CN111924252A - 晶圆盒贴标签装置及晶圆盒贴标签的方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种晶圆盒贴标签装置，包括：标签上料结构，用于提供卷状的标签纸，所述标签纸包括底纸和间隔设置于所述底纸上的多个空白标签；标签打印结构，用于在所述标签纸上的空白标签上打印条码信息；标签剥离结构，用于将打印了条码信息的标签和所述底纸进行剥离；标签检测结构，用于检测当前标签上的条码信息是否与预先存储的当前待贴标签的晶圆盒信息一致；晶圆盒传送结构，用于将待贴标签的晶圆盒传送至预设位置；标签移贴结构，包括万向机械臂和设置于所述机械臂一端的吸取部，用于将经过所述标签检测结构检测合格的标签粘贴于当前待贴标签的晶圆盒的至少一个表面的预设区域。本发明还涉及一种晶圆盒贴标签的方法。

Description

晶圆盒贴标签装置及晶圆盒贴标签的方法

技术领域

本发明涉及晶圆产品制作技术领域，尤其涉及一种晶圆盒贴标签装置及晶圆盒贴标签的方法。

背景技术

经过拉晶、成型、抛光和清洗，甚至外延等工序完成晶圆的制造后，通过分选机将晶圆装载到出货专用的晶圆盒(front open shipping box，简称FOSB)内并连同晶圆盒一同发送给客户。装载有晶圆的晶圆盒在从晶圆厂出货前还需进行最后一道打包确认流程，通常包括如下几个步骤：扫描晶圆盒的盒子ID(通常为RFID标签)，以确认晶圆盒信息与系统中的出货信息相匹配；打印出系统上对应的待出货晶圆的标签(通常为带二维码和条形码的标签)，并将标签贴置在晶圆盒的指定的一个或多个位置；所有标签都贴好后再次扫描确认所有标签中的晶圆的批号信息(lot ID)是否与出货信息相匹配，在完全匹配的情况下才将晶圆打包好，交付出货。

目前对于打包确认流程都是由工作人员手动操作完成，即工作人员手动扫描晶圆盒ID，确认晶圆盒信息与系统中的出货信息是否相匹配，接着将系统生成的晶圆出货信息通过打印机打印标签上并贴于晶圆盒的指定的一个或多个位置，工作人员手动拿着扫码枪对标签依次进行扫描，保证每个条码都能被扫出来并与系统中的信息逐个比对，确保信息都准确无误，最后按照客户要求装箱打包，交付给客户。采取这种手动方式不足之处在于：第一，人工贴标会不可避免的出现漏贴、错贴、标签位置不统一等问题；第二，标签可能要贴于晶圆盒的多个表面，不容易扫到标签，需要转动或者翻转晶圆盒，在转动或者翻转晶圆盒时难免晃动晶圆盒中的晶圆，导致晶圆损坏甚至报废，而片晶圆的价值都很高，会造成大量损失；第三，对多个位置的标签检测通常出现重复及遗漏操作，导致标签缺失、标签信息无法读取及不匹配的情况时有发生，导致客户投诉率增加；第四，手动操作工作效率低下，生产成本增加。

发明内容

为了解决上述技术问题，本发明提供一种晶圆盒贴标签装置及晶圆盒贴标签的方法，解决人工贴标签容易出错、且效率低的问题。

为了达到上述目的，本发明实施例采用的技术方案是：一种晶圆盒贴标签装置，包括：

标签上料结构，用于提供卷状的标签纸，所述标签纸包括底纸和间隔设置于所述底纸上的多个空白标签；

标签打印结构，用于在所述标签纸上的空白标签上打印条码信息；

标签剥离结构，用于将打印有条码信息的标签与所述底纸进行剥离；

标签检测结构，用于检测当前标签上的条码信息是否与预先存储的当前待贴标签的晶圆盒信息一致，若当前标签上的条码信息与预先存储的当前待贴标签的晶圆盒信息一致，则检测合格；

晶圆盒传送结构，用于将待贴标签的晶圆盒传送至预设位置；

标签移贴结构，包括万向机械臂和设置于所述机械臂一端的吸取部，用于将经过所述标签检测结构检测合格的标签粘贴于当前待贴标签的晶圆盒的至少一个表面的预设区域。

可选的，所述标签打印结构包括第一载台以及设置于所述第一载台上的打印机，所述打印机包括进料口和出料口，所述进料口和所述出料口均设置有引导标签纸的移动方向的第一导向部。

可选的，所述第一导向部包括固定于所述进料口或所述出料口的相对的两侧的两个固定架，以及沿第一方向层叠设置的两个第一导向杆，每个所述第一导向杆的两端分别固定于两个所述固定架上，两个所述第一导向杆之间具有能够使得标签纸通过的间隙，所述第一方向与所述标签的移动方向相垂直。

可选的，所述标签上料结构包括第二载台，所述第二载台上固定有支架，所述支架上设置有能够固定卷状的标签纸的上料筒，所述上料筒位于所述打印机的进料口一侧，所述上料筒的延伸方向与所述第二载台的表面相平行，且所述上料筒的延伸方向与所述第一导向杆的延伸方向相平行。

可选的，所述标签剥离结构包括基台和设置于所述基台上、相对设置的第一固定板和第二固定板，所述第一固定板和所述第二固定板之间沿着标签纸的移动方向依次设置有第二导向部、剥离部和底纸回收部；

所述第二导向部包括第二导向杆和导向板，所述导向板包括两个相对设置的夹耳固定于所述第二导向杆上，所述第二导向杆和所述导向板之间具有能够使得标签纸通过的间隙；

所述剥离部包括叠置且相平行设置的压板和托板，所述托板包括靠近所述导向板的第一端和与所述第一端相对设置的第二端，所述第一端与所述导向板位于同一平面，且所述托板沿着从所述第二端到所述第一端的方向倾斜设置、以使得标签纸通过所述压板和所述托板之间的间隙时、使得标签与底纸剥离；

所述剥离部还包括位于所述托板远离所述导向板的一侧的剥离板，标签纸从所述托板和所述剥离板之间通过、标签位于所述剥离板的表面，底纸穿过所述托板和所述剥离板之间的间隙；

所述底纸回收部包括一端固定于所述第一固定板上的收料筒，所述收料筒的延伸方向与标签纸的延伸方向相垂直、能够转动以缠绕与标签剥离的底纸。

可选的，所述标签剥离结构还包括设置于所述第二导向部远离所述剥离部的一侧的第三导向部，所述第三导向部包括一端固定于所述第一固定板上的导向轴，所述导向轴的轴向方向与标签纸的移动方向相垂直，所述导向轴上套设有能够绕所述导向轴转动的导向轮，所述导向轮包括管状本体，和设置于所述管状本体的相对的两端的限位挡板。

可选的，所述导向轴与所述基台之间的距离为第一距离、所述第二导向杆与所述基台之间的距离为第二距离、所述压板与所述基台之间的距离为第三距离，所述第一距离大于第二距离，所述第二距离大于所述第三距离。

可选的，所述标签移贴结构包括基板，设置于所述基板上的旋转轴，所述机械臂与所述旋转轴的一端旋转连接；

所述机械臂包括通过第一转动关节与所述旋转轴连接的第一连接臂，通过第二转动关节与所述第一连接臂连接的第二连接臂，通过第三转动关节与所述第二连接臂转动连接的第三连接臂，通过第四转动关节与所述第三连接臂连接的第四连接臂；

所述吸取部通过第五转动关节可转动的连接于所述第四连接臂的一端；

其中，所述第一转动关节能够使得所述第一连接臂在垂直于所述基板所在的平面的第一平面内转动，所述第二转动关节能够使得所述第二连接臂在所述第一平面内转动，所述第三转动关节能够使得所述第三连接臂绕所述第二连接臂旋转，所述第四转动关节能够使得所述第四连接臂在所述第三连接臂所在的平面内转动，所述第五转动关节能够使得所述吸取部绕所述第四连接臂旋转。

可选的，所述吸取部包括吸附板，所述吸附板上设置有与抽真空装置连接的吸附孔。

可选的，所述标签检测结构与所述吸取部集成设置，所述标签检测结构包括嵌设于所述吸附板的吸附面的条码信息获取部，以及用于识别所述条码信息获取部获取的条码信息的检测部。

可选的，所述晶圆盒传送结构包括底座，所述底座上设置有传送带和晶圆盒位置信息获取部，所述晶圆盒位置信息获取部包括图像获取单元和位置信息获取单元；

所述底座上、位于所述传送带的一侧的区域设置固定支架，所述固定支架上设置有图像获取单元，所述图像获取单元用于获取所述传送带上的晶圆盒的图像，所述位置信息获取单元用于根据所述图像获取单元获取的图像控制所述传送带的速度、以使得当前待贴标签的晶圆盒停止在预设位置。

本发明实施例还提供一种晶圆盒贴标签方法，应用于上述的晶圆盒贴标签装置，包括以下步骤：

将当前待贴标签晶圆盒传送至预设位置；

在标签纸上的空白标签上打印条码信息；

将打印有条码信息的标签与底纸进行剥离；

检测当前标签上的条码信息是否与预先存储的当前待贴标签的晶圆盒信息一致，若当前标签上的条码信息与预先存储的当前待贴标签的晶圆盒信息一致，则检测合格；

将检测合格的标签粘贴于当前待贴标签的晶圆盒的至少一个表面的预设区域。

可选的，还包括以下步骤：

再次检测粘贴于晶圆盒上的标签，确认标签上的条码信息与预设存储的当前晶圆盒的信息是否一致。

本发明的有益效果是：将标签打印、标签剥离、标签移贴于晶圆盒的至少一个表面，和对粘贴于晶圆盒表面的标签进行检测的多步操作集成一体，实现打印标签、剥离标签、贴标签和检测标签，实现完全自动化，减少出错，提高效率，实现在晶圆盒至少一个表面的指定位置贴标签，且标签粘贴位置统一，确保信息准确，提高效率。

附图说明

图1表示本发明实施例中晶圆盒贴标签装置的结构示意图；

图2表示本发明实施例中晶圆盒贴标签装置的部分结构示意图一；

图3表示本发明实施例中晶圆盒贴标签装置的部分结构示意图二；

图4表示本发明实施例中晶圆盒贴标签装置的部分结构示意图三；

图5表示本发明实施例中标签移贴结构示意图；

图6表示本发明实施例中标签上料结构、标签打印结构和标签剥离结构示意图；

图7表示本发明实施例中标签上料结构和标签打印结构示意图；

图8表示本发明实施例中吸附部结构示意图。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例的附图，对本发明实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本发明的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

采用人工手动扫描晶圆盒ID，确认信息是否相匹配，手动将标签贴于晶圆盒的指定的一个或多个位置，手动拿着扫码枪对标签依次扫描，进行信息一一比对，确保信息准确无误。这种方式会存在漏贴、错贴、标签位置不统一的情况，多个面贴标签和扫描可能会损坏晶圆，多个位置的标签检测通常出现重复及遗漏操作，导致标签缺失、标签信息无法读取及不匹配的情况时有发生，导致客户投诉率，手动操作工作效率低下，生产成本增加。或者标签的打印、粘贴和标签检测一般都靠标签打印机、标签贴标机和标签检测设备配合完成，采取半自动的实现方式，即每个标签的粘贴过程都需要人工参与，未能够将标签自动打印、标签自动移贴于晶圆盒表面和对晶圆盒表面的标签自动检测三步操作集成一体并实现完全自动化。

针对上述技术问题，如图1-图8所示，本实施例提供一种晶圆盒贴标签装置，包括：

标签上料结构，用于提供卷状的标签纸17，所述标签纸17包括底纸和间隔设置于所述底纸上的多个空白标签16；

标签打印结构，用于在所述标签纸17上的空白标签16上打印条码信息；

标签剥离结构7，用于将打印有条码信息的标签16与所述底纸进行剥离；

标签检测结构，用于检测当前标签16上的条码信息是否与预先存储的当前待贴标签16的晶圆盒4信息一致，若当前标签上的条码信息与预先存储的当前待贴标签的晶圆盒信息一致，则检测合格；

晶圆盒传送结构，用于将待贴标签16的晶圆盒4传送至预设位置；

标签移贴结构，包括万向机械臂和设置于所述机械臂9一端的吸取部11，用于将经过所述标签检测结构检测合格的标签16粘贴于当前待贴标签的晶圆盒的至少一个表面的预设区域。

本实施例中将标签上料结构、标签打印结构、标签检测结构、晶圆盒传送结构和标签移贴结构集成设置，形成全自动化的流水线作业，将标签打印、标签剥离、标签移贴于晶圆盒的至少一个表面，和对粘贴于晶圆盒表面的标签进行检测的多步操作集成一体，实现打印标签、剥离标签、贴标签和检测标签，实现完全自动化，减少出错，提高效率，实现在晶圆盒至少一个表面的指定位置贴标签，且标签粘贴位置统一，确保信息准确，提高效率。

且通过万向机械臂的设置，使得在晶圆盒的多个表面进行贴标签时，无需转动或翻转晶圆盒，避免了晶圆盒由于转动或翻转造成损坏的问题。提高产品良率。

本实施例中示例性的，所述标签打印结构包括第一载台6以及设置于所述第一载台6上的打印机5，所述打印机5包括进料口51和出料口52，所述进料口51和所述出料口52均设置有引导标签纸17的移动方向的第一导向部，参考图7。

需要说明的是，所述进料口51和所述出料口52在与所述第一载台6平行的方向上的长度大于标签纸17的宽度，使得标签纸17可顺利的通过。

本实施例中示例性的，所述第一导向部包括固定于所述进料口51或所述出料口52的相对的两侧的两个固定架15，以及沿第一方向层叠设置的两个第一导向杆14，每个所述第一导向杆14的两端分别固定于两个所述固定架15上，两个所述第一导向杆14之间具有能够使得标签纸17通过的间隙，所述第一方向与所述标签16的移动方向相垂直，且与所述第一载台6所在的平面相垂直，参考图7。

本实施例中的一些实施方式中，所述固定架15为L形，包括第一连接板和第二连接板，所述第一连接板固定连接于所述进料口51或所述出料口52的相对的两侧，所述第二连接板上设置有能够供两个所述第一导向杆14穿过的安装孔，本实施例的一些实施方式中，所述第一导向杆14通过螺栓安装的方式安装于所述第二连接板上，但并不以此为限。

两个所述第一导向杆14之间的间隙的大小可根据实际需要设定，只要能能够起到对标签纸17的移动起到导向作用即可。

本实施例中示例性的，所述标签上料结构包括第二载台，所述第二载台上固定有支架，所述支架上设置有能够固定卷状的标签纸17的上料筒12，所述上料筒12位于所述打印机5的进料口一侧，所述上料筒12的延伸方向与所述第二载台的表面相平行，且所述上料筒12的延伸方向与所述第一导向杆14的延伸方向相平行，参考图3。

本实施例中的一些实施方式中，所述第一载台6复用为所述第二载台，所述支架为垂直设置于所述打印机5的进料口51一侧的立柱13，所述立柱13上设置有所述上料筒12，简化结构，且利于所述标签上料结构和所述标签打印结构之间的相对位置关系的设置。

本实施例的一些实施方式中，所述打印机5的进料口51和出料口52的宽度均略宽于标签纸17的宽度(即所述进料口和所述出料口在平行于所述第一载台6的表面的方向上的长度与标签纸17的宽度的差值小于预设值)，所述上料筒12的高度高于所述第一导向杆14的高度，标签纸17处于一种绷紧状态，标签纸17穿过位于进料口处的第一导向杆14，从进料口进入打印机5内部，在空白标签16上打印相关条码信息后，从出料口输出，并穿过位于所述出料口处的所述第一导向杆14，参考图4。

本实施例的一些实施方式中，所述打印机5为激光打印机，但并不以此为限。

本实施例中示例性的，所述标签剥离结构包括基台10和设置于所述基台10上、相对设置的第一固定板70和第二固定板77，所述第一固定板70和所述第二固定板77之间沿着标签纸17的移动方向依次设置有第二导向部、剥离部和底纸回收部；

所述第二导向部包括第二导向杆73和导向板76，所述导向板76包括两个相对设置的夹耳固定于所述第二导向杆73上，所述第二导向杆73和所述导向板76之间具有能够使得标签纸17通过的间隙；

所述剥离部包括叠置且相平行设置的压板71和托板72，所述托板72包括靠近所述导向板76的第一端和与所述第一端相对设置的第二端，所述第一端与所述导向板76位于同一平面，且所述托板72沿着从所述第二端到所述第一端的方向倾斜设置、以使得标签纸17通过所述压板71和所述托板72之间的间隙时、使得标签16与底纸剥离；

所述剥离部还包括位于所述托板72远离所述导向板76的一侧的剥离板79，标签纸17从所述托板72和所述剥离板79之间通过、标签16位于所述剥离板79的表面，底纸穿过所述托板72和所述剥离板79之间的间隙；

所述底纸回收部包括一端固定于所述第一固定板70上的收料筒78，所述收料筒78的延伸方向与标签纸17的延伸方向相垂直、能够转动以缠绕与标签16剥离的底纸，参考图6。

所述第二导向杆73、所述导向板76和所述夹耳相配合，防止标签纸17在水平方向或竖直方向窜动，起到定位的作用。

所述托板72和所述压板71平行设置，所述托板72和所述压板71之间具有供标签纸17穿过的具有预设距离(该预设距离可根据实际需要设定)的间隙，防止标签纸17产生褶皱，且防止标签纸17在竖直方向上窜动。

所述托板72和所述压板71与所述基台所在的平面呈角度倾斜设置，且所述托板72靠近所述导向板76的一端与所述导向板76位于同一平面，即所述托板72靠近所述导向板76的一端高于所述托板72远离所述导向板76的一端。

所述托板72和所述压板71倾斜设置，且所述托板72靠近所述导向板76的一端高于所述托板72远离所述导向板76的一端，起到过渡的作用

本实施例的一些实施方式中，所述托板72与所述基台所在的平面之间的角度小于45度，但并不以此为限。

所述剥离板79位于所述托板72远离所述导向板76的一侧，所述剥离板79的一端固定于所述第一固定板70上，所述剥离板79的另一端固定于所述第二固定板77上，所述剥离板79与所述托板72之间的间隙小于预设值(该预设值仅允许底纸通过)，使得底纸穿过所述剥离板79与所述托板72之间的间隙，而标签16被剥离板79剥离、并移动至剥离板79的表面。

本实施例的一些实施方式中，所述底纸回收部还包括与所述收料筒78连接的驱动电机，所述驱动电机带动所述收料筒78转动以缠绕剥离标签16后的底纸。

本实施例中示例性的，所述标签剥离结构7还包括设置于所述第二导向部远离所述剥离部的一侧的第三导向部，所述第三导向部包括一端固定于所述第一固定板70上的导向轴74，所述导向轴74的轴向方向与标签纸17的移动方向相垂直，所述导向轴74上套设有能够绕所述导向轴74转动的导向轮75，所述导向轮75包括管状本体，和设置于所述管状本体的相对的两端的限位挡板。

本实施例中示例性的，所述导向轴74与所述基台10之间的距离为第一距离、所述第二导向杆与73所述基台10之间的距离为第二距离、所述压板71与所述基台10之间的距离为第三距离，所述第一距离大于第二距离，所述第二距离大于所述第三距离。

本实施例中示例性的，所述第一载台6和所述第二载台设置于所述基台10上。

本实施例中示例性的，参考图3和图5，所述标签移贴结构包括基板90，设置于所述基板90上的旋转轴91，所述机械臂9与所述旋转轴91的一端旋转连接；

所述机械臂9包括通过第一转动关节92与所述旋转轴91连接的第一连接臂93，通过第二转动关节94与所述第一连接臂93连接的第二连接臂95，通过第三转动关节96与所述第二连接臂95转动连接的第三连接臂97，通过第四转动关节98与所述第三连接臂97连接的第四连接臂99；

所述吸取部11通过第五转动关节910可转动的连接于所述第四连接臂99的一端；

其中，所述第一转动关节92能够使得所述第一连接臂93在垂直于所述基板90所在的平面的第一平面内转动，所述第二转动关节94能够使得所述第二连接臂95在所述第一平面内转动，所述第三转动关节96能够使得所述第三连接臂97绕所述第二连接臂95旋转，所述第四转动关节98能够使得所述第四连接臂99在所述第三连接臂97所在的平面内转动，所述第五转动关节910能够使得所述吸取部11绕所述第四连接臂99旋转。

本实施例中的一些实施方式中，所述基板90固定于所述基台10上，且所述基板90位于所述第二固定板77远离所述第一固定板70的一侧，所述机械臂9的设置使得所述吸取部11可以在任意方向进行转动、移动、伸长或缩短的运动，即可灵活的实现吸取剥离板79上的标签16，并无需转动或翻转晶圆盒4，即可将标签16粘贴于晶圆盒4的任意表面的预设区域。

本实施例的一些实施方式中，所述第一转动关节92包括一U形结构，该U形结构包括底板和相对设置的侧板，所述底板与所述旋转轴91连接，可在所述旋转轴91的带动下带动所述机械臂9在所述基板90所在的平面内旋转，所述第一转动关节92还包括一连接轴，该连接轴的两端可转动的连接于两个所述侧板上，所述第一连接臂93固定连接于所述连接轴上，所述第一连接臂93可绕所述连接轴转动。

本实施例中示例性的，所述第二转动关节94和所述第一转动关节92的结构相同(需要说明的是，这里指的是结构组成相同，相应的部件的大小尺寸可以不同)，所述第二连接臂95能够绕所述第二转动关节94的连接轴转动，且所述第一连接臂93和所述第二连接臂95的转动方向相同，所述第一连接臂93和所述第二连接臂95相配合可扩大所述吸取部11的移动空间。

本实施例中示例性的，所述第三转动关节96可以为一旋转轴承或者一旋转伺服马达，使得所述第三连接臂97可绕所述第二连接臂95进行旋转，但并不以此为限。

本实施例中示例性的，所述第四转动关节98的结构和所述第一转动关节92的结构相同，所述第四连接臂99可绕所述第四转动关节98中的连接轴转动。

本实施例中示例性的，所述吸取部11通过第五转动关节910与所述第四连接臂99连接，所述第五转动关节910可以为旋转连接于所述第四连接臂99的一端的旋转伺服马达，或者所述第五转动关节910与所述吸取部一体设置，而所述第五转动关节910转动连接于所述第四连接臂99上，此时第五转动关节910可以为一传动轴，并不以此为限。

参考图5，所述机械臂9采用六轴关节的结构，具有六轴自由度，旋转(1st axis)，第一转动关节92(2nd axis)、第二转动关节94(3rd axis)、手腕旋转(即第三转动关节96)(4th axis)、手腕摆动(即第四转动关节98)(5th axis)和手腕回转(即第五转动关节910)(6th axis)，六个关节合成实现末端吸取部11的六自由度动作，利于在不必转动或翻转晶圆盒4的前提下，对晶圆盒4的不同的表面粘贴标签16。

本实施例中示例性的，所述吸取部11包括吸附板，所述吸附板上设置有与抽真空装置连接的吸附孔111，参考图8。

所述吸附孔111的周围设置有弹性垫圈，以起到缓冲作用，避免造成对标签16或晶圆盒4的损伤。

所述弹性垫圈可以采用橡胶等弹性材质制成，但并不以此为限。

本实施例中示例性的，所述标签检测结构与所述吸取部11集成设置，所述标签检测结构包括嵌设于所述吸附板的吸附面的条码信息获取部112，以及用于识别所述条码信息获取部112获取的条码信息的检测部，参考图8。

本实施例中示例性的，所述吸附板的吸附面设置有凹槽，所述条码信息获取部112设置于所述凹槽内。

本实施例中示例性的，所述条码信息获取部112可以为扫描仪或读码器，可以识别标签16上的条码信息(条形码或二维码)。

本实施例中示例性的，参考图1，所述晶圆盒传送结构包括底座1，所述底座1上设置有传送带2和晶圆盒4位置信息获取部，所述晶圆盒4位置信息获取部包括图像获取单元和位置信息获取单元；

所述底座1上、位于所述传送带2的一侧的区域设置固定支架3，所述固定支架3上设置有图像获取单元，所述图像获取单元用于获取所述传送带2上的晶圆盒4的图像，所述位置信息获取单元用于根据所述图像获取单元获取的图像控制所述传送带2的速度、以使得当前待贴标签16的晶圆盒4停止在预设位置。

本实施例中示例性的，所述图像获取单元包括CCD相机8，但并不以此为限。所述CCD相机8位于所述传送带2的上方，用于实时捕捉所述传送带2上的晶圆盒4的图像，所述位置信息获取单元根据所述CCD相机8获取的晶圆盒4的图像，获取晶圆盒4的位置信息、并据此控制所述传送带2的速度、以准确的将晶圆盒4输送到预设位置。

需要说明的是，所述底座1与所述基台相邻设置，所述预设位置位于所述机械臂9的移动范围内，即可以使得所述吸取部11将标签16粘贴于晶圆盒4的至少一个表面的预设区域。

本实施例中，晶圆盒4同一表面上的标签粘贴和标签检测是一次性完成的，即标签检测结构先扫描剥离的标签，与预先存储的的出货信息比对，接着吸取部11吸取住标签，在机械臂9的带动下，移动至晶圆盒4表面指定的位置进行贴标签，最后标签检测结构再次扫描已经贴好的标签，确保标签信息能够读取出来，与预先存储的信息保持一致。

根据不同客户的要求，标签需要贴于晶圆盒的第一侧面、第二侧面、第三侧面和上表面中的一个或多个表面，其中，所述第一侧面为所述晶圆盒4的开口所在的表面，即正面，所述第二侧面为与所述第一侧面相对的表面，即背面，所述第三侧面为所述晶圆盒4把手所在的表面，所述上表面通常有蘑菇头，所述标签数量通常为1至2个，晶圆盒4的单个表面通常只贴一个标签。当然，根据客户的要求，标签的具体设置位置还可以有其他选择。

本发明实施例还提供一种晶圆盒贴标签方法，应用于上述的晶圆盒贴标签装置，包括以下步骤：

将当前待贴标签的晶圆盒传送至预设位置；

在标签纸上的空白标签上打印条码信息；

将打印有条码信息的标签与底纸进行剥离；

检测当前标签上的条码信息是否与预先存储的当前待贴标签的晶圆盒信息一致，若当前标签上的条码信息与预先存储的当前待贴标签的晶圆盒信息一致，则检测合格；

将检测合格的标签粘贴于当前待贴标签的晶圆盒的至少一个表面的预设区域。

本实施例中示例性的，还包括以下步骤：

再次检测粘贴于晶圆盒上的标签，确认标签上的条码信息与预设存储的当前晶圆盒的信息是否一致。

以下具体介绍本实施例中晶圆盒贴标签方法。

S1：通过CCD相机8捕捉传送带2上晶圆盒4的图像，控制传送带2的速度，将晶圆盒4传送到待贴标签的预设位置等待，并发送到位信息；

S2：激光打印机在空白标签纸上打印条码信息，上料筒12和收料筒78转动以带动标签纸向前移动，通过标签剥离结构7完成底纸和标签的剥离，底纸缠绕在收料筒78上，标签存放至剥离板79上；

S3：标签移贴结构的万向机械臂9转动到剥离板79上方，机械臂9末端吸取部11的吸附面的标签检测结构扫描标签，与预先存储的出货信息比对，确保信息准确；

S4：吸取部11启动抽真空装置从剥离板79上吸取住标签，在机械臂9的带动下，将标签移动至晶圆盒4的第一侧面、第二侧面、第三侧面和上表面中的一个或多个表面的指定位置进行贴标签；

S5：粘贴标签后，标签检测结构再次扫描贴好的标签，确保标签信息能够读取出来，并与预先存储的信息保持一致，发送贴标签和检测标签完成信息；

S6：传送带2将晶圆盒4从贴标签16的位置移运到下一工序，同时传送带2传递下一个待贴标签16的晶圆盒4至预设位置，重复上述步骤进行贴标签。

按照上述的步骤S1-S6执行即可连续对晶圆盒进行贴标签和检测标签，将标签打印、标签剥离、标签移贴于晶圆盒的多个表面和对晶圆盒表面的标签检测，多步操作集成一体，打印标签、剥离标签、贴标签和检测标签一步到位，实现完全自动化，提高效率，确保信息准确，提高客户满意度。

需要说明的是，晶圆盒中的所有晶圆生产履历在出货前都会在系统中生成特定信息(包括FOSB ID、晶圆ID、料号、日期等)，并将该信息打印在标签上并贴在晶圆盒的指定位置，晶圆盒ID与标签绑定录入生产系统，与生产系统中的晶圆信息相匹配。通过扫描标签上的二维码或条形码，就能查询到晶圆的履历，便于晶圆信息的追溯。

可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。

Claims (13)

1.一种晶圆盒贴标签装置，其特征在于，包括：

标签上料结构，用于提供卷状的标签纸，所述标签纸包括底纸和间隔设置于所述底纸上的多个空白标签；

标签打印结构，用于在所述标签纸上的空白标签上打印条码信息；

标签剥离结构，用于将打印有条码信息的标签与所述底纸进行剥离；

标签检测结构，用于检测当前标签上的条码信息是否与预先存储的当前待贴标签的晶圆盒信息一致，若当前标签上的条码信息与预先存储的当前待贴标签的晶圆盒信息一致，则检测合格；

晶圆盒传送结构，用于将待贴标签的晶圆盒传送至预设位置；

标签移贴结构，包括万向机械臂和设置于所述机械臂一端的吸取部，用于将经过所述标签检测结构检测合格的标签粘贴于当前待贴标签的晶圆盒的至少一个表面的预设区域。

2.根据权利要求1所述的晶圆盒贴标签装置，其特征在于，所述标签打印结构包括第一载台以及设置于所述第一载台上的打印机，所述打印机包括进料口和出料口，所述进料口和所述出料口均设置有引导标签纸的移动方向的第一导向部。

3.根据权利要求2所述的晶圆盒贴标签装置，其特征在于，所述第一导向部包括固定于所述进料口或所述出料口的相对的两侧的两个固定架，以及沿第一方向层叠设置的两个第一导向杆，每个所述第一导向杆的两端分别固定于两个所述固定架上，两个所述第一导向杆之间具有能够使得标签纸通过的间隙，所述第一方向与所述标签的移动方向相垂直。

4.根据权利要求3所述的晶圆盒贴标签装置，其特征在于，所述标签上料结构包括第二载台，所述第二载台上固定有支架，所述支架上设置有能够固定卷状的标签纸的上料筒，所述上料筒位于所述打印机的进料口一侧，所述上料筒的延伸方向与所述第二载台的表面相平行，且所述上料筒的延伸方向与所述第一导向杆的延伸方向相平行。

5.根据权利要求2所述的晶圆盒贴标签装置，其特征在于，所述标签剥离结构包括基台和设置于所述基台上、相对设置的第一固定板和第二固定板，所述第一固定板和所述第二固定板之间沿着标签纸的移动方向依次设置有第二导向部、剥离部和底纸回收部；

所述第二导向部包括第二导向杆和导向板，所述导向板包括两个相对设置的夹耳固定于所述第二导向杆上，所述第二导向杆和所述导向板之间具有能够使得标签纸通过的间隙；

所述剥离部包括叠置且相平行设置的压板和托板，所述托板包括靠近所述导向板的第一端和与所述第一端相对设置的第二端，所述第一端与所述导向板位于同一平面，且所述托板沿着从所述第二端到所述第一端的方向倾斜设置、以使得标签纸通过所述压板和所述托板之间的间隙时、使得标签与底纸剥离；

所述剥离部还包括位于所述托板远离所述导向板的一侧的剥离板，标签纸从所述托板和所述剥离板之间通过、标签位于所述剥离板的表面，底纸穿过所述托板和所述剥离板之间的间隙；

所述底纸回收部包括一端固定于所述第一固定板上的收料筒，所述收料筒的延伸方向与标签纸的延伸方向相垂直、能够转动以缠绕与标签剥离的底纸。

6.根据权利要求5所述的晶圆盒贴标签装置，其特征在于，所述标签剥离结构还包括设置于所述第二导向部远离所述剥离部的一侧的第三导向部，所述第三导向部包括一端固定于所述第一固定板上的导向轴，所述导向轴的轴向方向与标签纸的移动方向相垂直，所述导向轴上套设有能够绕所述导向轴转动的导向轮，所述导向轮包括管状本体，和设置于所述管状本体的相对的两端的限位挡板。

7.根据权利要求6所述的晶圆盒贴标签装置，其特征在于，所述导向轴与所述基台之间的距离为第一距离、所述第二导向杆与所述基台之间的距离为第二距离、所述压板与所述基台之间的距离为第三距离，所述第一距离大于第二距离，所述第二距离大于所述第三距离。

8.根据权利要求2所述的晶圆盒贴标签装置，其特征在于，所述标签移贴结构包括基板，设置于所述基板上的旋转轴，所述机械臂与所述旋转轴的一端旋转连接；

所述机械臂包括通过第一转动关节与所述旋转轴连接的第一连接臂，通过第二转动关节与所述第一连接臂连接的第二连接臂，通过第三转动关节与所述第二连接臂转动连接的第三连接臂，通过第四转动关节与所述第三连接臂连接的第四连接臂；

所述吸取部通过第五转动关节可转动的连接于所述第四连接臂的一端；

其中，所述第一转动关节能够使得所述第一连接臂在垂直于所述基板所在的平面的第一平面内转动，所述第二转动关节能够使得所述第二连接臂在所述第一平面内转动，所述第三转动关节能够使得所述第三连接臂绕所述第二连接臂旋转，所述第四转动关节能够使得所述第四连接臂在所述第三连接臂所在的平面内转动，所述第五转动关节能够使得所述吸取部绕所述第四连接臂旋转。

9.根据权利要求8所述的晶圆盒贴标签装置，其特征在于，所述吸取部包括吸附板，所述吸附板上设置有与抽真空装置连接的吸附孔。

10.根据权利要求9所述的晶圆盒贴标签装置，其特征在于，所述标签检测结构与所述吸取部集成设置，所述标签检测结构包括嵌设于所述吸附板的吸附面的条码信息获取部，以及用于识别所述条码信息获取部获取的条码信息的检测部。

11.根据权利要求1所述的晶圆盒贴标签装置，其特征在于，所述晶圆盒传送结构包括底座，所述底座上设置有传送带和晶圆盒位置信息获取部，所述晶圆盒位置信息获取部包括图像获取单元和位置信息获取单元；

所述底座上、位于所述传送带的一侧的区域设置固定支架，所述固定支架上设置有图像获取单元，所述图像获取单元用于获取所述传送带上的晶圆盒的图像，所述位置信息获取单元用于根据所述图像获取单元获取的图像控制所述传送带的速度、以使得当前待贴标签的晶圆盒停止在预设位置。

12.一种晶圆盒贴标签的方法，应用于权利要求1-11任一项所述的晶圆盒贴标签装置，其特征在于，包括以下步骤：

将当前待贴标签晶圆盒传送至预设位置；

在标签纸上的空白标签上打印条码信息；

将打印有条码信息的标签与底纸进行剥离；

检测当前标签上的条码信息是否与预先存储的当前待贴标签的晶圆盒信息一致，若当前标签上的条码信息与预先存储的当前待贴标签的晶圆盒信息一致，则检测合格；

将检测合格的标签粘贴于当前待贴标签的晶圆盒的至少一个表面的预设区域。

13.根据权利要求12所述的晶圆盒贴标签的方法，其特征在于，还包括以下步骤：

再次检测粘贴于晶圆盒上的标签，确认标签上的条码信息与预设存储的当前晶圆盒的信息是否一致。

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