CN109722710A - 步进式杆夹头拉伸装置 - Google Patents
步进式杆夹头拉伸装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN109722710A CN109722710A CN201711024442.XA CN201711024442A CN109722710A CN 109722710 A CN109722710 A CN 109722710A CN 201711024442 A CN201711024442 A CN 201711024442A CN 109722710 A CN109722710 A CN 109722710A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- ceramic
- stretch rod
- head
- stretching
- shifting chute
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims abstract description 40
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 claims abstract description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims abstract description 4
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 abstract description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 8
- 208000007101 Muscle Cramp Diseases 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 229910052573 porcelain Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007363 ring formation reaction Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
本发明公开了一种步进式杆夹头拉伸装置，包括拉伸机头和陶瓷拉伸杆，所述陶瓷拉伸杆活动穿设在拉伸机头内，陶瓷拉伸杆的轴向设置有定位槽；所述拉伸机头包括管状壳体，管桩壳体内侧设置有环状设置的移动槽，移动槽内环形滑动设置有卡块，卡块与陶瓷拉伸杆的定向槽配对设置，移动槽下方设置有多个电机驱动槽，电机驱动槽内设置有步进电机，步进电机连接设置有旋转齿轮；通过对陶瓷拉伸杆进行定位槽控制，配合环状设置的移动槽，可以控制拉伸杆在拉伸时的稳定性，陶瓷杆的螺纹设置和三点式的驱动电机对陶瓷杆进行三点定位，同时配合与步进电机连接的旋转齿轮控制陶瓷杆的定量拉伸，通过陶瓷杆螺旋运动的位移达到陶瓷干纵向的缓慢拉伸。
Description
技术领域
本发明涉及晶体生长技术领域，尤其涉及一种用于晶体生长过程中的步进式杆夹头拉伸装置。
背景技术
提拉法晶体生长技术在每次安装籽晶杆后需对籽晶杆进行调整，以保证在晶体生长过程中籽晶对准坩埚中心，并且旋转时籽晶尖端不偏转。
直拉法晶体生长工艺中陶瓷杆作为籽晶杆和炉体上方提拉传动装置的连接杆，在生长过程中需保证其旋转时径向跳动在一个很小的范围内，因此需要安装一调节夹头用于调节陶瓷杆回转中心并起到固定陶瓷杆的作用。
发明内容
针对上述出现的问题，本发明提供了一种结构有效，拆卸方便，定位稳定，拉伸可以定量控制的步进式杆夹头拉伸装置。
步进式杆夹头拉伸装置，包括拉伸机头和陶瓷拉伸杆，所述陶瓷拉伸杆活动穿设在拉伸机头内，陶瓷拉伸杆的轴向设置有定位槽；所述拉伸机头包括管状壳体，管桩壳体内侧设置有环状设置的移动槽，移动槽内环形滑动设置有卡块，卡块与陶瓷拉伸杆的定向槽配对设置，移动槽下方设置有多个电机驱动槽，电机驱动槽内设置有步进电机，步进电机连接设置有旋转齿轮。
所述陶瓷拉伸杆的外表面设置有螺纹，螺纹与步进电机的旋转齿轮咬合设置。
所述陶瓷拉伸杆上的定位槽有两个，对称设置于陶瓷拉伸杆的两侧。
所述电机驱动槽有3个，环状均与分布。
所述卡块为硬质橡胶制成。
与现有技术相比，具有的有益效果为：通过对陶瓷拉伸杆进行定位槽控制，配合环状设置的移动槽，可以控制拉伸杆在拉伸时的稳定性，陶瓷杆的螺纹设置和三点式的驱动电机对陶瓷杆进行三点定位，同时配合与步进电机连接的旋转齿轮控制陶瓷杆的定量拉伸，通过陶瓷杆螺旋运动的位移达到陶瓷干纵向的缓慢拉伸。
附图说明
图1为本发明步进式杆夹头拉伸装置的结构示意图。
具体实施方式
图示为本发明步进式杆夹头拉伸装置的一种实施例，包括拉伸机头1和陶瓷拉伸杆2，所述陶瓷拉伸杆活动穿设在拉伸机头内，陶瓷拉伸杆的轴向设置有定位槽3；所述拉伸机头包括管状壳体，管桩壳体内侧设置有环状设置的移动槽4，移动槽内环形滑动设置有卡块5，卡块与陶瓷拉伸杆的定向槽配对设置，移动槽下方设置有多个电机驱动槽6，电机驱动槽内设置有步进电机7，步进电机连接设置有旋转齿轮8，所述旋转齿轮为涡轮设置，拉伸陶瓷敢为蜗杆设置。
所述陶瓷拉伸杆的外表面设置有螺纹，螺纹与步进电机的旋转齿轮咬合设置。
所述陶瓷拉伸杆上的定位槽有两个，对称设置于陶瓷拉伸杆的两侧。
所述电机驱动槽有3个，环状均与分布。
所述卡块为硬质橡胶制成。
Claims (5)
1.步进式杆夹头拉伸装置，其特征在于：包括拉伸机头和陶瓷拉伸杆，所述陶瓷拉伸杆活动穿设在拉伸机头内，陶瓷拉伸杆的轴向设置有定位槽；所述拉伸机头包括管状壳体，管桩壳体内侧设置有环状设置的移动槽，移动槽内环形滑动设置有卡块，卡块与陶瓷拉伸杆的定向槽配对设置，移动槽下方设置有多个电机驱动槽，电机驱动槽内设置有步进电机，步进电机连接设置有旋转齿轮。
2.如权利要求1所述步进式杆夹头拉伸装置，其特征在于：所述陶瓷拉伸杆的外表面设置有螺纹，螺纹与步进电机的旋转齿轮咬合设置。
3.如权利要求1所述步进式杆夹头拉伸装置，其特征在于：所述陶瓷拉伸杆上的定位槽有两个，对称设置于陶瓷拉伸杆的两侧。
4.如权利要求1所述步进式杆夹头拉伸装置，其特征在于：所述电机驱动槽有3个，环状均与分布。
5.如权利要求1所述步进式杆夹头拉伸装置，其特征在于：所述卡块为硬质橡胶制成。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201711024442.XA CN109722710B (zh) | 2017-10-27 | 2017-10-27 | 步进式杆夹头拉伸装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201711024442.XA CN109722710B (zh) | 2017-10-27 | 2017-10-27 | 步进式杆夹头拉伸装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN109722710A true CN109722710A (zh) | 2019-05-07 |
| CN109722710B CN109722710B (zh) | 2021-08-10 |
Family
ID=66290888
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201711024442.XA Active CN109722710B (zh) | 2017-10-27 | 2017-10-27 | 步进式杆夹头拉伸装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN109722710B (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111379030A (zh) * | 2020-05-03 | 2020-07-07 | 朱雪玉 | 一种新型半导体晶棒排列成型模具 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5637294A (en) * | 1979-09-05 | 1981-04-10 | Ricoh Co Ltd | Crystal seed supporting device |
| CN202742661U (zh) * | 2012-09-24 | 2013-02-20 | 张士生 | 一种电机驱动的瓶坯拉伸装置 |
| CN203229583U (zh) * | 2013-04-09 | 2013-10-09 | 嘉兴学院 | 一种三杆晶体提拉法生长装置 |
| CN204251771U (zh) * | 2014-11-24 | 2015-04-08 | 河南晶格光电科技有限公司 | 一种蓝宝石晶体生长装置 |
| CN107226045A (zh) * | 2017-06-02 | 2017-10-03 | 泰州圣斯泰科汽车部件有限公司 | 一种方便拆卸的汽车用传感器 |
-
2017
- 2017-10-27 CN CN201711024442.XA patent/CN109722710B/zh active Active
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5637294A (en) * | 1979-09-05 | 1981-04-10 | Ricoh Co Ltd | Crystal seed supporting device |
| CN202742661U (zh) * | 2012-09-24 | 2013-02-20 | 张士生 | 一种电机驱动的瓶坯拉伸装置 |
| CN203229583U (zh) * | 2013-04-09 | 2013-10-09 | 嘉兴学院 | 一种三杆晶体提拉法生长装置 |
| CN204251771U (zh) * | 2014-11-24 | 2015-04-08 | 河南晶格光电科技有限公司 | 一种蓝宝石晶体生长装置 |
| CN107226045A (zh) * | 2017-06-02 | 2017-10-03 | 泰州圣斯泰科汽车部件有限公司 | 一种方便拆卸的汽车用传感器 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111379030A (zh) * | 2020-05-03 | 2020-07-07 | 朱雪玉 | 一种新型半导体晶棒排列成型模具 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN109722710B (zh) | 2021-08-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP2275387A3 (en) | Polycrystalline silicon producing method, apparatus for producing polycrystalline silicon, and polycrystalline silicon | |
| DE112014003795B4 (de) | Silizium-Einkristall-Ziehvorrichtung | |
| CN109722710A (zh) | 步进式杆夹头拉伸装置 | |
| CN110512279A (zh) | 能够提高收尾成功率的单晶炉收尾方法 | |
| CN206157273U (zh) | 一种新型单晶炉 | |
| CN103590109B (zh) | 直拉单晶炉磁场装置及使用该磁场装置的拉晶方法 | |
| CN107344323A (zh) | 一种便于调节高度的同步升降珩磨夹具 | |
| CN204251771U (zh) | 一种蓝宝石晶体生长装置 | |
| CN202187086U (zh) | 单晶炉的梯度加热器 | |
| CN104088012B (zh) | 一种直接生长蓝宝石整流罩的设备 | |
| CN106757310A (zh) | 一种硅芯拉制装置 | |
| CN203653760U (zh) | 用于导模法生长大直径管状蓝宝石的模具 | |
| CN203820917U (zh) | 一种单晶炉永磁场位置调整装置 | |
| CN206659048U (zh) | 一种用于粉丝生产冷却设备 | |
| CN106149047A (zh) | 单晶炉 | |
| CN203653761U (zh) | 用于导模法同时生长多根管状蓝宝石的模具 | |
| CN104088010B (zh) | 一种直接成型蓝宝石整流罩的方法 | |
| CN203602858U (zh) | 大圆针织机喂纱嘴的调整装置 | |
| CN202849587U (zh) | 一种用于区熔法生长硅单晶的籽晶夹持器 | |
| CN206232843U (zh) | 一种籽晶杆调节夹头 | |
| KR200449801Y1 (ko) | 하프 컷 지그 | |
| CN103710752A (zh) | 用于导模法生长大直径管状蓝宝石的模具 | |
| CN203420007U (zh) | 焰熔法结晶炉的升降装置 | |
| CN203715863U (zh) | 罗拉压紧力调节装置 | |
| CN202492613U (zh) | 蓝宝石单晶体提拉法生长装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |