CN111070098A - 抛光头清洗装置 - Google Patents

Abstract

本发明为一种抛光头清洗装置，包括，基板，能固定连接于机体上；毛刷结构，包括基板上方能拆卸地设置的第一毛刷部和第二毛刷部，第一毛刷部和第二毛刷部能升降且能旋转，第一毛刷部用于刷洗抛光头的侧面，第二毛刷部用于刷洗抛光头的加工端面；旋转驱动结构，包括第一旋转部和第二旋转部；升降结构，连接于基板的底部且向下延伸设置，升降结构用于驱动毛刷结构和旋转驱动结构沿竖直方向升降；喷水结构，用于喷水冲洗抛光头；控制部，旋转驱动结构、升降结构和喷水结构均与控制部电连接。该装置可以有效清洗抛光头，防止在吸取硅片的时候抛光头上有异物对硅片造成划伤或者异物掉落在硅片上，保证硅片的性能。

Description

抛光头清洗装置

技术领域

本发明涉及硅片研磨的技术领域，尤其涉及一种抛光头清洗装置。

背景技术

单晶硅作为一种重要的半导体材料，具有良好的电学性能和热稳定性，自被人们发现和利用后很快替代其它半导体材料。硅材料因其具有耐高温和抗辐射性能较好，特别适用于制作大功率器件的特性而成为应用最多的一种半导体材料，集成电路半导体器件大多数由硅材料制成的。在制造性能良好的硅单晶方法中，直拉法生长硅单晶具有设备和工艺相对简单、容易实现自动控制。直拉单晶硅棒从单晶炉中拉制出来以后需要进行一系列的工序，前期包括截断、开方、圆角研磨和平面研磨等机械加工；中期还需要将单晶硅棒进行滚磨、切片、清洗、倒角、研磨和再清洗等工；后期将硅片进行制绒、扩散、结晶和烧结等工序后才能制造成半导体器件或用于光伏发电的太阳能电池片。

其中在中期研磨工序中，硅片与研磨盘属于干摩擦，容易使研磨盘表面发热而损坏，同时热量还会烧伤硅片。抛光头和吸附垫上有异物，加工时对硅片造成划伤或者掉落在硅片上，影响硅片的性能。

由此，本发明人凭借多年从事相关行业的经验与实践，提出一种抛光头清洗装置，以克服现有技术的缺陷。

发明内容

本发明的目的在于提供一种抛光头清洗装置，克服现有技术中存在的抛光头上异物磨损造成硅片损伤、影响硅片性能等问题，该装置可以有效清洗抛光头，防止在吸取硅片的时候抛光头上有异物对硅片造成划伤或者异物掉落在硅片上，保证硅片的性能。

本发明的目的是这样实现的，一种抛光头清洗装置，包括，

基板，能固定连接于机体上；

毛刷结构，包括基板上方平行间隔且能拆卸地设置的第一毛刷部和第二毛刷部，所述第一毛刷部和第二毛刷部能升降且能旋转，所述第一毛刷部用于刷洗抛光头的侧面，所述第二毛刷部用于刷洗抛光头的加工端面；

旋转驱动结构，包括能分别驱动所述第一毛刷部和第二毛刷部旋转的第一旋转部和第二旋转部；

升降结构，连接于所述基板的底部且向下延伸设置，所述升降结构用于驱动所述毛刷结构和所述旋转驱动结构沿竖直方向升降；

喷水结构，用于喷水冲洗抛光头；

控制部，所述旋转驱动结构、所述升降结构和所述喷水结构均与所述控制部电连接。

在本发明的一较佳实施方式中，所述毛刷结构包括一所述第一毛刷部和两个所述第二毛刷部，所述第一毛刷部设置于两个所述第二毛刷部之间，所述毛刷结构能同时清洗两个抛光头。

在本发明的一较佳实施方式中，所述第一旋转部包括穿过所述基板设置的第一旋转轴，所述第一毛刷部能拆卸地连接于第一旋转轴的顶端，所述第一旋转轴位于所述基板下方的一端连接设置第一伺服马达，所述第一伺服马达用于驱动所述第一旋转轴和所述第一毛刷部周向旋转，所述第一旋转轴的底端设置第一同步带轮，所述第一伺服马达的输出端设置第二同步带轮，所述第一同步带轮和所述第二同步带轮上套设第一同步带；所述第一伺服马达架设于第一马达基座上，所述升降结构包括能驱动所述第一马达基座、所述第一伺服马达、所述第一旋转轴和所述第一毛刷部升降的第一气缸；

所述第二旋转部包括穿过所述基板设置的第二旋转轴，所述第二毛刷部能拆卸地连接于第二旋转轴的顶端，所述第二旋转轴位于所述基板下方的一端连接设置第二伺服马达，所述第二伺服马达用于驱动所述第二旋转轴和所述第二毛刷部周向旋转，所述第二旋转轴的底端设置第三同步带轮，所述第二伺服马达的输出端设置第四同步带轮，所述第三同步带轮和所述第四同步带轮上套设第二同步带；所述第二伺服马达架设于第二马达基座上，所述升降结构包括能驱动所述第二马达基座、所述第二伺服马达、所述第二旋转轴和所述第二毛刷部升降的第二气缸；

所述第一伺服马达、所述第一气缸、所述第二伺服马达和所述第二气缸均与所述控制部电连接。

在本发明的一较佳实施方式中，所述第一气缸包括固定连接于基板底部且向下延伸设置的第一缸筒，所述第一缸筒的下端密封滑动穿设第一缸杆，所述第一缸杆的下端连接第一气缸基座的底部，所述第一气缸基座顶部设置所述第一马达基座；所述第一气缸基座的顶部上方设置第一机壳基座，所述第一旋转轴的底端转动穿过所述第一机壳基座；

所述第二气缸包括固定连接于基板底部且向下延伸设置的第二缸筒，所述第二缸筒的下端密封滑动穿设第二缸杆，所述第二缸杆的下端连接第二气缸基座的底部，所述第二气缸基座顶部设置所述第二马达基座；所述第二气缸基座的顶部上方设置第二机壳基座，所述第二旋转轴的底端转动穿过所述第二机壳基座。

在本发明的一较佳实施方式中，所述基板的底部还连接有向下延伸设置的第一导向轴，所述第一马达基座上穿设第一直线轴承，所述第一直线轴承能随所述第一马达基座沿所述第一导向轴上下滑动；

所述基板的底部还连接有向下延伸设置的第二导向轴，所述第二马达基座上穿设第二直线轴承，所述第二直线轴承能随所述第二马达基座沿所述第二导向轴上下滑动。

在本发明的一较佳实施方式中，所述第一旋转轴的外侧同轴套设第一机壳，所述第一机壳穿设通过所述基板，所述第一机壳的底端固定撑设于所述第一机壳基座上，所述第一机壳的内壁两端分别设置第一轴承组，所述第一旋转轴转动穿设通过所述第一轴承组，所述第一机壳能随所述第一机壳基座和所述第一旋转轴升降；

所述第二旋转轴的外侧同轴套设第二机壳，所述第二机壳穿设通过所述基板，所述第二机壳的底端固定撑设于所述第二机壳基座上，所述第二机壳的内壁两端分别设置第二轴承组，所述第二旋转轴转动穿设通过所述第二轴承组，所述第二机壳能随所述第二机壳基座和所述第二旋转轴升降。

在本发明的一较佳实施方式中，所述基板的上方设置基板盖板，所述第一机壳的外侧径向间隔地套设顶部开口的第一保护筒，所述第一保护筒的底部通过第一固定座固定连接于所述基板盖板上；所述第一保护筒的外侧套设第二保护筒，所述第二保护筒的底部开口，所述第二保护筒的顶部与所述第一旋转轴的顶部固定连接，所述第二保护筒能随所述第一旋转轴升降和旋转；

所述第二机壳的外侧径向间隔地套设顶部开口的第三保护筒，所述第三保护筒的底部通过第二固定座固定连接于所述基板盖板上；所述第三保护筒的外侧套设第四保护筒，所述第四保护筒的底部开口，所述第四保护筒的顶部与所述第二旋转轴的顶部固定连接，所述第四保护筒能随所述第二旋转轴升降和旋转。

在本发明的一较佳实施方式中，所述第一毛刷部包括能拆卸地连接于所述第一旋转轴的顶端的第一毛刷盘，所述第一毛刷盘的侧壁上沿水平方向设置刷毛。

在本发明的一较佳实施方式中，所述第二毛刷部包括能拆卸地连接于所述第二旋转轴的顶端的第二毛刷盘，所述第二毛刷盘的顶面环设沿竖直方向设置刷毛。

在本发明的一较佳实施方式中，所述第一毛刷盘通过连接螺钉连接于所述第一旋转轴的顶端；所述第二毛刷盘通过连接螺钉连接于所述第二旋转轴的顶端。

由上所述，本发明提供的一种抛光头清洗装置具有如下有益效果：

本发明提供的抛光头清洗装置中，设置分别能清洁刷洗抛光头的侧面和抛光头的加工端面的第一毛刷部和第二毛刷部，从结构上，第一毛刷部和第二毛刷部采用可拆卸的连接方式，方便毛刷部的更换、维护；从功能上，卸载硅片后，喷水结构自动打开，冲洗抛光头，第一毛刷部和第二毛刷部能自动上升，同时对抛光头的加工面和侧面清洗，可以有效清洗抛光头，防止在吸取硅片的时候抛光头上有异物对硅片造成划伤或者异物掉落在硅片上，保证硅片的性能；本发明提供的抛光头清洗装置中，毛刷结构包括一个第一毛刷部和两个第二毛刷部，能同时清洗两个抛光头，作业效率高。

附图说明

以下附图仅旨在于对本发明做示意性说明和解释，并不限定本发明的范围。

其中：

图1：为本发明的抛光头清洗装置的俯视图。

图2：为图1中A-A处剖视图。

图3：为本发明的第一气缸处的侧视图。

图4：为本发明的第一旋转部处的侧视图。

图中：

100、抛光头清洗装置；

1、基板；11、基板盖板；

2、毛刷结构；21、第一毛刷部；22、第二毛刷部；

3、旋转驱动结构；

31、第一旋转部；311、第一旋转轴；312、第一伺服马达；313、第一同步带轮；314、第二同步带轮；315、第一同步带；316、第一马达基座；317、第一机壳基座；

32、第二旋转部；321、第二旋转轴；322、第二伺服马达；323、第三同步带轮；324、第四同步带轮；325、第二同步带；326、第二机壳基座；

4、升降结构；

41、第一气缸；411、第一缸筒；412、第一缸杆；413、第一气缸基座；414、第一导向轴；415、第一直线轴承；

42、第二气缸；

51、第一机壳；52、第二机壳；53、第一轴承组；54、第二轴承组；55、第一保护筒；56、第二保护筒。

具体实施方式

为了对本发明的技术特征、目的和效果有更加清楚的理解，现对照附图说明本发明的具体实施方式。

在此描述的本发明的具体实施方式，仅用于解释本发明的目的，而不能以任何方式理解成是对本发明的限制。在本发明的教导下，技术人员可以构想基于本发明的任意可能的变形，这些都应被视为属于本发明的范围。需要说明的是，当元件被称为“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是机械连接或电连接，也可以是两个元件内部的连通，可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语的具体含义。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本申请的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本申请的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是旨在于限制本申请。本文所使用的术语“和/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

如图1至图4所示，本发明提供一种抛光头清洗装置100，该装置设置于硅片卸载位置，包括，

基板1，能固定设置于机体(机体固定安装于地面上，用于罩设装置的动力结构，如升降结构、旋转驱动结构等，图中未示出)上；在本发明的一具体实施例中，基板1呈矩形设置；

毛刷结构2，包括基板上方平行间隔且能拆卸地设置的第一毛刷部21和第二毛刷部22，第一毛刷部21和第二毛刷部22能升降且能旋转，第一毛刷部21用于刷洗抛光头(现有技术)的侧面，第二毛刷部22用于刷洗抛光头的加工端面(抛光头的端面处安装吸附垫构成加工端面，现有技术，图中未示出)；

旋转驱动结构3，包括能分别驱动第一毛刷部21和第二毛刷部22旋转的第一旋转部31和第二旋转部32；

升降结构4，连接于基板1的底部且向下延伸设置，升降结构4用于驱动毛刷结构2和旋转驱动结构3沿竖直方向升降；

喷水结构，用于喷水冲洗抛光头；在本实施方式中，喷水结构为与供水设备连通的喷水头(使用现有技术中的冲洗喷头即可)；

控制部，旋转驱动结构、升降结构和喷水结构均与控制部电连接。

本发明提供的抛光头清洗装置中，设置分别能清洁刷洗抛光头的侧面和抛光头的加工端面的第一毛刷部和第二毛刷部，从结构上，第一毛刷部和第二毛刷部采用可拆卸的连接方式，方便毛刷部的更换、维护；从功能上，卸载硅片后，喷水结构自动打开，冲洗抛光头，第一毛刷部和第二毛刷部能自动上升，同时对抛光头的加工面和侧面清洗，可以有效清洗抛光头，防止在吸取硅片的时候抛光头上有异物对硅片造成划伤或者异物掉落在硅片上，影响硅片的性能。

进一步，如图1、图2所示，毛刷结构2包括一个第一毛刷部21和两个第二毛刷部22，第一毛刷部21设置于两个第二毛刷部22之间以供两个抛光头共用，毛刷结构2能同时清洗两个抛光头。一个第一毛刷部21和两个第二毛刷部22呈平行间隔设置，三者之间的间距满足第一毛刷部21清洁抛光头侧面的同时第二毛刷部22能清洁抛光头的加工端面。硅片研磨时，使用的一组抛光头进行加工，一组抛光头一般包括两个抛光头，本发明提供的抛光头清洗装置能同时对两个抛光头的侧面和加工端面进行清洗。

进一步，如图2、图4所示，第一旋转部31包括穿过基板1设置的第一旋转轴311，第一毛刷部21能拆卸地连接于第一旋转轴311的顶端，第一旋转轴311位于基板1下方的一端连接设置第一伺服马达312，第一伺服马达312用于驱动第一旋转轴311和第一毛刷部21周向旋转，第一旋转轴311的底端设置第一同步带轮313，第一伺服马达312的输出端设置第二同步带轮314，第一同步带轮313和第二同步带轮314上套设第一同步带315；第一伺服马达312架设于第一马达基座316上，升降结构包括能驱动第一马达基座316、第一伺服马达312、第一旋转轴311和第一毛刷部21升降的第一气缸41；

第二旋转部32包括穿过基板1置的第二旋转轴321，第二毛刷部22能拆卸地连接于第二旋转轴321的顶端，第二旋转轴321位于基板1下方的一端连接设置第二伺服马达322，第二伺服马达322用于驱动第二旋转轴321和第二毛刷部22周向旋转，第二旋转轴321的底端设置第三同步带轮323，第二伺服马达322的输出端设置第四同步带轮324，第三同步带轮323和第四同步带轮324上套设第二同步带325；第二伺服马达322架设于第二马达基座上，升降结构包括能驱动第二马达基座、第二伺服马达322、第二旋转轴321和第二毛刷部22升降的第二气缸42；

第一伺服马达312、第一气缸41、第二伺服马达322和第二气缸42均与控制部电连接。

第一伺服马达312和第二伺服马达322通过伺服电机驱动，控制部能够控制伺服电机的启动和关闭，伺服电机能精确控制转速；第一伺服马达312和第一旋转轴311之间、第二伺服马达322和第二旋转轴321之间均采用同步皮带传动，运行更平稳。

进一步，如图2、图3所示，第一气缸41包括固定连接于基板1底部且向下延伸设置的第一缸筒411，第一缸筒411的下端密封滑动穿设第一缸杆412，第一缸杆412的下端连接第一气缸基座413的底部，第一气缸基座413顶部设置第一马达基座316，在本实施方式中，第一气缸基座413包括第一基座底板，第一基座底板通过竖直设置的气缸架连接第一基座顶板，第一基座顶板上设置第一马达基座316；

第一气缸基座413的顶部上方(即第一基座顶板上方)设置第一机壳基座317，在本实施方式中，第一基座顶板通过竖直设置的六角支柱连接第一机壳基座317；第一旋转轴311的底端转动穿过第一机壳基座317；在本实施方式中，第一旋转轴311位于第一机壳基座317下方的位置套设第一固定螺母，第一固定螺母轴向固定第一旋转轴311；第一旋转轴311位于第一固定螺母下方的位置套设第一同步带轮313；

第二气缸42包括固定连接于基板1底部且向下延伸设置的第二缸筒，第二缸筒的下端密封滑动穿设第二缸杆，第二缸杆的下端连接第二气缸基座的底部，第二气缸基座顶部设置第二马达基座；在本实施方式中，第二气缸基座包括第二基座底板，第二基座底板通过竖直设置的气缸架连接第二基座顶板，第二基座顶板上设置第二马达基座；

第二气缸基座的顶部上方(即第二基座顶板上方)设置第二机壳基座，在本实施方式中，第二基座顶板通过竖直设置的六角支柱连接第二机壳基座；第二旋转轴321的底端转动穿过第二机壳基座326；在本实施方式中，第二旋转轴321位于第二机壳基座326下方的位置套设第二固定螺母，第二固定螺母轴向固定第二旋转轴321；第二旋转轴321位于第二固定螺母下方的位置套设第二同步带325。

进一步，如图2、图4所示，基板1的底部还连接有向下延伸设置的第一导向轴414，第一马达基座316上穿设第一直线轴承415，第一直线轴承415能随第一马达基座316沿第一导向轴414上下滑动；基板的底部还连接有向下延伸设置的第二导向轴，第二马达基座上穿设第二直线轴承，第二直线轴承能随第二马达基座沿第二导向轴上下滑动。第一导向轴414和第一直线轴承415、第二导向轴和第二直线轴承的配合，使得第一旋转轴311和第二旋转轴321升降的更加平稳。

进一步，如图2所示，第一旋转轴311的外侧同轴套设第一机壳51，第一机壳51穿设通过基板1，第一机壳51的底端固定撑设于第一机壳基座317上，第一机壳51的内壁两端分别设置第一轴承组53，第一旋转轴311转动穿设通过第一轴承组53，第一机壳51能随第一机壳基座317和第一旋转轴311升降；

第二旋转轴321的外侧同轴套设第二机壳52，第二机壳52穿设通过基板1，第二机壳52的底端固定撑设于第二机壳基座326上，第二机壳52的内壁两端分别设置第二轴承组54，第二旋转轴321转动穿设通过第二轴承组54，第二机壳52能随第二机壳基座326和第二旋转轴321升降。

进一步，如图2所示，基板1的上方设置基板盖板11，第一机壳51的外侧径向间隔地套设顶部开口的第一保护筒55，第一保护筒55的底部通过第一固定座固定连接于基板盖板11上；第一保护筒55的外侧套设第二保护筒56，第二保护筒56的底部开口，第二保护筒56的顶部与第一旋转轴311的顶部固定连接，第二保护筒56能随第一旋转轴311升降和旋转；

第二机壳52的外侧径向间隔地套设顶部开口的第三保护筒，第三保护筒的底部通过第二固定座固定连接于基板盖板上；第三保护筒的外侧套设第四保护筒，第四保护筒的底部开口，第四保护筒的顶部与第二旋转轴的顶部固定连接，第四保护筒能随第二旋转轴升降和旋转。

进一步，第一毛刷部21包括能拆卸地连接于第一旋转轴311的顶端的第一毛刷盘，第一毛刷盘的侧壁上沿水平方向设置刷毛。

进一步，第二毛刷部包括能拆卸地连接于第二旋转轴321的顶端的第二毛刷盘，第二毛刷盘的顶面环设沿竖直方向设置刷毛。

在本实施方式中，第一毛刷盘通过连接螺钉连接于第一旋转轴311的顶端；第二毛刷盘通过连接螺钉连接于第二旋转轴321的顶端。

本发明的一具体实施例中，抛光头清洗装置100的使用方法如下：

硅片研磨后，卸载硅片，卸载传送单元自动转到卸载位置；

控制部控制第一气缸41和两个第二气缸42同时启动，第一缸杆412和第二缸杆均回收上移，第一缸杆412通过第一气缸基座413、第一马达基座316、第一旋转轴311带动第一毛刷部21上移，第二缸杆通过第二气缸基座、第二马达基座、第二旋转轴321带动第二毛刷部22上移，第一毛刷部21和第二毛刷部22整体拉升至工作位置，第一气缸41和两个第二气缸42停止工作；喷水结构(喷水头)开始喷水；

控制部控制第一伺服马达312和第二伺服马达322正转，伺服电机通过同步带(第一同步带315、第二同步带325)带动第一旋转轴311和第二旋转轴321转动，第一毛刷部21和第二毛刷部22随之同步转动，第一毛刷部21刷洗抛光头的侧面，第二毛刷部22刷洗抛光头的加工端面(主要是吸附垫)；

清洗结束后，控制部控制第一伺服马达312和第二伺服马达322停止转动，并控制第一气缸41和两个第二气缸42同时启动，第一缸杆412和第二缸杆均伸出下移，第一毛刷部21、第二毛刷部22恢复到最初状态。

由上所述，本发明提供的一种抛光头清洗装置具有如下有益效果：

本发明提供的抛光头清洗装置中，设置分别能清洁刷洗抛光头的侧面和抛光头的加工端面的第一毛刷部和第二毛刷部，从结构上，第一毛刷部和第二毛刷部采用可拆卸的连接方式，方便毛刷部的更换、维护；从功能上，卸载硅片后，喷水结构自动打开，冲洗抛光头，第一毛刷部和第二毛刷部能自动上升，同时对抛光头的加工面和侧面清洗，可以有效清洗抛光头，防止在吸取硅片的时候抛光头上有异物对硅片造成划伤或者异物掉落在硅片上，影响硅片的性能；本发明提供的抛光头清洗装置中，毛刷结构包括一个第一毛刷部和两个第二毛刷部，能同时清洗两个抛光头，作业效率高。

以上所述仅为本发明示意性的具体实施方式，并非用以限定本发明的范围。任何本领域的技术人员，在不脱离本发明的构思和原则的前提下所作出的等同变化与修改，均应属于本发明保护的范围。

Claims (10)

1.一种抛光头清洗装置，其特征在于，包括，

基板，能固定连接于机体上；

毛刷结构，包括基板上方平行间隔且能拆卸地设置的第一毛刷部和第二毛刷部，所述第一毛刷部和第二毛刷部能升降且能旋转，所述第一毛刷部用于刷洗抛光头的侧面，所述第二毛刷部用于刷洗抛光头的加工端面；

旋转驱动结构，包括能分别驱动所述第一毛刷部和第二毛刷部旋转的第一旋转部和第二旋转部；

升降结构，连接于所述基板的底部且向下延伸设置，所述升降结构用于驱动所述毛刷结构和所述旋转驱动结构沿竖直方向升降；

喷水结构，用于喷水冲洗抛光头；

控制部，所述旋转驱动结构、所述升降结构和所述喷水结构均与所述控制部电连接。

2.如权利要求1所述的抛光头清洗装置，其特征在于，所述毛刷结构包括一个所述第一毛刷部和两个所述第二毛刷部，所述第一毛刷部设置于两个所述第二毛刷部之间，所述毛刷结构能同时清洗两个抛光头。

3.如权利要求2所述的抛光头清洗装置，其特征在于，所述第一旋转部包括穿过所述基板设置的第一旋转轴，所述第一毛刷部能拆卸地连接于第一旋转轴的顶端，所述第一旋转轴位于所述基板下方的一端连接设置第一伺服马达，所述第一伺服马达用于驱动所述第一旋转轴和所述第一毛刷部周向旋转，所述第一旋转轴的底端设置第一同步带轮，所述第一伺服马达的输出端设置第二同步带轮，所述第一同步带轮和所述第二同步带轮上套设第一同步带；所述第一伺服马达架设于第一马达基座上，所述升降结构包括能驱动所述第一马达基座、所述第一伺服马达、所述第一旋转轴和所述第一毛刷部升降的第一气缸；

所述第二旋转部包括穿过所述基板设置的第二旋转轴，所述第二毛刷部能拆卸地连接于第二旋转轴的顶端，所述第二旋转轴位于所述基板下方的一端连接设置第二伺服马达，所述第二伺服马达用于驱动所述第二旋转轴和所述第二毛刷部周向旋转，所述第二旋转轴的底端设置第三同步带轮，所述第二伺服马达的输出端设置第四同步带轮，所述第三同步带轮和所述第四同步带轮上套设第二同步带；所述第二伺服马达架设于第二马达基座上，所述升降结构包括能驱动所述第二马达基座、所述第二伺服马达、所述第二旋转轴和所述第二毛刷部升降的第二气缸；

所述第一伺服马达、所述第一气缸、所述第二伺服马达和所述第二气缸均与所述控制部电连接。

4.如权利要求3所述的抛光头清洗装置，其特征在于，所述第一气缸包括固定连接于基板底部且向下延伸设置的第一缸筒，所述第一缸筒的下端密封滑动穿设第一缸杆，所述第一缸杆的下端连接第一气缸基座的底部，所述第一气缸基座顶部设置所述第一马达基座；所述第一气缸基座的顶部上方设置第一机壳基座，所述第一旋转轴的底端转动穿过所述第一机壳基座；

所述第二气缸包括固定连接于基板底部且向下延伸设置的第二缸筒，所述第二缸筒的下端密封滑动穿设第二缸杆，所述第二缸杆的下端连接第二气缸基座的底部，所述第二气缸基座顶部设置所述第二马达基座；所述第二气缸基座的顶部上方设置第二机壳基座，所述第二旋转轴的底端转动穿过所述第二机壳基座。

5.如权利要求4所述的抛光头清洗装置，其特征在于，所述基板的底部还连接有向下延伸设置的第一导向轴，所述第一马达基座上穿设第一直线轴承，所述第一直线轴承能随所述第一马达基座沿所述第一导向轴上下滑动；

所述基板的底部还连接有向下延伸设置的第二导向轴，所述第二马达基座上穿设第二直线轴承，所述第二直线轴承能随所述第二马达基座沿所述第二导向轴上下滑动。

6.如权利要求4所述的抛光头清洗装置，其特征在于，所述第一旋转轴的外侧同轴套设第一机壳，所述第一机壳穿设通过所述基板，所述第一机壳的底端固定撑设于所述第一机壳基座上，所述第一机壳的内壁两端分别设置第一轴承组，所述第一旋转轴转动穿设通过所述第一轴承组，所述第一机壳能随所述第一机壳基座和所述第一旋转轴升降；

所述第二旋转轴的外侧同轴套设第二机壳，所述第二机壳穿设通过所述基板，所述第二机壳的底端固定撑设于所述第二机壳基座上，所述第二机壳的内壁两端分别设置第二轴承组，所述第二旋转轴转动穿设通过所述第二轴承组，所述第二机壳能随所述第二机壳基座和所述第二旋转轴升降。

7.如权利要求6所述的抛光头清洗装置，其特征在于，所述基板的上方设置基板盖板，所述第一机壳的外侧径向间隔地套设顶部开口的第一保护筒，所述第一保护筒的底部通过第一固定座固定连接于所述基板盖板上；所述第一保护筒的外侧套设第二保护筒，所述第二保护筒的底部开口，所述第二保护筒的顶部与所述第一旋转轴的顶部固定连接，所述第二保护筒能随所述第一旋转轴升降和旋转；

所述第二机壳的外侧径向间隔地套设顶部开口的第三保护筒，所述第三保护筒的底部通过第二固定座固定连接于所述基板盖板上；所述第三保护筒的外侧套设第四保护筒，所述第四保护筒的底部开口，所述第四保护筒的顶部与所述第二旋转轴的顶部固定连接，所述第四保护筒能随所述第二旋转轴升降和旋转。

8.如权利要求3所述的抛光头清洗装置，其特征在于，所述第一毛刷部包括能拆卸地连接于所述第一旋转轴的顶端的第一毛刷盘，所述第一毛刷盘的侧壁上沿水平方向设置刷毛。

9.如权利要求8所述的抛光头清洗装置，其特征在于，所述第二毛刷部包括能拆卸地连接于所述第二旋转轴的顶端的第二毛刷盘，所述第二毛刷盘的顶面环设沿竖直方向设置刷毛。

10.如权利要求9所述的抛光头清洗装置，其特征在于，所述第一毛刷盘通过连接螺钉连接于所述第一旋转轴的顶端；所述第二毛刷盘通过连接螺钉连接于所述第二旋转轴的顶端。

Images