CN110438466A - 一种高效智能连续式真空镀膜设备 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种高效智能连续式真空镀膜设备，包括将工件进行输送的输送装置、对工件进行抽真空和离子光辉清洗的进片室、对工件抽至真空状态的过渡室、对工件进行缓冲的第一缓冲室、恒定速度运行的镀膜室、多工件涂镀一层或多层金属膜的磁控溅射镀膜区、完成镀膜工件的第二缓冲室和出片室，所述出片室输出端设有对工件表面镀膜进行检测的出片检测装置，此高效智能连续式真空镀膜设备，不仅比单体机的生产效率高，而且产品质量也得到了最大的保证，同时通过设置的出片检测装置，从而实现对工件进行输送的同时，实现对工件的表面缺陷快速检测，同时可以通过人工翻转工件对工件的正反面进行同时检测的作用，有效的提高后续工件进行镀膜的质量。

Description

一种高效智能连续式真空镀膜设备

技术领域

本发明涉及真空镀膜设备技术领域，具体为一种高效智能连续式真空镀膜设备。

背景技术

目前，现有的连续镀膜生产线在进行可以实现连续不间断镀膜，保证不破坏真的条件下，镀制我们所需要膜层，但现有连续镀膜生产线存在一些较为复杂的膜无法完成，一些特殊的膜层的厚度通过一次无法达到，同时工件进行出片时，部分工件表面则会出现表面缺陷的现象而无法及时检测发现到，从而影响后续工件进行镀膜的质量。为此，我们提出一种高效智能连续式真空镀膜设备。

发明内容

本发明的目的在于提供一种高效智能连续式真空镀膜设备，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种高效智能连续式真空镀膜设备，包括将工件进行输送的输送装置、对工件进行抽真空和离子光辉清洗的进片室、对工件抽至真空状态的过渡室、对工件进行缓冲的第一缓冲室、恒定速度运行的镀膜室、多工件涂镀一层或多层金属膜的磁控溅射镀膜区、完成镀膜工件的第二缓冲室和出片室，所述出片室输出端设有对工件表面镀膜进行检测的出片检测装置。

优选的，所述出片检测装置包括支撑传送架、支撑轴、支撑滚轮、支撑件、定位件和检测件，所述支撑传送架位于出片室输出端上，若干个所述支撑轴的两端与支撑传送架转动连接，且若干个支撑轴与外界电力驱动系统电性连接，若干个所述支撑滚轮均匀固定在支撑轴上，若干个所述支撑轴底端设有支撑件，且支撑件输出端通过螺栓固定连接有若干个定位件，且若干个定位件均匀分布在支撑轴上，所述检测件设置在支撑传送架顶端，且检测件输出端位于若干个支撑滚轮上方。

优选的，所述检测件包括底板、升降件、限位板、摄像头和照明灯，所述底板固定连接在支撑传送架顶端，且升降件固定连接在底板上，所述升降件输出端穿过底板与限位板固定连接，所述摄像头固定连接在限位板底端，且摄像头输出端与外界设备电性连接，所述摄像头位于若干个支撑滚轮上方，所述摄像头外侧设有若干个照明灯，且照明灯固定连接在底板底端。

优选的，所述升降件包括转动电机、驱动齿轮、从动齿轮、螺纹套、螺纹杆和伸缩杆，所述转动电机固定连接在底板上，且转动电机输出端与驱动齿轮固定连接，所述驱动齿轮与从动齿轮啮合连接，且从动齿轮固定套接在螺纹套顶端，所述螺纹套转动连接在底板上，且螺纹套转动套接在螺纹杆外侧，所述螺纹杆底端穿过底板与限位板固定连接，且螺纹杆与底板滑动连接。

优选的，所述螺纹杆顶端固定连接有防脱板。

优选的，所述支撑件包括丝杆、驱动电机、驱动套、支撑杆和支撑板，所述支撑传送架对应若干个支撑轴的下方设有凹槽，所述丝杆与凹槽转动连接，且丝杆位于支撑传送架外侧的一端与驱动电机固定连接，所述驱动电机固定连接在支撑传送架上，两个所述驱动套转动套接在丝杆外侧，且两个驱动套滑动与支撑传送架滑动连接，所述支撑杆的两端分别与驱动套和支撑板固定连接，所述支撑板上设有若干个螺纹孔，且定位件通过螺栓与螺纹孔螺纹连接。

优选的，所述驱动套为T形状。

优选的，所述定位件包括定位杆、定位板、限位滚轮和连接轴，两个所述定位杆的底端设有通孔，且螺栓的底端穿过通孔与支撑板螺纹连接，两个所述定位杆顶端与定位板固定连接，且两个定位杆位于支撑轴外侧，所述限位滚轮通过轴承转动套接在连接轴外侧，且连接轴固定连接在定位板上。

优选的，所述定位杆为L形状，且通孔位于定位杆大端面的一端。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

1、本发明结合了单体镀膜机的优点，改进了生产工艺，并且在镀制过程中可以不用破真空，就能完成所需膜层的镀制，在镀制过程中可实现往复式镀膜，使每一层膜的厚度都能达到工艺设计要求，此设备的投入使用，不仅比单体机的生产效率高，而且产品质量也得到了最大的保证，同时通过设置的出片检测装置，从而实现对工件进行输送的同时，实现对工件的表面缺陷快速检测，同时可以通过人工翻转工件对工件的正反面进行同时检测的作用，有效的提高后续工件进行镀膜的质量。

2、本发明整体采用全电脑控制，将工艺参数设定录入电脑，生产过程中做细微参数调整，生产效率更高，产品良率可以达到99%以上。

附图说明

图1为本发明整体结构示意图；

图2为本发明出片检测装置侧视结构示意图；

图3为本发明定位件侧视结构示意图；

图4为图2中A区域放大图；

图5为图2中B区域放大图；

图6为图3中C区域放大图。

图中：1-输送装置；2-进片室；3-过渡室；4-第一缓冲室；5-镀膜室；6-磁控溅射镀膜区；7-第二缓冲室；8-出片室；9-出片检测装置；10-支撑传送架；11-支撑轴；12-支撑滚轮；13-支撑件；14-定位件；15-检测件；16-底板；17-升降件；18-限位板；19-摄像头；20-照明灯；21-转动电机；22-驱动齿轮；23-从动齿轮；24-螺纹套；25-螺纹杆；26-伸缩杆；27-防脱板；28-丝杆；29-驱动电机；30-驱动套；31-支撑杆；32-支撑板；33-凹槽；34-定位杆；35-定位板；36-限位滚轮；37-连接轴。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1-6，本发明提供一种技术方案：一种高效智能连续式真空镀膜设备，包括将工件进行输送的输送装置1、对工件进行抽真空和离子光辉清洗的进片室2、对工件抽至真空状态的过渡室3、对工件进行缓冲的第一缓冲室4、恒定速度运行的镀膜室5、多工件涂镀一层或多层金属膜的磁控溅射镀膜区6、完成镀膜工件的第二缓冲室7和出片室8，所述出片室8输出端设有对工件表面镀膜进行检测的出片检测装置9。

所述出片检测装置9包括支撑传送架10、支撑轴11、支撑滚轮12、支撑件13、定位件14和检测件15，所述支撑传送架10位于出片室8输出端上，若干个所述支撑轴11的两端与支撑传送架10转动连接，且若干个支撑轴11与外界电力驱动系统电性连接，若干个所述支撑滚轮12均匀固定在支撑轴11上，若干个所述支撑轴11底端设有支撑件13，且支撑件13输出端通过螺栓固定连接有若干个定位件14，且若干个定位件14均匀分布在支撑轴11上，所述检测件15设置在支撑传送架10顶端，且检测件15输出端位于若干个支撑滚轮12上方，通过设有的出片检测装置9，从而有效的提高工件镀膜质量。

所述检测件15包括底板16、升降件17、限位板18、摄像头19和照明灯20，所述底板16固定连接在支撑传送架10顶端，且升降件17固定连接在底板16上，所述升降件17输出端穿过底板16与限位板18固定连接，所述摄像头19固定连接在限位板18底端，且摄像头19输出端与外界设备电性连接，所述摄像头19位于若干个支撑滚轮12上方，所述摄像头19外侧设有若干个照明灯20，且照明灯20固定连接在底板16底端，通过设有的检查件，从而起到对工件进行出片检测的作用。

所述升降件17包括转动电机21、驱动齿轮22、从动齿轮23、螺纹套24、螺纹杆25和伸缩杆26，所述转动电机21固定连接在底板16上，且转动电机21输出端与驱动齿轮22固定连接，所述驱动齿轮22与从动齿轮23啮合连接，且从动齿轮23固定套接在螺纹套24顶端，所述螺纹套24转动连接在底板16上，且螺纹套24转动套接在螺纹杆25外侧，所述螺纹杆25底端穿过底板16与限位板18固定连接，且螺纹杆25与底板16滑动连接，两个所述伸缩杆26的两端分别与底板16和限位板18固定连接，从而起到对摄像头19与照明灯20进行高度调节的作用。

所述螺纹杆25顶端固定连接有防脱板27，从而起到对螺纹杆25移动时的限位的作用。

所述支撑件13包括丝杆28、驱动电机29、驱动套30、支撑杆31和支撑板32，所述支撑传送架10对应若干个支撑轴11的下方设有凹槽33，所述丝杆28与凹槽33转动连接，且丝杆28位于支撑传送架10外侧的一端与驱动电机29固定连接，所述驱动电机29固定连接在支撑传送架10上，两个所述驱动套30转动套接在丝杆28外侧，且两个驱动套30滑动与支撑传送架10滑动连接，所述支撑杆31的两端分别与驱动套30和支撑板32固定连接，所述支撑板32上设有若干个螺纹孔，且定位件14通过螺栓与螺纹孔螺纹连接，通过设有的支撑件13，从而起到对多个定位件14进行支撑的作用。

所述驱动套30为T形状，从而使限位套稳定连接在凹槽33内部。

所述定位件14包括定位杆34、定位板35、限位滚轮36和连接轴37，两个所述定位杆34的底端设有通孔，且螺栓的底端穿过通孔与支撑板32螺纹连接，两个所述定位杆34顶端与定位板35固定连接，且两个定位杆34位于支撑轴11外侧，所述限位滚轮36通过轴承转动套接在连接轴37外侧，且连接轴37固定连接在定位板35上，通过设有的定位件14，从而起到对工件传送时的限位的作用。

所述定位杆34为L形状，且通孔位于定位杆34大端面的一端，从而使定位杆34可以与支撑板32之间进行稳定连接的作用。

具体实施方式：本方案中采用全电脑控制，将工艺参数设定录入电脑，生产过程中做细微参数调整，且出片检测装置9可以设置在工件进片口和工件出片口处，即设置在工件进片口可以对工件的初始状态进行检测的作用，同时在进行真空镀膜时，通过输送装置1将工件进行输送输送至进片室2，进片室2经过抽真空和对工件进行离子辉光清洗的过程了，随后再通过输送装置1被输送入过渡室3，工件即可在过渡室3内抽至真空状态，随后，工件通过阀门进入缓冲室，再以恒定的速度通过镀膜室5，在磁控溅射镀膜区6内，工件表面就会被涂渡上一次或多层金属薄膜，完成的镀膜的工件就会经过第二缓冲室7和出片室8，从而输送至若干支撑传送架10上的若干个支撑滚轮12上，则支撑滚轮12在支撑轴11的转动的作用下进行同步转动，同时若干个限位滚轮36在定位杆34与定位板35的支撑作用下对工件在传送的过程中进行稳定的限位，从而将工件稳定的输送至摄像头19底端，摄像头19在多个照明灯20的照明作用下，从而实现对工件表面进行快速拍照，并将所得的照片传送至电脑终端上，人工即可对工件表面的缺陷进行快速识别，从而有效的提高工件的检测的效率与质量，同时当对工件反面的镀膜进行检查时，通过电脑控制若干个支撑轴11停止转动，人工将工件进行翻转后再放置在若干个支撑滚轮12上，支撑轴11方向运行，当运动至摄像头19底端时，支撑轴11则正向运行，即可实现对工件进行快速检测的作用。

本方案中，转动电机21优选Y80M2-2型号，驱动电机29优选Y80M1-2型号，电路运行为现有常规电路，本发明中涉及的电路以及控制均为现有技术，在此不进行过多赘述。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (9)

1.一种高效智能连续式真空镀膜设备，包括将工件进行输送的输送装置（1）、对工件进行抽真空和离子光辉清洗的进片室（2）、对工件抽至真空状态的过渡室（3）、对工件进行缓冲的第一缓冲室（4）、恒定速度运行的镀膜室（5）、多工件涂镀一层或多层金属膜的磁控溅射镀膜区（6）、完成镀膜工件的第二缓冲室（7）和出片室（8），其特征在于：所述出片室（8）输出端设有对工件表面镀膜进行检测的出片检测装置（9）。

2.根据权利要求1所述的一种高效智能连续式真空镀膜设备，其特征在于：所述出片检测装置（9）包括支撑传送架（10）、支撑轴（11）、支撑滚轮（12）、支撑件（13）、定位件（14）和检测件（15），所述支撑传送架（10）位于出片室（8）输出端上，若干个所述支撑轴（11）的两端与支撑传送架（10）转动连接，且若干个支撑轴（11）与外界电力驱动系统电性连接，若干个所述支撑滚轮（12）均匀固定在支撑轴（11）上，若干个所述支撑轴（11）底端设有支撑件（13），且支撑件（13）输出端通过螺栓固定连接有若干个定位件（14），且若干个定位件（14）均匀分布在支撑轴（11）上，所述检测件（15）设置在支撑传送架（10）顶端，且检测件（15）输出端位于若干个支撑滚轮（12）上方。

3.根据权利要求2所述的一种高效智能连续式真空镀膜设备，其特征在于：所述检测件（15）包括底板（16）、升降件（17）、限位板（18）、摄像头（19）和照明灯（20），所述底板（16）固定连接在支撑传送架（10）顶端，且升降件（17）固定连接在底板（16）上，所述升降件（17）输出端穿过底板（16）与限位板（18）固定连接，所述摄像头（19）固定连接在限位板（18）底端，且摄像头（19）输出端与外界设备电性连接，所述摄像头（19）位于若干个支撑滚轮（12）上方，所述摄像头（19）外侧设有若干个照明灯（20），且照明灯（20）固定连接在底板（16）底端。

4.根据权利要求3所述的一种高效智能连续式真空镀膜设备，其特征在于：所述升降件（17）包括转动电机（21）、驱动齿轮（22）、从动齿轮（23）、螺纹套（24）、螺纹杆（25）和伸缩杆（26），所述转动电机（21）固定连接在底板（16）上，且转动电机（21）输出端与驱动齿轮（22）固定连接，所述驱动齿轮（22）与从动齿轮（23）啮合连接，且从动齿轮（23）固定套接在螺纹套（24）顶端，所述螺纹套（24）转动连接在底板（16）上，且螺纹套（24）转动套接在螺纹杆（25）外侧，所述螺纹杆（25）底端穿过底板（16）与限位板（18）固定连接，且螺纹杆（25）与底板（16）滑动连接。

5.根据权利要求4所述的一种高效智能连续式真空镀膜设备，其特征在于：所述螺纹杆（25）顶端固定连接有防脱板（27）。

6.根据权利要求2所述的一种高效智能连续式真空镀膜设备，其特征在于：所述支撑件（13）包括丝杆（28）、驱动电机（29）、驱动套（30）、支撑杆（31）和支撑板（32），所述支撑传送架（10）对应若干个支撑轴（11）的下方设有凹槽（33），所述丝杆（28）与凹槽（33）转动连接，且丝杆（28）位于支撑传送架（10）外侧的一端与驱动电机（29）固定连接，所述驱动电机（29）固定连接在支撑传送架（10）上，两个所述驱动套（30）转动套接在丝杆（28）外侧，且两个驱动套（30）滑动与支撑传送架（10）滑动连接，所述支撑杆（31）的两端分别与驱动套（30）和支撑板（32）固定连接，所述支撑板（32）上设有若干个螺纹孔，且定位件（14）通过螺栓与螺纹孔螺纹连接。

7.根据权利要求6所述的一种高效智能连续式真空镀膜设备，其特征在于：所述驱动套（30）为T形状。

8.根据权利要求2所述的一种高效智能连续式真空镀膜设备，其特征在于：所述定位件（14）包括定位杆（34）、定位板（35）、限位滚轮（36）和连接轴（37），两个所述定位杆（34）的底端设有通孔，且螺栓的底端穿过通孔与支撑板（32）螺纹连接，两个所述定位杆（34）顶端与定位板（35）固定连接，且两个定位杆（34）位于支撑轴（11）外侧，所述限位滚轮（36）通过轴承转动套接在连接轴（37）外侧，且连接轴（37）固定连接在定位板（35）上。

9.根据权利要求8所述的一种高效智能连续式真空镀膜设备，其特征在于：所述定位杆（34）为L形状，且通孔位于定位杆（34）大端面的一端。