CN110058404A - 一种压电驱动型一体式大行程微纳偏摆台 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种压电驱动型一体式大行程微纳偏摆台，包括基台、与基台连接的若干一体式杠杆放大机构、对应连接杠杆放大机构的压电陶瓷驱动器、偏摆台面，所述偏摆台面通过末端柔性铰链连接杠杆放大机构，基台、杠杆放大机构、末端柔性铰链、偏摆台面是通过加工成型的一体式结构。本发明提出的微纳偏摆台基底、放大机构、末端柔性铰链和偏摆台面为一体式结构，可直接通过线切割加工工艺加工，装配式偏摆台在长期运行过程中极易产生磨损、间隙和摩擦，因此一体式结构避免了由此带来的装配误差敏感、疲劳特性差、可靠性低的问题。
Description
技术领域
本发明主要涉及偏摆台系统，具体是一种压电驱动型一体式大行程微纳偏摆台。
背景技术
偏摆台广泛应用于空间激光通信、自适应光学、复合轴精密跟踪、天文望远镜、激光成像雷达、激光束稳定系统、共焦显微镜、激光扫描等领域，是一种在输入的电信号控制下实时调整镜面角度的装置。国内外开展的两轴偏摆台研究大多基于装配实现，在快速工作时，由于不同构件加工的差异以及装配中不可避免的误差，极易使系统中产生内应力，引起结构和镜体变形，导致偏摆台面或镜面面型精度下降。故微纳偏摆台一体式结构的设计具有很大的挑战性和意义。
中国发明专利CN109079767A公布了一种三维可偏摆的高速精密微运动平台，该平台采用压电陶瓷配合单级杠杆组实现微位移放大，能够实现三个自由度的高速精密运动。但该平台基于装配实现，对于装配误差很敏感，且单级杠杆放大机构行程较小，影响摆台长期工作性能。
中国发明专利CN208224600U公布了一种基于柔性铰链的高频响一维微角摆反射镜，包括镜片、压电陶瓷驱动器、垫片、钢球、柔性铰链和壳体，当压电陶瓷驱动器产生位移，通过垫片顶钢球使偏转面绕柔性铰链产生偏转角度。该平台自由度少，限制了很多使用场合。
中国发明专利CN107976802A一种二维快速控制反射镜，采用压电陶瓷驱动器驱动与两级杠杆式位移放大机构，放大倍数大，可以达到6-10倍，且出力大、响应快、分辨率高，易于提高装置的控制带宽。但该平台亦是基于装配实现，不可避免产生装配误差，且平台只能实现二自由度运动。
发明内容
为解决目前技术的不足，本发明结合现有技术，从实际应用出发，提供一种压电驱动型一体式大行程微纳偏摆台，该偏摆台具有结构紧凑、性能优异、可靠性高的优点。
本发明的技术方案如下：
一种压电驱动型一体式大行程微纳偏摆台，包括基台、与基台连接的若干一体式杠杆放大机构、对应连接杠杆放大机构的压电陶瓷驱动器、偏摆台面，
所述偏摆台面通过末端柔性铰链连接杠杆放大机构，基台、杠杆放大机构、末端柔性铰链、偏摆台面是通过加工成型的一体式结构。
进一步的，所述杠杆放大机构为二级杠杆放大机构。
进一步的，所述二级杠杆放大机构包括两个相对设置的立柱、一级杠杆臂、二级杠杆臂；
其中所述一级杠杆臂一端通过第一柔性铰链连接其中一个立柱，二级杠杆臂一端通过第二柔性铰链连接另一个立柱，一级杠杆臂、二级杠杆臂之间通过第三柔性铰链连接，末端柔性铰链连接在二级杠杆臂上，压电陶瓷驱动器设置在两个立柱之间，其上端通过第四柔性铰链连接一级杠杆臂。
进一步的，所述压电陶瓷驱动器底端通过旋紧在基台上的压电陶瓷螺帽顶紧。
进一步的，所述压电陶瓷驱动器上下两端均为球面，与压电陶瓷驱动器配合的第四铰链、压电陶瓷螺帽上均加工有与球面配合的球窝。
进一步的，所述二级杠杆放大机构上连接有用于为压电陶瓷驱动器提供预紧力的弹簧。
进一步的，所述弹簧上端挂在一级杠杆臂下端的弹簧孔上，弹簧下端挂在弹簧钩上，所述弹簧钩通过螺纹旋紧在所述基台上。
进一步的，所述微纳偏摆台通过与杠杆放大机构对应的双极板电容传感器检测偏摆角度；
其中，所述双极板电容传感器包括两个呈一定间距设置的电容传感器上极板、电容传感器下极板，在基台上安装有电容柱，电容传感器下极板固定于电容柱顶部，电容传感器上极板固定于偏摆台面下表面位于电容下极板上方。
进一步的，所述电容柱和基台螺纹配合，通过旋动电容柱可改变电容传感器上极板、电容传感器下极板之间的间距。
进一步的，所述杠杆放大机构为三组，呈圆周等距分布，每组杠杆放大机构均通过一个方截面的末端柔性铰链连接于偏摆台面下表面。
本发明的有益效果：
1.本发明提出的微纳偏摆台基底、放大机构、末端柔性铰链和偏摆台面为一体式结构，可直接通过线切割加工工艺加工，装配式偏摆台在长期运行过程中极易产生磨损、间隙和摩擦，因此一体式结构避免了由此带来的装配误差敏感、疲劳特性差、可靠性低的问题。
2.采用二级杠杆放大机构，配合方截面柔性铰链，拥有紧凑的结构，且系统定位精度高、驱动力大和行程超长，能够实现三个自由度的运动，同时保证系统运动拥有较高的加速度和速度。
3.采用三组电容传感器作位移检测，通过坐标变换转换成角度，拥有纳弧度级的精度，通过闭环控制能够保证纳弧度级的精度，且巧妙地利用螺纹实现极板间间距可调；采用三组弹簧为压电陶瓷施加预紧力，且巧妙地利用螺纹实现弹簧预紧力地调节，进而可改变系统的刚度，以适用更多的应用场合。
4.系统结构简单、易加工、制造成本低、运行稳定、可靠性好。
附图说明
图1为本发明去除电容传感器和电容柱的主视图；
图2为本发明去除电容传感器和电容柱的立体图；
图3为本发明的主视图；
图4为本发明的整体结构爆炸示意图；
图5为本发明的三自由度坐标图显示图；
图6为本发明的单组二级杠杆放大机构原理图。
附图中所示标号：
1、基台；2、压电陶瓷驱动器；3、弹簧；4、杠杆放大机构；5、末端柔性铰链；6、偏摆台面；7、电容柱；8、电容传感器下极板；9、电容传感器上极板；10、压电陶瓷螺帽；11、弹簧钩；12、立柱；13、第四柔性铰链；14、一级杠杆臂；15、第三柔性铰链；16、第二柔性铰链；17、二级杠杆臂；18、第一柔性铰链。
具体实施方式
结合附图和具体实施例，对本发明作进一步说明。应理解，这些实施例仅用于说明本发明而不用于限制本发明的范围。此外应理解，在阅读了本发明讲授的内容之后，本领域技术人员可以对本发明作各种改动或修改，这些等价形式同样落于本申请所限定的范围。
正如背景技术中所介绍的，为避免装配式偏摆台在长期运行过程中极易产生磨损、间隙和摩擦的问题，提高系统的精度、可靠性和耐疲劳性，本发明提供了一种压电陶瓷驱动的一体式大行程微纳偏摆台。
本申请的一种典型的实施方式中，如图1～6所示，一种压电驱动型一体式大行程微纳偏摆台，包括基台1、与基台1连接的若干一体式杠杆放大机构4、对应连接杠杆放大机构4的压电陶瓷驱动器2、偏摆台面6，偏摆台面6通过末端柔性铰链5连接杠杆放大机构4，基台1、杠杆放大机构4、末端柔性铰链5、偏摆台面6在本结构中是通过加工成型的一体式结构。在本实施例的结构中，杠杆放大机构4设置为三组，沿圆形的偏摆台面6周向均匀等距布置，每组杠杆放大机构4通过一个方截面的末端柔性铰链5连接至偏摆台面6的下表面，每组放大机构4对应设置一个压电陶瓷驱动器2。
末端柔性铰链5在支撑偏摆台面6的同时，也为偏摆台面6提供了三自由的运动能力。本发明中，当压电陶瓷驱动器2伸长时，杠杆放大机构4可将放大后的位移传递给末端柔性铰链5输出，末端柔性铰链5使偏摆台面6产生偏摆运动，若三个压电陶瓷驱动器2输出相同长度位移，则可实现偏摆台面6的垂直运动。由于上述背景技术提到的对比文件CN109079767A中均有对柔性铰链和偏摆运动的详细说明，在此不在进一步描述。
在本发明的具体结构中，杠杆放大机构采用二级杠杆放大机构，其具体结构包括包括两个相对设置的立柱12、一级杠杆臂14、二级杠杆臂17；其中一级杠杆臂14一端通过第一柔性铰链18连接其中一个立柱12，二级杠杆臂17一端通过第二柔性铰链16连接另一个立柱12，一级杠杆臂14、二级杠杆臂17之间通过第三柔性铰链15连接，末端柔性铰链5连接在二级杠杆臂17上，压电陶瓷驱动器2设置在两个立柱12之间的空间内，其上端通过第四柔性铰链13连接一级杠杆臂14。当压电陶瓷驱动器2伸长，第一级杠杆放大机构产生变形，进而将放大后的位移传递给第二级杠杆放大机构，使得位移再次放大后由末端柔性铰链5输出。在本发明中，采用一体式结构设计，能够避免装配带来的误差、疲劳特性差、可靠性低的问题，且相应的一体式结构及本偏摆台中所有柔性铰链都可以通过线切割工艺加工而成，通过巧妙的设计避免了加工干涉问题，从而保证柔性铰链的精度和运动性能，杠杆放大机构4的侧面可通过铣削加工，最终得到一体式的柔性机构。
在本发明中，压电陶瓷驱动器2上端顶住一级杠杆臂14，下端由压电陶瓷螺帽8顶住，使压电陶瓷驱动器2固定，压电陶瓷螺帽8上加工有螺纹，从基台1底的螺纹孔旋进；压电陶瓷驱动器2上下两端均设置为球面，与压电陶瓷驱动器2配合的第四铰链13、压电陶瓷螺帽8上均加工有与球面配合的球窝，保证高频运动过程中的稳定性。
在本发明中，二级杠杆放大机构上连接有用于为压电陶瓷驱动器2提供预紧力的弹簧3。每个压电陶瓷驱动器2对应设置一个弹簧3，弹簧3一端挂在一级杠杆臂14末端的弹簧孔，另一端挂在弹簧钩11上，弹簧钩11下部加工有螺纹，将弹簧钩11从基台1底旋进，即可调节弹簧钩11的位置，旋进或旋出弹簧钩11即可调整对压电陶瓷驱动器预紧力的大小，进而可在一定程度上改变偏摆台系统的刚度，以适合不同的应用场合。
在本发明中，微纳偏摆台通过三组与杠杆放大机构4对应的双极板电容传感器检测偏摆角度；双极板电容传感器包括电容传感器上极板9、电容传感器下极板8，在基台1上安装有电容柱7，电容柱7尾部加工有螺纹，可旋入基台1上的螺纹孔以固定。电容传感器上极板9通过两液混合硬化胶粘在偏摆台面6的背面，电容传感器下极板8通过两液混合硬化胶粘在电容柱7上表面上，旋进或旋出电容柱7即可改变电容传感器上极板9、电容传感器下极板8间的距离，便于后期传感器的标定。
Claims (10)
1.一种压电驱动型一体式大行程微纳偏摆台，包括基台、与基台连接的若干一体式杠杆放大机构、对应连接杠杆放大机构的压电陶瓷驱动器、偏摆台面，其特征在于：
所述偏摆台面通过末端柔性铰链连接杠杆放大机构，基台、杠杆放大机构、末端柔性铰链、偏摆台面是通过加工成型的一体式结构。
2.如权利要求1所述的一种压电驱动型一体式大行程微纳偏摆台，其特征在于：所述杠杆放大机构为二级杠杆放大机构。
3.如权利要求2所述的一种压电驱动型一体式大行程微纳偏摆台，其特征在于：所述二级杠杆放大机构包括两个相对设置的立柱、一级杠杆臂、二级杠杆臂；
其中所述一级杠杆臂一端通过第一柔性铰链连接其中一个立柱，二级杠杆臂一端通过第二柔性铰链连接另一个立柱，一级杠杆臂、二级杠杆臂之间通过第三柔性铰链连接，末端柔性铰链连接在二级杠杆臂上，压电陶瓷驱动器设置在两个立柱之间，其上端通过第四柔性铰链连接一级杠杆臂。
4.如权利要求3所述的一种压电驱动型一体式大行程微纳偏摆台，其特征在于：所述压电陶瓷驱动器底端通过旋紧在基台上的压电陶瓷螺帽顶紧。
5.如权利要求4所述的一种压电驱动型一体式大行程微纳偏摆台，其特征在于：所述压电陶瓷驱动器上下两端均为球面，与压电陶瓷驱动器配合的第四铰链、压电陶瓷螺帽上均加工有与球面配合的球窝。
6.如权利要求3所述的一种压电驱动型一体式大行程微纳偏摆台，其特征在于：所述二级杠杆放大机构上连接有用于为压电陶瓷驱动器提供预紧力的弹簧。
7.如权利要求6所述的一种压电驱动型一体式大行程微纳偏摆台，其特征在于：所述弹簧上端挂在一级杠杆臂下端的弹簧孔上，弹簧下端挂在弹簧钩上，所述弹簧钩通过螺纹旋紧在所述基台上。
8.如权利要求1所述的一种压电驱动型一体式大行程微纳偏摆台，其特征在于：所述微纳偏摆台通过与杠杆放大机构对应的双极板电容传感器检测偏摆角度；
其中，所述双极板电容传感器包括两个呈一定间距设置的电容传感器上极板、电容传感器下极板，在基台上安装有电容柱，电容传感器下极板固定于电容柱顶部，电容传感器上极板固定于偏摆台面下表面位于电容下极板上方。
9.如权利要求8所述的一种压电驱动型一体式大行程微纳偏摆台，其特征在于：所述电容柱和基台螺纹配合，通过旋动电容柱可改变电容传感器上极板、电容传感器下极板之间的间距。
10.如权利要求1～9任一项所述的一种压电驱动型一体式大行程微纳偏摆台，其特征在于：所述杠杆放大机构为三组，呈圆周等距分布，每组杠杆放大机构均通过一个方截面的末端柔性铰链连接于偏摆台面下表面。
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Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN110058404A (zh) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112196756A (zh) * | 2020-10-04 | 2021-01-08 | 长春工业大学 | 一种摆动放大的压电叠堆双柱塞泵 |
| CN112563179A (zh) * | 2019-09-26 | 2021-03-26 | 深圳市向宇龙自动化设备有限公司 | 一种挠曲式压电微纳晶圆偏摆台 |
| CN113219649A (zh) * | 2021-04-30 | 2021-08-06 | 哈尔滨芯明天科技有限公司 | 一种航天应用的高可靠压电偏摆镜 |
| CN113917642A (zh) * | 2021-09-23 | 2022-01-11 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 一种串并联耦合的多自由度光学元件精密调节平台 |
| CN114526419A (zh) * | 2022-01-12 | 2022-05-24 | 山东大学 | 一种单自由度偏摆平台 |
| CN116000968A (zh) * | 2023-02-01 | 2023-04-25 | 一汽解放汽车有限公司 | 机器人 |
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002075365A2 (fr) * | 2001-03-21 | 2002-09-26 | Sagem Sa | Dispositif de fixation et de reglage d'un organe a supporter |
| CN104898271A (zh) * | 2015-05-26 | 2015-09-09 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 基于拉压弹簧组的力促动器 |
| CN105824117A (zh) * | 2016-04-25 | 2016-08-03 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 一种快速反射镜系统中压电陶瓷驱动器的预紧装置及方法 |
| CN106226899A (zh) * | 2016-09-12 | 2016-12-14 | 苏州迈客荣自动化技术有限公司 | 一种偏转镜的微振动平台 |
| CN106773022A (zh) * | 2016-12-28 | 2017-05-31 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种二维电调镜装置 |
| CN107622786A (zh) * | 2017-11-08 | 2018-01-23 | 杭州电子科技大学 | 两级压电驱动微纳定位平台 |
| CN107976802A (zh) * | 2017-11-22 | 2018-05-01 | 华中光电技术研究所（中国船舶重工集团公司第七七研究所） | 一种二维快速控制反射镜 |
-
2019
- 2019-04-26 CN CN201910345463.4A patent/CN110058404A/zh active Pending
Patent Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002075365A2 (fr) * | 2001-03-21 | 2002-09-26 | Sagem Sa | Dispositif de fixation et de reglage d'un organe a supporter |
| CN104898271A (zh) * | 2015-05-26 | 2015-09-09 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 基于拉压弹簧组的力促动器 |
| CN105824117A (zh) * | 2016-04-25 | 2016-08-03 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 一种快速反射镜系统中压电陶瓷驱动器的预紧装置及方法 |
| CN106226899A (zh) * | 2016-09-12 | 2016-12-14 | 苏州迈客荣自动化技术有限公司 | 一种偏转镜的微振动平台 |
| CN106773022A (zh) * | 2016-12-28 | 2017-05-31 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种二维电调镜装置 |
| CN107622786A (zh) * | 2017-11-08 | 2018-01-23 | 杭州电子科技大学 | 两级压电驱动微纳定位平台 |
| CN107976802A (zh) * | 2017-11-22 | 2018-05-01 | 华中光电技术研究所（中国船舶重工集团公司第七七研究所） | 一种二维快速控制反射镜 |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112563179A (zh) * | 2019-09-26 | 2021-03-26 | 深圳市向宇龙自动化设备有限公司 | 一种挠曲式压电微纳晶圆偏摆台 |
| CN112563179B (zh) * | 2019-09-26 | 2023-10-24 | 深圳市向宇龙自动化设备有限公司 | 一种挠曲式压电微纳晶圆偏摆台 |
| CN112196756A (zh) * | 2020-10-04 | 2021-01-08 | 长春工业大学 | 一种摆动放大的压电叠堆双柱塞泵 |
| CN112196756B (zh) * | 2020-10-04 | 2022-03-29 | 长春工业大学 | 一种摆动放大的压电叠堆双柱塞泵 |
| CN113219649A (zh) * | 2021-04-30 | 2021-08-06 | 哈尔滨芯明天科技有限公司 | 一种航天应用的高可靠压电偏摆镜 |
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