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CN109648460A - 一种无电流多分区可拆卸感应装置 - Google Patents

一种无电流多分区可拆卸感应装置 Download PDF

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CN109648460A
CN109648460A CN201811559502.2A CN201811559502A CN109648460A CN 109648460 A CN109648460 A CN 109648460A CN 201811559502 A CN201811559502 A CN 201811559502A CN 109648460 A CN109648460 A CN 109648460A
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CN
China
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grinding head
upper body
lower body
head upper
gas circuit
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Pending
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CN201811559502.2A
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English (en)
Inventor
叶文君
梁晗
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Fengbao Intelligent Technology (shanghai) Co Ltd
Original Assignee
Fengbao Intelligent Technology (shanghai) Co Ltd
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Publication date
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
    • B24B37/005—Control means for lapping machines or devices
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B41/00—Component parts such as frames, beds, carriages, headstocks
    • B24B41/007—Weight compensation; Temperature compensation; Vibration damping
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B41/00—Component parts such as frames, beds, carriages, headstocks
    • B24B41/04—Headstocks; Working-spindles; Features relating thereto

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Geophysics And Detection Of Objects (AREA)

Abstract

本发明公开了一种无电流多分区可拆卸感应装置，包括气路连接器与研磨头，研磨头包括研磨头上体与研磨头下体，研磨头下体为感应区域体，其为一体化的密封橡胶结构制成，其内部分布有若干个感应区间；研磨头上体设置于研磨头下体上，其与研磨头下体镶嵌叠加并构成封闭空间，研磨头上体内部开设有多个内部孔道；气路连接器设置于研磨头上体上，其上端接入外部进气设备，其下端设置有多个对应研磨头上体内部孔道的气孔，其与研磨头上体内部的孔道构成气孔通道，气孔通道连通研磨头下体上设置的感应区间。本发明采用区间分化处理，无涡电流产生，区域化更细致，气路连接器可以拆卸更换，极大程度上提高了本发明在使用时的方便程度。

Description

一种无电流多分区可拆卸感应装置
技术领域
本发明涉及芯片制造加工领域，具体为一种无电流多分区可拆卸感应装置。
背景技术
在芯片制造加工技术中需要使用到研磨头进行研磨，研磨头的材质是金属的，工作的环境又是在磁场中，很容易会产生涡电流，且研磨头本身也是一种压力感应装置，涡电流在金属块内流动时,释放出大量的焦耳热，不仅会对感应装置的敏感度造成影响，还会对产品表面的研磨液造成影响，导致后面研磨出的产品产生不良。现有的压力感应装置是一分区的，区域化分不明显，某个区域出现问题，整个区域同时调控，敏感度划分不够分明，即当某个区域敏感度一旦变化，整个感应区域都会有变化，导致原本不需要变化的区域出现变化，同时现有的连接器部分是无法拆卸且镶嵌为一体的，导致在使用不同设备时需要整体更换，非常浪费，导致成本增加。
发明内容
本发明的目的在于提供一种无电流多分区可拆卸感应装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种无电流多分区可拆卸感应装置，包括气路连接器与研磨头，所述研磨头包括研磨头上体与研磨头下体，研磨头下体为感应区域体，其为一体化的密封橡胶结构制成，其内部分布有若干个感应区间；所述研磨头上体设置于研磨头下体上，其与研磨头下体镶嵌叠加并构成封闭空间，研磨头上体内部开设有多个内部孔道；所述气路连接器设置于研磨头上体上，其上端接入外部进气设备，其下端设置有多个对应研磨头上体内部孔道的气孔，其与研磨头上体内部的孔道构成气孔通道，气孔通道连通研磨头下体上设置的感应区间。
优选的，研磨头上体上还设置有定位螺孔与定位孔，定位螺孔环绕内部孔道设置。
优选的，气路连接器上设置有与定位螺孔、定位孔相对应的定位螺丝与定位块，气路连接器通过定位螺丝、定位块与研磨头上体可拆卸连接。
优选的，研磨头上体与研磨头下体镶嵌叠加方式包括卡钩、焊接、锁扣、螺纹自锁中的任一方式进行层层叠加镶嵌。
优选的，研磨头上体为工业金属塑料加工制成，其可以达到原金属的效果，同时在磁场中不会产生涡电流。
优选的，感应区间为直角、弯角、斜角等各种复杂的腔体结构。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：
本发明研磨头包括研磨头上体与研磨头下体，研磨头下体为感应区域体，其为一体化的密封橡胶结构制成，其内部分布有若干个感应区间，研磨头上体采用工业金属塑料加工制成，研磨头下体采用分区间分化处理，无涡电流产生，区域化更细致，进一步提高了感应装置的灵敏度，同时气路连接器与通过定位螺丝、定位块与研磨头上体可拆卸连接，即气路连接器可以拆卸更换，极大程度上提高了本发明在使用时的方便程度，更节约了成本。
附图说明
图1为本发明的整体结构示意图；
图2为本发明气路连接器的结构示意图；
图3为本发明的研磨头上体与研磨头下体连接结构示意图；
图4为本发明的原理示意图。
图中：1、气路连接器；11、气孔；12、定位螺丝；13、定位块；2、研磨头；21、研磨头上体；22、研磨头下体；221、感应区间。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
在本发明的描述中，需要说明的是，术语“竖直”、“上”、“下”、“水平”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
在本发明的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
请参阅图1-4，本发明提供一种技术方案：一种无电流多分区可拆卸感应装置，包括气路连接器1与研磨头2，所述研磨头2包括研磨头上体21与研磨头下体22，研磨头下体22为感应区域体，其为一体化的密封橡胶结构制成，其内部分布有若干个感应区间221；所述研磨头上体21设置于研磨头下体22上，其与研磨头下体22镶嵌叠加并构成封闭空间，研磨头上体21内部开设有多个内部孔道；所述气路连接器1设置于研磨头上体21上，其上端接入外部进气设备，其下端设置有多个对应研磨头上体21内部孔道的气孔11，其与研磨头上体21内部的孔道构成气孔通道，气孔通道连通研磨头下体22上设置的感应区间221。
研磨头上体21上还设置有定位螺孔与定位孔，定位螺孔环绕内部孔道设置。
气路连接器1上设置有与定位螺孔、定位孔相对应的定位螺丝12与定位块13，气路连接器1通过定位螺丝12、定位块13与研磨头上体21可拆卸连接。
研磨头上体21与研磨头下体22镶嵌叠加方式包括卡钩、焊接、锁扣、螺纹自锁中的任一方式进行层层叠加镶嵌。
研磨头上体21为工业金属塑料加工制成。
感应区间221为直角、弯角、斜角等各种复杂的腔体结构，感应区间221个数大于等于7但小于10。
工作原理：研磨头2包括研磨头上体21与研磨头下体22，研磨头上体21工业金属塑料加工制成，其设置于研磨头下体22上，其与研磨头下体22镶嵌叠加并构成封闭空间，研磨头上体21内部开设有多个内部孔道，研磨头下体22为感应区域体，其为一体化的密封橡胶结构制成，其内部分布有若干个感应区间221，内部孔道连通感应区间221，研磨头下体22采用分区间分化处理，无涡电流产生，区域化更细致，进一步提高了感应装置的灵敏度，使研磨时更加敏感，精确，有效降低了加工时的不良率，同时气路连接器1通过定位螺丝12、定位块13与研磨头上体21可拆卸连接，即气路连接器1可以拆卸更换，极大程度上提高了本发明在使用时的方便程度，更节约了成本。在使用时，外部进气设备将气体打入本发明中，首先需要经过气路连接器1导入，气路连接器1下端设置有多个对应研磨头上体21内部孔道的气孔11，其通过气孔11将气体传递到研磨头上体21，同时研磨头上体21内部开设有多个内部孔道，研磨头上体21与研磨头下体22镶嵌叠加并构成封闭空间，气孔通道连通研磨头下体22上设置的感应区间221，从而对应再将气体传递到研磨头下体22上设置的感应区间221内，即每个感应区间221可以独立工作，感应区间221与待加工产品接触，感受到表面压力变化，从而反馈数据，进行检测和精细化调控。
值得注意的是：整个装置通过总控制按钮对其实现控制，由于控制按钮匹配的设备为常用设备，属于现有常熟技术，在此不再赘述其电性连接关系以及具体的电路结构。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种无电流多分区可拆卸感应装置，其特征在于，包括气路连接器(1)与研磨头(2)，所述研磨头(2)包括研磨头上体(21)与研磨头下体(22)，研磨头下体(22)为感应区域体，其为一体化的密封橡胶结构制成，其内部分布有若干个感应区间(221)；所述研磨头上体(21)设置于研磨头下体(22)上，其与研磨头下体(22)镶嵌叠加并构成封闭空间，研磨头上体(21)内部开设有多个内部孔道；所述气路连接器(1)设置于研磨头上体(21)上，其上端接入外部进气设备，其下端设置有多个对应研磨头上体(21)内部孔道的气孔(11)，其与研磨头上体(21)内部的孔道构成气孔通道，气孔通道连通研磨头下体(22)上设置的感应区间(221)。
2.根据权利要求1所述的一种无电流多分区可拆卸感应装置，其特征在于：所述研磨头上体(21)上还设置有定位螺孔与定位孔，定位螺孔环绕内部孔道设置。
3.根据权利要求2所述的一种无电流多分区可拆卸感应装置，其特征在于：所述气路连接器(1)上设置有与定位螺孔、定位孔相对应的定位螺丝(12)与定位块(13)，气路连接器(1)通过定位螺丝(12)、定位块(13)与研磨头上体(21)可拆卸连接。
4.根据权利要求1所述的一种无电流多分区可拆卸感应装置，其特征在于：所述研磨头上体(21)与研磨头下体(22)镶嵌叠加方式包括卡钩、焊接、锁扣、螺纹自锁中的任一方式进行层层叠加镶嵌。
5.根据权利要求1所述的一种无电流多分区可拆卸感应装置，其特征在于：所述研磨头上体(21)为工业金属塑料加工制成。
6.根据权利要求1所述的一种无电流多分区可拆卸感应装置，其特征在于：所述感应区间(221)为直角、弯角、斜角等各种复杂的腔体结构。
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