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CN110286563A - 一种循环式扫描曝光机 - Google Patents

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CN110286563A
CN110286563A CN201910530688.7A CN201910530688A CN110286563A CN 110286563 A CN110286563 A CN 110286563A CN 201910530688 A CN201910530688 A CN 201910530688A CN 110286563 A CN110286563 A CN 110286563A
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CN
China
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exposure
workpiece
exposure device
driving
feeding mechanism
Prior art date
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Pending
Application number
CN201910530688.7A
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English (en)
Inventor
蔡志国
张米好
江俊龙
农远峰
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Caiz Optronics Corp
Original Assignee
Caiz Optronics Corp
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Publication date
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    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/20—Exposure; Apparatus therefor
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    • G—PHYSICS
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    • G03F7/70216—Mask projection systems
    • G03F7/70358—Scanning exposure, i.e. relative movement of patterned beam and workpiece during imaging
    • G03F7/70366—Rotary scanning

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)

Abstract

一种循环式扫描曝光机。本发明涉及光学设备领域，解决现有工件曝光设备曝光效率低的问题。包括有底座，设置在底座上的曝光台，以及曝光装置，曝光台上分别设有两组用于工件供料的左供料机构和右供料机构，曝光装置支架上设有驱动一排以上的曝光装置移动的曝光装置驱动机构；底座上设有驱动曝光装置支架垂直曝光装置支架移动的曝光装置支架驱动机构。左供料机构和右供料机构可以同时把工件托起准备曝光，当左边的工件曝光完毕，曝光装置移动到右边的工件直接进行曝光，同时左边的供料机构把曝光的工件传送出料，再把左边支撑柱组件上未曝光的工件传送托起准备曝光，依次循环；传感器用于检测工件是否弯曲，从而剔除不合格的工件；从而曝光效率高，不需要有上料等待时间。

Description

一种循环式扫描曝光机
技术领域
本发明涉及光学设备领域，尤其涉及一种循环式扫描曝光机。
背景技术
现有的曝光扫描方式通常是将工件放到曝光台上后，作曝光动作，交换工件方式必须等前一工件移开后,另工件才能移入。
发明内容
本发明的目的在于解决现有技术的工件曝光设备曝光效率低的问题。
为解决本发明所提出的技术问题采用的技术方案为：本发明的循环式扫描曝光机包括有底座，设置在底座上的曝光台，以及用于工件曝光的曝光装置，所述的曝光台上分别设有两组用于工件供料的左供料机构和右供料机构，左供料机构和右供料机构把曝光台分成左曝光区和右曝光区，所述的左供料机构和右供料机构均包括有用于支撑放置工件的由多个相互平行设置的倒U形支撑柱组成的支撑柱组件，以及用于把支撑柱组件上的工件托起传送的传送板，传送板上设有与支撑柱组件配合的顶柱组件，底座上设有驱动顶柱组件上下移动以及沿进出料方向移动的传送驱动机构，所述的底座上设有横跨曝光台的曝光装置支架，一排以上所述的曝光装置滑动设于曝光装置支架上，曝光装置支架上设有驱动一排以上的曝光装置沿曝光装置支架移动的曝光装置驱动机构；所述的底座上设有驱动曝光装置支架垂直曝光装置支架移动的曝光装置支架驱动机构。
对本发明作进一步限定的技术方案包括：
所述的左供料机构和右供料机构上均设有用于检测工件弯曲的传感器。
所述的传感器设置在顶柱组件上，对应工件的四角下方均设有一个传感器。
所述的传感器设置在支撑柱组件上，对应工件的四角侧面均设有一个传感器。
所述的顶柱组件上设有用于把工件吸附在顶柱组件上的吸风口。
所述的传送驱动机构包括有驱动顶柱组件上下移动的第一驱动气缸和驱动第一驱动气缸沿进出料方向移动的第二驱动气缸，所述的顶柱组件与第一驱动气缸的活塞杆固定连接。
所述曝光装置驱动机构为曝光装置直线电机驱动。
所述曝光装置支架驱动机构为曝光装置支架直线电机驱动。
通过上述技术方案，本发明的有益效果为：本发明的循环式扫描曝光机的左供料机构和右供料机构可以同时把工件托起准备曝光，当左边的工件曝光完毕，曝光装置移动到右边的工件直接进行曝光，同时左边的供料机构把曝光的工件传送出料，再把左边支撑柱组件上未曝光的工件传送托起准备曝光，依次循环；传感器用于检测工件是否弯曲，从而剔除不合格的工件；从而曝光效率高，不需要有上料等待时间。
附图说明
图1为本发明一种循环式扫描曝光机的立体结构示意图。
图2为本发明一种循环式扫描曝光机的立体结构示意图。
图3为本发明一种循环式扫描曝光机的传感器位于工件四角下方时的结构示意图。
图4为本发明一种循环式扫描曝光机的传感器位于工件四角侧面时的结构示意图。
图5为本发明一种循环式扫描曝光机的传感器位于工件四角侧面时的结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图对本发明的结构做进一步说明。
参照图1至图5，一种循环式扫描曝光机包括有底座1，设置在底座上的曝光台2，以及用于工件8曝光的曝光装置3，曝光台上分别设有两组用于工件供料的左供料机构4和右供料机构5，左供料机构和右供料机构把曝光台分成左曝光区和右曝光区，左供料机构和右供料机构均包括有用于支撑放置工件的由多个相互平行设置的倒U形支撑柱组成的支撑柱组件41，以及用于把支撑柱组件上的工件托起传送的传送板42，传送板上设有与支撑柱组件配合的顶柱组件421，底座上设有驱动顶柱组件上下移动以及沿进出料方向移动的传送驱动机构。本实施例中，顶柱组件上设有用于把工件吸附在顶柱组件上的吸风口。吸风口能够把工件吸附在顶柱组件上，防止工件晃动错位。传送驱动机构包括有驱动顶柱组件上下移动的第一驱动气缸和驱动第一驱动气缸沿进出料方向移动的第二驱动气缸。顶柱组件与第一驱动气缸的活塞杆固定连接。曝光时，第一驱动气缸驱动顶柱组件向上移动伸出支撑柱组件，把工件顶起准备曝光。工件进料出料时，第二驱动气缸驱动第一驱动气缸沿进出料方向移动对工件进行传送。
底座上设有横跨曝光台的曝光装置支架6，一排以上的曝光装置滑动设于曝光装置支架上，曝光装置支架上设有驱动一排以上的曝光装置沿曝光装置支架移动的曝光装置驱动机构；本实施例中，曝光装置设有两排。具体实施时，根据需要曝光装置可以设置一排以上。本实施例中，曝光装置驱动机构为曝光装置直线电机驱动。曝光装置驱动机构驱动两排曝光装置沿曝光装置支架移动，从一边的曝光区移动到另外一边的曝光区进行曝光。底座上设有驱动曝光装置支架垂直曝光装置支架移动的曝光装置支架驱动机构。本实施例中，曝光装置支架驱动机构为曝光装置支架直线电机驱动。曝光装置支架驱动机构驱动曝光装置支架垂直曝光装置支架，从而可以依次把一边曝光区的工件曝光，从而提高曝光效率。
本实施例中，左供料机构和右供料机构上均设有用于检测工件弯曲的传感器7。本实施例中，传感器设置在顶柱组件上，对应工件的四角下方均设有一个传感器。用于检测顶柱组件到工件的距离来判断工件是否弯曲，传感器把检测的数据反馈给系统，系统判断实际值是否超过设计值，超出则发出警报，从而剔除不合格的工件，提高曝光质量。具体实施时，传感器设置在支撑柱组件上，对应工件的四角侧面均设有一个传感器。根据工件板厚来检测工件是否弯曲。
本发明的循环式扫描曝光机的左供料机构和右供料机构可以同时把工件托起准备曝光，当左边的工件曝光完毕，曝光装置移动到右边的工件直接进行曝光，同时左边的供料机构把曝光的工件传送出料，再把左边支撑柱组件上未曝光的工件传送托起准备曝光，依次循环；传感器用于检测工件是否弯曲，从而剔除不合格的工件；从而曝光效率高，不需要有上料等待时间。
虽然结合附图对本发明的具体实施方式进行了详细地描述，但不应理解为对本发明的保护范围的限定。在权利要求书所描述的范围内，本领域技术人员不经创造性劳动即可做出的各种修改和变形仍属于本发明的保护范围。

Claims (8)

1.一种循环式扫描曝光机，包括有底座，设置在底座上的曝光台，以及用于工件曝光的曝光装置，其特征在于：所述的曝光台上分别设有两组用于工件供料的左供料机构和右供料机构，左供料机构和右供料机构把曝光台分成左曝光区和右曝光区，所述的左供料机构和右供料机构均包括有用于支撑放置工件的由多个相互平行设置的倒U形支撑柱组成的支撑柱组件，以及用于把支撑柱组件上的工件托起传送的传送板，传送板上设有与支撑柱组件配合的顶柱组件，底座上设有驱动顶柱组件上下移动以及沿进出料方向移动的传送驱动机构，所述的底座上设有横跨曝光台的曝光装置支架，一排以上所述的曝光装置滑动设于曝光装置支架上，曝光装置支架上设有驱动一排以上的曝光装置沿曝光装置支架移动的曝光装置驱动机构；所述的底座上设有驱动曝光装置支架垂直曝光装置支架移动的曝光装置支架驱动机构。
2.如权利要求1所述的一种循环式扫描曝光机，其特征在于：所述的左供料机构和右供料机构上均设有用于检测工件弯曲的传感器。
3.如权利要求2所述的一种循环式扫描曝光机，其特征在于：所述的传感器设置在顶柱组件上，对应工件的四角下方均设有一个传感器。
4.如权利要求2所述的一种循环式扫描曝光机，其特征在于：所述的传感器设置在支撑柱组件上，对应工件的四角侧面均设有一个传感器。
5.如权利要求1所述的一种循环式扫描曝光机，其特征在于：所述的顶柱组件上设有用于把工件吸附在顶柱组件上的吸风口。
6.如权利要求1所述的一种循环式扫描曝光机，其特征在于：所述的传送驱动机构包括有驱动顶柱组件上下移动的第一驱动气缸和驱动第一驱动气缸沿进出料方向移动的第二驱动气缸，所述的顶柱组件与第一驱动气缸的活塞杆固定连接。
7.如权利要求1所述的一种循环式扫描曝光机，其特征在于：所述曝光装置驱动机构为曝光装置直线电机驱动。
8.如权利要求1所述的一种循环式扫描曝光机，其特征在于：所述曝光装置支架驱动机构为曝光装置支架直线电机驱动。
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