CN111024732B - 一种可用于软x射线谱学实验的动态原位气相反应池 - Google Patents
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Abstract
本发明提出了一种可用于软X射线谱学实验的动态原位气相反应池,包括反应池主体、反应池支撑件、外部连接件;反应池主体设有用于放置样品的样品腔并设有与样品腔连通的第一光通孔,样品腔内设有金属隔板;反应池支撑件包括支撑管,支撑管与反应池主体连接;外部连接件包括连接头、差抽管道、电子产额信号线和偏压线,偏压线一端依次穿过差抽管道、连接头、支撑管、反应池主体与金属隔板连接。本发明采用金属隔板加偏压,使样品和金属隔板之间产生电场,将电离的气体粒子拉离样品表面,从而降低本底噪声,使电子产额信号的收集成为可能;通过减小窗口和样品之间的距离并调节气体流速来达到合理的雷诺系数,从而保证在材料表面气体更新速度较快。
Description
技术领域
本发明涉及原位实验技术领域,尤其涉及一种可用于软X射线谱学实验的动态原位气相反应池。
背景技术
在科学研究领域,原位实验是指模拟真实环境并在科学现象发生的同时跟踪观测实验对象结构、性质等变化的一种实验方法。进行原位实验的核心部件称为原位反应池,其主要作用是用于承载样品和模拟反应条件。
软X射线谱学是研究材料电子结构变化的有力工具,此处定义软X射线能量范围为100-2000eV,包含了探测轻元素的K-edge吸收边和过渡金属元素的L-edge吸收边所需要的能量,这一能量范围的X射线在物质中穿透深度很浅,因此反应池设计难度相对其他能量范围较高。现有原位反应池存在的问题主要有三点:一是通常原位反应池的设计不考虑电子产额信号的收集,而一般收集的是光信号,这对于反应池结构设计的要求大大降低;但相比于光信号,电子信号更加表面灵敏,因此,电子信号的收集对于研究催化、传感器等主要在气体和材料界面发生反应的体系至关重要,而传统反应池无法有效收集界面电子信号;二是一般反应池的设计不考虑流导等因素对所研究体系的影响,但由于界面反应的重要性,我们需要保持气体在界面快速流动,以使得生成物气体迅速远离界面且发生物气体快速靠近材料界面,因此传统气体通路的设计无法满足此类体系的观测需求,需要更合理的反应池机械结构设计;三是现有原位反应池通常采用聚酰亚胺膜、氧化铝、氧化硅等材料作为观测窗口,这种反应池可以适用于以红外、可见光以及硬X射线作为光源来进行观测的原位实验,但是由于软X射线在这些材料中穿透深度较小,当采用这些材料时无法有效获取反应池中物质变化信息。
发明内容
基于背景技术中存在的技术问题,本发明提出了一种可用于软X射线谱学实验的动态原位气相反应池。
本发明提出的一种可用于软X射线谱学实验的动态原位气相反应池,包括反应池主体、反应池支撑件、外部连接件;
反应池主体设有用于放置样品的样品腔并设有与样品腔连通的第一光通孔,样品腔内设有金属隔板,金属隔板上设有与第一光通孔连通的第二光通孔,金属隔板内侧设有与第二光通孔相适配的通光窗口;
反应池支撑件包括支撑管,支撑管与反应池主体连接;
外部连接件包括连接头、差抽管道、电子产额信号线和偏压线,连接头与支撑管远离反应池主体一端连接,差抽管道与连接头连接,差抽管道设有用于接真空泵的真空接口,电子产额信号线一端依次穿过连接头、支撑管与反应池连接;偏压线一端依次穿过差抽管道、连接头、支撑管、反应池主体与金属隔板连接。
优选的,反应池主体包括反应池盖、绝缘套筒、金属隔板和反应池基底,反应池盖设有安装孔以及与安装孔连通的第一光通孔,绝缘套筒、金属隔板均设置在安装孔内且金属隔板位于绝缘套筒靠近光通孔一侧,绝缘套筒设有样品腔,样品腔内设有用于放置样品的样品托;反应池基底与反应池盖连接用于对样品腔进行密封。
优选的,反应池盖、绝缘套筒采用聚醚醚酮材料制作而成。
优选的,反应池基底靠近绝缘套筒一侧设有伸入样品腔内并用于承载样品托的第一台柱;优选的,反应池基底与反应池盖的连接面上设有第一密封圈。
优选的,金属隔板靠近绝缘套筒一侧设有第二台柱,通光窗口与金属隔板之间设有环状并带有缺口的绝缘垫片,绝缘垫片与金属隔板的连接面上设有第二密封圈;优选的,金属隔板与反应池盖的连接面上设有第三密封圈。
优选的,第一光通孔、第二光通孔的直径从外向内逐渐减小,且第一光通孔、第二光通孔的张角均为120°。
优选的,支撑管包括调节连接管和绝缘连接管,调节连接管长度可调节,调节连接管两端分别连接有第一连接盖、第二连接盖,第一连接盖上设有偏压线穿过的第一通孔,第二连接盖上设有偏压线穿过的第二通孔;绝缘连接管一端通过螺钉与反应池基底连接且其另一端通过螺钉与第一连接盖连接;优选的,绝缘连接管采用聚醚醚酮材料制作而成。
优选的,外部连接件还包括两个气体管道,连接头包括总连接头、信号线连接头、偏压线接头和两个气体管道连接头,差抽管道、信号线连接头、两个气体管道连接头均与总连接头连接;电子产额信号线一端依次穿过信号线连接头、总连接头、第二连接盖、调节连接管、第一连接盖、绝缘连接管与反应池基底连接导通,两个气体管道一端均依次穿过气体管道连接头、总连接头、第二连接盖、调节连接管、第一连接盖后与反应池基底螺纹连接并与样品腔连通;偏压线接头与差抽管道远离总连接头一端连接,偏压线一端依次穿过偏压线接头、差抽管道、总连接头、第二连接盖、调节连接管、第一连接盖、绝缘连接管、反应池基底与金属隔板连接。
优选的,总连接头设有1个CF35法兰口和5个CF16法兰口,总连接头通过CF35法兰口与第二连接盖连接;
其中3个CF16法兰口沿CF35法兰口圆周在背面均匀分布且该3个CF16法兰口与CF35法兰口的刀口法兰面夹角为30°,信号连接头、两个气体管道连接头均为CF16法兰并分别与该3个CF16法兰口连接;
另外一个CF16法兰口和CF35法兰口直通且该CF16法兰口与CF35法兰口刀口法兰面夹角为180°,并且差抽管道与该CF16法兰口连接;
优选的,总连接头还设有一个处于密封状态的备用CF16法兰口;
优选的,CF35法兰口与第二连接盖的连接面上设有第四密封圈。
优选的,差抽管道为CF16三通管道,偏压线接头为CF16法兰,差抽管道的第一通与CF16法兰口连接,第二通与偏压线接头连接,第三通为用于接真空泵的真空接口。
本发明提出的一种可用于软X射线谱学实验的动态原位气相反应池,采用金属隔板加偏压,使样品和金属隔板之间产生电场,将电离的气体粒子拉离样品表面,从而降低本底噪声,使电子产额信号的收集成为可能;本发明通过减小窗口和样品之间的距离来提高到达样品面的光强,提高信号强度,通过气体管道导入气体并调节气体流速来达到合理的雷诺系数,从而保证在材料表面较快的气体更新速度,同时由于样品托中心设有用于连通中心圆槽与气体通道的连通槽,使得气体可顺利流过而避免形成湍流,因此气体更新效率高,有利于观测材料与气体界面变化;本发明采取几十到几百纳米厚的氮化硅、碳或氧化硅作为软X射线通过窗口;该厚度窗口下,这三种材料已被证实可以耐受1个大气压以上的压力;通过三种材料的互补,可以确保在100-2000eV波段的软X射线有较高的透过率,从而获得较强的谱学信号。
附图说明
图1为本发明提出的一种可用于软X射线谱学实验的动态原位气相反应池的结构示意图;
图2为本发明提出的一种可用于软X射线谱学实验的动态原位气相反应池中反应池主体的分解图;
图3为本发明提出的一种可用于软X射线谱学实验的动态原位气相反应池中反应池支撑件的分解图;
图4为本发明提出的一种可用于软X射线谱学实验的动态原位气相反应池中外部连接件的分解图;
图5为本发明提出的一种可用于软X射线谱学实验的动态原位气相反应池中反应池盖的结构示意图;
图6为本发明提出的一种可用于软X射线谱学实验的动态原位气相反应池中金属隔板的结构示意图;
图7为本发明提出的一种可用于软X射线谱学实验的动态原位气相反应池中样品托的结构示意图;
图8为本发明提出的100-2000eV能量的X射线在不同窗口材料中的光透过率曲线图。
具体实施方式
参照图1-图7,本发明提出一种可用于软X射线谱学实验的动态原位气相反应池,包括反应池主体1、反应池支撑件2、外部连接件3;其中:
反应池主体1设有用于放置样品的样品腔并设有与样品腔连通的第一光通孔111,样品腔内设有金属隔板14,金属隔板14上设有与第一光通孔111连通的第二光通孔141,金属隔板14内侧设有与第二光通孔141相适配的通光窗口16。
反应池支撑件2包括支撑管,支撑管与反应池主体1连接。
外部连接件3包括连接头、差抽管道33、两个气体管道38、电子产额信号线35和偏压线36,连接头与支撑管远离反应池主体1一端连接,差抽管道33与连接头连接,差抽管道33设有用于接真空泵的真空接口,两个气体管道38、电子产额信号线35一端依次穿过连接头、支撑管与反应池连接;偏压线36一端依次穿过差抽管道33、连接头、支撑管、反应池主体1与金属隔板14连接。
本发明提出的反应池采用金属隔板14加偏压,使样品和金属隔板14之间产生电场,将电离的气体粒子拉离样品表面,从而降低本底噪声,使电子产额信号的收集成为可能。
参照图2,本实施例中,反应池主体1包括反应池盖11、绝缘套筒13和反应池基底12;其中:
反应池盖11采用聚醚醚酮材料制作而成,也可采用氧化铝陶瓷、氮化硼、云母、聚酰亚胺等可加工材料。参照图5,反应池盖11设有安装孔112以及与安装孔112连通的第一光通孔111,第一光通孔111的张角为120°,用于增加光的入射和接受角。
绝缘套筒13采用聚醚醚酮材料制作而成,也可采用氧化铝陶瓷、氮化硼、云母、聚酰亚胺等可加工材料。绝缘套筒13设置在安装孔内并位于金属隔板14远离第一光通孔111一侧,绝缘套筒13外径与安装孔112直径相同且其高度与安装孔深度相同,绝缘套筒13两端外侧设有0.5mm倒角,以方便绝缘套筒12安装,绝缘套筒12侧壁开有供偏压线通过的深度、宽度均为1mm的槽。绝缘套筒13设有样品腔,样品腔内设有用于放置样品a的样品托15,样品托15材料为无氧铜且表面镀有100纳米金。如图7所示,样品托15中心设有用于放置粉末样品a的中心圆槽151,中心圆槽151深度为0.5mm,样品a一般为粉末,用压片机和模具压制成直径1-3mm,厚0.5mm的圆柱,置于中心圆槽151,样品a也可以是能够放入样品托15的其他性状,样品托15的形状也可做相应修改;样品托15上位于中心圆槽151两侧均设有供气体管道通过的气体通道152,样品托15上还设有用于连通中心圆槽151与气体通道152的连通槽153。
本发明提出的反应池通过减小窗口和样品a之间的距离来提高达到样品面的光强,提高信号强度,通过气体管道38导入气体并调节气体流速来达到合理的雷诺系数,从而保证在材料表面较快的气体更新速度;样品托15中心设有用于连通中心圆槽与气体通道的连通槽,使得气体可顺利流过而避免形成湍流,因此气体更新效率高,有利于观测材料与气体界面变化。
反应池基底12通过螺钉与反应池盖11连接用于对样品腔进行密封,其材料为316不锈钢。反应池基底12靠近绝缘套筒13一侧设有伸入样品腔内并用于承载样品托15的第一台柱,第一台柱表面镀有100纳米金。反应池基底12与反应池盖11的连接面上设有深度为1.6mm的环形槽,环形槽用于放置第一密封圈,第一密封圈材料为氟橡胶或硅橡胶,内径略大于绝缘套筒13外径。环形槽内靠近第一台柱位置设有用于连接气体管道的台阶状螺纹孔以及供偏压线穿过的第一圆孔,台阶状螺纹孔靠近样品托一侧设有用于将气体管道导入样品托平面的第二圆孔。
参照图6,本实施例中,金属隔板14其材料为316不锈钢,金属隔板14靠近绝缘套筒13一侧设有第二台柱142,金属隔板14上开设有张角为120°的第二光通孔141,用于和第一光通孔111匹配,增加光的入射和接受角。金属隔板14与反应池盖11的连接面上设有第三密封圈110。
本实施例中,通光窗口16其基底构型为长方体,外部长宽均为10mm,厚度为0.5mm或0.2mm,基底中部有小型窗口,长宽一般为0.5mm×1mm或1mm×1mm,窗口厚度为几十纳米至几百纳米,一般采用100纳米厚度,通光窗口16材料可根据实验需求进行调整,可为氮化硅、氧化硅或者碳,通光窗口16耐气压强度为不低于1个大气压。通光窗口16与金属隔板14之间设有环状并带有缺口的绝缘垫片17,绝缘垫片17材料为聚酰亚胺,绝缘垫片17与金属隔板14的连接面上设有第二密封圈19。
在本实施例中,采取100纳米厚的氮化硅、碳或氧化硅作为软X射线通过窗口,光透过率曲线如图8所示,该窗口厚度下,这三种材料已被证实可以耐受1个大气压以上的压力,通过三种材料的互补,可以确保在100-2000eV波段的软X射线有较高的透过率,从而获得较强的谱学信号。
参照图3,本实施例中,支撑管包括调节连接管21和绝缘连接管22,其中:
调节连接管21其构型为圆柱形管道,材料为不锈钢,型号为304,调节连接管21长度可根据实验系统的腔体大小进行调整。调节连接管21两端分别连接有第一连接盖23、第二连接盖24,第一连接盖23上设有偏压线36穿过的第一通孔,第二连接盖24上设有偏压线36穿过的第二通孔。第一连接盖23构型为台阶圆柱,材料为304不锈钢,其较大圆柱外径与调节连接管外径相同,其较小圆柱外径与调节连接管内径相同,第一连接盖较大直径台阶面上设有环形槽,可根据需要放置O型橡胶圈或者真空胶进行密封,第一连接盖23中心为用于气路管道、电子产额信号线35和偏压线36通过的第一通孔。第二连接盖24为法兰并与调节连接管21焊接连接,其构型为台阶圆柱,材料为304不锈钢,中部打有直径与调节连接管内径相同并用于气路管道、电子产额信号线35和偏压线36通过的第二通孔,第二连接盖24顶部为0.5mm深且直径与调节连接管外径相同的圆形凹槽,第二连接盖24顶部外圈为2mm倒角。
绝缘连接管22其构型为锥型六棱柱,材料为聚醚醚酮,也可采用氧化铝陶瓷、氮化硼、云母、聚酰亚胺等可加工材料。绝缘连接管22一端通过螺钉与反应池基底12连接且其另一端通过螺钉与第一连接盖23连接,反应池基底12与绝缘连接管22的连接面上设有第五密封圈。绝缘连接管22中部为圆形通孔,用于使气路管道以及导线通过,通孔内侧开有0.5mm倒角,方便气路管道和导线平滑通过。
参照图4,本实施例中,连接头包括总连接头31、信号线连接头32、偏压线接头34和两个气体管道连接头37,差抽管道33、信号线连接头32、两个气体管道连接头37均与总连接头31连接。其中:
气体管道连接头37主体为特殊设计的CF16法兰和中心通孔的螺丝组合件,特殊设计的CF16法兰为台阶圆柱体,材料为304不锈钢,大直径圆柱为标准CF16法兰,小直径圆柱中心为螺纹通孔,和中心通孔的螺丝匹配,气体管道可以从螺丝的中心通孔通过。
信号线连接头32用于和电子产额信号线连接,将电子信号导出,其为标准的基于CF16法兰的BNC型接口,主体材料为304不锈钢和氧化铝陶瓷。
偏压线接头34为基于CF16法兰的标准电学连接件,主体材料为304不锈钢和氧化铝陶瓷,共有三个电学接口,其中一个用于和偏压线连接,导出至外部电源可对金属隔板加电压,另外两个接口为备用,当对反应池进行功能升级时,如附加电化学功能时,可用于导线的连接。
参照图4,本实施例中,总连接头31设有1个CF35法兰口311和5个CF16法兰口312,总连接头31通过CF35法兰口311与第二连接盖24连接,CF35法兰口311与第二连接盖24的连接面上设有第四密封圈39;
其中3个CF16法兰口312沿CF35法兰口311圆周在背面均匀分布且该3个CF16法兰口312与CF35法兰口311的刀口法兰面夹角为30°,信号连接头、两个气体管道连接头37均为CF16法兰并分别与该3个CF16法兰口312连接;
另外一个CF16法兰口312和CF35法兰口311直通且该CF16法兰口312与CF35法兰口311刀口法兰面夹角为180°,并且差抽管道33与该CF16法兰口312连接;
本实施例中,总连接头31还设有一个处于密封状态的备用CF16法兰口312,备用CF16法兰口312材料为304不锈钢,连接标准CF16法兰盲板,备用CF16法兰口312可替换成其他连接口以满足增加反应池功能的需要。
本实施例中,电子产额信号线35其内芯导线材料为镀银铝丝,外部包裹为聚酰亚胺膜加不锈钢网组成的绝缘屏蔽结构,以降低外部信号干扰,电子产额信号线35一端依次穿过信号线连接头32、总连接头31、第二连接盖24、调节连接管21、第一连接盖23、绝缘连接管22后通过不锈钢螺丝与反应池基底12连接导通。
本实施例中,两个气体管道38一端均依次穿过气体管道连接头37、总连接头31、第二连接盖24、调节连接管21、第一连接盖23后采用空心螺丝381与橡胶密封圈382与反应池基底12螺纹连接并与样品腔连通,空心螺丝381采用聚醚醚酮制作。
本实施例中,差抽管道33为CF16三通管道,材料为304不锈钢,差抽管道33的第一通与CF16法兰口312连接,第二通与偏压线接头34连接头,第三通为用于接真空泵的真空接口,通过真空泵差抽的方式维持反应池内部真空。
本实施例中,偏压线接头34与差抽管道33远离总连接头一端连接,偏压线36一端依次穿过偏压线接头34、差抽管道33、总连接头31、第二连接盖24、调节连接管21、第一连接盖23、绝缘连接管22、反应池基底12与金属隔板14连接。
本发明通过聚醚醚酮、聚酰亚胺、氧化铝陶瓷等材料进行绝缘;通过橡胶密封圈、无氧铜垫圈等材料以及平面对压、无缝焊接等方式进行密封;通过不锈钢、聚醚醚酮等材料提供反应池机械强度;通过聚醚醚酮、不锈钢、铜等材料的气路管道进行气体传输;通过金属隔板加偏压的方式降低本底噪声、提高信号强度;通过反应池和样品托镀金的方式排除因反应池结构材料和气体反应带来的实验误差;通过金属网屏蔽线的方式提高信号纯净度;通过氮化硅、氧化硅、碳等材料窗口的方式实现软X射线透过;通过螺丝紧固的方式提供密封所需压力。
本实施例反应池采用彼此分开的反应池主体1、反应池支撑件2、外部连接件3,是为了模块化方便部件维护和样品替换,可通过一体化设计减少部件数目但维持大部分功能。
本实施例反应池中所使用的连接螺钉采用316不锈钢材料,螺丝的材料可替换成铜、铝、钛合金等其他金属材料以及聚醚醚酮、氮化硼、氧化铝等绝缘材料,强度降低但仍可维持反应池结构。
本实施例反应池中所使用的密封圈材料除氟橡胶、硅橡胶之外,也可替换为聚四氟乙烯等可压缩密封材料。
以上所述,仅为本发明较佳的具体实施方式,但本发明的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内,根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本发明的保护范围之内。
Claims (9)
1.一种可用于软X射线谱学实验的动态原位气相反应池,其特征在于,包括反应池主体(1)、反应池支撑件(2)、外部连接件(3);反应池主体(1)设有用于放置样品的样品腔并设有与样品腔连通的第一光通孔(111),样品腔内设有金属隔板(14),金属隔板(14)上设有与第一光通孔(111)连通的第二光通孔(141),金属隔板(14)内侧设有与第二光通孔(141)相适配的通光窗口(16);反应池支撑件(2)包括支撑管,支撑管与反应池主体(1)连接;外部连接件(3)包括连接头、差抽管道(33)、电子产额信号线(35)和偏压线(36),连接头与支撑管远离反应池主体(1)一端连接,差抽管道(33)与连接头连接,差抽管道(33)设有用于接真空泵的真空接口,电子产额信号线(35)一端依次穿过连接头、支撑管与反应池连接;偏压线(36)一端依次穿过差抽管道(33)、连接头、支撑管、反应池主体(1)与金属隔板(14)连接;
反应池主体(1)包括反应池盖(11)、绝缘套筒(13)、金属隔板(14)和反应池基底(12),反应池盖(11)设有安装孔以及与安装孔连通的第一光通孔(111),绝缘套筒(13)、金属隔板(14)均设置在安装孔内且金属隔板(14)位于绝缘套筒(13)靠近光通孔一侧,绝缘套筒(13)设有样品腔,样品腔内设有用于放置样品的样品托(15);反应池基底(12)与反应池盖(11)连接用于对样品腔进行密封。
2.根据权利要求1所述的可用于软X射线谱学实验的动态原位气相反应池,其特征在于,反应池盖(11)、绝缘套筒(13)采用聚醚醚酮材料制作而成。
3.根据权利要求1所述的可用于软X射线谱学实验的动态原位气相反应池,其特征在于,反应池基底(12)靠近绝缘套筒(13)一侧设有伸入样品腔内并用于承载样品托(15)的第一台柱;反应池基底(12)与反应池盖(11)的连接面上设有第一密封圈。
4.根据权利要求1所述的可用于软X射线谱学实验的动态原位气相反应池,其特征在于,金属隔板(14)靠近绝缘套筒(13)一侧设有第二台柱,通光窗口(16)与金属隔板(14)之间设有环状并带有缺口的绝缘垫片(17),绝缘垫片(17)与金属隔板(14)的连接面上设有第二密封圈(19);金属隔板(14)与反应池盖(11)的连接面上设有第三密封圈(110)。
5.根据权利要求1-4中任一项所述的可用于软X射线谱学实验的动态原位气相反应池,其特征在于,第一光通孔(111)、第二光通孔(141)的直径从外向内逐渐减小,且第一光通孔(111)、第二光通孔(141)的张角均为120°。
6.根据权利要求2-4中任一项所述的可用于软X射线谱学实验的动态原位气相反应池,其特征在于,支撑管包括调节连接管(21)和绝缘连接管(22),调节连接管(21)长度可调节,调节连接管(21)两端分别连接有第一连接盖(23)、第二连接盖(24),第一连接盖(23)上设有偏压线(36)穿过的第一通孔,第二连接盖(24)上设有偏压线(36)穿过的第二通孔;绝缘连接管(22)一端通过螺钉与反应池基底(12)连接且其另一端通过螺钉与第一连接盖(23)连接;绝缘连接管(22)采用聚醚醚酮材料制作而成。
7.根据权利要求6所述的可用于软X射线谱学实验的动态原位气相反应池,其特征在于,外部连接件(3)还包括两个气体管道(38),连接头包括总连接头(31)、信号线连接头(32)、偏压线接头(34)和两个气体管道连接头(37),差抽管道(33)、信号线连接头(32)、两个气体管道连接头(37)均与总连接头(31)连接;电子产额信号线(35)一端依次穿过信号线连接头(32)、总连接头(31)、第二连接盖(24)、调节连接管(21)、第一连接盖(23)、绝缘连接管(22)与反应池基底(12)连接导通,两个气体管道(38)一端均依次穿过气体管道连接头(37)、总连接头(31)、第二连接盖(24)、调节连接管(21)、第一连接盖(23)后与反应池基底(12)螺纹连接并与样品腔连通;偏压线接头(34)与差抽管道(33)远离总连接头一端连接,偏压线(36)一端依次穿过偏压线接头(34)、差抽管道(33)、总连接头(31)、第二连接盖(24)、调节连接管(21)、第一连接盖(23)、绝缘连接管(22)、反应池基底(12)与金属隔板(14)连接。
8.根据权利要求7所述的可用于软X射线谱学实验的动态原位气相反应池,其特征在于,总连接头(31)设有1个CF35法兰口(311)和5个CF16法兰口(312),总连接头(31)通过CF35法兰口(311)与第二连接盖(24)焊接连接;其中3个CF16法兰口(312)沿CF35法兰口(311)圆周在背面均匀分布且该3个CF16法兰口(312)与CF35法兰口(311)的刀口法兰面夹角为30°,信号连接头、两个气体管道连接头(37)均基于CF16法兰进行制造并分别与该3个CF16法兰口(312)连接;另外一个CF16法兰口(312)和CF35法兰口(311)直通且该CF16法兰口(312)与CF35法兰口(311)刀口法兰面夹角为180°,并且差抽管道(33)与该CF16法兰口(312)连接;另外一个CF16法兰口(312)为处于密封状态的备用CF16法兰口;CF35法兰口(311)与第二连接盖(24)的连接面上设有第四密封圈(39)。
9.根据权利要求8所述的可用于软X射线谱学实验的动态原位气相反应池,其特征在于,差抽管道(33)为CF16三通管道,偏压线接头(34)为CF16法兰,差抽管道(33)的第一通与CF16法兰口(312)连接,第二通与偏压线接头(34)连接,第三通为用于接真空泵的真空接口。
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