CN109807766B - 一种用于晶圆烘烤单元的盘盖快速拆卸装置 - Google Patents

Abstract

本发明属于集成电路芯片制造领域，具体地说是一种用于晶圆烘烤单元的盘盖快速拆卸装置，包括盘盖本体、上盖保温固定块、锁紧固定块、磁铁型锁紧器、锁紧销、上盖拆卸块及拆卸组件，盘盖本体上设有上盖保温固定块，上盖保温固定块的一端安装在盘盖本体上，另一端连接有锁紧销；盘盖本体的周围设有安装在晶圆烘烤单元的锁紧固定块，锁紧固定块上安装有磁铁型锁紧器，锁紧销的一端连接于上盖保温固定块上，另一端插入磁铁型锁紧器中，通过磁力固定；盘盖本体上设有上盖拆卸块，拆卸组件在盘盖本体需要拆卸时插入上盖拆卸块与盘盖本体之间的缝隙。本发明可有效提高烘烤单元的维护清洁效率，对提高半导体设备产能与减轻维护人员工作负担起到较大帮助。

Description

一种用于晶圆烘烤单元的盘盖快速拆卸装置

技术领域

本发明属于集成电路芯片制造领域，具体地说是一种用于晶圆烘烤单元的盘盖快速拆卸装置。

背景技术

目前，在半导体晶圆加工过程中，需频繁使用晶圆烘烤单元。在不同烘烤温度下，烘烤单元内部会产生大量挥发的有机溶剂，并通过盘盖装置被排风系统引走，因此盘盖装置的清洁就显得较为频繁。在高温状态下的盘盖拆卸过程可能引起烫伤危险，同时以往盘盖的拆卸亦较为困难。

发明内容

为了解决高温状态下的盘盖拆卸存在的上述问题，本发明的目的在于提供一种用于晶圆烘烤单元的盘盖快速拆卸装置。

本发明的目的是通过以下技术方案来实现的：

本发明包括盘盖本体、上盖保温固定块、锁紧固定块、磁铁型锁紧器、锁紧销、上盖拆卸块及拆卸组件，其中盘盖本体上设有上盖保温固定块，该上盖保温固定块的一端安装在所述盘盖本体上，另一端连接有所述锁紧销；所述盘盖本体的周围设有安装在晶圆烘烤单元的锁紧固定块，该锁紧固定块上安装有所述磁铁型锁紧器，所述锁紧销的一端连接于上盖保温固定块上，另一端插入该磁铁型锁紧器中，通过磁力固定；所述盘盖本体上设有上盖拆卸块，所述拆卸组件在盘盖本体需要拆卸时插入上盖拆卸块与盘盖本体之间的缝隙，克服所述锁紧销与磁铁型锁紧器之间的磁力抬起盘盖本体、上盖保温固定块及锁紧销，该锁紧销在所述盘盖本体拆卸过程中脱离磁铁型锁紧器，进而将盘盖本体移出晶圆烘烤单元；

其中：所述磁铁型锁紧器的一端安装在锁紧固定块上开设的凹槽A中、且该端开设有供所述锁紧销另一端插入的锁紧槽，所述磁铁型锁紧器的另一端由所述锁紧固定块伸出，并由螺母锁紧固定；所述锁紧销的一端由上盖保温固定块上开设的凹槽B穿过，并通过位于该凹槽B内的螺母紧固；

所述上盖保温固定块与锁紧固定块的数量相同，并一一对应；所述锁紧固定块为两个，对称分布于所述盘盖本体的左右两侧；所述上盖保温固定块为两个，对称分布于所述盘盖本体的左右两侧，该上盖保温固定块的一端固定在盘盖本体的边缘，另一端连接有两个锁紧销，所述锁紧固定块上对应地安装有两个磁铁型锁紧器；

所述上盖拆卸块为一组两个，每个上盖拆卸块的一端均固定在所述盘盖本体上，另一端与该盘盖本体之间留有所述缝隙；

所述拆卸组件包括盘盖拆卸板及盘盖拆卸扳手，该盘盖拆卸板的一端在盘盖本体需要拆卸时插入所述上盖拆卸块与盘盖本体之间的缝隙中，另一端与所述盘盖拆卸扳手相连；

在抬起盘盖本体的外力大于所述锁紧销与磁铁型锁紧器之间的磁力时，该锁紧销脱离磁铁型锁紧器；

所述磁铁型锁紧器水平放置。

本发明的优点与积极效果为：

1.本发明的盘盖本体在拆卸与安装过程中，磁铁型锁紧器与锁紧销很好地起到了固定与限位的作用；磁铁型锁紧器通过磁力将锁紧销吸引并固定于磁铁型锁紧器内的锁紧槽内部，并有磁力保证整体结构不会无故变动；在盘盖本体拆卸过程中，人为外力大于磁铁型锁紧器内的锁紧槽与锁紧销之间的磁力，从而将盘盖本体移出烘烤单元内部。

2.本发明在盘盖本体拆卸与安装过程中，操作者无需接触高温状态下的盘盖本体，从而有效避免此过程中被烫伤的危险；在恢复安装时，本发明可以有效保证盘盖本体定位精度，不会出现偏差。

3.本发明用于将盘盖本体快速移出烘烤单元内部的盘盖拆卸板与盘盖拆卸扳手无需固定于盘盖本体上的上盖拆卸块上，只需在操作者需要拆卸或安装盘盖本体之时才将盘盖拆卸板卡入盘盖拆卸块内部，操作者只需站在烘烤单元边缘，无需将手臂深入烘烤单元内部拆卸盘盖本体，节省空间，拆卸方便。

4.本发明用于支撑盘盖本体的锁紧固定块呈对称结构分布于盘盖本体左右两侧，从而保证了盘盖本体在拆卸过程中受力均匀。

附图说明

图1为本发明的立体结构示意图；

图2为本发明的结构主视图；

图3为图2中的A—A剖视图；

图4为本发明的结构侧视图；

图5为本发明的结构仰视图；

其中：1为盘盖本体，2为上盖保温固定块，3为锁紧固定块，4为磁铁型锁紧器，5为锁紧销，6为六角盖型螺母，7为六角细牙螺母，8为上盖拆卸块，9为盘盖拆卸板，10为盘盖拆卸扳手，11为凹槽A，12为凹槽B。

具体实施方式

下面结合附图对本发明作进一步详述。

如图1～5所示，本发明包括盘盖本体1、上盖保温固定块2、锁紧固定块3、磁铁型锁紧器4、锁紧销5、上盖拆卸块8及拆卸组件，其中盘盖本体1为圆盘，外边缘设有上盖保温固定块2，本实施例的上盖保温固定块2为两个，对称设置在盘盖本体1的左右两侧；每个上盖保温固定块2的一端固定在盘盖本体1上，另一端连接有锁紧销5。

盘盖本体1的周围设有安装在晶圆烘烤单元的锁紧固定块3，对盘盖本体1起到支撑作用；本实施例锁紧固定块3数量与上盖保温固定块2数量相同，且一一对应。每个锁紧固定块3上均安装有磁铁型锁紧器4，相对应的上盖保温固定块2上的锁紧销5的一端连接于上盖保温固定块2上，另一端插入磁铁型锁紧器4中，通过磁力紧密固定，起到固定与限位的作用。本实施例中，每个锁紧固定块3上均安装有两个磁铁型锁紧器4，对应地，每个上盖保温固定块2上均安装有两个锁紧销5。磁铁型锁紧器4的一端安装在锁紧固定块3)开设的凹槽A11中、且该端的中间开设有供锁紧销5另一端插入的锁紧槽，磁铁型锁紧器4的另一端由锁紧固定块3的下表面伸出，并由螺母(本实施例的螺母为M12的六角细牙螺母7)从锁紧固定块3的下方锁紧固定。锁紧销5的一端由上盖保温固定块2上开设的凹槽B12穿过，并通过位于该凹槽B12内的螺母(本实施例的螺母为六角盖型螺母6)将锁紧销5与上盖保温固定块2紧固。本实施例的四个磁铁型锁紧器4均保持水平(即水平放置)。

盘盖本体1上设有上盖拆卸块8，本实施例的上盖拆卸块8为一组两个，位于两侧对称设置的上盖保温固定块2中间；每个上盖拆卸块8的一端均固定在盘盖本体1上，另一端与该盘盖本体1之间留有缝隙。拆卸组件在盘盖本体1需要拆卸时插入上盖拆卸块8与盘盖本体1之间的缝隙，用于将盘盖本体1拆卸后移出烘烤单元内部；该拆卸组件在晶圆烘烤单元正常使用过程中并不放置在盘盖本体1上。拆卸组件包括盘盖拆卸板9及盘盖拆卸扳手10，该盘盖拆卸板9的一端在盘盖本体1需要拆卸时插入上盖拆卸块8与盘盖本体1之间的缝隙中，另一端与盘盖拆卸扳手10相连。

本发明的磁铁型锁紧器4为市购产品,购置于IMAO公司,型号为QCMA0612A。本发明的锁紧销5为市购产品，购置于IMAO公司，型号为QCMA0612-M4。

本发明的工作原理为：

当使用本发明拆卸盘盖本体1时，将盘盖拆卸扳手10与盘盖拆卸板9连接后伸入上盖拆卸块8与盘盖本体1之间的缝隙内部，操作者使用人力向上抬，紧固于上盖保温固定块2的锁紧销5依靠磁力固定于磁铁型锁紧器4的锁紧槽内。当操作者施加向上的外力大于该磁力时，锁紧销5与磁铁型锁紧器4脱离，磁铁型锁紧器4依旧紧固于锁紧固定块3的凹槽A11内，而锁紧销5随着操作者移动盘盖拆卸扳手10，完全脱离磁铁型锁紧器4，从而将盘盖本体1移出烘烤单元内部。

当使用本发明安装盘盖本体1时，将盘盖拆卸扳手10与盘盖拆卸板9连接后伸入上盖拆卸块8与盘盖本体1之间的缝隙内部，操作者抬起盘盖拆卸扳手10，将盘盖本体1与上盖保温固定块2及锁紧销5托起，移动至使用工位处，锁紧销5位于磁铁型锁紧器4的锁紧槽上方并向下轻放，磁铁型锁紧器4与锁紧销5之间的磁力会使盘盖本体1与锁紧销5准确定位并固定。此时，锁紧销5再次进入紧固于锁紧固定块3上凹槽A11内的磁铁型锁紧器4的锁紧槽内部。

Claims (9)

1.一种用于晶圆烘烤单元的盘盖快速拆卸装置，其特征在于：包括盘盖本体(1)、上盖保温固定块(2)、锁紧固定块(3)、磁铁型锁紧器(4)、锁紧销(5)、上盖拆卸块(8)及拆卸组件，其中盘盖本体(1)上设有上盖保温固定块(2)，该上盖保温固定块(2)的一端安装在所述盘盖本体(1)上，另一端连接有所述锁紧销(5)；所述盘盖本体(1)的周围设有安装在晶圆烘烤单元的锁紧固定块(3)，该锁紧固定块(3)上安装有所述磁铁型锁紧器(4)，所述锁紧销(5)的一端连接于上盖保温固定块(2)上，另一端插入该磁铁型锁紧器(4)中，通过磁力固定；所述盘盖本体(1)上设有上盖拆卸块(8)，所述拆卸组件在盘盖本体(1)需要拆卸时插入上盖拆卸块(8)与盘盖本体(1)之间的缝隙，克服所述锁紧销(5)与磁铁型锁紧器(4)之间的磁力抬起盘盖本体(1)、上盖保温固定块(2)及锁紧销(5)，该锁紧销(5)在所述盘盖本体(1)拆卸过程中脱离磁铁型锁紧器(4)，进而将盘盖本体(1)移出晶圆烘烤单元。

2.根据权利要求1所述用于晶圆烘烤单元的盘盖快速拆卸装置，其特征在于：所述磁铁型锁紧器(4)的一端安装在锁紧固定块(3)上开设的凹槽A(11)中、且该端开设有供所述锁紧销(5)另一端插入的锁紧槽，所述磁铁型锁紧器(4)的另一端由所述锁紧固定块(3)伸出，并由螺母锁紧固定。

3.根据权利要求1所述用于晶圆烘烤单元的盘盖快速拆卸装置，其特征在于：所述锁紧销(5)的一端由上盖保温固定块(2)上开设的凹槽B(12)穿过，并通过位于该凹槽B(12)内的螺母紧固。

4.根据权利要求1所述用于晶圆烘烤单元的盘盖快速拆卸装置，其特征在于：所述上盖保温固定块(2)与锁紧固定块(3)的数量相同，并一一对应。

5.根据权利要求4所述用于晶圆烘烤单元的盘盖快速拆卸装置，其特征在于：所述锁紧固定块(3)为两个，对称分布于所述盘盖本体(1)的左右两侧；所述上盖保温固定块(2)为两个，对称分布于所述盘盖本体(1)的左右两侧，该上盖保温固定块(2)的一端固定在盘盖本体(1)的边缘，另一端连接有两个锁紧销(5)，所述锁紧固定块(3)上对应地安装有两个磁铁型锁紧器(4)。

6.根据权利要求1所述用于晶圆烘烤单元的盘盖快速拆卸装置，其特征在于：所述上盖拆卸块(8)为一组两个，每个上盖拆卸块(8)的一端均固定在所述盘盖本体(1)上，另一端与该盘盖本体(1)之间留有所述缝隙。

7.根据权利要求1所述用于晶圆烘烤单元的盘盖快速拆卸装置，其特征在于：所述拆卸组件包括盘盖拆卸板(9)及盘盖拆卸扳手(10)，该盘盖拆卸板(9)的一端在盘盖本体(1)需要拆卸时插入所述上盖拆卸块(8)与盘盖本体(1)之间的缝隙中，另一端与所述盘盖拆卸扳手(10)相连。

8.根据权利要求1所述用于晶圆烘烤单元的盘盖快速拆卸装置，其特征在于：在抬起盘盖本体(1)的外力大于所述锁紧销(5)与磁铁型锁紧器(4)之间的磁力时，该锁紧销(5)脱离磁铁型锁紧器(4)。

9.根据权利要求1所述用于晶圆烘烤单元的盘盖快速拆卸装置，其特征在于：所述磁铁型锁紧器(4)水平放置。

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