[go: up one dir, main page]

CN109715959B - 利用型材的真空泵 - Google Patents

利用型材的真空泵 Download PDF

Info

Publication number
CN109715959B
CN109715959B CN201780058190.4A CN201780058190A CN109715959B CN 109715959 B CN109715959 B CN 109715959B CN 201780058190 A CN201780058190 A CN 201780058190A CN 109715959 B CN109715959 B CN 109715959B
Authority
CN
China
Prior art keywords
vacuum pump
vacuum
profile
pump
mounting hole
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201780058190.4A
Other languages
English (en)
Other versions
CN109715959A (zh
Inventor
赵镐英
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
VTec Corp
Original Assignee
VTec Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by VTec Corp filed Critical VTec Corp
Publication of CN109715959A publication Critical patent/CN109715959A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN109715959B publication Critical patent/CN109715959B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04FPUMPING OF FLUID BY DIRECT CONTACT OF ANOTHER FLUID OR BY USING INERTIA OF FLUID TO BE PUMPED; SIPHONS
    • F04F5/00Jet pumps, i.e. devices in which flow is induced by pressure drop caused by velocity of another fluid flow
    • F04F5/14Jet pumps, i.e. devices in which flow is induced by pressure drop caused by velocity of another fluid flow the inducing fluid being elastic fluid
    • F04F5/16Jet pumps, i.e. devices in which flow is induced by pressure drop caused by velocity of another fluid flow the inducing fluid being elastic fluid displacing elastic fluids
    • F04F5/20Jet pumps, i.e. devices in which flow is induced by pressure drop caused by velocity of another fluid flow the inducing fluid being elastic fluid displacing elastic fluids for evacuating
    • F04F5/22Jet pumps, i.e. devices in which flow is induced by pressure drop caused by velocity of another fluid flow the inducing fluid being elastic fluid displacing elastic fluids for evacuating of multi-stage type
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04FPUMPING OF FLUID BY DIRECT CONTACT OF ANOTHER FLUID OR BY USING INERTIA OF FLUID TO BE PUMPED; SIPHONS
    • F04F5/00Jet pumps, i.e. devices in which flow is induced by pressure drop caused by velocity of another fluid flow
    • F04F5/14Jet pumps, i.e. devices in which flow is induced by pressure drop caused by velocity of another fluid flow the inducing fluid being elastic fluid
    • F04F5/16Jet pumps, i.e. devices in which flow is induced by pressure drop caused by velocity of another fluid flow the inducing fluid being elastic fluid displacing elastic fluids
    • F04F5/20Jet pumps, i.e. devices in which flow is induced by pressure drop caused by velocity of another fluid flow the inducing fluid being elastic fluid displacing elastic fluids for evacuating
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04FPUMPING OF FLUID BY DIRECT CONTACT OF ANOTHER FLUID OR BY USING INERTIA OF FLUID TO BE PUMPED; SIPHONS
    • F04F5/00Jet pumps, i.e. devices in which flow is induced by pressure drop caused by velocity of another fluid flow
    • F04F5/14Jet pumps, i.e. devices in which flow is induced by pressure drop caused by velocity of another fluid flow the inducing fluid being elastic fluid
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/6838Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping with gripping and holding devices using a vacuum; Bernoulli devices

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Jet Pumps And Other Pumps (AREA)
  • Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)

Abstract

本发明涉及一种利用型材的真空泵。本发明的真空泵包括:中空型型材,其由长度方向的安装孔与真空室邻接而形成;喷射泵,其沿长度方向配置在所述安装孔内;端盖,其分别提供在所述型材的两侧开口,形成有与所述流入口或排出口对应的贯通孔。特别是,所述流入口侧的第1盖带有使所述真空室与安装孔连通的通道。本发明的真空泵结构,至少对于利用所谓“型材”的真空泵结构来说,考虑到在使所述真空泵的制作变得更加便利的同时还提高了真空特性时,可以判断其是最佳的设计方案。

Description

利用型材的真空泵
技术领域
本发明涉及一种真空泵。更具体地,涉及一种主要用于真空移送系统的真空泵,依靠高速通过的压缩空气产生排气作用从而在一定空间形成真空及负压。
背景技术
真空系统通常包括:压缩空气供给装置;内部安装有喷射器(ejector)的真空泵;与所述真空泵连接的吸附垫。当从所述装置供给的压缩空气高速通过真空泵时,泵及垫的内部空间就会排气,从而形成真空及负压。此时,依靠形成的负压就能够对对象物品进行保持及移送。
传统上,所述真空泵从外形上看是一种箱型泵,因此其本身在系统构成方面能提供稳定感。但是,也存在一定的缺点,比如:难以将其直接安装在提供包围空间的外罩上,从这个层面来看,其适用性是非常有限的。因此,研发出了一种所谓“旋转对称型”或“圆筒型”喷射泵,最近其使用量正在急剧增加。
这种类型的喷射泵分别公开在韩国注册专利第393434号、第578540号、第629994号等中。所公开的泵的特征在于:从外形上看呈旋转对称型或圆筒型,在内部安装有以串联方式排列的喷嘴,在壁上形成有能够与外部疏通的通孔。这种类型的喷射泵也能容易地直接安装在提供包围空间的多种形态的外罩上,其外罩要素之一就是型材(profile)。
图1显示了韩国注册专利第1351768号中公开的型材型真空泵1。在这里,型材2作为沿长度方向内部空着的中空型挤压构件,其内部收纳有所述喷射泵,在两侧末端分别提供带有压缩空气流入口5与排出口的收尾构件3、4。另外,吸附垫通过软管连接至形成于一侧收尾构件3或型材2侧壁上的吸入口6。在这种结构的真空泵1中,当高速的压缩空气通过流入口5与排出口时,与所述吸入口6连接的吸附垫的内部就会被排气。
所述型材是一种沿长度方向内部空着的中空型挤压构件。因此,其优点在于,为了方便,可以任意按照适当的长度截断,用作真空泵1的外罩。但是,这种真空泵1存在以下问题。
由于所述吸入口6直接与喷射泵侧连接,在泵1中能够实现的真空速度及真空度不高。
特别是,尽管流入口5侧的收尾构件3根据需要具有相当程度的宽度w,但是却不能将其有效应用在关于真空泵1的特性上。
发明内容
所要解决的技术问题
本发明就是为解决上述现有技术存在的问题而研发的。本发明的目的在于,提供一种真空泵,其利用型材设计真空泵,特别是,通过对空气流入口侧收尾构件进行特殊设计,能够改善泵的真空特性。
解决技术问题的方法
本发明的真空泵,包括:
中空型型材,在长度方向上上侧的安装孔与下侧的真空室彼此邻接且平行地形成,在所述真空室的一面形成有通往吸附装置的多个疏通孔;
一个以上的喷射泵,沿长度方向配置及固定在所述安装孔内,该喷射泵是一端为压缩空气流入口、另一端为其排出口、且在侧壁形成有一个以上的通孔的圆筒型泵;
端盖,其包含第1盖及第2盖,分别提供在所述型材的两侧开口,带有与所述流入口或排出口对应的贯通孔。所述流入口侧的第1盖设计成带有连通所述真空室与安装孔的通道。
优选地,所述第1盖包括:辅助室,其位于所述第1盖下部,与所述真空室从空间上连接。在所述辅助室的一侧设置有所述通道。在这种情况下,在所述辅助室的一面可以形成有通往吸附装置的疏通孔。
优选地,所述吸附装置是附着在所述真空室及辅助室的疏通孔方向一面上的衬垫型装置,或者所述吸附装置是安装或连接在所述疏通孔上的杯型装置。
发明的效果
依据本发明的真空泵包括:中空型型材沿长度方向平行设置的安装孔与真空室。在型材一侧的第1盖部位使所述安装孔与真空室连通。因此,能够使型材及真空泵的制作变得容易、简便。另外,能够提高在真空泵运行时的真空特性即真空速度、真空度、真空保持力等。
在优选的实施例中,所述第1盖包括:与真空室连接的辅助室。在所述辅助室的底面形成有通往吸附装置的疏通孔。因此,所述第1盖本身起到进一步提高泵的真空特性的功能,而且在本发明的真空泵中能够更多或更宽地使用吸附装置。
附图说明
图1是对现有的真空泵进行说明的示意图。
图2是依据本发明一个实施例的真空泵的立体图。
图3是图2的分解立体图。
图4是图2的ˊA-Aˊ线截面图。
图5是对图2所示真空泵的作用进行说明的示意图。
图6是依据本发明另一实施例的真空泵的立体图。
图7是依据本发明又一实施例的真空泵的分解立体图。
附图标记说明
10:真空泵 20:型材
21:安装孔 22:真空室
23:疏通孔 24:T形槽
25:包围空间 30:喷射泵
31:流入口 32:排出口
33:通孔 34:固定部
35:密封圈 36:固定螺栓
37:环形槽 40:端盖
41:第1盖 42:第2盖
43、44:贯通孔 45:通道
46:辅助室 47:疏通孔
50:吸附装置 ˊPˊ:对象物
具体实施方式
有关以上记载或未记载的本发明“利用型材的真空泵”(以下简称“真空泵”)的特征与作用效果,通过下面参照附图进行说明的实施例记载就会更加明确。在图2以下的附图中,依据本发明的真空泵用符号10标示。
参照图2至图4可知,依据本发明的真空泵10包括:中空型型材20,其提供外罩;喷射泵30,其沿长度方向收纳及配置在所述型材20内部;端盖40,其对所述型材20的两侧开口部进行收尾。
所述型材20是在长度方向上侧的安装孔21与下侧的真空室22彼此邻接并平行设置的铝挤压构件。如后面所述,在本发明中,所述安装孔21与真空室22依靠端盖40结构连接。因此,在本实施例中,所述安装孔21与真空室22在型材20本身中可以并不彼此连通的独立要素存在。
在所述真空室22的底面设置有通往所述吸附装置50的多个疏通孔23,所述疏通孔23可以根据所用吸附装置50的形态而改变其形态、大小、排列等。在本实施例中,所述吸附装置50是附着在所述真空室22底面的海绵或衬垫类型的装置。但是,本发明并非仅仅限定于所述吸附装置50的形态,如图6所示,所述吸附装置50可以是直接或通过线路间接安装在所述疏通孔23上的杯类型的装置。
当然,所述型材20也可以根据需要按照适当的长度截断使用。另外,在其上面沿长度方向设置有‘T’形槽24。因此,本发明的真空泵10可以简便地安装在真空移送系统的机器人(robotic)装置上。
所述喷射泵30是普通的喷射泵,其两端为压缩空气流入口31与排出口32,内部安装有喷气嘴,在侧壁上设置有一个以上的通孔33。所述通孔33可以将需要排气的真空泵10的外部空气吸入到喷射泵30的内部。优选地,所述喷射泵30在外形方面上是旋转对称型,同时也是所谓“圆筒型”喷射泵,在内部安装有以串联方式排列的多段的喷嘴,在壁上形成有能够与外部疏通的通孔33。
根据所述真空泵10的所需容量,收纳于所述安装孔21内的喷射泵30数量可以是一个或一个以上。如图7所示,如果配备两个以上,就将喷射泵30彼此平行配置。
所述喷射泵30沿长度方向配置在所述安装孔21内部,为了对其进行固定,所述喷射泵30还包括:设置在排出口32侧端部的环形的固定部34。所述喷射泵30的流入口31侧端部插入并放置在端盖41的贯通孔43内侧。另外,排出口32侧端部插入所述固定部34,所述固定部34的外径紧贴安装孔21的内面进行固定。
喷射泵30通过所述固定部34固定在安装孔21内。在这种情况下,安装孔21的一部分形成环绕喷射泵30的包围空间25。在本实施例中,虽然另行配备所述固定部34与喷射泵30,但是,在未图示的其它实施例中,也可以将所述固定部34一体地设置在喷射泵30的排出口32侧。符号35是一种插入所述固定部34的外径并挤压在安装孔21内面的密封圈。
作为一种附加固定装置,配备有固定螺栓36。所述螺栓36贯通型材20侧壁,其端部插入形成于所述固定部34外径上的环形槽37。由此,就能够彻底防止所述固定部34的游动。
所述端盖40包括:分别提供在所述型材20的两侧开口的第1盖41及第2盖42,在每个盖41、42上均设置有与所述喷射泵30的流入口31或排出口32对应的贯通孔43、44。实际上,各个盖41、42可以由将铝或塑料作为材料的成型物或成型物的组装体构成。
在本发明中,所述流入口31侧的第1盖41设计成带有使下侧的真空室22与上侧的安装孔21特别是包围空间25连通的通道45。因此,在所述型材20内,安装孔21与真空室22可以作为并不直接疏通的单独要素而存在。这至少对于利用所谓“型材”的真空泵结构来说,可以判断为是在使所述型材20及真空泵10的制作变得更加便利的同时还提高真空泵10的真空特性的最佳的设计方案。
具体地,所述第1盖41包括:辅助室46,其形成于所述第1盖41下部,与所述真空室22从空间上连接。在所述辅助室46的一侧设置有所述通道45。在这种情况下,在所述辅助室46的底面可以设置通往吸附装置50的一个或多个疏通孔47。即,本实施例可利用所述第1盖41在空间上拓展真空室22。与此同时,通过此举能够在真空泵10上有效地适用更广或更多的吸附装置50。
参照图5可知,在吸附对象物P与吸附装置50的底面接触的状态下,高速的压缩空气通过第1盖41的贯通孔43向喷射泵30的流入口31供给(参照箭头①)。所述空气继续通过喷射泵30,接着通过排出口32。然后,再通过第2盖42的贯通孔44向外部排出(参照箭头②)。
这一过程中,在各个室22、46与包围空间25之间的通道45部分中发生压力下降。由此,所述真空室22与辅助室46及吸附装置50就能够进行排气。具体地,所述吸附装置50的内部空气经过真空室22与辅助室46之后,再通过所述通道45向包围空间25流动,然后再继续通过喷射泵30的通孔33被引入到喷射泵30的内部(参照箭头③)。然后,与高速的压缩空气一起向外部排出(参照箭头②)。
然后,各个室22、46及吸附装置50的内部产生真空及负压。在产生的负压作用下,对象物P被真空泵10吸附。虽然未图示,但是所述真空泵10与机器人装置连接,沿着自动化的路径移动。因此,能够对所述对象物P进行适当且正确地移送。

Claims (8)

1.一种利用型材的真空泵,包括中空型型材(20)、一个以上的喷射泵(30)以及端盖(40),端盖(40)包含第1盖(41)及第2盖(42),第1盖(41)及第2盖(42)分别提供在所述型材的两侧开口并带有与流入口(31)或排出口(32)对应的贯通孔(43、44),其特征在于,
在中空型型材(20)的长度方向上,上侧的安装孔(21)与下侧的真空室(22)彼此邻接且平行地形成,在所述真空室的一面设置有通往吸附装置(50)的多个疏通孔(23),
一个以上的喷射泵(30),沿长度方向配置及固定在所述安装孔(21)内,作为一种圆筒型泵,一端为压缩空气流入口(31),另一端为压缩空气排出口(32),在侧壁形成有一个以上的通孔(33),
所述流入口侧的第1盖(41)带有使所述真空室(22)与安装孔(21)连通的通道(45),
所述安装孔(21)与真空室(22)在所述型材(20)本身内以并不彼此连通的要素存在。
2.根据权利要求1所述的利用型材的真空泵,其特征在于,
所述第1盖(41)包括:辅助室(46),其位于所述第1盖下部,所述辅助室(46)与所述真空室(22)从空间上连接,在所述辅助室(46)的一侧设置有所述通道(45)。
3.根据权利要求2所述的利用型材的真空泵,其特征在于,
在所述辅助室(46)的一面形成有通往吸附装置(50)的疏通孔(47)。
4.根据权利要求3所述的利用型材的真空泵,其特征在于,
所述吸附装置(50)是附着在所述真空室(22)及辅助室(46)的疏通孔(23、47)方向一面上的衬垫型装置,或者所述吸附装置(50)是安装或连接在所述疏通孔(23、47)上的杯类型的装置。
5.根据权利要求1所述的利用型材的真空泵,其特征在于,
所述喷射泵(30)包括:设置在排出口(32)侧端部的环形的固定部(34),所述固定部(34)的外径紧贴安装孔(21)的内面进行固定。
6.根据权利要求5所述的利用型材的真空泵,其特征在于,
所述喷射泵(30)另行配备有所述固定部(34),排出口(32)侧端部插入所述固定部(34)。
7.根据权利要求5所述的利用型材的真空泵,其特征在于,
借助所述固定部(34),安装孔(21)的一部分形成环绕所述喷射泵(30)的包围空间(25),所述通道(45)使真空室(22)与所述包围空间(25)连通。
8.根据权利要求5所述的利用型材的真空泵,其特征在于,
所述固定部(34)包括:设置在其外径上的槽(37),固定螺栓(36)贯通所述型材(20)的侧壁,所述固定螺栓(36)的端部插入所述槽(37)内。
CN201780058190.4A 2016-09-21 2017-07-03 利用型材的真空泵 Active CN109715959B (zh)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020160120525A KR101685998B1 (ko) 2016-09-21 2016-09-21 프로파일을 이용한 진공 펌프
KR10-2016-0120525 2016-09-21
PCT/KR2017/007006 WO2018056558A1 (ko) 2016-09-21 2017-07-03 프로파일을 이용한 진공 펌프

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN109715959A CN109715959A (zh) 2019-05-03
CN109715959B true CN109715959B (zh) 2020-02-28

Family

ID=57574861

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201780058190.4A Active CN109715959B (zh) 2016-09-21 2017-07-03 利用型材的真空泵

Country Status (7)

Country Link
US (1) US11149752B2 (zh)
EP (1) EP3517788B1 (zh)
JP (1) JP6778330B2 (zh)
KR (1) KR101685998B1 (zh)
CN (1) CN109715959B (zh)
ES (1) ES2858455T3 (zh)
WO (1) WO2018056558A1 (zh)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102344214B1 (ko) 2021-05-18 2021-12-28 (주)브이텍 진공 이젝터 펌프

Family Cites Families (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SE427955B (sv) 1980-05-21 1983-05-24 Piab Ab Multiejektor
IL70239A (en) 1983-11-15 1988-03-31 Dan Greenberg Multichamber ejector
FR2575678B1 (fr) * 1985-01-04 1988-06-03 Saint Gobain Vitrage Ejecteur pneumatique de poudre
US4790054A (en) 1985-07-12 1988-12-13 Nichols William O Multi-stage venturi ejector and method of manufacture thereof
US4759691A (en) 1987-03-19 1988-07-26 Kroupa Larry G Compressed air driven vacuum pump assembly
SE466561B (sv) 1988-06-08 1992-03-02 Peter Tell Multiejektoranordning
US4880358A (en) 1988-06-20 1989-11-14 Air-Vac Engineering Company, Inc. Ultra-high vacuum force, low air consumption pumps
US5228839A (en) 1991-05-24 1993-07-20 Gast Manufacturing Corporation Multistage ejector pump
US5683227A (en) * 1993-03-31 1997-11-04 Smc Corporation Multistage ejector assembly
US6393760B1 (en) 1997-03-19 2002-05-28 Trece, Inc. Kairomone and kill-bait containing insect trap
JP3630522B2 (ja) * 1997-03-24 2005-03-16 株式会社荏原製作所 真空排気システム
IL125791A (en) * 1998-08-13 2004-05-12 Dan Greenberg Vacuum pump
US6682313B1 (en) * 2000-12-04 2004-01-27 Trident Emergency Products, Llc Compressed air powered pump priming system
SE0201335L (sv) 2002-05-03 2003-03-25 Piab Ab Vakuumpump och sätt att tillhandahålla undertryck
KR100629994B1 (ko) 2005-12-30 2006-10-02 한국뉴매틱(주) 진공 이젝터 펌프
JP2007211700A (ja) * 2006-02-10 2007-08-23 Nippon Pneumatics Fluidics System Co Ltd エジェクタ
KR100730323B1 (ko) 2007-03-15 2007-06-19 한국뉴매틱(주) 필터 카트리지를 이용한 진공 시스템
KR100890191B1 (ko) 2007-10-08 2009-03-25 한국뉴매틱(주) 진공 지그
EP2331829B1 (en) 2008-09-09 2018-05-09 Dresser-Rand Company Supersonic ejector package
DE202009019074U1 (de) 2009-11-24 2016-05-23 J. Schmalz Gmbh Druckluftbetriebener Unterdruckerzeuger
US8561972B2 (en) 2010-06-30 2013-10-22 Kla Systems, Inc. Low pressure gas transfer device
JP5908922B2 (ja) * 2010-12-10 2016-04-26 アテリエ ビスク ソシエテ アノニムAtelier Busch SA 真空包装機に応用する真空ポンプ
KR101251825B1 (ko) 2011-09-06 2013-04-09 이우승 진공펌프
KR101157542B1 (ko) * 2012-04-26 2012-06-22 한국뉴매틱(주) 인-라인 진공펌프
KR101351768B1 (ko) * 2012-05-24 2014-01-16 이우승 프로파일형 진공 이젝터 펌프
GB2509182A (en) 2012-12-21 2014-06-25 Xerex Ab Vacuum ejector with multi-nozzle drive stage and booster
CN203783989U (zh) * 2014-04-06 2014-08-20 赵福歧 一种空气喷射真空泵
KR101472503B1 (ko) * 2014-04-24 2014-12-12 한국뉴매틱(주) 이젝터 어셈블리 및 진공펌프
CN106907356B (zh) * 2014-06-09 2019-03-19 戴科知识产权控股有限责任公司 具有双文丘里流动路径的文丘里装置
EP3236083B1 (en) * 2016-04-21 2018-12-12 Piab Ab Vacuum ejector device
KR101699721B1 (ko) * 2016-09-01 2017-02-13 (주)브이텍 진공 펌프 및 그 어레이

Also Published As

Publication number Publication date
EP3517788A4 (en) 2020-03-04
US11149752B2 (en) 2021-10-19
CN109715959A (zh) 2019-05-03
US20190203738A1 (en) 2019-07-04
JP2019529808A (ja) 2019-10-17
WO2018056558A1 (ko) 2018-03-29
ES2858455T3 (es) 2021-09-30
KR101685998B1 (ko) 2016-12-13
EP3517788B1 (en) 2020-12-16
EP3517788A1 (en) 2019-07-31
JP6778330B2 (ja) 2020-10-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN107431035B (zh) 晶圆储存容器
JP4146086B2 (ja) 真空エゼクタポンプ
US20070148009A1 (en) Vacuum ejector pumps
KR101351768B1 (ko) 프로파일형 진공 이젝터 펌프
JP2009519826A5 (zh)
CN109715959B (zh) 利用型材的真空泵
KR20060128756A (ko) 진공유니트 및 진공유니트용 필터의 제조방법
KR101251825B1 (ko) 진공펌프
KR101340391B1 (ko) 클리닝 헤드
JP2013524017A5 (zh)
KR100454082B1 (ko) 진공 발생/파기 장치
KR102344214B1 (ko) 진공 이젝터 펌프
KR100873104B1 (ko) 회전체 크리닝 유니트 및 이를 갖는 진공펌프
KR20040011571A (ko) 진공 이젝터 장치
CN101042134B (zh) 油泵
KR200261384Y1 (ko) 진공 이젝터 장치
KR20160027515A (ko) 진공 이젝터 펌프
KR0175165B1 (ko) 호스의 싸이징 장치 및 싸이징 방법
FR2685739A1 (fr) Dispositif a ejecteurs multiples pour pompe a vide.
KR101306061B1 (ko) 진공 발생기
KR100508554B1 (ko) 폐기가스 처리장치의 역류방지용 분배밸브
KR101757789B1 (ko) 웨이퍼이동로의 파우더 침착방지 기능이 구비된 게이트밸브
KR200365830Y1 (ko) 진공 이젝터 펌프
KR20200047025A (ko) 진공 금형 장치를 이용한 성형방법
KR200314337Y1 (ko) 폐기가스 처리장치의 역류방지용 분배밸브

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant