表面的微孔结构,从而使得钝化层102能够同时兼顾满足低温制程与阻挡水氧能力的效果。
进一步地,透明电极层包括ITO(Indiun Tin Oxide,氧化铟锡)电极层。ITO电极层因为具有良好的可见光透过率和电导率、高的机械强度和化学稳定性,所以成为了平板显示器最常用的材料,ITO电极层同时具有优良的空穴注入能力,因此被用于有机电致发光器件的透明电极。因此ITO电极与源极和漏极之间的附着力影响最终的显示效果,而ITO电极与源极和漏极之间的附着力若是过小,则会使得ITO电极易于剥离,本实施例为了增强ITO电极与源极和漏极之间的附着力,在ITO电极与源极之间、ITO电极与漏极之间添加了一层硅烷偶联剂,因为硅烷偶联剂的作用从而增强了ITO电极与源极和漏极之间的附着力,避免了ITO电极易于剥离的问题。
另外,请参见图3,本实施例的显示面板还包括主动层106,主动层用于提供电子传输沟道。进一步地,主动层的材料包括IGZO(Indium Gallium Zinc Oxide,铟镓锌氧化物)。常见的TFT驱动分类主要有a-Si TFT(非晶硅),但是目前对于分辨率到达全高清(Full HD,例如分辨率为1920*1080P)乃至超高清(Ultra Definition,例如分辨率为4k*)的显示面板时,a-Si TFT存在功耗较高的问题,而利用IGZO作为主动层的材料,则可以降低显示面板的功耗。
请再次参见图3,本实施例的显示面板还包括基板109、栅极108、栅极绝缘层107,且栅极108和栅极绝缘层107依次设置于基板109和主动层106之间。
进一步地,基板109的材质可以是玻璃、石英等半导体材料,也可以是有机物聚合物等。
在场效应晶体管中,施加给栅极的电压通过栅极绝缘层作用在主动层上,由此控制漏极电流的开与关。因此,要求将用于有机场效应晶体管的栅极绝缘层材料在形成为薄膜时具有优良的绝缘性质和电击穿强度。因此栅极绝缘层107的材料一般为无机材料,例如二氧化硅、氮化硅或者氧化铝等由于优良的电学特性和稳定的性质而表现突出,优选地,栅极绝缘层的材料为二氧化硅,因为二氧化硅具有较低的折射率、薄膜层牢固、保护能力强、对光的吸收小等特点,因此非常适合于作为氧化物半导体器件的栅极绝缘介质体。二氧化硅的制备方法可以为热生长法、磁控溅射法和PECVD(Plasma Enhanced Chemical VaporDeposition等离子体增强化学气相沉积法)等,而等离子体法由于适合于较大基板、均匀性好和工艺简单而被经常使用。
另外,本实施例的显示面板其它结构属于本领域的公知常识,其制备和位置均与本领域常规的方式相同,因此对于其它结构本实施例不再赘述。
实施例三
本发明实施例还提供一种显示器,该显示器为OLED显示器,该OLED显示器包括上述实施例所述的显示面板。该显示器例如可以为:LTPO显示装置、Micro LED显示装置、电子纸、OLED面板、AMOLED面板、手机、平板电脑、电视机、显示器、笔记本电脑、数码相框等任何具有显示功能的产品或部件。
具体地,请再次参见图3,本实施例的显示面板具体可以包括金属电极101、钝化层102、偶联层104、透明电极层105、主动层106、基板109、栅极108、栅极绝缘层107,其中,钝化层102设置于金属电极之上,并且在钝化层102上设置有贯通至金属电极101的过孔103,偶联层104设置于钝化层102和通过过孔103暴露的金属电极101之上,同时透明电极层105设置于偶联层104之上,主动层106设置于金属电极101和钝化层102之下,且栅极108和栅极绝缘层107依次设置于基板109和主动层106之间。
本实施例通过在钝化层102和透明电极层105之间设置一层偶联层104,使得本实施例的偶联层104不仅可以与钝化层102产生氢键或化学键结,同时偶联层104还可以与透明电极层105之间产生氢键或化学键结,增强了钝化层102与透明电极层105之间的附着力,另外偶联层104还能够填补钝化层102表面的微孔结构,从而进一步增强了钝化层102与透明电极层105之间的附着力,避免了因低温制程导致的钝化层102疏松的问题,使得钝化层102能够有效的起到阻挡外界水氧的效果,从而改善了薄膜晶体管的阈值电压产生负向漂移现象的问题,由此改善了显示面板的显示效果。
进一步地,本实施例将偶联层104选择为硅烷偶联剂(Y-R-Si(OR)3),通过硅烷偶联剂在金属电极101与透明导电层105的界面之间、钝化层102与透明导电层105的界面之间架起“分子桥”,把金属电极101与透明导电层105、钝化层102与透明导电层105连接在一起,从而增强了金属电极101与透明导电层105、钝化层102与透明导电层105之间的附着力。本实施例通过硅烷偶联剂增强了钝化层102与透明导电层105之间的附着力,同时还通过硅烷偶联剂填补了钝化层102表面的微孔结构,避免了因低温制程导致的钝化层102疏松的问题,使得钝化层102能够有效的起到阻挡外界水氧的效果,改善了薄膜晶体管的阈值电压产生负向漂移现象的问题,由此改善了显示面板的显示效果。另外,本实施例还通过硅烷偶联剂增强了金属电极101与透明导电层105之间的附着力,从而避免了透明电极层105易于从钝化层102上脱落的问题,进一步地保证了显示面板的显示效果。
进一步地,本实施例的金属电极101包括源极和/或漏极。本实施例在源极与透明电极层、漏极与透明电极层之间添加一层硅烷偶联剂,从而增强了源极与透明电极层、漏极与透明电极层之间的附着力,避免了透明电极层易于从源极和漏极上剥落的问题。
进一步地,本实施例钝化层102的材料例如可以包括SiNx和/或SiOx。硅烷偶联剂能够与SiNx和SiOx之间形成坚固的化学键,同时还能有效填补SiNx和SiOx表面的微孔结构,从而使得钝化层102能够同时兼顾满足低温制程与阻挡水氧能力的效果。
进一步地,透明电极层包括ITO(Indiun Tin Oxide,氧化铟锡)电极层。本实施例为了增强ITO电极与源极和漏极之间的附着力,在ITO电极与源极之间、ITO电极与漏极之间添加了一层硅烷偶联剂,因为硅烷偶联剂的作用从而增强了ITO电极与源极和漏极之间的附着力,避免了ITO电极易于剥离的问题。
本发明实施例提供的显示面板,其实现原理和技术效果与上述实施例所提供的显示面板类似,在此不再赘述。
需要说明的是,本实施例的显示器的其它结构属于本领域的公知常识,其制备和位置均与本领域常规的方式相同,因此对于其它结构本实施例不再赘述。
实施例四
本发明实施例还提供另一种显示器,该显示器为液晶显示器,液晶显示器属于低耗电产品,可以做到完全不发热(主要耗电和发热部分存在于背光灯管或LED),而CRT显示器,因显像技术不可避免产生高温;液晶显示器的机身薄,节省空间,与比较笨重的CRT显示器相比,液晶显示器只要前者三分之一的空间;液晶显示器的辐射远低于CRT显示器,这对于整天在电脑前工作的人来说是一个福音;液晶显示器画面不会闪烁,可以减少显示器对眼睛的伤害,眼睛不容易疲劳。因此,液晶显示器得到了越来越多的应用,例如显示器可以应用于:LTPO显示装置、Micro LED显示装置、液晶面板、电子纸、OLED面板、AMOLED面板、手机、平板电脑、电视机、显示器、笔记本电脑、数码相框等任何具有显示功能的产品或部件。
本实施例所提供的液晶显示器,包括:液晶显示面板以及背光模组。
在一个具体实施例中,背光模组由该背光模组出射的光入射至该液晶显示面板,从而为液晶显示面板提供光源。具体地,背光模组可以包含光源、导光元件、光学膜片,光源所投射出的光线,经由导光元件形成一面光源,再透过光学膜片增益其亮度,最后自液晶显示面板显示其画面。其中,光源、导光元件及光学膜片通常组装于框架结构内,并在其边缘以胶带贴合。
请再次参见图3,本实施例的液晶显示面板具体可以包括金属电极101、钝化层102、偶联层104、透明电极层105、主动层106、基板109、栅极108、栅极绝缘层107,其中,钝化层102设置于金属电极之上,并且在钝化层102上设置有贯通至金属电极101的过孔103,偶联层104设置于钝化层102和通过过孔103暴露的金属电极101之上,同时透明电极层105设置于偶联层104之上,主动层106设置于金属电极101和钝化层102之下,且栅极108和栅极绝缘层107依次设置于基板109和主动层106之间。
进一步地,本实施例将偶联层104选择为硅烷偶联剂(Y-R-Si(OR)3),硅烷偶联剂增强了金属电极101与透明导电层105、钝化层102与透明导电层105之间的附着力。本实施例还通过硅烷偶联剂填补了钝化层102表面的微孔结构,使得钝化层102能够有效的起到阻挡外界水氧的效果,本实施例还通过硅烷偶联剂增强了金属电极101与透明导电层105之间的附着力。
进一步地,本实施例的金属电极101包括源极和/或漏极。本实施例在源极与透明电极层、漏极与透明电极层之间添加一层硅烷偶联剂,从而增强了源极与透明电极层、漏极与透明电极层之间的附着力,避免了透明电极层易于从源极和漏极上剥落的问题。
进一步地,本实施例钝化层102的材料例如可以包括SiNx和/或SiOx。
进一步地,透明电极层包括ITO电极层。
本发明实施例提供的显示面板,其实现原理和技术效果与上述实施例所述的显示面板类似,在此不再赘述。
需要说明的是,本实施例的显示器的其它结构属于本领域的公知常识,其制备和位置均与本领域常规的方式相同,因此对于其它结构本实施例不再赘述。
在本发明的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本发明和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明的限制。
此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中,“多个”的含义是两个或两个以上,除非另有明确具体的限定。
在本发明中,除非另有明确的规定和限定,第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触,也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且,第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方,或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方,或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
在本说明书的描述中,参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中,对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且,描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外,本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例进行接合和组合。
在本说明书的描述中,参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中,对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且,描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外,本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例进行接合和组合。
以上内容是结合具体的优选实施方式对本发明所作的进一步详细说明,不能认定本发明的具体实施只局限于这些说明。对于本发明所属技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明构思的前提下,还可以做出若干简单推演或替换,都应当视为属于本发明的保护范围。
Claims (10)
1.一种显示面板,其特征在于,包括:
金属电极;
钝化层,设置于所述金属电极之上,且所述钝化层上设置有贯通至所述金属电极的过孔;
偶联层,设置于所述钝化层和通过所述过孔暴露的所述金属电极之上;
透明电极层,设置于所述偶联层之上。
2.根据权利要求1所述的显示面板,其特征在于,所述金属电极包括源极和/或漏极。
3.根据权利要求1所述的显示面板,其特征在于,所述钝化层的材料包括SiNx和/或SiOx。
4.根据权利要求1所述的显示面板,其特征在于,所述偶联层包括硅烷偶联剂。
5.根据权利要求1所述的显示面板,其特征在于,所述透明电极层包括ITO电极层。
6.根据权利要求1所述的显示面板,其特征在于,还包括主动层,设置于所述金属电极和所述钝化层之下。
7.根据权利要求6所述的显示面板,其特征在于,所述主动层的材料包括IGZO。
8.根据权利要求6所述的显示面板,其特征在于,还包括基板、栅极、栅极绝缘层,所述栅极和所述栅极绝缘层依次设置于所述基板和所述主动层之间。
9.根据权利要求8所述的显示面板,其特征在于,所述栅极绝缘层的材料包括SiO2。
10.一种显示器,其特征在于,包括如权利要求1至9任一项所述的显示面板。
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CN113838974A (zh) * | 2021-09-24 | 2021-12-24 | 长江先进存储产业创新中心有限责任公司 | 相变存储器及其制备方法 |
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