CN112410757B - 一种管式反应器的布气法兰 - Google Patents
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- 239000007787 solid Substances 0.000 claims abstract description 8
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 4
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 11
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 10
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 4
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 2
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 2
- 241001391944 Commicarpus scandens Species 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
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- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/455—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for introducing gases into reaction chamber or for modifying gas flows in reaction chamber
- C23C16/45563—Gas nozzles
- C23C16/4558—Perforated rings
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- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
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Abstract
一种管式反应器的布气法兰，包括圆形的法兰本体，所述的法兰本体的周向内侧设有若干第一环形槽，所述的若干第一环形槽沿法兰本体轴向间隔布置，每个第一环形槽的开口侧均设有与第一环形槽相匹配的挡圈，挡圈的周向内侧与法兰本体周向内侧相平齐，每个第一环形槽与对应的挡圈形成一个环形气道，所述的每个挡圈周向均布有若干连通第一环形槽内外的通孔，所述的每个通孔上均设有与通孔相匹配的柱塞，所述的柱塞为实心柱塞或带有穿孔的柱塞，法兰本体周向外侧设有若干气孔，气孔在法兰本体外侧沿法兰本体周向间隔布置，所述的气孔与第一环形槽一一对应且相对应的气孔与第一环形槽相连通。本布气法兰布气均匀且可以根据需要调节进气的大小、流向。
Description
技术领域
本发明涉及一种管式反应器的布气法兰。
背景技术
化学气相沉积镀膜工艺中，管式反应器进气方式包括单炉口进气、单炉尾进气或者两者结合，现有的管式反应器进气炉口布气装置是在法兰上安装两根气管，只有两点进气，布气不均匀且无法调节进气的大小、流向，现有技术也有采用喷淋板，喷淋版和管式反应器无法集成到一起，是分体式，在自动化设备上设计复杂，也无法对进气进行调节。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种布气均匀且可以调节进气的大小、流向的管式反应器的布气法兰。
为解决上述技术问题，本发明提供了一种管式反应器的布气法兰，包括圆形的法兰本体，所述的法兰本体的周向内侧设有若干第一环形槽，所述的若干第一环形槽沿法兰本体轴向间隔布置，每个第一环形槽的开口侧均设有与第一环形槽相匹配的挡圈，挡圈的周向内侧与法兰本体周向内侧相平齐，每个第一环形槽与对应的挡圈形成一个环形气道，所述的每个挡圈周向均布有若干连通第一环形槽内外的通孔，所述的每个通孔上均设有与通孔相匹配的柱塞，所述的柱塞为实心柱塞或带有穿孔的柱塞，法兰本体周向外侧设有若干气孔，气孔在法兰本体外侧沿法兰本体周向间隔布置，所述的气孔与第一环形槽一一对应且相对应的气孔与第一环形槽相连通。
为简单说明问题起见，以下对本发明所述的一种管式反应器的布气法兰均简称为本布气法兰。
本布气法兰的使用方法为：将本布气法兰安装于管式反应器的管口处，然后将镀膜气体的管路分别接在气孔上，然后根据镀膜的要求在对应的通孔上安装具有不同孔径的穿孔的柱塞或者实心柱塞，然后控制与管式反应器配合的盲板将管式反应器管口密封，然后抽真空、加热，最后通入镀膜气体完成镀膜。
本布气法兰的优点在于：本布气法兰布气均匀且可以通过更换不同孔径的柱塞或者实心柱塞来调节进气的大小、流向，从而应对不同种类的镀膜需求。
为更好的达到本布气法兰的使用效果，其优选方案如下：
作为优选的，所述的法兰本体内设有一个沿法兰本体周向布置的环形水道，所述的环形水道内设有一个与环形水道相匹配的隔板，法兰本体周向外侧位置上对应环形水道中隔板的两侧处分别设有一个连通环形水道的通道。
两个与环形水道连通的通道一个为进水口、另一个为出水口，这样可以在法兰本体内构成循环水路，对法兰本体起到降温的作用，保护法兰本体不被加热炉高温损坏。
作为优选的，所述的法兰本体至少一个轴向侧面上设有沿法兰本体周向布置的第二环形槽，所述的第二环形槽的开口处为收口结构。
当本布气法兰需要与其他法兰配合时，在对应的轴向侧面的第二环形槽内安装与之相匹配的橡胶圈可以增加法兰配合的气密性，收口结构可以使橡胶圈安装更加稳定，不易脱出。
作为优选的，所述的柱塞与通孔为螺纹配合。
柱塞与通孔螺纹配合，安装和拆卸方便快捷，便于根据需要进行更换。
作为优选的，所述的位置上相邻的挡圈上的通孔位置上交错布置。
相邻位置上的挡圈上的通孔位置上交错布置可以使得本布气法兰布气更加均匀。
附图说明
图1是本布气法兰的主视图。
图2是本布气法兰的左视图。
图3是本布气法兰的俯视图。
图4是图1的A-A剖视图。
图5是图2的E-E局部剖视放大图。
图6是图3的F-F局部剖视放大图。
图7是图4的D-D局部剖视放大图。
图8是图4的B部局部放大图。
图9是图8的C部局部放大图。
具体实施方式
参见图1-图9，一种管式反应器的布气法兰，包括圆形的法兰本体1，所述的法兰本体1的周向内侧设有若干第一环形槽2，所述的若干第一环形槽2沿法兰本体1轴向间隔布置，每个第一环形槽2的开口侧均设有与第一环形槽2相匹配的挡圈21，挡圈21的周向内侧与法兰本体1周向内侧相平齐，每个第一环形槽2与对应的挡圈21形成一个环形气道，所述的每个挡圈21周向均布有若干连通第一环形槽2内外的通孔211，所述的位置上相邻的挡圈21上的通孔211位置上交错布置，所述的每个通孔211上均设有与通孔211相匹配的柱塞212，所述的柱塞212与通孔211为螺纹配合，所述的柱塞212为实心柱塞212或带有穿孔213的柱塞212，法兰本体1周向外侧设有若干气孔22，气孔22在法兰本体1外侧沿法兰本体1周向间隔布置，所述的气孔22与第一环形槽2一一对应且相对应的气孔22与第一环形槽2相连通。
所述的法兰本体1内还设有一个沿法兰本体1周向布置的环形水道3，所述的环形水道3内设有一个与环形水道3相匹配的隔板31，法兰本体1周向外侧位置上对应环形水道3中隔板31的两侧处分别设有一个连通环形水道3的通道32。
所述的法兰本体1至少一个轴向侧面上设有沿法兰本体1周向布置的第二环形槽4，所述的第二环形槽4的开口处为收口结构。
本布气法兰的使用方法为：将本布气法兰安装于管式反应器的管口处，然后将镀膜气体的管路分别接在气孔22上，然后根据镀膜的要求在对应的通孔211上安装具有不同孔径的穿孔213的柱塞212或者实心柱塞212，然后控制与管式反应器配合的盲板将管式反应器管口密封，然后抽真空、加热，最后通入镀膜气体完成镀膜(盲板密封、抽真空和加热是由与管式反应器匹配的其它组件完成，是本领域的常规技术，此处不做详细描述)。
本布气法兰的优点在于：本布气法兰布气均匀且可以通过更换不同孔径的柱塞212或者实心柱塞212来调节进气的大小、流向，从而应对不同种类的镀膜需求。
两个与环形水道3连通的通道32一个为进水口、另一个为出水口，这样可以在法兰本体1内构成循环水路，对法兰本体1起到降温的作用，保护法兰本体1不被加热炉高温损坏。
当本布气法兰需要与其他法兰配合时，在对应的轴向侧面的第二环形槽4内安装与之相匹配的橡胶圈可以增加法兰配合的气密性，收口结构可以使橡胶圈安装更加稳定，不易脱出(橡胶圈图中未示出)。
柱塞212与通孔211螺纹配合，安装和拆卸方便快捷，便于根据需要进行更换。
相邻位置上的挡圈上的通孔211位置上交错布置可以使得本布气法兰布气更加均匀。
需要说明的是，本实施例附图中法兰本体1的形状是基于实际使用时对应的管式反应器的结构来设计的，本专利所要保护的技术特征与法兰本体的具体形状没有直接关系，所以改变法兰本体的形状、尺寸，或者对本专利的技术特征做出等同替换的均属于本专利的保护范围。
Claims (1)
1.一种管式反应器的布气法兰，包括圆形的法兰本体，其特征在于：所述的法兰本体的周向内侧设有若干第一环形槽，所述的若干第一环形槽沿法兰本体轴向间隔布置，每个第一环形槽的开口侧均设有与第一环形槽相匹配的挡圈，挡圈的周向内侧与法兰本体周向内侧相平齐，每个第一环形槽与对应的挡圈形成一个环形气道，每个挡圈周向均布有若干连通第一环形槽内外的通孔，所述的每个通孔上均设有与通孔相匹配的柱塞，所述的柱塞为实心柱塞或带有穿孔的柱塞，法兰本体周向外侧设有若干气孔，气孔在法兰本体外侧沿法兰本体周向间隔布置，所述的气孔与第一环形槽一一对应且相对应的气孔与第一环形槽相连通；
所述的法兰本体内设有一个沿法兰本体周向布置的环形水道，所述的环形水道内设有一个与环形水道相匹配的隔板，法兰本体周向外侧位置上对应环形水道中隔板的两侧处分别设有一个连通环形水道的通道；
所述的法兰本体至少一个轴向侧面上设有沿法兰本体周向布置的第二环形槽，所述的第二环形槽的开口处为收口结构；
所述的柱塞与通孔为螺纹配合；
相邻位置上的挡圈上的通孔位置上交错布置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201910773990.5A CN112410757B (zh) | 2019-08-21 | 2019-08-21 | 一种管式反应器的布气法兰 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201910773990.5A CN112410757B (zh) | 2019-08-21 | 2019-08-21 | 一种管式反应器的布气法兰 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN112410757A CN112410757A (zh) | 2021-02-26 |
| CN112410757B true CN112410757B (zh) | 2025-03-11 |
Family
ID=74780102
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201910773990.5A Active CN112410757B (zh) | 2019-08-21 | 2019-08-21 | 一种管式反应器的布气法兰 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN112410757B (zh) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115287631A (zh) * | 2022-08-10 | 2022-11-04 | 江苏微导纳米科技股份有限公司 | 进气件、管式反应器及控制方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN211005611U (zh) * | 2019-08-21 | 2020-07-14 | 普乐新能源（蚌埠）有限公司 | 一种管式反应器的布气法兰 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101488446B (zh) * | 2008-01-14 | 2010-09-01 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 等离子体处理设备及其气体分配装置 |
| CN101899653B (zh) * | 2010-07-23 | 2013-01-23 | 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司 | 一种工艺气体的输送法兰 |
| CN207031544U (zh) * | 2017-05-03 | 2018-02-23 | 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司 | 一种pecvd设备炉口进气结构 |
-
2019
- 2019-08-21 CN CN201910773990.5A patent/CN112410757B/zh active Active
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN211005611U (zh) * | 2019-08-21 | 2020-07-14 | 普乐新能源（蚌埠）有限公司 | 一种管式反应器的布气法兰 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN112410757A (zh) | 2021-02-26 |
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|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |