CN110952134B - 一种水平对中校准夹具、拉晶炉及水平对中校准方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种水平对中校准夹具，包括：若干支撑架、若干第一平衡件以及若干可为竖直状态或水平状态的测量组件，其中，所述第一平衡件设置于所述支撑架上，所述测量组件活动设置于所述支撑架上，且所述测量组件处于竖直状态时，所述测量组件以第一校准值为基准测量待测量件的第一状态，所述测量组件处于水平状态时，所述测量组件以第二校准值为基准测量待测量件的第二状态。本发明所提供的水平对中校准夹具可以确保待测量件处于水平对中状态，为后续处理工序奠定基础。

Description

一种水平对中校准夹具、拉晶炉及水平对中校准方法

技术领域

本发明属于校准技术领域，具体涉及一种水平对中校准夹具、拉晶炉及水平对中校准方法。

背景技术

作为单晶硅的制造方法，有区熔法和切克劳斯基法，单晶硅的制造方法目前通常采用切克劳斯基法(Czochralski，CZ)。切克劳斯基法是将多晶硅料收容在设置于拉晶炉炉膛内的石英坩埚里，通过加热器对多晶硅料进行加热融化，再将棒状晶种(即籽晶)与多晶硅料的熔融液面接触，在工艺要求合适的温度下，熔液中的硅原子会顺着棒状晶种的硅原子的排列结构在固液交界面上形成规则的结晶而成为单晶硅，将棒状晶种一边旋转一边提拉，熔液中的硅原子会在之前形成的单晶硅上继续结晶，并延续其规则的原子排列结构，同时加速提拉，便可生产出目标直径的单晶硅棒。

在单晶硅棒的制造过程中，最基本的操作即是石英坩埚和石墨坩埚的对中，因为只有石英坩埚和石墨坩埚处于对中时才能保证热场等温线与单晶硅棒同心，从而保证热场稳定，则可以促进单晶硅棒有效生长和减少单晶硅棒原生缺陷(COP)等缺陷。因为石墨坩埚较重，为了能够将其放置于坩埚轴之上，目前通常采用机械方式进行吊装。

但是由于石墨坩埚重量大，在放置时由于惯性和操作人员熟练程度的原因，导致石墨坩埚容易发生偏移或倾斜，因此会在后期进行人力矫正，这种方式费时费力，且根据个人操作原因容易产生误差；而石英坩埚重量相较于石墨坩埚较轻，通常会由多个人力进行搬送放置，同样由于人工操作使得石英坩埚受力不均而发生倾斜或偏心，且石英坩埚主要依附于石墨坩埚，如石墨坩埚倾斜，必然会影响到石英坩埚的水平对中放置，严重时会导致在拉晶过程中的熔液倾洒，液面倾斜，导致拉晶失败。

发明内容

为了解决现有技术中存在的上述问题，本发明提供了一种水平对中校准夹具、拉晶炉及水平对中校准方法。本发明要解决的技术问题通过以下技术方案实现：

一种水平对中校准夹具，包括：若干支撑架、若干第一平衡件以及可为竖直状态或水平状态的测量组件，其中，

所述第一平衡件设置于所述支撑架上，所述测量组件活动设置于所述支撑架上，且所述测量组件处于竖直状态时，所述测量组件以第一校准值为基准测量待测量件的第一状态，所述测量组件处于水平状态时，所述测量组件以第二校准值为基准测量待测量件的第二状态。

在本发明的一个实施例中，所述测量组件包括可在所述支撑架上进行水平移动、竖直移动和转动的测量尺以及可在所述测量尺上移动的测量指针，所述测量指针移动至所述测量尺上所述第一校准值对应的位置以确定所述待测量件的第一状态，所述测量指针移动至测量尺上所述第二校准值对应的位置以确定所述待测量件的第二状态。

在本发明的一个实施例中，还包括若干圆形的调节件，所述调节件活动设置于所述支撑架上，所述调节件的圆周方向上设置有用于啮合的若干第一凸起部分，所述测量尺上设置有用于啮合的若干第二凸起部分，所述测量尺通过所述第二凸起部分与所述第一凸起部分相互啮合以使所述测量尺竖直移动和转动。

在本发明的一个实施例中，所述支撑架上设置有水平方向的滑槽，所述调节件的两侧面上设置有滑杆；其中，所述调节件的滑杆设置于所述滑槽中以使所述调节件沿所述滑槽移动时带动所述测量尺进行水平移动。

在本发明的一个实施例中，所述测量尺还包括第二平衡件，所述第二平衡件设置于所述测量尺上。

在本发明的一个实施例中，所述第一平衡件包括透明承载件、液体和气泡，其中，

所述液体设置于所述透明承载件的内腔中，且所述气泡设置于所述液体中。

在本发明的一个实施例中，所述测量组件对称设置在所述支撑架的两端。

在本发明的一个实施例中，还包括吊链、吊扣和软质吸盘，其中，

所述吊链的一端连接于所述支撑架上，所述吊链的另一端通过所述吊扣连接于所述软质吸盘上。

本发明一个实施例还提供一种拉晶炉，包括上述任一项实施例所述的水平对中校准夹具。

本发明一个实施例还提供一种水平对中校准方法，包括：

将支撑架放置于拉晶炉中的主炉室上；

通过设置在所述支撑架上的第一平衡件确定所述支撑架处于水平状态；

通过使测量组件处于竖直状态以判断待测量件的第一状态，若所述第一状态为待测量件未处于水平状态，则调整所述待测量件至水平状态；

通过使所述测量组件处于水平状态以判断所述待测量件的第二状态，若所述第二状态为所述待测量件未处于对中状态，则调整所述待测量件至对中状态。

本发明的有益效果：

本发明所提供的水平对中校准夹具首先利用设置在支撑架上的第一平衡件确定支撑架处于水平状态，之后便可以将设置在支撑架上的测量组件调整至竖直状态，以测量待测量件的第一状态，便可以根据待测量件的第一状态对待测量件进行水平调节，使待测量件处于水平状态，还可以通过将支撑架上的测量组件调整至水平状态，以测量待测量件的第二状态，便可以根据待测量件的第二状态对待测量件进行对中调节，使待测量件处于对中状态，从而最终可以确保待测量件处于水平对中状态，为后续处理工序奠定基础。

以下将结合附图及实施例对本发明做进一步详细说明。

附图说明

图1是本发明实施例提供的一种水平对中校准夹具的结构示意图；

图2是本发明实施例提供的一种拉晶炉的俯视图；

图3是本发明实施例提供的一种拉晶炉的结构示意图；

图4是本发明实施例提供的另一种拉晶炉的结构示意图。

附图标记说明：

水平对中校准夹具-10；主炉室-20；石墨坩埚-30；石英坩埚-40；软质吸盘-50；吊扣-60；吊链-70；坩埚轴-80；支撑架-101；第一平衡件-102；测量组件-103；调节件-104；测量尺-1031；测量指针-1032；第二平衡件-1033。

具体实施方式

下面结合具体实施例对本发明做进一步详细的描述，但本发明的实施方式不限于此。

实施例一

请同时参见图1和图2，图1是本发明实施例提供的一种水平对中校准夹具的结构示意图，图2是本发明实施例提供的一种拉晶炉的俯视图。本发明实施例提供一种水平对中校准夹具10，包括：若干支撑架101、若干第一平衡件102以及若干可为竖直状态或水平状态的测量组件103，其中，第一平衡件102设置于支撑架101上，测量组件103活动设置在支撑架101上，且测量组件103处于竖直状态时，测量组件103以第一校准值为基准测量待测量件的第一状态，测量组件103处于水平状态时，测量组件103以第二校准值为基准测量待测量件的第二状态。

也就是说，支撑架101用于通过设置于支撑架101上的第一平衡件102确定支撑架101处于水平状态，以当支撑架101处于水平状态时，调整测量组件103处于竖直状态或水平状态；并当测量组件103处于竖直状态时，测量组件103用于以第一校准值为基准测量待测量件的第一状态，并根据第一状态调整待测量件至水平状态；以及，当测量组件103处于水平状态时，测量组件103用于以第二校准值为基准测量待测量件的第二状态，并根据第二状态调整待测量件至对中状态。

本实施例的待测量件可以为任何需要进行水平和对中校准的器件，本实施例对此不做具体限定，为了便于理解，本实施例以待测量件为石墨坩埚为例进行说明。

请同时参见图2和图3，当利用本实施例的水平对中校准夹具10对石墨坩埚30进行校准时，则可以将支撑架101安装于主炉室20的侧壁上，为了确保支撑架101在安装于主炉室20的侧壁上之后保持水平状态，可以通过本实施例的第一平衡件102确定支撑架101是否处于水平状态，若支撑架101未处于水平状态则需对支撑架101进行调整，直至其处于水平状态，第一平衡件102可以为任何可以确定支撑架101是否处于水平状态的器件，对此本实施例不做具体限定。

在确定支撑架101处于水平状态之后则可以通过测量组件103测量石墨坩埚30的水平状态和对中状态，当需要测量石墨坩埚30的水平状态时，需先设定一第一校准值，并可以在测量组件103上对应标注出第一校准值的位置，以便于对石墨坩埚30的水平状态进行校准，该第一校准值用于确定测量石墨坩埚30水平状态时的测量基准，在确定第一校准值在测量组件103上的位置之后，便可以调整测量组件103使其处于竖直状态，并将测量组件103上对应第一校准值的位置对应于石墨坩埚30的上边沿，通过观察石墨坩埚30的上边沿是否与测量组件103上所标注的第一校准值对齐，便可以测量石墨坩埚30的当前状态(即第一状态)，以便确定石墨坩埚30是否处于水平状态，若石墨坩埚30的上边沿与第一校准值未对齐，则调整石墨坩埚30直至石墨坩埚30的上边沿与测量组件103上的第一校准值对齐，则可以完成对石墨坩埚30的水平状态的校准。

第一校准值的确定可以是通过校准同一型号的石墨坩埚30确定的，具体地为当对某一型号的石墨坩埚30初次进行校准时，当该石墨坩埚30处于水平对中状态之后，在石墨坩埚30的上边沿对应的测量组件103上的位置进行标记，则可以确定该位置对应的数值即为第一校准值。

当需测量石墨坩埚30的对中状态时，需先设定一第二校准值，并可以在测量组件103上对应标注出第二校准值的位置，以便于对石墨坩埚30的对中状态进行校准，该第二校准值用于确定测量石墨坩埚30对中状态时的测量基准，在确定第二校准值在测量组件103上的位置之后，便可以调整测量组件103使其处于水平状态，并将测量组件103的顶端与主炉室20的内壁相接触，并将测量组件103设置在石墨坩埚30的上边沿之上，则可以通过观察石墨坩埚30的外侧壁是否与测量组件103上的第二校准值对齐，便可以测量石墨坩埚30的当前状态(即第二状态)，以便确定石墨坩埚30是否处于对中状态，若石墨坩埚30的外侧壁与第二校准值未对齐，则调整石墨坩埚30直至石墨坩埚30的外侧壁与测量组件103上的第二校准值对齐，则可以完成对石墨坩埚30的对中状态的校准。

应该知道的是，第二校准值的确定方式可以与第一校准值的确定方式类似，在此不再赘述。

本实施例的水平对中校准夹具10可以对石墨坩埚30同时进行水平状态的测量和对中状态的测量，从而可以根据测量的结果对石墨坩埚30的水平状态和对中状态进行校准，本实施例的水平对中校准夹具10可以有效地解决因人力放置石墨坩埚30时因石墨坩埚30偏移所引起的后续问题，可以规范操作人员的操作行为，提高操作人员拉晶准备工序的基础能力，另外还可以有效地节省人力。

另外，本实施例不对支撑架101、第一平衡件102和测量组件103的数量做具体限定，只要其能完成对待测量件的水平状态和对中状态的测量即可，本领域技术人员可以根据具体需求对其进行设定，请参见图2，例如本实施例可以包括两个支撑架101，且两个支撑架101以十字交叉的方式进行设置，在每个支撑架101上设置一第一平衡件102，且在每个支撑架101的两端分别对称设置一测量组件103。

在一个具体实施例中，测量组件103包括可在支撑架101上进行水平移动、竖直移动和转动的测量尺1031以及可在测量尺1031上移动的测量指针1032，测量指针1032移动至测量尺1031上第一校准值对应的位置以确定待测量件的第一状态，测量指针1032移动至测量尺1031上第二校准值对应的位置以确定待测量件的第二状态。

也就是说，测量尺1031可以在支撑架101上进行水平移动、竖直移动和转动，因为在实际测量时，在石墨坩埚30中还设置有一石英坩埚40，因此为了使得本实施例的水平对中校准夹具10不仅可以对石墨坩埚30进行测量校准，同时还可以对石英坩埚40进行测量校准，则可以通过移动测量尺1031使其可以对石墨坩埚30和石英坩埚40均进行测量校准，同时为了便于确定第一校准值和第二校准值对应的测量尺1031的位置，本实施例通过一可在测量尺1031上进行移动的测量指针1032进行标定，当需对石墨坩埚30进行水平状态的校准时，则首先将测量指针1032移动至第一校准值对应的测量尺1031的位置，并将测量尺1031转动至竖直状态，同时将测量尺1031移动至测量指针1032与石墨坩埚30的上边沿相对应的位置进行测量，以确定石墨坩埚30的第一状态，第一状态即在测量尺1031处于竖直状态时利用测量尺1031和测量指针1032所测量的石墨坩埚30的当前状态，当第一状态为石墨坩埚30未处于水平状态时，则调整石墨坩埚30直至其处于水平状态，在完成对石墨坩埚30水平状态的校准后，便可以将测量指针1032移动至第二校准值对应的测量尺1031的位置，并可以将测量尺1031转动至水平状态，同时将测量尺1031移动至测量指针1032与石墨坩埚30的外侧壁相对应的位置进行测量，以确定石墨坩埚30的第二状态，第二状态即在测量尺1031处于水平状态时利用测量尺1031和测量指针1032所测量的石墨坩埚30的当前状态，当第二状态为石墨坩埚30未处于对中状态时，则调整石墨坩埚30直至其处于对中状态，在完成对石墨坩埚30对中状态的校准后，便可以对石英坩埚40进行水平状态和对中状态的测量校准，其实现方式与石墨坩埚30的方式类似，在此不再赘述，另外需要说明的是，因为一般石英坩埚40的上边沿会高于石墨坩埚30的上边沿，因此在对石英坩埚40进行校准前，可以先利用例如垫块加装在主炉室20的侧壁与支撑架101之间，以调高支撑架101与石英坩埚40之间的距离，也可以为其它能够调高支撑架101与石英坩埚40之间距离的方式。

进一步地，为了说明本实施例的测量尺1031移动和转动的方式，本实施例的水平对中校准夹具10还可以包括若干圆形的调节件104，调节件104活动设置于支撑架101上，调节件104的圆周方向上设置有用于啮合的若干第一凸起部分，测量尺1031上设置有用于啮合的若干第二凸起部分，测量尺1031通过第二凸起部分与第一凸起部分相互啮合以使测量尺1031竖直移动和转动。

本实施例的调节件104的数量应与测量尺1031的数量相适应，本实施例可以通过在测量尺1031的一侧边上设置若干个第二凸起部分，同时调节件104在圆周方向上设置有若干个第一凸起部分，则当需要测量尺1031进行竖直移动时，可以通过转动调节件104以带动测量尺1031做竖直方向的移动，当需要测量尺1031进行转动时，可以通过测量尺1031以调节件104的圆心为圆心围绕调节件104进行转动。

进一步地，为了说明本实施例的测量尺1031进行水平移动的方式，本实施例在支撑架101上设置有水平方向的滑槽，调节件104的两侧面上设置有滑杆；其中，调节件104的滑杆设置于滑槽中以使调节件104沿滑槽移动时带动测量尺1031进行水平移动。

也就是说，本实施例通过在调节件104的两侧面上分别设置一滑杆，同时在支撑架101对应位置设置可使滑杆进行滑动的滑槽，当测量尺1031需要在水平方向进行移动时，因测量尺1031与调节件104处于相互啮合的状态，则可以通过调节件104的滑杆在滑槽内移动带动测量尺1031在水平方向进行移动。

在本实施例中，为了提高测量的准确性，可以在测量尺1031上设置一第二平衡件1033，从而可以确保测量尺1031处于水平状态。

本实施例地第一平衡件102和第二平衡件1033均可以包括透明承载件、液体和气泡，其中，液体设置于透明承载件的内腔中，且气泡设置于液体中。液体例如可以是水，将水填充至透明承载件封闭的内腔中，并且在液体中设置了一气泡，因透明承载件为透明状态，则可以通过观察气泡在液体的状态确定支撑架101和测量尺1031是否处于水平状态。

进一步地，本实施例的测量组件103对称设置在支撑架101的两端，即在每个支撑架101的两端均对称设置有一测量组件103，则每一组对称设置的测量组件103可以对待测量件的对称位置进行同步测量，以便于能够更准确和快速地完成测量校准工序。

请参见图4，对于像石英坩埚40这种一体式的待测量件，可以通过软质吸盘50对石英坩埚40进行吸附，同时软质吸盘50还通过一吊扣60连接至吊链70的一端，吊链70的另一端则连接于支撑架101上，当需对石英坩埚40进行调整时，可以通过例如螺杆等工具使吊链70略微提起，以调整石英坩埚40的位置，完成对石英坩埚40的校准。这种调整方式因为采用灵活的吊链70对石英坩埚40进行校准，可有效节省人力，并且还可以在石英坩埚40在任意形态放置时对其进行有效吸附。另外，又因为采用的为软质吸盘50，则可以有效避免其对石英坩埚40的损伤和污染。

本实施例的水平对中校准夹具10可以同时对石墨坩埚30和石英坩埚40进行水平状态的测量和对中状态的测量，以便于可以对石墨坩埚30和石英坩埚40进行水平状态的校准和对中状态的校准，以在后续拉晶过程中，稳定单晶生长时熔液面等温线与单晶硅棒同心，保证熔液面水平，防止由于加热时间过长导致石英坩埚40软化而发生熔液溢出的现象，从而避免其污染热场。

另外需要说明的是，本实施例仅是说明了水平对中校准夹具10的一种使用方式，而本实施例所提供的水平对中校准夹具10还可以利用其它使用方式对待测量件进行校准，因此不能仅限定该水平对中校准夹具10仅适用于本实施例所举例的方式。

实施例二

请同时参见图1、图2、图3和图4，本实施例在上述实施例的基础上提供一种拉晶炉，该拉晶炉包括主炉室20、石墨坩埚30、石英坩埚40和实施例一所提供的水平对中校准夹具10，首先将石墨坩埚30安装在坩埚轴80上，并将水平对中校准夹具10的支撑架101安装在主炉室20上，之后利用水平对中校准夹具10对石墨坩埚30进行水平状态的校准和对中状态的校准；在对石墨坩埚30完成校准之后，则将石英坩埚40安装于石墨坩埚30内，并利用水平对中校准夹具10对石英坩埚40进行水平状态的校准和对中状态的校准，以完成石英坩埚40的校准。

本实施例的水平对中校准夹具10可以同时对石墨坩埚30和石英坩埚40进行水平状态的测量和对中状态的测量，以便于可以对石墨坩埚30和石英坩埚40进行水平状态的校准和对中状态的校准，则在后续拉晶过程中，可以稳定单晶生长时熔液面等温线与单晶硅棒同心，保证熔液面水平，防止由于加热时间过长导致石英坩埚40软化而发生熔液溢出的现象，从而避免其污染热场。

应知道的是，对于拉晶炉所需的其它装置，均属于现有技术，本实施例不再赘述。

本发明实施例提供的水平对中校准夹具10，其实现原理和技术效果与上述实施例的水平对中校准夹具10类似，在此不再赘述。

实施例三

请同时参见图1、图2、图3和图4，本实施例在上述实施例的基础上提供一种水平对中校准方法，该水平对中校准方法包括：

步骤1、将支撑架101放置于拉晶炉中的主炉室20上；

步骤2、通过设置在支撑架101上的第一平衡件102确定支撑架101处于水平状态；

步骤3、通过使测量组件103处于竖直状态以判断待测量件的第一状态，若第一状态为待测量件未处于水平状态，则调整待测量件至水平状态；

步骤4、通过使测量组件103处于水平状态以判断待测量件的第二状态，若第二状态为待测量件未处于对中状态，则调整待测量件至对中状态。

本实施例的水平对中校准方法可以利用上述实施例所提供的水平对中校准夹具10对石墨坩埚30和石英坩埚40进行水平状态的测量和对中状态的测量，以便于可以对石墨坩埚30和石英坩埚40进行水平状态的校准和对中状态的校准，则在后续拉晶过程中，可以稳定单晶生长时熔液面等温线与单晶硅棒同心，保证熔液面水平，防止由于加热时间过长导致石英坩埚40软化而发生熔液溢出，从而避免其污染热场。

本发明实施例提供的水平对中校准方法是利用上述实施例的水平对中校准夹具10进行测量和校准，其实现原理和技术效果与上述实施例的水平对中校准夹具10类似，在此不再赘述。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“高度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例进行接合和组合。以上内容是结合具体的优选实施方式对本发明所作的进一步详细说明，不能认定本发明的具体实施只局限于这些说明。对于本发明所属技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干简单推演或替换，都应当视为属于本发明的保护范围。

Claims (7)

1.一种水平对中校准夹具，其特征在于，包括：若干支撑架、若干第一平衡件以及若干可为竖直状态或水平状态的测量组件，其中，

所述第一平衡件设置于所述支撑架上，所述测量组件活动设置于所述支撑架上，且所述测量组件处于竖直状态时，所述测量组件以第一校准值为基准测量待测量件的第一状态，所述测量组件处于水平状态时，所述测量组件以第二校准值为基准测量待测量件的第二状态，所述第一校准值用于确定测量待测量件水平状态时的测量基准，所述第二校准值用于确定测量待测量件对中状态时的测量基准，所述待测量件为石墨坩埚或石英坩埚；

所述测量组件包括可在所述支撑架上进行水平移动、竖直移动和转动的测量尺以及可在所述测量尺上移动的测量指针，所述测量指针移动至所述测量尺上所述第一校准值对应的位置以确定所述待测量件的第一状态，所述测量指针移动至测量尺上所述第二校准值对应的位置以确定所述待测量件的第二状态；

所述水平对中校准夹具还包括若干圆形的调节件，所述调节件活动设置于所述支撑架上，所述调节件的圆周方向上设置有用于啮合的若干第一凸起部分，所述测量尺上设置有用于啮合的若干第二凸起部分，所述测量尺通过所述第二凸起部分与所述第一凸起部分相互啮合以使所述测量尺竖直移动和转动；

所述水平对中校准夹具还包括吊链、吊扣和软质吸盘，其中，

所述吊链的一端连接于所述支撑架上，所述吊链的另一端通过所述吊扣连接于所述软质吸盘上。

2.根据权利要求1所述的水平对中校准夹具，其特征在于，所述支撑架上设置有水平方向的滑槽，所述调节件的两侧面上设置有滑杆；其中，所述调节件的滑杆设置于所述滑槽中以使所述调节件沿所述滑槽移动时带动所述测量尺进行水平移动。

3.根据权利要求2所述的水平对中校准夹具，其特征在于，所述测量尺还包括第二平衡件，所述第二平衡件设置于所述测量尺上。

4.根据权利要求1所述的水平对中校准夹具，其特征在于，所述第一平衡件包括透明承载件、液体和气泡，其中，

所述液体设置于所述透明承载件的内腔中，且所述气泡设置于所述液体中。

5.根据权利要求1至4任一项所述的水平对中校准夹具，其特征在于，所述测量组件对称设置在所述支撑架的两端。

6.一种拉晶炉，其特征在于，包括权利要求1至5任一项所述的水平对中校准夹具。

7.一种水平对中校准方法，其特征在于，利用1至5任一项所述的水平对中校准夹具的对待测量件进行水平状态的测量和对中状态的测量，所述水平对中校准方法包括：

将支撑架放置于拉晶炉中的主炉室上；

通过设置在所述支撑架上的第一平衡件确定所述支撑架处于水平状态；

通过使测量组件处于竖直状态以判断待测量件的第一状态，若所述第一状态为待测量件未处于水平状态，则调整所述待测量件至水平状态；

通过使所述测量组件处于水平状态以判断所述待测量件的第二状态，若所述第二状态为所述待测量件未处于对中状态，则调整所述待测量件至对中状态。

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