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CN110189773B - 头万向架组件以及具备其的磁盘装置 - Google Patents

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CN110189773B CN201810618984.8A CN201810618984A CN110189773B CN 110189773 B CN110189773 B CN 110189773B CN 201810618984 A CN201810618984 A CN 201810618984A CN 110189773 B CN110189773 B CN 110189773B
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Abstract

实施方式提供可靠性提高了的头万向架组件以及磁盘装置。根据实施方式，头万向架组件具备：悬架和经由万向架部支撑于悬架的磁头。磁头具有滑块(31)和设置于滑块的头部(33)。滑块具有空气支撑面(40)、一对侧面(42c)、前导侧端面(42a)和尾随侧端面(42b)。滑块具有：深槽(50)，其形成于前导侧台阶部与尾随侧台阶部之间，在空气支撑面以及一对侧面开口；和一对间隔壁(72)，它们分别沿着一对侧面从尾随侧台阶部向前导侧台阶部延伸，将深槽的侧面侧的开口的至少一部分封闭。

Description

头万向架组件以及具备其的磁盘装置
相关申请
本申请享受以日本专利申请2018－31198号(申请日：2018年2月23日)为在先申请的优先权。本申请通过参照该在先申请而包含在先申请的全部内容。
技术领域
本发明的实施方式涉及头万向架组件以及具备该头万向架组件的磁盘装置。
背景技术
作为磁盘装置，例如硬盘驱动器(HDD)具备设置为旋转自如的磁盘和头万向架组件。头万向架组件具有：具有万向架部的悬架和支撑于万向架部的磁头。
磁头具有滑块以及设置于滑块的头部。头部构成为包含读取用的再现元件、写入用的记录元件。滑块具有与磁盘的记录面相对的相对面(空气支承面：ABS)。ABS在上游侧与下游侧具有1个以上的正压产生面，在下游侧具有至少1对负压产生槽。另外，ABS在流入侧的压力产生面与流出侧的压力产生面之间具有比压力产生面低的槽部，一直到滑块的侧部为止，该槽部通过同一面构成。
在盘驱动器工作时，在旋转的磁盘与滑块之间产生空气流，在滑块的ABS，因空气流体润滑的原理，作用有使滑块从磁盘记录面上浮的力(正压)。通过使该上浮力与头载荷平衡，滑块与磁盘记录面保持间隙地上浮。
盘驱动器保持为高度的清洁度，但在驱动器内还是存在微量的灰尘等污染物。润滑油等液状污染物主要积存于ABS的槽部，向滑块的侧部流动。到达侧部后的液状污染物向磁头的下游侧流动，最终下落到磁盘上。结果，磁头与磁盘之间的间隙变动，有时给磁头或磁盘带来坏影响。
发明内容
本发明的实施方式提供降低污染物引起的障碍、可靠性提高了的头万向架组件以及磁盘装置。
根据实施方式，头万向架组件具备：悬架、设置于所述悬架的万向架部和支撑于所述万向架部的磁头。所述磁头具备：滑块，其具有：具有一对侧缘的空气支撑面、沿着所述空气支撑面的一对侧缘的一对侧面、前导侧端面和尾随侧端面；和头部，其设置于所述滑块，进行数据的记录再现。所述滑块具有：前导侧台阶部，其设置于所述空气支撑面的前导侧端部；尾随侧台阶部，其设置于所述空气支撑面的尾随侧端部，内置所述头部；深槽，其形成于所述前导侧台阶部与尾随侧台阶部之间，在所述空气支撑面以及所述一对侧面开口；和一对间隔壁，它们分别沿着所述一对侧面从所述尾随侧台阶部向所述前导侧台阶部延伸，将所述深槽的所述侧面侧的开口的至少一部分封闭。
附图说明
图1是表示实施方式所涉及的硬盘驱动器(HDD)的内部构造的俯视图。
图2是放大表示所述HDD的磁盘和磁头以及悬架的侧视图。
图3是表示所述磁头的空气支撑面(ABS)侧的立体图。
图4是表示所述磁头的ABS侧的俯视图。
图5是磁头的沿着图3的线V－V的剖视图。
图6是磁头的沿着图3的线VI－VI的剖视图。
图7是示意地表示第1变形例所涉及的磁头的滑块的间隔壁部分的图。
图8是示意地表示第2变形例所涉及的磁头的滑块的间隔壁部分的图。
图9是示意地表示第3变形例所涉及的磁头的滑块的间隔壁部分的图。
图10是示意地表示第4变形例所涉及的磁头的滑块的间隔壁部分的图。
图11是示意地表示第5变形例所涉及的磁头的滑块的间隔壁部分的图。
图12是示意地表示第6变形例所涉及的磁头的滑块的间隔壁部分的图。
图13是示意地表示第7变形例所涉及的磁头的滑块的间隔壁部分的图。
图14是示意地表示第8变形例所涉及的磁头的滑块的间隔壁部分的图。
图15是示意地表示第9变形例所涉及的磁头的滑块的间隔壁部分的图。
图16是示意地表示第10变形例所涉及的磁头的滑块的间隔壁部分的图。
图17是示意地表示第11变形例所涉及的磁头的滑块的间隔壁部分的图。
图18是示意地表示第12变形例所涉及的磁头的滑块的间隔壁部分的图。
具体实施方式
以下一边参照附图一边对实施方式所涉及的磁盘装置进行说明。
另外，公开只不过是一例，关于本领域技术人员能够容易地想到的确保发明的主旨的适当变更，当然包含于本发明的范围中。另外，附图中，为了使说明更明确，与实际的方案相比，有时候示意性地表示各部分的宽度、厚度、形状等，但这只不过是一例，并不是限定本发明的解释。另外，在本说明书与各图中，对于与关于已经出现过的图已说明的要素同样的要素，赋予相同附图标记，有时将详细的说明适当省略。
(第1实施方式)
作为磁盘装置的一例，对实施方式所涉及的硬盘驱动器(HDD)进行详细说明。图1表示第1实施方式所涉及的HDD的内部构造。
如图1所示，HDD具备框体10。框体10具有：顶面开口的矩形箱状的基体12和将基体12的上端开口封闭的未图示的顶盖。基体12具有：矩形状的底壁12a和沿着底壁12a的周缘立起设置的侧壁12b。
在框体10内，设有：作为记录介质的1片或多片磁盘16；以及主轴马达23，其作为支撑磁盘16以及使磁盘16旋转的驱动部。磁盘16被互相同轴地嵌合于主轴马达23的未图示的轮毂并且通过夹紧弹簧27夹紧，固定于轮毂。磁盘16通过主轴马达23按箭头A方向以预定的速度旋转。
在框体10内，设有：对磁盘16进行数据的写/读的多个磁头17和将这些磁头17支撑得能够相对于磁盘16移动的滑架组件22。在框体10内，设有：音圈马达(以下称为VCM)24，其使滑架组件22进行转动以及定位；斜坡加载机构25，其在磁头17移动到磁盘16的最外周时，将磁头17保持于从磁盘16离开的卸载位置；闩锁机构26，其在冲击等作用于HDD时，将滑架组件22保持于退避位置；以及具有转换连接器等的基板单元21。
在基体12的底壁12a的外表面，螺纹止动有未图示的印刷电路基板。印刷电路基板经由基板单元21控制VCM24以及磁头17的动作，并且控制主轴马达23的动作。
图2示意地表示上浮状态的磁头以及磁盘。如图1以及图2所示，磁盘16具有形成为例如直径约2.5英寸(6.35cm)的圆板状的由非磁性体构成的基板101。在基板101的两面依次层叠有：作为基底层的由表现软磁特性的材料构成的软磁性层102、在软磁性层102的上层部的磁记录层103以及在磁记录层103的上层部的保护膜层104。
滑架组件22具有：多条臂28和从各臂28延伸出的头万向架组件30。各头万向架组件30具有：细长的板簧状的悬架34、设置于悬架34上的作为布线构件的柔性件41和磁头17。磁头17经由柔性件41的万向架部36，支撑于悬架34的前端部。
如图2所示，磁头17构成为上浮型的头，具有：滑块31，其形成为大致长方体状；和头部33，其形成于滑块31的流出端(尾随)侧的端部。滑块31具有与磁盘16的表面相对的空气支撑面(ABS)40。磁头17通过空气流B而上浮，所述空气流B通过磁盘16的旋转而在磁盘16的表面与滑块31的ABS40之间产生。空气流B的方向与磁盘16的旋转方向A一致。
接下来，对磁头17的构成进行详细说明。图3是表示磁头的滑块的立体图，图4是表示滑块的ABS侧的俯视图。
如图3以及图4所示，磁头17的滑块31形成为大致长方体状，具有：矩形状的空气支撑面(盘相对面)(air bearing surface：ABS)40，其与磁盘16的表面相对；流入侧端面(前导侧端面)42a，其与ABS40正交地延伸；流出侧端面(尾随侧端面)42b，其与ABS40正交地延伸；以及一对侧面(侧部)42c，它们分别与ABS40正交地在流入侧端面42a与流出侧端面42b之间延伸。
将ABS40的长度方向设为第1方向X，将与其正交的宽度方向设为第2方向Y。在一例中，滑块31将第1方向X的长度L1形成为1.25mm以下、例如1.235mm，将沿着第2方向Y的宽度W1形成为1.0mm以下、例如0.7mm，将厚度T1形成为0.23～0.3mm，构成为所谓的佩姆托(ペムト)滑块。
图5是滑块的沿着图3的线V－V的纵剖视图，图6是滑块的沿着图3的线VI－VI的横剖视图。
如图3至图5所示，在ABS40的第1方向X的大致中央部，形成有遍及第2方向Y的全长地延伸的带状的深槽50。深槽50具有平坦的底面，在滑块31的侧面42c开口。在将滑块31的厚度T1设为例如0.23mm的情况下，深槽50的深度形成为1～5μm、例如3μm。通过设置深槽50，在通过HDD实现的所有的偏转(yaw)角，能够在深槽50的前导侧产生负压。
在ABS40的前导侧端部，形成有大致矩形状的前导台阶52。前导台阶52设置成相对于深槽50的底面突出，且相对于空气流C位于深槽50的流入侧。
为了维持磁头17的俯仰(pitch)角，在前导台阶52上，突出设置有通过空气膜支撑滑块31的前导垫(流入侧的压力产生面)53。前导垫53形成为多个部位朝向流入侧开放的M形状。前导垫53的顶面构成滑块31的最顶面，构成ABS40的一部分。在从前导台阶52的流入端稍微向流出侧偏离的位置，形成有前导槽55。
如图3至图5所示，从ABS40的大致中央部遍及到流出侧端面42b为止，形成有由凹处构成的负压腔54。负压腔54位于深槽50的流出端侧，向流出侧端面42b开放。负压腔54被形成得比深槽50浅，即，形成于比深槽50的底面高的位置。负压腔54的深度形成为500～1500nm、例如1000nm。通过设置负压腔54，能够在通过HDD实现的所有的偏转角，产生负压。
在ABS40以包围负压腔54的方式形成有肋状的中间横轨(crossrai l)56、一对侧垫58以及一对裙状部60。中间横轨56位于深槽50和负压腔54之间，沿着第2方向Y在ABS40的两侧缘间延伸。中间横轨56被设置成相对于负压腔54的底面突出，且相对于空气流C位于负压腔54的流入侧。
一对侧垫58沿着ABS40的各侧缘而形成，从中间横轨56向ABS40的流出端侧延伸。这些侧垫58相对于负压腔54的底面突出。
一对裙状部60沿着ABS40的各侧缘(侧面42c)而形成，分别沿着第1方向X从侧垫58延伸到ABS40的流出侧端面42b附近为止。各裙状部60被设置成相对于负压腔54的底面突出，且被形成得比侧垫58低。
中间横轨56、一对侧垫58以及一对裙状部60作为整体，形成为上游侧被封闭、向下游侧开放的大致U形状。而且，通过中间横轨56、一对侧垫58以及一对裙状部60规定负压腔54。
如图3至图6所示，滑块31具有相对于空气流C的方向形成于ABS40的流出侧端部的尾随台阶62。尾随台阶62形成为相对于负压腔54的底面突出，其突出高度形成为与前导台阶52相同的高度。尾随台阶62位于ABS40的第2方向Y的大致中央。在尾随台阶62的顶面，突出设置有通过空气膜支撑滑块31的尾随垫(流出侧的压力产生面)63。
尾随垫63相对于尾随台阶62的流出侧端面、在这里为滑块31的流出侧端面42b隔着间隙而设置于流入侧。尾随垫63形成为与前导垫53、中间横轨56、侧垫58相同的高度水平，成为滑块31的最顶面，构成ABS40的一部分。
磁头17的头部33具有对磁盘16进行信息的记录再现的记录元件65以及再现元件66。这些记录元件65以及再现元件66相对于空气流C的方向埋入到滑块31的下游侧端部内、在这里为尾随台阶62内。记录元件65以及再现元件66的前端部在尾随垫63的位置在ABS40露出。
滑块31的ABS40具有沿着第1方向X从中间横轨56延伸到尾随台阶58的细长的一对中央轨68。一对中央轨68位于滑块31的中心轴线D的两侧，在第2方向Y上隔着间隙互相相对。中央轨68形成为距负压腔54的底面的高度与中间横轨56以及尾随垫63的高度相同。在一对中央轨62间，形成有将空气流向尾随台阶62以及尾随垫63引导的导向槽76。该导向槽76沿着中心轴线D形成，通过深槽50、进而延伸到前导台阶52为止。
上述的前导台阶52构成滑块31的流入侧的台阶部，另外，中间横轨56、侧垫58以及尾随台阶62构成滑块31的流出侧的台阶部。而且，深槽50设置于流入侧台阶部与流出侧台阶部之间。
如图3、图4以及图6所示，在本实施方式中，滑块31在各侧面部，具有设置成将深槽50的侧面侧开口部分地堵塞的一对第1间隔壁(肋)72以及一对第2间隔壁74。第1间隔壁72立起设置于深槽50的底面，并且沿着侧面42c从尾随侧台阶部、在这里为侧垫58向前导侧台阶部53延伸，将深槽50的侧面侧的开口的一部分封闭。第1间隔壁72具有：与侧面42c共面地延伸的外侧面72a和与外侧面72a相对的、面向深槽50的内侧面72b。在本实施方式中，内侧面72b与外侧面72a大致平行地延伸。第1间隔壁72中的各间隔壁形成为比ABS40的最顶面(正压产生面)的高度T1低的高度T2。
第2间隔壁74中的各间隔壁立起设置于深槽50的底面，并且沿着侧面42c从前导侧台阶部53向尾随侧台阶部延伸，将深槽50的侧面侧的开口的一部分封闭。第2间隔壁74的延伸端隔着间隙与第1间隔壁72的延伸端相对。第2间隔壁74具有：与侧面42c共面地延伸的外侧面74a和与外侧面74a相对的、面向深槽50的内侧面74b。在本实施方式中，内侧面72b与外侧面74a大致平行地延伸。第2间隔壁74中的各间隔壁形成为比ABS40的最顶面(正压产生面)的高度T1低的高度T2。
根据如上那样构成的头万向架组件30的磁头17，滑块31具有设置成将深槽50的侧面侧开口的至少一部分堵塞的第1间隔壁72以及第2间隔壁74。因此，如图4示意地表示，附着于磁头17(滑块31)的中央部以及深槽50内的润滑剂或液状污染物在深槽50内向下游侧、即向侧面42c侧流动的过程中，通过第1间隔壁72以及第2间隔壁74妨碍移动，积存于第1间隔壁72以及第2间隔壁74的内侧面72a、74a侧。由此，能够防止润滑剂或液状污染物向滑块31的侧面42c流出，能够防止下落到磁盘16上。因此，能够抑制由污染物引起的磁头17以及磁盘16的障碍、特性劣化，能够提高磁盘装置的可靠性。
由以上的情况可知，根据第1实施方式，可得到降低污染物引起的障碍、可靠性提高了的头万向架组件以及磁盘装置。
另外，第1间隔壁以及第2间隔壁的形状、宽度、长度、高度等尺寸并不限定于本实施方式，能够进行各种变更。另外，间隔壁并不限定于第1以及第2这两者，也可以设为仅具备任意一方的间隔壁的构成。
接下来，对各种变形例进行说明。另外，在以下说明的变形例中，对于与前述的第1实施方式相同的部分，赋予相同附图标记而将其详细的说明省略，以与第1实施方式不同的部分为中心进行详细说明。
(第1变形例)
图7示意地表示第1变形例所涉及的磁头的滑块的间隔壁部分。根据第1变形例，滑块31仅具有从尾随侧台阶部向前导侧台阶部延伸的第1间隔壁(间隔壁)72。即，第2间隔壁能够省略。
在第1变形例中，也能够通过第1间隔壁72拦住附着于深槽50的污染物，防止向侧面部流出。
(第2变形例)
图8示意地表示第2变形例所涉及的磁头的滑块的间隔壁部分。根据第2变形例，间隔壁72具有：与滑块31的侧面42c共面地延伸的外侧面72a和与外侧面72a相对的、面向深槽50的内侧面72b。另外，在间隔壁72的延伸端部，内侧面72b具有向深槽50侧突出了的钥匙状的凸部72c。在设置了这样的凸部72c的情况下，能够通过凸部72c妨碍由间隔壁72拦住的污染物的移动，能够使污染物更难向侧面部流出。
(第3变形例)
图9示意地表示第3变形例所涉及的磁头的滑块的间隔壁部分。根据第3变形例，在间隔壁72的内侧面72b，设有多个凸部72c。
(第4变形例)
图10示意地表示第4变形例所涉及的磁头的滑块的间隔壁部分。根据第4变形例，在间隔壁72的内侧面72b，形成有1个或多个凹部72d。能够将被间隔壁72拦住了的污染物积存于凹部72d而妨碍移动。
(第5变形例)
图11示意地表示第5变形例所涉及的磁头的滑块的间隔壁部分。根据第5变形例，在间隔壁72的内侧面72b，设有凸部72c以及凹部72d。凸部72c设置为比凹部72d靠间隔壁72的延伸端侧。
(第6变形例)
图12示意地表示第6变形例所涉及的磁头的滑块的间隔壁部分。根据第6变形例，间隔壁72的内侧面72b不与外侧面72a平行，而以从间隔壁72的延伸端向基端而宽度逐渐变宽的方式，相对于外侧面72a倾斜。通过这样的间隔壁72，也能够拦住污染物。另外，相反，也可以为：间隔壁72的内侧面72b不与外侧面72a平行，而以从间隔壁72的延伸端向基端宽度逐渐变窄的方式，相对于外侧面72a倾斜，在该情况下，也能够拦住污染物。
(第7变形例)
图13示意地表示第7变形例所涉及的磁头的滑块的间隔壁部分。根据第7变形例，间隔壁72的内侧面72b相对于外侧面72a倾斜，还具有向深槽50侧突出的钥匙状的凸部72c。
(第8变形例)
图14示意地表示第8变形例所涉及的磁头的滑块的间隔壁部分。根据第8变形例，间隔壁72的内侧面72b相对于外侧面72a倾斜，还具有向深槽50侧突出的凸部72c以及相对于深槽50成为凹处的凹部72d。
(第9变形例)
图15示意地表示第9变形例所涉及的磁头的滑块的间隔壁部分。根据第9变形例，滑块31与前述的第1实施方式同样，具有：从尾随侧台阶部向前导侧台阶部延伸的第1间隔壁72和从前导侧台阶部向尾随侧台阶部延伸的第2间隔壁74。而且，第2间隔壁74的内侧面74b在延伸侧部具有向深槽50侧突出的钥匙状的凸部74c。
(第10变形例)
图16示意地表示第10变形例所涉及的磁头的滑块的间隔壁部分。根据第10变形例，第2间隔壁74从前导侧台阶部向尾随台阶部延伸，进而向从侧面42c离开的方向、即向深槽50的内侧弯曲或弯折地延伸。
(第11变形例)
图17示意地表示第11变形例所涉及的磁头的滑块的间隔壁部分。根据第11变形例，第1间隔壁72具有弯折成阶梯状而形成的延伸端，同样，第2间隔壁74具有弯折成阶梯状的延伸端。第1间隔壁72的延伸端与第2间隔壁74的延伸端隔着阶梯状的间隙(labyrinth，迷宫)而互相相对。
(第12变形例)
图18示意地表示第12变形例所涉及的磁头的滑块的间隔壁部分。根据第12变形例，将第1间隔壁72与第2间隔壁74连结，作为1个间隔壁72。即，间隔壁72从前导侧台阶部连续延伸到尾随台阶部为止，将深槽50的侧面42c侧开口的大致整体封闭。
另外，虽然说明了本发明的实施方式和各种变形例，但这些实施方式以及变形例只是作为示例而提出的，并非旨在限定发明的范围。新实施方式能够以其他各种方式进行实施，能够在不脱离发明的宗旨的范围内进行各种省略、替换、变更。这些实施方式包括在发明的范围和/或宗旨中，同样地包括在权利要求书所记载的发明及与其均等的范围内。
例如，磁头的滑块并不限定于佩姆托滑块，也能够适用于皮米(pico)滑块、飞米(femto)滑块或尺寸更大的滑块。滑块中的尾随台阶、尾随垫、其他的部分的形状、尺寸等能够根据需要而变更。在盘驱动器中，磁盘并不限定于2.5英寸，也可以为其他的大小的磁盘。磁盘并不限定于2片，也可以为1片或3片以上，头万向架组件的数量也根据磁盘的设置片数而增减即可。头万向架组件所使用的材料以及尺寸并不限定于实施方式，能够根据需要进行各种变更。

Claims (10)

1.一种头万向架组件，其具备：悬架、设置于所述悬架的万向架部和支撑于所述万向架部的磁头，其中，
所述磁头具备：
滑块，其具有：具有一对侧缘的空气支撑面、沿着所述空气支撑面的一对侧缘的一对侧面、前导侧端面和尾随侧端面；和
头部，其设置于所述滑块，进行数据的记录再现，
所述滑块具有：前导侧台阶部，其设置于所述空气支撑面的前导侧端部；尾随侧台阶部，其设置于所述空气支撑面的尾随侧端部，内置所述头部；深槽，其形成于所述前导侧台阶部与所述尾随侧台阶部之间，在所述空气支撑面以及所述一对侧面开口；和一对间隔壁，它们分别沿着所述一对侧面从所述尾随侧台阶部向所述前导侧台阶部延伸，将所述深槽的所述侧面侧的开口的至少一部分封闭，
所述间隔壁形成为分别与所述侧面共面。
2.根据权利要求1所述的头万向架组件，其中，
所述间隔壁中的各间隔壁形成为比所述空气支撑面的正压产生面低的高度。
3.根据权利要求1所述的头万向架组件，其中，
所述间隔壁中的各间隔壁具有：外侧面，其与所述侧面共面地延伸；和内侧面，其与所述外侧面相对且面向所述深槽，所述内侧面具有向所述深槽突出的凸部。
4.根据权利要求1所述的头万向架组件，其中，
所述间隔壁中的各间隔壁具有：外侧面，其与所述侧面共面地延伸；和内侧面，其与所述外侧面相对且面向所述深槽，所述内侧面具有凹部。
5.根据权利要求3或4所述的头万向架组件，其中，
所述内侧面相对于所述外侧面，随着从所述间隔壁的延伸端向所述尾随侧台阶部，朝向所述深槽侧倾斜地延伸。
6.根据权利要求1所述的头万向架组件，其中，
所述滑块还具备一对第2间隔壁，所述一对第2间隔壁分别沿着所述一对侧面从所述前导侧台阶部向所述尾随侧台阶部延伸，将所述深槽的所述侧面侧的开口的至少一部分封闭。
7.根据权利要求6所述的头万向架组件，其中，
所述第2间隔壁形成为分别与所述侧面共面。
8.根据权利要求6所述的头万向架组件，其中，
所述第2间隔壁中的各间隔壁形成为比所述空气支撑面的正压产生面低的高度。
9.根据权利要求1所述的头万向架组件，其中，
所述间隔壁中的各间隔壁沿着所述侧面从所述尾随侧台阶部遍及到所述前导侧台阶部地延伸。
10.一种磁盘装置，其中，
具备：
盘状的记录介质，其设置得旋转自如；和
头万向架组件，其具有：悬架、设置于所述悬架的万向架部和支撑于所述万向架部的磁头，
所述磁头具备滑块和头部，所述滑块具有：具有一对侧缘的空气支撑面、沿着所述空气支撑面的一对侧缘的一对侧面、前导侧端面和尾随侧端面，所述头部设置于所述滑块，进行数据的记录再现，
所述滑块具有：前导侧台阶部，其设置于所述空气支撑面的前导侧端部；尾随侧台阶部，其设置于所述空气支撑面的尾随侧端部，内置所述头部；深槽，其形成于所述前导侧台阶部与所述尾随侧台阶部之间，在所述空气支撑面以及所述一对侧面开口；和一对间隔壁，它们分别沿着所述一对侧面从所述尾随侧台阶部向所述前导侧台阶部延伸，将所述深槽的所述侧面侧的开口的至少一部分封闭，
所述间隔壁形成为分别与所述侧面共面。
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