CN109735820A - 一种金镍碳复合导电润滑涂层材料及其制备方法 - Google Patents
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- 238000000576 coating method Methods 0.000 title claims abstract description 81
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 title claims abstract description 79
- 239000002131 composite material Substances 0.000 title claims abstract description 57
- 239000000463 material Substances 0.000 title claims abstract description 49
- 230000001050 lubricating effect Effects 0.000 title claims abstract description 30
- HCNPQHKXZRUIEF-UHFFFAOYSA-N [C].[Ni].[Au] Chemical compound [C].[Ni].[Au] HCNPQHKXZRUIEF-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 21
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 title claims description 11
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 99
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims abstract description 49
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 21
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 21
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 20
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims abstract description 20
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims abstract description 20
- 230000007704 transition Effects 0.000 claims abstract description 20
- QZLJNVMRJXHARQ-UHFFFAOYSA-N [Zr].[Cr].[Cu] Chemical compound [Zr].[Cr].[Cu] QZLJNVMRJXHARQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 15
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 15
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 7
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims abstract 6
- 229910001093 Zr alloy Inorganic materials 0.000 claims abstract 4
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 claims abstract 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 30
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 claims description 15
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 13
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims description 10
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 5
- VMWYVTOHEQQZHQ-UHFFFAOYSA-N methylidynenickel Chemical compound [Ni]#[C] VMWYVTOHEQQZHQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 25
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 8
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 5
- 238000005137 deposition process Methods 0.000 description 4
- 239000012071 phase Substances 0.000 description 4
- 229910017526 Cu-Cr-Zr Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910017810 Cu—Cr—Zr Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 3
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 3
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 3
- 238000005461 lubrication Methods 0.000 description 2
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 2
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 2
- 238000004062 sedimentation Methods 0.000 description 2
- 240000006409 Acacia auriculiformis Species 0.000 description 1
- 229910019580 Cr Zr Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910019817 Cr—Zr Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003556 assay Methods 0.000 description 1
- 239000003575 carbonaceous material Substances 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- -1 copper chromium zirconium Nickel Chemical compound 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 230000004927 fusion Effects 0.000 description 1
- 239000007792 gaseous phase Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000000314 lubricant Substances 0.000 description 1
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
本发明提供可一种金镍碳复合导电润滑涂层材料的制备方法，通过物理气相沉积法，先在镍靶施加320~370W直流电源溅射，在铜铬锆合金基材上沉积一层镍过渡层；然后同时采用金靶、镍靶、碳靶，并分别施加120~150W、35~45W的直流电源、100~400W的射频电源溅射，在镍过渡层上沉积一层金镍碳复合涂层，最终在铜铬锆基材上得到复合层导电润滑涂层材料。该金镍碳复合涂层的电阻率为82~90×10‑7 Ω·cm，磨损率为8.275~38.4×10‑6 mm3/(Nm)。
Description
技术领域
本发明涉及一种金镍碳复合导电润滑涂层材料及其制备方法，主要用于微波滑动电接触器件，属于高电流电接触领域和导电润滑材料领域。
背景技术
微波滑动电接触属于高真空下的滑动部件，面临苛刻条件下的摩擦、磨损。对于连续滑动的电接触，须基于电性能和摩擦磨损性能进行评估。要求具有足够低的接触电阻，而摩擦学方面的摩擦和磨损特性又对其可靠性和寿命产生重要影响。在托卡马克聚变实验装置上，微波滑动电接触作为重要离子回旋加热器件被广泛应用。作为高电流负载的电接触部件，其在运行过程中部件因欧姆损耗温度会逐渐升高而引发一系列工程损耗和失效状况，从而限制微波滑动电接触功能和寿命。因此，为了防止发生结构材料烧熔导致部件失效，需要导电性和热传导优良的材料，工程上一般采用贵金属涂层来改善电接触性能，降低接触损耗。
为了提高涂层的使用寿命，需要开发高导电、高耐磨、高热稳定以及涂层与基材间扩散不显著的高性能涂层材料。由于具有良好的可焊性及较低的接触电阻，金涂层已在电接触涂层领域被广泛使用。但是其具有的低维氏硬度特性导致纯金涂层的耐摩擦性能不佳，这严重限制了纯金涂层在滑动电接触领域的使用。因此工程上，常采用合金或者复合固体导电润滑涂层材料来满足多种工况和性能需求。
发明内容
本发明旨在解决传统电接触涂层在高电流高真空下的剧烈磨损问题，提供一种高电流金镍碳复合导电润滑涂层材料及其制备方法。
本发明金镍碳复合导电润滑涂层材料，依次包括铜铬锆合金基材、镍过渡层、金镍碳复合涂层。其中镍过渡层的厚度为0.9~1.2μm；金镍碳复合涂层的厚度为3.9~4.3μm，且金镍碳复合涂层中，镍的质量百分比为2.15%-2.53%，碳的质量百分比为4.41%~5.51%。
本发明金镍碳复合导电润滑涂层材料的制备方法，通过物理气相沉积法，先在铜铬锆合金基材上沉积一层镍过渡层；然后同时溅射金靶、镍靶和碳靶，在镍过渡层上沉积一层金镍碳复合涂层，最终在铜铬锆基材上得到兼具高导电性能与润滑特性的复合层导电润滑涂层材料。
上述镍靶纯度为99.995%，金靶纯度为99.99%，碳靶纯度为99.999%。
上述沉积镍过渡层的过程中，氩气气体流量为19~21sccm，氩等离子体工作气压为6.5~8.5×10-1Pa，沉积温度为120~160℃，沉积时间为55~65min，镍靶功率为320~370W，镍过渡层厚度为0.9~1.2μm。
上述沉积金镍碳复合涂层过程中，氩气气体流量为20sccm，氩等离子体工作气压为6.5~8.5×10-1Pa，沉积温度为120~160℃，金靶功率为120~150W，镍靶功率为35~45W，碳靶功率为100~400W，沉积时间为60~70min；金镍碳复合涂层厚度为3.9~4.3μm。
在物理气相沉积涂层前，先用氩等离子体刻蚀铜铬锆合金基材5~15分钟，使用偏压-500 ~ -600V去除基底表面自然氧化层。
本发明制备的复合导电润滑涂层材料，与现有技术相比具有以下优点：
1、通过选择与铜铬锆基材具有更好相容性及结合力的金属镍作为导电金基涂层与基材之间的过渡层，解决了金基涂层与基材的结合力以及各组分之间在热扩散和组分相容匹配性等理化性能方面的问题；
2、通过在纯金涂层中添加镍硬质合金元素提高了涂层整体硬度，同时通过掺杂固体润滑碳材料提高了涂层的整体耐磨性；
3、通过控制碳靶功率为来调控复合涂层中引入的固体润滑碳的含量来控制合金涂层电阻率的变化；
4、所需设备和工艺简单、成本可控，可批量化生产。
附图说明
图1为本发明所述金镍碳多层复合导电润滑涂层材料的结构示意图。
图2为本发明实施例 1~4所述金镍碳复合导电润滑涂层材料的元素含量。
图3为本发明实施例 1~4所述金镍碳复合导电润滑涂层材料的摩擦系数曲线。
具体实施方式
下面通过实施例对本发明复合导电润滑涂层的制备和性能做进一步说明。
实施例1
物理气相沉积设备：一台商业磁控溅射设备，由3个独立可控磁控靶溅射源组成，并分别在其上安装镍靶、金靶和碳靶。镍靶的纯度为99.995%，金靶的纯度为99.99%，碳靶的纯度为99.999%，三种靶直径均为75mm。在沉积涂层前，先用偏压-500V的氩等离子体刻蚀铜铬锆合金基材10分钟去除基底表面自然氧化层。
物理气相沉积工艺：首先使用350W直流电源溅射镍靶，在铜铬锆基材上沉积一层镍过渡层（厚度为1μm），然后同时分别在金靶、镍靶和碳靶上施加140W、40W的直流电源以及100W的射频电源，在镍过渡层上沉积一层金镍碳复合涂层，沉积过程中氩等离子体工作气压均为7.5×10-1Pa。最终，在铜铬锆基材上得到金镍碳复合导电润滑涂层材料（涂层结构见图1）。该复合涂层材料中，金镍碳复合涂层厚度为4μm，且金镍碳复合涂层中，镍质量百分比为2.15%，碳质量百分比为4.41%，金质量百分比为93.22%，铜质量百分比为0.22%。
导电润滑涂层材料的性能：在RTS-9双电测四探针测试仪上，采用四探针测试法来测试涂层材料的电阻率。摩擦磨损实验采用真空摩擦磨损试验机进行评价，对偶球为直径3mm的GCr15钢球，载荷为2N，滑动线速度为8.4cm/s，摩擦半径为3mm，总计6000转，室温环境，真空度约3×10-3Pa。摩擦系数和磨损率为3次试验平均值。结果：电阻率：90×10-7 Ω·cm；磨损率：8.75×10-6 mm3/(Nm) （见图3）。
实施例2
物理气相沉积设备：同实施例1；
物理气相沉积工艺：首先使用350W直流电源溅射镍靶，在铜铬锆合金基材上先沉积一层镍过渡层（厚度为1μm），然后同时分别在金靶、镍靶和碳靶上施加140W、40W的直流电源以及200W的射频电源，在镍过渡层上沉积一层金镍碳复合涂层。沉积过程中氩等离子体工作气压均为7.5×10-1Pa。最终在铜铬锆基材上得到金镍碳复合导电润滑涂层材料（涂层结构见图1）。该复合涂层材料中，金镍碳复合涂层厚度为4μm，且金镍碳复合涂层中，镍质量百分比为2.5%，碳质量百分比为5.51%，金质量百分比为92.87%，铜质量百分比为0.27%。
导电润滑涂层材料的性能：电阻率：82×10-7 Ω·cm；磨损率：207.6×10-6 mm3/(Nm)（见图3）。
实施例3
物理气相沉积设备：同实施例1；
物理气相沉积工艺：首先使用350W直流电源溅射镍靶，在铜铬锆基材上沉积一层镍过渡层（厚度为1μm），然后同时分别在金靶、镍靶和碳靶上施加140W、40W的直流电源以及300W的射频电源，在镍过渡层上沉积一层金镍碳复合涂层，沉积过程中氩等离子体工作气压均为7.5×10-1Pa。最终在铜铬锆基材上得到金镍碳复合导电润滑涂层材料（涂层结构见图1）。该复合涂层材料中，金镍碳复合涂层厚度为4μm，且金镍碳复合涂层中，镍质量百分比为2.51%，碳质量百分比为5.51%，金质量百分比为91.68%，铜质量百分比为0.27%。
导电润滑涂层材料的性能：电阻率：86×10-7 Ω·cm；磨损率：38.4×10-6 mm3/(Nm) （见图3）。
实施例4
物理气相沉积设备：同实施例1；
物理气相沉积工艺：首先使用350W直流电源溅射镍靶，在铜铬锆基材上沉积一层镍过渡层（厚度为1μm），然后同时分别在金靶、镍靶和碳靶上施加140W、40W的直流电源以及400W的射频电源，在镍过渡层上沉积一层金镍碳复合涂层，沉积过程中氩等离子体工作气压均为7.5×10-1Pa。最终在铜铬锆基材上得到金镍碳复合导电润滑涂层材料（涂层结构见图1）。该复合涂层材料中，金镍碳复合涂层厚度为4μm，且金镍碳复合涂层中，镍质量百分比为2.41%，碳质量百分比为5.28%，金质量百分比为92.18%，铜质量百分比为0.13%。
导电润滑涂层材料的性能：电阻率：86×10-7 Ω·cm；磨损率：12.7×10-6 mm3/(Nm) （见图3）。
Claims (6)
1.一种金镍碳复合导电润滑涂层材料，其特征在于：依次包括铜铬锆合金基材、镍过渡层、金镍碳复合涂层，其中镍过渡层的厚度为0.9~1.2μm；金镍碳复合涂层的厚度约为3.9~4.3μm，且金镍碳复合导电润滑涂层中，镍的质量百分数为2.15%~2.53%，碳的质量百分数为4.41%~5.51%，金的质量百分数为91.68%~93.22%。
2.如权利要求1所述一种金镍碳复合导电润滑涂层材料的制备方法，通过物理气相沉积法，先采用镍靶在铜铬锆合金基材上沉积一层镍过渡层，再同时采用金靶、镍靶、碳靶，在镍过渡层上沉积一层金镍碳复合涂层，最终在铜铬锆基材上得到兼具高导电性能与润滑特性的复合层导电润滑涂层材料。
3.如权利要求2所述一种金镍碳复合导电润滑涂层材料的制备方法，其特征在于：镍过渡层的沉积中，镍靶施加320~370W直流电源溅射，氩气气体流量为19~21sccm，氩等离子体工作气压为6.5~8.5×10-1Pa，溅射温度为120~160℃，时间为55~65min，镍过渡层的厚度约为0.9~1.2μm。
4.如权利要求2所述一种金镍碳复合导电润滑涂层材料的制备方法，其特征在于：金镍碳复合涂层的沉积中，金靶施加120~150W的直流电源溅射，镍靶施加35~45W的直流电源溅射，碳靶施加100~400W的射频电源溅射；氩气气体流量为19~21sccm，氩等离子体工作气压为6.5~8.5×10-1Pa，溅射温度为120~160℃，时间为60~70min，金镍碳复合涂层的厚度为3.9~4.3μm。
5.如权利要求2~4所述任何一种金镍碳复合导电润滑涂层材料的制备方法，其特征在于：镍靶纯度为99.995%，金靶纯度为99.99%，碳靶纯度为99.999%，直径均为74.5~75.5mm。
6.如权利要求2~4所述任何一种金镍碳复合导电润滑涂层材料的制备方法，其特征在于：物理气相沉积涂层前，先用氩等离子体刻蚀铜铬锆合金基材5~15分钟，使用偏压-500~-600V去除基底表面自然氧化层。
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| PB01 | Publication | ||
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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| GR01 | Patent grant | ||
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